DE10224547B4 - Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken - Google Patents

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Abstract

Verfahren zur Plasmabehandlung von Werkstücken, bei dem das Werkstück in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer einer Behandlungsstation eingesetzt wird und bei dem das Werkstück innerhalb der Behandlungsstation von einem Halteelement positioniert wird, wobei das Werkstück (5) durch mindestens zwei relativ zueinander positionierbare Klemmelemente des Halteelementes (46) in Form von verschwenkbar gelagerten Haltearmen (47, 48) derart beaufschlagt wird, dass das Werkstück (5) von einem Klemmraum (54) zwischen den Klemmelementen aufgenommen wird, dadurch gekennzeichnet, dass Arretierungselemente (59, 60) gemeinsam mit einer Kammerwandung (18) zur Fixierung der Haltearme (47, 48) positioniert werden.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Plasmabehandlung von Werkstücken, bei dem das Werkstück in eine zumindest teilweise evakuierbare Plasmakammer einer Behandlungsstation eingesetzt wird und bei dem das Werkstück innerhalb der Behandlungsstation von einem Halteelement positioniert wird.
  • Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken, die mindestens eine evakuierbare Plasmakammer zur Aufnahme der Werkstücke aufweist und bei der die Plasmakammer im Bereich einer Behandlungsstation angeordnet ist, sowie bei der die Plasmakammer von einem Kammerboden, einem Kammerdeckel sowie einer seitlichen Kammerwandung begrenzt ist und mindestens ein Halteelement zur Positionierung des Werkstückes aufweist.
  • Derartige Verfahren und Vorrichtungen werden beispielsweise eingesetzt, um Kunststoffe mit Oberflächenbeschichtungen zu versehen. Insbesondere sind auch bereits derartige Verfahren und Vorrichtungen bekannt, um innere oder äußere Oberflächen von Behältern zu beschichten, die zur Verpackung von Flüssigkeiten vorgesehen sind. Darüber hinaus sind Einrichtungen zur Plasmasterilisation bekannt.
  • In der WO 95/ 22 413 A1 wird eine Plasmakammer zur Innenbeschichtung von Flaschen aus PET beschrieben. Die zu beschichtenden Flaschen werden durch einen beweglichen Boden in eine Plasmakammer hineingehoben und im Bereich einer Flaschenmündung mit einem Adapter in Verbindung gebracht. Durch den Adapter hindurch kann eine Evakuierung des Flascheninnenraumes erfolgen. Darüber hinaus wird durch den Adapter hindurch eine hohle Lanze in den Innenraum der Flaschen eingeführt, um Prozeßgas zuzuführen. Eine Zündung des Plasmas erfolgt unter Verwendung einer Mikrowelle. Zur Positionierung der Flaschen in der Kammer sind Halteeinrichtungen vorgesehen, die die Flasche mittels Klemmeinrichtungen im Halsbereich fixieren.
  • Aus dieser Veröffentlichung ist es auch bereits bekannt, eine Mehrzahl von Plasmakammern auf einem rotierenden Rad anzuordnen. Hierdurch wird eine hohe Produktionsrate von Flaschen je Zeiteinheit unterstützt.
  • In der EP 1 010 773 A1 wird eine Zuführeinrichtung erläutert, um einen Flascheninnenraum zu evakuieren und mit Prozeßgas zu versorgen. In der WO 01/ 31 680 A1 wird eine Plasmakammer beschrieben, in die die Flaschen von einem beweglichen Deckel eingeführt werden, der zuvor mit einem Mündungsbereich der Flaschen verbunden wurde. Auch hieraus sind Einrichtungen zum Halten der Flaschen im Halsbereich bekannt.
  • Die WO 00/ 58 631 A1 zeigt ebenfalls bereits die Anordnung von Plasmastationen auf einem rotierenden Rad und beschreibt für eine derartige Anordnung eine gruppenweise Zuordnung von Unterdruckpumpen und Plasmastationen, um eine günstige Evakuierung der Kammern sowie der Innenräume der Flaschen zu unterstützen. Darüber hinaus wird die Beschichtung von mehreren Behältern in einer gemeinsamen Plasmastation bzw. einer gemeinsamen Kavität erwähnt.
  • Eine weitere Anordnung zur Durchführung einer Innenbeschichtung von Flaschen wird in der WO 99/ 17 334 A1 beschrieben. Es wird hier insbesondere eine Anordnung eines Mikrowellengenerators oberhalb der Plasmakammer sowie eine Vakuum- und Betriebsmittelzuleitung durch einen Boden der Plasmakammer hindurch beschrieben. Die Flaschen werden in der Kammer durch gegeneinander bewegbare Klemmeinrichtungen gehalten. Dass Klemmeinrichtungen zum Halten von Flaschen schwenkbar ausgebildet sein können, ist aus der DE 699 00 777 T2 bekannt.
  • Bei der überwiegenden Anzahl der bekannten Verfahren werden zur Verbesserung von Barriereeigenschaften des thermoplastischen Kunststoffmaterials durch das Plasma erzeugte Behälterschichten aus Siliziumoxiden mit der allgemeinen chemischen Formel SiOx verwendet. Derartige Barriereschichten verhindern ein Eindringen von Sauerstoff in die verpackten Flüssigkeiten sowie ein Austreten von Kohlendioxid bei CO2-haltigen Flüssigkeiten.
  • Die bislang bekannten Verfahren und Vorrichtungen sind noch nicht in ausreichender Weise dafür geeignet, für eine Massenproduktion eingesetzt zu werden, bei der sowohl ein geringer Beschichtungspreis je Werkstück als auch eine hohe Produktionsgeschwindigkeit erreicht werden muß.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren der einleitend genannten Art derart anzugeben, daß eine Handhabung der zu behandelnden Werkstücke mit hoher Geschwindigkeit und großer Zuverlässigkeit unterstützt wird.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Werkstück durch mindestens zwei relativ zueinander positionierbare Klemmelemente des Halteelementes in Form von verschwenkbar gelagerten Haltearmen derart beaufschlagt wird, daß das Werkstück von einem Klemmraum zwischen den Klemmelementen aufgenommen wird. Zur Vermeidung einer ungesteuerten Bewegung des Halteelementes in einem geschlossenen Zustand der Plasmakammer ist erfindungsgemäss vorgesehen, daß Arretierungselemente zur Fixierung der Haltearme gemeinsam mit der Kammerwandung positioniert werden.
  • Weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung der einleitend genannten Art derart zu konstruieren, daß eine einfache Bewegungskinematik der zu behandelnden Werkstücke unterstützt wird.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Halteelement mindestens zwei relativ zueinander positionierbare Klemmelemente in Form von zangenartig angeordneten Haltearmen aufweist, die relativ zueinander mit einem einen Klemmraum bereitstellenden Abstand zur Aufnahme des Werkstückes angeordnet sind. Erfindungsgemäss sind zur Fixierung der Haltearme Arretierungselemente vorgesehen, die gemeinsam mit der Kammerwandung positionierbar sind.
  • Vorzugsweise wird das Werkstück von verschwenkbar gelagerten Haltearmen positioniert, wodurch ein einfaches Öffnen und Schließen des Halteelements unterstützt wird.
  • Durch die Fixierung der Werkstücke zwischen den positionierbaren Klemmelementen des Halteelementes ist es möglich, die zu behandelnden Werkstücke auf einem im wesentlichen gleichbleibenden Höhenniveau zu transportieren. Es wird hierdurch die Zeit für eine gemäß dem Stand der Technik durchzuführende Höhenpositionierung der Werkstücke sowie der hierfür erforderliche konstruktive Aufwand eingespart.
  • Der verfahrenstechnische Ablauf bei der Handhabung der Werkstücke erfolgt derart, daß zunächst für ein Einsetzen der Werkstücke in die Plasmakammer eine Öffnung der Plasmakammer zumindest soweit erfolgt, daß die Werkstücke an das Halteelement übergeben werden können. Insbesondere ist daran gedacht, die Übergabe derart durchzuführen, daß die Werkstücke von einem Transferelement an das Halteelement übergeben werden, so daß kein eigenständiger Bewegungsantrieb für das Halteelement erforderlich ist. Nach einer Positionierung der Werkstücke durch das Halteelement innerhalb der Plasmakammer erfolgt zu einem vorgebbaren Zeitpunkt ein Hochfahren des Dichtelementes und hierdurch eine Abdichtung des Innenraumes des Werkstückes relativ zum Innenraum der Plasmakammer.
  • Eine derartige Abdichtung kann sowohl bereits zu einem Beginn des Evakuierungsvorganges als auch nach einer bereits durchgeführten Teilevakuierung erfolgen. Eine Abdichtung erst nach einer Teilevakuierung weist den Vorteil auf, daß ein Innenraum des Werkstückes und der weitere Innenraum der Plasmakammer zunächst gemeinsam evakuiert werden können und daß in einem zweiten Evakuierungsschritt nach einer Abdichtung des Innenraumes des Werkstückes der Unterdruck im Bereich des Innenraumes des Werkstückes unterschiedlich zum Unterdruck im weiteren Innenraum der Plasmakammer vorgegeben werden kann. Insbesondere ist hierbei daran gedacht, den Unterdruck im Innenraum des Werkstückes tiefer als im weiteren Innenraum der Plasmakammer vorzugeben.
  • Nach einer Durchführung des Bearbeitungsvorganges und einem Wiedererreichen des Umgebungsdruckes innerhalb der Plasmakammer sowie innerhalb des Werkstückes erfolgt eine Übergabe des Werkstückes vom Halteelement an ein weiteres Transferelement. Der Übergabevorgang wird vorzugsweise derart durchgeführt, daß sich das Transferelement an das Halteelement annähert, das Werkstück übernimmt und dann das Werkstück abtransportiert.
  • Eine günstige Schwerkrafteinleitung wird dadurch unterstützt, daß die Positionierung der Klemmelemente in einer horizontalen Richtung durchgeführt wird.
  • Eine einfache Durchführung von Übergabevorgängen wird dadurch unterstützt, daß das Werkstück von zangenartigen Haltearmen positioniert wird.
  • Bei einer Beschichtung von hohlen Werkstücken, die mit ihrer Mündung nach unten angeordnet sind, erweist es sich als vorteilhaft, daß eine Evakuierung einer Kavität der Plasmastation durch den Kammerboden hindurch erfolgt.
  • Eine gerätetechnisch einfache Realisierung wird ebenfalls dadurch unterstützt, daß durch den Kammerboden hindurch Prozeßgas zugeführt wird.
  • Eine schnelle und gleichmäßige Verteilung des Prozeßgases in einem Innenraum des Werkstückes kann dadurch erreicht werden, daß das Prozeßgas durch eine Lanze hindurch in einen Innenraum des Werkstückes zugeführt wird.
  • Zur Vorgabe einer automatischen Einnahme einer Halterungspositionierung wird vorgeschlagen, daß die Haltearme von Federn in eine Arretierungspositionierung gedrückt werden.
  • Ein Einsetzen des Werkstückes in das Halteelement wird dadurch unterstützt, daß die Haltearme bei einem Einführen des Werkstückes in den Klemmraum auseinander gedrückt werden.
  • Zur Erleichterung einer Entnahme des Werkstückes aus dem Halteelement wird vorgeschlagen, daß die Haltearme bei einem Herausziehen des Werkstückes aus dem Klemmraum auseinander gedrückt werden. Insbesondere ist daran gedacht, das Auseinanderdrücken durch einen unmittelbaren Kontakt zwischen dem Werkstück und den Haltearmen hervorzurufen.
  • Eine sehr sichere Fixierung des Werkstückes kann dadurch erreicht werden, daß etwa auf einem gleichen Höhenniveau wie die Haltearme ein Anschlagelement zur Fixierung des Werkstückes angeordnet wird.
  • Zur Unterstützung einer steuerbaren Zündung des Plasmas wird vorgeschlagen, daß im Bereich des Kammerdeckels von einem Mikrowellengenerator erzeugte Mikrowellen in die Kavität eingeleitet werden.
  • Eine typische Anwendung besteht darin, daß ein Werkstück aus einem thermoplastischen Kunststoff behandelt wird.
  • Insbesondere ist daran gedacht daß ein Innenraum des Werkstückes behandelt wird.
  • Ein umfangreiches Anwendungsgebiet wird dadurch erschlossen, daß als Werkstück ein Behälter behandelt wird.
  • Insbesondere ist dabei daran gedacht, daß als Werkstück eine Getränkeflasche behandelt wird.
  • Eine hohe Produktionsrate bei großer Zuverlässigkeit und hoher Produktqualität kann dadurch erreicht werden, daß die mindestens eine Plasmastation von einem rotierenden Plasmarad von einer Eingabepositionierung in eine Ausgabepositionierung überführt wird.
  • Eine Vergrößerung der Produktionskapazität bei nur geringfügig gesteigertem gerätetechnischen Aufwand kann dadurch erreicht werden, daß von einer Plasmastation mehrere Kavitäten bereitgestellt werden.
  • Für Anwendungen im Bereich der Herstellung von Verpackungen für Flüssigkeiten erweist es sich als besonders vorteilhaft, daß das Werkstück in einem Mündungsbereich von den Haltearmen fixiert wird.
  • Eine typische Anwendung wird dadurch definiert, daß als Plasmabehandlung eine Plasmabeschichtung durchgeführt wird.
  • Insbesondere ist daran gedacht, daß die Plasmabehandlung unter Verwendung eines Niederdruckplasmas durchgeführt wird.
  • Bei einer Beschichtung von Werkstücken aus Kunststoff erweist es sich als vorteilhaft, daß eine Plasmapolymerisation durchgeführt wird.
  • Eine gute Oberflächenhaftung wird dadurch unterstützt, daß durch das Plasma mindestens zum Teil organische Substanzen abgeschieden werden.
  • Besonders vorteilhafte Verwendungseigenschaften bei Werkstücken zur Verpackung von Lebensmitteln können dadurch erreicht werden, daß durch das Plasma mindestens zum Teil anorganische Substanzen abgeschieden werden.
  • Bei der Behandlung von Verpackungen ist insbesondere daran gedacht, daß durch das Plasma eine Substanz zur Verbesserung von Barriereeigenschaften des Werkstückes abgeschieden wird.
  • Zur Unterstützung einer hohen Gebrauchsqualität wird vorgeschlagen, daß zusätzlich ein Haftvermittler zur Verbesserung eines Anhaftens der Substanz auf einer Oberfläche des Werkstückes abgeschieden wird.
  • Eine hohe Produktivität kann dadurch unterstützt werden, daß in einer gemeinsamen Kavität mindestens zwei Werkstücke gleichzeitig behandelt werden.
  • Ein weiteres Anwendungsgebiet besteht darin, daß als Plasmabehandlung eine Plasmasterilisation durchgeführt wird.
  • Ebenfalls ist daran gedacht, daß als Plasmabehandlung eine Oberflächenaktivierung des Werkstückes durchgeführt wird.
  • Eine belastungsfähige Bereitstellung der Federkräfte kann dadurch erfolgen, daß die Federverspannungen von Schenkelfedern bereitgestellt sind. Alternativ können die Federkräfte auch von Druckfedern erzeugt werden.
  • Zur Verhinderung einer ungewollten Veränderung einer Positionierung des Werkstückes innerhalb der Plasmakammer wird vorgeschlagen, daß die Haltearme im Bereich ihrer den Fixierungsvorsprüngen abgewandten Ausdehnung mit Arretierstegen versehen sind.
  • Eine einfache mechanische Realisierung kann dadurch erfolgen, daß die Arretierstege von Arretierelementen festsetzbar sind.
  • Zur Unterstützung einer dauerhaften Betriebsfähigkeit auch unter Berücksichtigung konstruktiver Toleranzen wird vorgeschlagen, daß die Arretierelemente aus einem gehärteten Material ausgebildet sind.
  • Eine weitere Verbesserung der Positioniersicherheit des Werkstückes kann dadurch hervorgerufen werden, daß das Halteelement mit einem Anschlagelement für das Werkstück versehen ist.
  • Für eine Plasmabehandlung von flaschenartigen Werkstücken erweist es sich als besonders vorteilhaft, daß das Anschlagelement und die Fixierungsvorsprünge auf einem Höhenniveau zur Beaufschlagung eines flaschenförmigen Werkstückes zwischen dessen Stützring und dessen Schulterbereich angeordnet sind.
  • In den Zeichnungen sind Ausführungsbeispiele der Erfindung schematisch dargestellt. Es zeigen:
    • 1 Eine Prinzipskizze einer Mehrzahl von Plasmakammern, die auf einem rotierenden Plasmarad angeordnet sind und bei der das Plasmarad mit Eingabe- und Ausgaberädern gekoppelt ist.
    • 2 eine Anordnung ähnlich zu 1, bei der die Plasmastation jeweils mit zwei Plasmakammern ausgestattet sind,
    • 3 eine perspektivische Darstellung eines Plasmarades mit einer Vielzahl von Plasmakammern,
    • 4 eine perspektivische Darstellung einer Plasmastation mit einer Kavität,
    • 5 eine Vorderansicht der Vorrichtung gemäß 4 mit geschlossener Plasmakammer,
    • 6 einen Querschnitt gemäß Schnittlinie VI-VI in 5,
    • 7 eine Darstellung entsprechend 5 mit geöffneter Plasmakammer,
    • 8 einen Vertikalschnitt gemäß Schnittlinie VIII-VIII in 7,
    • 9 eine vergrößerte Darstellung der Plasmakammer mit zu beschichtender Flasche gemäß 6,
    • 10 eine nochmals vergrößerte Darstellung eines Anschlußelementes zur Halterung des Werkstückes in der Plasmakammer,
    • 11 eine schematische Darstellung einer Positionierung eines flaschenförmigen Werkstückes innerhalb der Plasmakammer unter Verwendung eines zangenartigen Halteelementes,
    • 12 eine Draufsicht auf das Halteelement gemäß 11 ohne Darstellung des Werkstückes,
    • 13 eine perspektivische Darstellung des Halteelementes gemäß 12 und
    • 14 eine perspektivische Darstellung des Halteelementes gemäß 13 mit eingesetztem flaschenartigem Werkstück sowie positionierten Arretierelementen.
  • Aus der Darstellung in 1 ist ein Plasmamodul (1) zu erkennen, das mit einem rotierenden Plasmarad (2) versehen ist. Entlang eines Umfanges des Plasmarades (2) sind eine Mehrzahl von Plasmastationen (3) angeordnet. Die Plasmastationen (3) sind mit Kavitäten (4) bzw. Plasmakammern (17) zur Aufnahme von zu behandelnden Werkstücken (5) versehen.
  • Die zu behandelnden Werkstücke (5) werden dem Plasmamodul (1) im Bereich einer Eingabe (6) zugeführt und über ein Vereinzelungsrad (7) an ein Übergaberad (8) weitergeleitet, das mit positionierbaren Tragarmen (9) ausgestattet ist. Die Tragarme (9) sind relativ zu einem Sockel (10) des Übergaberades (8) verschwenkbar angeordnet, so daß eine Abstandsveränderung der Werkstücke (5) relativ zueinander durchgeführt werden kann. Hierdurch erfolgt eine Übergabe der Werkstücke (5) vom Übergaberad (8) an ein Eingaberad (11) mit einem relativ zum Vereinzelungsrad (7) vergrößerten Abstand der Werkstücke (5) relativ zueinander. Das Eingaberad (11) übergibt die zu behandelnden Werkstücke (5) an das Plasmarad (2). Nach einer Durchführung der Behandlung werden die behandelten Werkstücke (5) von einem Ausgaberad (12) aus dem Bereich des Plasmarades (2) entfernt und in den Bereich einer Ausgabestrecke (13) überführt.
  • Bei der Ausführungsform gemäß 2 sind die Plasmastationen (3) jeweils mit zwei Kavitäten (4) bzw. Plasmakammern (17) ausgestattet. Hierdurch können jeweils zwei Werkstücke (5) gleichzeitig behandelt werden. Grundsätzlich ist es hierbei möglich, die Kavitäten (4) vollständig voneinander getrennt auszubilden, grundsätzlich ist es aber auch möglich, in einem gemeinsamen Kavitätenraum lediglich Teilbereiche derart gegeneinander abzugrenzen, daß eine optimale Beschichtung aller Werkstücke (5) gewährleistet ist. Insbesondere ist hierbei daran gedacht, die Teilkavitäten zumindest durch separate Mikrowelleneinkopplungen gegeneinander abzugrenzen.
  • 3 zeigt eine perspektivische Darstellung eines Plasmamoduls (1) mit teilweise aufgebautem Plasmarad (2). Die Plasmastationen (3) sind auf einem Tragring (14) angeordnet, der als Teil einer Drehverbindung ausgebildet und im Bereich eines Maschinensockels (15) gelagert ist. Die Plasmastationen (3) weisen jeweils einen Stationsrahmen (16) auf, der Plasmakammern (17) haltert. Die Plasmakammern (17) weisen zylinderförmige Kammerwandungen (18) sowie Mikrowellengeneratoren (19) auf.
  • In einem Zentrum des Plasmarades (2) ist ein Drehverteiler (20) angeordnet, über den die Plasmastationen (3) mit Betriebsmitteln sowie Energie versorgt werden. Zur Betriebsmittelverteilung können insbesondere Ringleitungen (21) eingesetzt werden.
  • Die zu behandelnden Werkstücke (5) sind unterhalb der zylinderförmigen Kammerwandungen (18) dargestellt. Unterteile der Plasmakammern (17) sind zur Vereinfachung jeweils nicht eingezeichnet.
  • 4 zeigt eine Plasmastation (3) in perspektivischer Darstellung. Es ist zu erkennen, daß der Stationsrahmen (16) mit Führungsstangen (23) versehen ist, auf denen ein Schlitten (24) zur Halterung der zylinderförmigen Kammerwandung (18) geführt ist. 4 zeigt den Schlitten (24) mit Kammerwandung (18) in einem angehobenen Zustand, so daß das Werkstück (5) freigegeben ist.
  • Im oberen Bereich der Plasmastation (3) ist der Mikrowellengenerator (19) angeordnet. Der Mikrowellengenerator (19) ist über eine Umlenkung (25) und einen Adapter (26) an einen Kopplungskanal (27) angeschlossen, der in die Plasmakammer (17) einmündet. Grundsätzlich kann der Mikrowellengenerator (19) sowohl unmittelbar im Bereich des Kammerdeckels (31) als auch über ein Distanzelement an den Kammerdeckel (31) angekoppelt mit einer vorgebbaren Entfernung zum Kammerdeckel (31) und somit in einem größeren Umgebungsbereich des Kammerdeckels (31) angeordnet werden. Der Adapter (26) hat die Funktion eines Übergangselementes und der Kopplungskanal (27) ist als ein Koaxialleiter ausgebildet. Im Bereich einer Einmündung des Kopplungskanals (27) in den Kammerdeckel (31) ist ein Quarzglasfenster angeordnet. Die Umlenkung (25) ist als ein Hohlleiter ausgebildet.
  • Das Werkstück (5) wird im Bereich eines Dichtelementes (28) positioniert, das im Bereich eines Kammerbodens (29) angeordnet ist. Der Kammerboden (29) ist als Teil eines Kammersockels (30) ausgebildet. Zur Erleichterung einer Justage ist es möglich, den Kammersockel (30) im Bereich der Führungsstangen (23) zu fixieren. Eine andere Variante besteht darin, den Kammersockel (30) direkt am Stationsrahmen (16) zu befestigen. Bei einer derartigen Anordnung ist es beispielsweise auch möglich, die Führungsstangen (23) in vertikaler Richtung zweiteilig auszuführen.
  • 5 zeigt eine Vorderansicht der Plasmastation (3) gemäß 3 in einem geschlossenen Zustand der Plasmakammer (17). Der Schlitten (24) mit der zylinderförmigen Kammerwandung (18) ist hierbei gegenüber der Positionierung in 4 abgesenkt, so daß die Kammerwandung (18) gegen den Kammerboden (29) gefahren ist. In diesem Positionierzustand kann die Plasmabeschichtung durchgeführt werden.
  • 6 zeigt in einer Vertikalschnittdarstellung die Anordnung gemäß 5. Es ist insbesondere zu erkennen, daß der Kopplungskanal (27) in einen Kammerdeckel (31) einmündet, der einen seitlich überstehenden Flansch (32) aufweist. Im Bereich des Flansches (32) ist eine Dichtung (33) angeordnet, die von einem Innenflansch (34) der Kammerwandung (18) beaufschlagt wird. In einem abgesenkten Zustand der Kammerwandung (18) erfolgt hierdurch eine Abdichtung der Kammerwandung (18) relativ zum Kammerdeckel (31). Eine weitere Dichtung (35) ist in einem unteren Bereich der Kammerwandung (18) angeordnet, um auch hier eine Abdichtung relativ zum Kammerboden (29) zu gewährleisten.
  • In der in 6 dargestellten Positionierung umschließt die Kammerwandung (18) die Kavität (4), so daß sowohl ein Innenraum der Kavität (4) als auch ein Innenraum des Werkstückes (5) evakuiert werden können. Zur Unterstützung einer Zuleitung von Prozeßgas ist im Bereich des Kammersockels (30) eine hohle Lanze (36) angeordnet, die in den Innenraum des Werkstückes (5) hineinverfahrbar ist. zur Durchführung einer Positionierung der Lanze (36) wird diese von einem Lanzenschlitten (37) gehaltert, der entlang der Führungsstangen (23) positionierbar ist. Innerhalb des Lanzenschlittens (37) verläuft ein Prozeßgaskanal (38), der in der in 6 dargestellten angehobenen Positionierung mit einem Gasanschluß (39) des Kammersockels (30) gekoppelt ist. Durch diese Anordnung werden schlauchartige Verbindungselemente am Lanzenschlitten (37) vermieden.
  • 7 und 8 zeigen die Anordnung gemäß 5 und 6 in einem angehobenen Zustand der Kammerwandung (18). In diesem Positionierungszustand der Kammerwandung (18) ist es problemlos möglich, das behandelte Werkstück (5) aus dem Bereich der Plasmastation (3) zu entfernen und ein neues zu behandelndes Werkstück (5) einzusetzen. Alternativ zu der in den Zeichnungen dargestellten Positionierung der Kammerwandung (18) in einem durch Verschiebung nach oben erreichten geöffneten Zustand der Plasmakammer (17) ist es auch möglich, den Öffnungsvorgang durch eine Verschiebung einer konstruktiv modifizierten hülsenförmigen Kammerwandung in vertikaler Richtung nach unten durchzuführen.
  • Im dargestellten Ausführungsbeispiel besitzt der Kopplungskanal (27) eine zylinderförmige Gestaltung und ist im wesentlichen koaxial zur Kammerwandung (18) angeordnet.
  • 9 zeigt den Vertikalschnitt gemäß 6 in einer vergrößerten teilweisen Darstellung in einer Umgebung der Kammerwandung (18). Zu erkennen ist insbesondere das Übergreifen des Innenflansches (34) der Kammerwandung (18) über den Flansch (32) des Kammerdeckels (31) und die Halterung des Werkstückes (5) durch das Halteelement (28). Darüber hinaus ist zu erkennen, daß die Lanze (36) durch eine Ausnehmung (40) des Halteelementes (28) hindurchgeführt ist.
  • Die Positionierung des Werkstückes (5) im Bereich des Dichtelementes (28) ist in der nochmals vergrößerten Darstellung in 10 zu erkennen. Das Dichtelement (28) ist in eine Führungshülse (41) eingesetzt, die mit einer Federkammer (42) versehen ist. In die Federkammer (42) ist eine Druckfeder (43) eingesetzt, die einen Außenflansch (44) des Dichtelementes (28) relativ zur Führungshülse (41) verspannt.
  • In der in 10 dargestellten Positionierung ist ein an der Lanze (36) montierter Schubteller (45) gegen den Außenflansch (44) geführt und drückt das Dichtelement (28) in seine obere Endpositionierung. In dieser Positionierung ist ein Innenraum des Werkstückes (5) gegenüber dem Innenraum der Kavität (4) isoliert. In einem abgesenkten Zustand der Lanze (36) verschiebt die Druckfeder (43) das Dichtelement (28) relativ zur Führungshülse (41) derart, daß eine Verbindung zwischen dem Innenraum des Werkstückes (5) und dem Innenraum der Kavität (4) geschaffen ist.
  • 11 zeigt die Positionierung des Werkstückes (5) innerhalb der Plasmakammer (17) mit Hilfe eines Halteelementes (46). Das Halteelement (46) ist zangenartig ausgebildet und besitzt zwei verschwenkbar gelagerte Haltearme (47, 48). Die Haltearme (47, 48) sind relativ zu Drehachsen (49, 50) verschwenkbar. Zur Gewährleistung einer automatischen Fixierung des Werkstückes (5) durch das Halteelement (46) werden die Haltearme (47, 48) von Federn (51, 52) in eine jeweilige Haltepositionierung gedrückt. vorzugsweise ist an die Verwendung von Schenkelfedern (51, 52) gedacht.
  • Das Halteelement (46) ist oberhalb des Kammersockels (30) angeordnet, so daß nach einem Anheben der Kammerwandung (18) eine seitliche Zugänglichkeit des Halteelements (46) gegeben ist. Das Werkstück (5) kann hierdurch von einem Positionierelement an das Halteelement (46) übergeben werden, ohne daß eine Hubbewegung des Werkstückes (5) in Richtung einer Kavitätenlängsachse (53) erfolgen muß.
  • 12 zeigt in einer Draufsicht das Halteelement (46) gemäß 11 nach einer Entfernung des Werkstückes (5). Es ist insbesondere zu erkennen, daß zwischen den Haltearmen (47, 48) ein Klemmraum (54) zur Aufnahme des Werkstückes (5) angeordnet ist. Die Haltearme (47, 48) ragen mit Fixierungsvorsprüngen (55, 56) in den Klemmraum (54) hinein. Darüber hinaus weisen die Haltearme (47, 48) den Fixierungsvorsprüngen (55, 56) abgewandt angeordnete Arretierstege (57, 58) auf, die von Arretierelementen (59, 60), die vorzugsweise gemeinsam mit der Kammerwandung (18) positionierbar sind, in einer Arretierungsposition fixiert werden können.
  • Zur weiteren Abstützung und Fixierung des Werkstückes (5) weist das Halteelement (46) ein Anschlagelement (61) auf. Das Anschlagelement (6) begrenzt ein maximales Einführen des Werkstückes (5) in den Klemmraum (54). In der Arretierungspositionierung wird das Werkstück (5) von den Fixierungsvorsprüngen (55, 56) gegen das Anschlagelement (61) gedrückt. Das Anschlagelement (61) und die Fixierungsvorsprünge (55, 56) sind hierdurch auf einem etwa gleichen Höhenniveau angeordnet.
  • 12 zeigt zusätzlich das Dichtelement (28) sowie die Lanze (36) auf einem aufgrund der gewählten Blickrichtung bezüglich der Zeichnungsebene niedrigeren Höhenniveau als das Halteelement (46).
  • 13 zeigt das Halteelement (46) gemäß 12 in einer perspektivischen Darstellung und ohne Abbildung der Arretierelemente (59, 60). Es ist insbesondere zu erkennen, daß das Halteelement (46) eine Grundplatte (62) aufweist, von der die Haltearme (47, 48) sowie die weiteren Bauelemente getragen sind. Die Grundplatte (62) kann über Distanzelemente (63, 64) sowie Verbindungselemente (65, 66) im Bereich des Stationsrahmens (16) montiert werden. Insbesondere ist daran gedacht, eine Montage auf dem Kammersockel (30) durchzuführen.
  • 13 zeigt ebenfalls, daß die Fixierungsvorsprünge (55, 56) jeweils mit Einführanschrägungen (67) und Auslaßanschrägungen (68) versehen sind. Bei einem Einführen der Werkstücke (5) in den Klemmraum (54) kommt das Werkstück (5) zunächst in Kontakt mit den Einführanschrägungen (67) und drückt die Haltearme (47, 48) entgegen der Kräfte der Federn (51, 52) auseinander. Nach einem vollständigem Einführen des Werkstückes (5) in den Klemmraum (54) kehren die Haltearme (47, 48) aufgrund der Kräfte der Federn (51, 52) automatisch in die Arretierungspositionierung zurück und drücken das Werkstück (5) gegen das Anschlagelement (61). Das Werkstück (5) ist hierdurch innerhalb der Plasmakammer (17) fixiert.
  • Nach einer Fertigstellung der Behandlung des Werkstückes (5) wird das Werkstück (5) von einem Transferelement ergriffen und gegen die Auslaßanschrägungen (68) gezogen. Die Auslaßanschrägung (68) ist vorzugsweise gekrümmt und mit einem Krümmungsverlauf entsprechend einer Außenkontur des Werkstückes (5) im Kontaktbereich ausgebildet. Die Haltearme (47, 48) werden hierdurch wieder auseinandergeführt und geben das Werkstück (5) frei. Insbesondere ist daran gedacht, das Transferelement mit gesteuerten Zangenarmen zu versehen. Die gesteuerten Zangenarme ermöglichen ein aktives Greifen der Werkstücke (5) und unterstützen die Aufbringung von Druckkräften und Zugkräften auf die Einführanschrägungen (67) bzw. die Auslaßanschrägungen (68). Insbesondere ist daran gedacht, die gesteuerten Zangen der Transferelemente auf einem im wesentlichen gleichen Höhenniveau wie die Haltearme (47, 48) bzw. auf einem etwas tieferen oder höheren Niveau auf das Werkstück (5) einwirken zu lassen. Hierdurch wird die Einleitung von Kippkräften in das Werkstück (5) vermieden bzw. stark vermindert.
  • 14 zeigt die Anordnung gemäß 13 nach einem Einsetzen eines flaschenartigen Werkstückes (5), das zwischen einem Stützring (69) und einem Schulterbereich (70) von den Haltearmen (47, 48) beaufschlagt ist. Eine Halterung eines derartigen flaschenartigen Werkstückes (5) im dargestellten Halsbereich führt zu einer sehr stabilen Fixierung des Werkstückes (5). In 14 sind zusätzlich die Arretierelemente (59, 60) dargestellt. Die Arretierelemente (59, 60) werden gemeinsam mit der Kammerwandung (18) positioniert. In der dargestellten Anordnung blockieren die Arretierelemente (59, 60) eine Bewegung der Haltearme (47, 48), so daß ein unkontrolliertes Öffnen des Halteelementes (46) sicher unterbunden ist.
  • Ein typischer Behandlungsvorgang wird im folgenden am Beispiel eines Beschichtungsvorganges erläutert und derart durchgeführt, daß zunächst das Werkstück (5) unter Verwendung des Eingaberades (11) zum Plasmarad (2) transportiert wird und daß in einem hochgeschobenen Zustand der hülsenartigen Kammerwandung (18) das Einsetzen des Werkstückes (5) in die Plasmastation (3) erfolgt. Zum Einsetzen des Werkstückes (5) wird das Werkstück (5) zunächst von einem Transferelement in den Klemmraum (54) eingesetzt. Nach einer Fixierung des Werkstückes (5) durch die Haltearme (47, 48) öffnet die gesteuerte Haltezange des Transferelementes und gibt das Werkstück (5) frei. Nach einem Abschluß des Einsetzvorganges wird die Kammerwandung (18) in ihre abgedichtete Positionierung abgesenkt und zunächst gleichzeitig eine Evakuierung sowohl der Kavität (4) als auch eines Innenraumes des Werkstückes (5) durchgeführt.
  • Nach einer ausreichenden Evakuierung des Innenraumes der Kavität (4) wird die Lanze (36) in den Innenraum des Werkstückes (5) eingefahren und durch eine Verschiebung des Dichtelementes (28) eine Abschottung des Innenraumes des Werkstückes (5) gegenüber dem Innenraum der Kavität (4) durchgeführt. Ebenfalls ist es möglich, die Lanze (36) bereits synchron zur beginnenden Evakuierung des Innenraumes der Kavität in das Werkstück (5) hinein zu verfahren. Der Druck im Innenraum des Werkstückes (5) wird anschließend noch weiter abgesenkt. Darüber hinaus ist auch daran gedacht, die Positionierbewegung der Lanze (36) wenigstens teilweise bereits parallel zur Positionierung der Kammerwandung (18) durchzuführen. Nach Erreichen eines ausreichend tiefen Unterdruckes wird Prozeßgas in den Innenraum des Werkstückes (5) eingeleitet und mit Hilfe des Mikrowellengenerators (19) das Plasma gezündet. Insbesondere ist daran gedacht, mit Hilfe des Plasmas sowohl einen Haftvermittler auf eine innere Oberfläche des Werkstückes (5) als auch die eigentliche Barriereschicht aus Siliziumoxiden abzuscheiden.
  • Nach einem Abschluß des Beschichtungsvorganges wird die Lanze (36) wieder aus dem Innenraum des Werkstückes (5) entfernt und die Plasmakammer (17) sowie der Innenraum des Werkstückes (5) werden belüftet. Nach Erreichen des Umgebungsdruckes innerhalb der Kavität (4) wird die Kammerwandung (18) wieder angehoben, um eine Entnahme des beschichteten Werkstückes (5) sowie eine Eingabe eines neuen zu beschichtenden Werkstückes (5) durchzuführen. Zur Ermöglichung einer seitlichen Positionierung des Werkstückes (5) wird das Dichtelement (28) mindestens bereichsweise wieder in den Kammersockel (3) hinein verfahren. Zur Durchführung der Entnahme des Werkstückes wird erneut ein Transferelement mit einer gesteuerten Zange im Bereich des Halteelementes (46) positioniert und die gesteuerte Zange des Transferelementes greift auf das Werkstück (5) zu. Das derart gehalterte Werkstück wird dann aus dem Halteelement (46) herausgezogen, wobei die Haltearme (47, 48) entgegen der Kräfte der Federn (51, 52) auseinander gedrückt werden.
  • Alternativ zur erläuterten Innenbeschichtung von Werkstücken (5) können auch Außenbeschichtungen, Sterilisationen oder Oberflächenaktivierungen durchgeführt werden. Bei derartigen Ausführungsformen ergreift das Halteelement (46) bei flaschenartigen Werkstücken (5) das Werkstück (5) vorzugsweise im Gewindebereich bzw. mit geringem Abstand zur Mündungsöffnung.
  • Eine Positionierung der Kammerwandung (18), des Dichtelementes (28) und / oder der Lanze (36) kann unter Verwendung unterschiedlicher Antriebsaggregate erfolgen. Grundsätzlich ist die Verwendung pneumatischer Antriebe und / oder elektrischer Antriebe, insbesondere in einer Ausführungsform als Linearmotor, denkbar. Insbesondere ist aber daran gedacht, zur Unterstützung einer exakten Bewegungskoordinierung mit einer Rotation des Plasmarades (2) eine Kurvensteuerung zu realisieren. Die Kurvensteuerung kann beispielsweise derart ausgeführt sein, daß entlang eines Umfanges des Plasmarades (2) Steuerkurven angeordnet sind, entlang derer Kurvenrollen geführt werden. Die Kurvenrollen sind mit den jeweils zu positionierenden Bauelementen gekoppelt.

Claims (52)

  1. Verfahren zur Plasmabehandlung von Werkstücken, bei dem das Werkstück in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer einer Behandlungsstation eingesetzt wird und bei dem das Werkstück innerhalb der Behandlungsstation von einem Halteelement positioniert wird, wobei das Werkstück (5) durch mindestens zwei relativ zueinander positionierbare Klemmelemente des Halteelementes (46) in Form von verschwenkbar gelagerten Haltearmen (47, 48) derart beaufschlagt wird, dass das Werkstück (5) von einem Klemmraum (54) zwischen den Klemmelementen aufgenommen wird, dadurch gekennzeichnet, dass Arretierungselemente (59, 60) gemeinsam mit einer Kammerwandung (18) zur Fixierung der Haltearme (47, 48) positioniert werden.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Positionierung der Klemmelemente in einer horizontalen Richtung durchgeführt wird.
  3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Evakuierung einer Kavität (4) der Plasmastation (3) durch den Kammerboden (29) hindurch erfolgt.
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass durch den Kammerboden (29) hindurch Prozessgas zugeführt wird.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Prozessgas durch eine Lanze (36) hindurch in einen Innenraum des Werkstückes (5) zugeführt wird.
  6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltearme (47, 48) von Federn in eine Arretierungspositionierung gedrückt werden.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltearme (47, 48) bei einem Einführen des Werkstückes (5) in den Klemmraum (54) auseinander gedrückt werden.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltearme (47, 48) bei einem Herausziehen des Werkstückes (5) aus dem Klemmraum (54) auseinander gedrückt werden.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass etwa auf einem gleichen Höhenniveau wie die Haltearme (47, 48) ein Anschlagelement (61) zur Fixierung des Werkstückes (5) angeordnet wird.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich des Kammerdeckels (31) von einem Mikrowellengenerator (19) erzeugte Mikrowellen in die Kavität (4) eingeleitet werden.
  11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass ein Werkstück (5) aus einem thermoplastischen Kunststoff behandelt wird.
  12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass ein Innenraum eines hohlkörperartigen Werkstückes (5) behandelt wird.
  13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass als Werkstück (5) ein Behälter behandelt wird.
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass als Werkstück (5) eine Getränkeflasche behandelt wird.
  15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Plasmastation (3) von einem rotierenden Plasmarad (2) von einer Eingabepositionierung in eine Ausgabepositionierung überführt wird.
  16. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass von einer Plasmastation (3) mehrere Kavitäten (4) bereitgestellt werden.
  17. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass das Werkstück (5) in einem Mündungsbereich von den Haltearmen (47, 48) fixiert wird.
  18. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass als Plasmabehandlung eine Plasmabeschichtung durchgeführt wird.
  19. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Plasmabehandlung unter Verwendung eines Niederdruckplasmas durchgeführt wird.
  20. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass eine Plasmapolymerisation durchgeführt wird.
  21. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass durch das Plasma mindestens zum Teil organische Substanzen abgeschieden werden.
  22. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass durch das Plasma mindestens zum Teil anorganische Substanzen abgeschieden werden.
  23. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass durch das Plasma eine Substanz zur Verbesserung von Barriereeigenschaften des Werkstückes (5) abgeschieden wird.
  24. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich ein Haftvermittler zur Verbesserung eines Anhaftens der Substanz auf einer Oberfläche des Werkstückes (5) abgeschieden wird.
  25. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass in einer gemeinsamen Kavität mindestens zwei Werkstücke (5) gleichzeitig behandelt werden.
  26. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 25, dadurch gekennzeichnet, dass als Plasmabehandlung eine Plasmasterilisation durchgeführt wird.
  27. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass als Plasmabehandlung eine Oberflächenaktivierung des Werkstückes (5) durchgeführt wird.
  28. Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken, die mindestens eine evakuierbare Plasmakammer zur Aufnahme der Werkstücke aufweist und bei der die Plasmakammer im Bereich einer Behandlungsstation angeordnet ist, sowie bei der die Plasmakammer von einem Kammerboden, einem Kammerdeckel sowie einer seitlichen Kammerwandung begrenzt ist und mindestens ein Halteelement zur Positionierung des Werkstückes aufweist, wobei das Halteelement (46) mindestens zwei relativ zueinander positionierbare Klemmelemente in Form von zangenartig angeordneten Haltearmen (47, 48) aufweist, die relativ zueinander mit einem einen Klemmraum (54) bereitstellenden Abstand zur Aufnahme des Werkstückes (5) angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass zur Fixierung der Haltearme (47, 48) Arretierungselemente (59, 60) vorgesehen sind, die gemeinsam mit der Kammerwandung (18) positionierbar sind.
  29. Vorrichtung nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass die Klemmelemente in einer horizontalen Richtung positionierbar sind.
  30. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 oder 29, dadurch gekennzeichnet, dass für eine Evakuierung einer Kavität (4) der Plasmastation (3) im Kammerboden (29) mindestens ein Vakuumkanal angeordnet ist.
  31. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 30, dadurch gekennzeichnet, dass im Kammerboden (29) mindestens ein Kanal zur Zuführung von Prozessgas angeordnet ist.
  32. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 31, dadurch gekennzeichnet, dass zur Zuführung von Prozessgas in einen Innenraum des Werkstückes (5) hinein eine Lanze (36) relativ zum Kammerboden (29) positionierbar angeordnet ist.
  33. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 32, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltearme (47, 48) relativ zu Drehachsen (49, 50) verschwenkbar angeordnet sind.
  34. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 33, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltearme (47, 48) mit einer Federverspannung in Richtung einer Arretierungspositionierung versehen sind.
  35. Vorrichtung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, dass die Federverspannungen von Schenkelfedern (51, 52) bereitgestellt sind.
  36. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 35, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltearme (47, 48) Fixierungsvorsprünge (55, 56) aufweisen, die jeweils mit einer Einführanschrägung (67) versehen sind.
  37. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 36, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltearme (47, 48) Fixierungsvorsprünge (55, 56) aufweisen, die jeweils mit einer Auslassanschrägung (68) versehen sind.
  38. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 37, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltearme (47, 48) im Bereich ihrer den Fixierungsvorsprüngen (55, 56) abgewandten Ausdehnung mit Arretierstegen (57, 58) versehen sind.
  39. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 38, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich des Kammerdeckels (31) ein Mikrowellengenerator (19) angeordnet ist.
  40. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 39, dadurcl gekennzeichnet, dass die Plasmastation (3) zur Beschichtung eines Werkstückes (5) aus einem thermoplastischen Kunststoff ausgebildet ist.
  41. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 40, dadurch gekennzeichnet, dass die Plasmastation (3) zur Beschichtung eines behälterartigen Werkstückes (5) ausgebildet ist.
  42. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 41, dadurch gekennzeichnet, dass die Plasmastation (3) zur Beschichtung eines Innenraumes eines hohlkörperartigen Werkstückes (5) ausgebildet ist.
  43. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 41, dadurch gekennzeichnet, dass die Plasmastation (3) zur Beschichtung eines Werkstückes (5) in Form einer Getränkeflasche ausgebildet ist.
  44. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 43, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Plasmastation (3) von einem rotierenden Plasmarad (2) getragen ist.
  45. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 44, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich der Plasmastation (3) mehrere Kavitäten (4) angeordnet sind.
  46. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 45, dadurch gekennzeichnet, dass eine zur Bereitstellung von mindestens zwei Kavitäten (4) vorgesehene Kammerwandung (18) positionierbar angeordnet ist.
  47. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 46, dadurch gekennzeichnet, dass die Arretierstege (57, 58) von den Arretierelementen (59, 60) festsetzbar sind.
  48. Vorrichtung nach Anspruch 47, dadurch gekennzeichnet, dass die Arretierelemente (59, 60) aus einem gehärteten Material ausgebildet sind.
  49. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 48, dadurch gekennzeichnet, dass das Halteelement (46) mit einem Anschlagelement (61) für das Werkstück (5) versehen ist.
  50. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 49, dadurch gekennzeichnet, dass die Fixierungsvorsprünge (55, 56) und das Anschlagelement (61) auf einem etwa gleichen Höhenniveau angeordnet sind.
  51. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 50, dadurch gekennzeichnet, dass das Anschlagelement (61) und die Fixierungsvorsprünge (55, 56) auf einem Höhenniveau zur Beaufschlagung eines Mündungsbereiches eines flaschenförmigen Werkstückes (5) angeordnet sind.
  52. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 28 bis 51, dadurch gekennzeichnet, dass das Anschlagelement (61) und die Fixierungsvorsprünge (55, 56) auf einem Höhenniveau zur Beaufschlagung eines flaschenförmigen Werkstückes (5) zwischen dessen Stützring (69) und dessen Schulterbereich (70) angeordnet sind.
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