JP3176558B2 - コーティングフィルムおよびその製造方法 - Google Patents

コーティングフィルムおよびその製造方法

Info

Publication number
JP3176558B2
JP3176558B2 JP01003097A JP1003097A JP3176558B2 JP 3176558 B2 JP3176558 B2 JP 3176558B2 JP 01003097 A JP01003097 A JP 01003097A JP 1003097 A JP1003097 A JP 1003097A JP 3176558 B2 JP3176558 B2 JP 3176558B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
coating film
plastic film
carbon
dlc
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP01003097A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH09272567A (ja
Inventor
英伯 島村
千織 伊藤
昌 白倉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kirin Brewery Co Ltd
Original Assignee
Kirin Brewery Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=27278803&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP3176558(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Kirin Brewery Co Ltd filed Critical Kirin Brewery Co Ltd
Priority to JP01003097A priority Critical patent/JP3176558B2/ja
Priority to KR1019970002915A priority patent/KR100457637B1/ko
Publication of JPH09272567A publication Critical patent/JPH09272567A/ja
Priority to US09/174,453 priority patent/US6045916A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3176558B2 publication Critical patent/JP3176558B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/04—Coating
    • C08J7/06—Coating with compositions not containing macromolecular substances
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/62—Plasma-deposition of organic layers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J5/00—Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
    • C08J5/18—Manufacture of films or sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/04—Coating
    • C08J7/043—Improving the adhesiveness of the coatings per se, e.g. forming primers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/04—Coating
    • C08J7/046—Forming abrasion-resistant coatings; Forming surface-hardening coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/04—Coating
    • C08J7/048—Forming gas barrier coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L101/00—Compositions of unspecified macromolecular compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/26—Deposition of carbon only
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J2300/00—Characterised by the use of unspecified polymers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L2201/00—Properties
    • C08L2201/10—Transparent films; Clear coatings; Transparent materials
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/13—Hollow or container type article [e.g., tube, vase, etc.]
    • Y10T428/1334—Nonself-supporting tubular film or bag [e.g., pouch, envelope, packet, etc.]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/13—Hollow or container type article [e.g., tube, vase, etc.]
    • Y10T428/1334—Nonself-supporting tubular film or bag [e.g., pouch, envelope, packet, etc.]
    • Y10T428/1341—Contains vapor or gas barrier, polymer derived from vinyl chloride or vinylidene chloride, or polymer containing a vinyl alcohol unit
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24802—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.]
    • Y10T428/24851—Intermediate layer is discontinuous or differential
    • Y10T428/24868—Translucent outer layer
    • Y10T428/24884—Translucent layer comprises natural oil, wax, resin, gum, glue, gelatin
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24802—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.]
    • Y10T428/24893—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.] including particulate material
    • Y10T428/24901—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.] including particulate material including coloring matter
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/25—Web or sheet containing structurally defined element or component and including a second component containing structurally defined particles
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/30—Self-sustaining carbon mass or layer with impregnant or other layer
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31—Surface property or characteristic of web, sheet or block
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31678—Of metal
    • Y10T428/31681—Next to polyester, polyamide or polyimide [e.g., alkyd, glue, or nylon, etc.]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31786—Of polyester [e.g., alkyd, etc.]

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、食品分野や医薬品分
野等において使用される包装用フィルムおよびその製造
方法に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】一般に、食品や薬品等
のような湿気や酸素による変質を防止したり異分子の収
着を防止したりする必要のあるものを包装する包装材料
には、アルミニウムを蒸着したフィルムが多く使用され
ている。
【０００３】しかしながら、このアルミニウム蒸着フィ
ルムは、蒸着されたアルミニウムによってフィルムが不
透明になってしまうので、内容物が外から見えるように
したい場合等には使用できず、包装材料としての用途が
限定されてしまうという欠点を有している。
【０００４】このため、透明な包装材料として、プラス
チックフィルムに二酸化ケイ素等の無機酸化物をコーテ
ィングした包装用フィルムも提案されているが、この無
機酸化物コーティングフィルムは、湿気や酸素等の透過
を防止するガスバリア性において上記のアルミニウム蒸
着フィルムよりも劣っており、しかも近年進められてい
る包装材料のリサイクルを行うには、二酸化ケイ素が混
入されてしまうので不向きである。
【０００５】また、上記アルミニウム蒸着フィルムと無
機酸化物コーティングフィルムの何れも、その使用の際
に、フィルムに引張り力が作用して伸びが生じてしまっ
たような場合には、そのガスバリア性が著しく低下して
しまうという問題がある。
【０００６】本願発明は、上記のような従来の食品や薬
品等を包装する包装用フィルムが有している問題点を解
決するためになされたものである。
【０００７】すなわち、本願発明は、透明性を有してお
り、低分子有機化合物（香気成分）の収着を防止出来、
さらに密着性，耐アルカリ性およびガスバリア性にも優
れていてリサイクルが容易であり、かつフィルムに伸び
が生じた場合であってもそのガスバリア性が損なわれる
虞のない包装用のフィルムを提供することを第１の目的
としている。
【０００８】さらに、本願発明は、上記の包装用フィル
ムの製造を、フィルムに皺等を発生させることなく行う
ことができる製造方法を提供することを第２の目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】第１の発明によるコーテ
ィングフィルムは、プラスチックフィルムの少なくとも
一方の表面に、ダイヤモンド状炭素からなる硬質炭素膜
によってコーティング膜が形成され、前記コーティング
膜の組成が、炭素が７５〜５５モルパーセントであり水
素が２５〜４５モルパーセントであることを特徴とす
る。
【００１０】この第１の発明のコーティングフィルム
は、プラスチックフィルムの少なくとも一方の表面にコ
ーティングされた硬質炭素膜によって、プラスチックフ
ィルムに対する酸素や二酸化炭素のような低分子無機ガ
スの透過度が著しく減少されてガスバリア性が向上し、
さらに、臭いを有する各種の低分子有機化合物（香気成
分）の収着が防止される。そして、この硬質炭素膜は、
密着性および耐アルカリ性に優れ、さらに透明性を有し
ているのでコーティングによってプラスチックフィルム
の有する透明性を損なうこともなく、伸びが生じたとき
のガスバリア性の低下もほとんど無い。
【００１１】したがって、この第１の発明によるコーテ
ィングフィルムは、食品や薬品等の包装用のフィルムに
最適であり、しかも硬質炭素膜の組成が炭素と水素であ
るので、リサイクルも容易である。
【００１２】この第１の発明のコーティングフィルム
は、上記組成を有することにより、特に、ガスバリア
性，低分子有機化合物の収着防止性，密着性および耐ア
ルカリ性を向上させることができるとともに、伸びが生
じたときのガスバリア性の低下を防止することが出来
る。
【００１３】第２の発明によるコーティングフィルム
は、第１の発明において、前記コーティング膜の組成
が、炭素が７５モルパーセントであり水素が２５モルパ
ーセントであることを特徴とする。
【００１４】この第２の発明のコーティングフィルム
は、上記組成を有することによって、特に高い耐アルカ
リ性を有し、さらに低分子有機化合物（香気成分）の収
着を完全に防止することが出来るとともに、フィルムに
伸びが生じた際にもガスバリア性がほとんど変動せず良
好なガスバリア性を維持することができる。
【００１５】前記第２の目的を達成するために、第３の
発明によるコーティングフィルムの製造方法は、プラス
チックフィルムにその二軸方向に引張り力を負荷した状
態で、このプラスチックフィルムの少なくとも一方の表
面にプラズマ蒸着法によって硬質炭素コーティング膜を
形成することを特徴とする。
【００１６】この第３の発明によるコーティングフィル
ムの製造方法は、プラズマ蒸着法によってプラスチック
フィルムの表面に硬質炭素コーティング膜を形成する際
に、コーティングの基材であるプラスチックフィルムを
その二軸方向にそれぞれ引っ張って張りを与えた状態に
保持する。そして、原料ガスが供給された真空室内にお
いてこのプラスチックフィルムを挟むように配置された
一対の電極間に電力を投入してプラズマを発生させるこ
とにより、プラスチックフィルムの表面に硬質炭素コー
ティング膜を形成する。
【００１７】このプラズマ蒸着法によってプラスチック
フィルムの表面に硬質炭素コーティング膜を形成する際
には、硬質炭素コーティング膜が、分子力学上、引張り
応力を有する分子と圧縮応力を有する分子との集合であ
り、その形成過程においてこれらの分子による引張り応
力と圧縮応力の分布がプラスチックフィルムに結合する
際のエネルギ状態等の諸条件によって多様に変化するた
め、応力分布にばらつきが生じ、これによって薄いプラ
スチックフィルムに不規則な細かい皺が形成される虞が
あり、またこの皺を伸ばそうとすると硬質炭素コーティ
ング膜に亀裂が入る虞があるが、上記第４の発明による
コーティングフィルムの製造方法によれば、硬質炭素コ
ーティング膜の形成過程において基材であるプラスチッ
クフィルムに二軸方向に引張り力が負荷されていること
によって、この引張り力が、コーティングフィルムの二
軸方向において硬質炭素コーティング膜に発生する圧縮
応力とバランスするために、硬質炭素コーティング膜の
形成過程における皺の発生が防止される。
【００１８】そして、この皺の発生の防止によって、硬
質炭素コーティング膜の形成後にコーティングフィルム
を引き延ばす必要もないので、形成された硬質炭素コー
ティング膜に亀裂を発生させる虞もない。
【００１９】前記第２の目的を達成するために、第４の
発明によるコーティングフィルムの製造方法は、上記第
３の発明の構成に加えて、プラスチックフィルムに形成
される硬質炭素コーティング膜にその形成過程において
発生する圧縮応力の大きさを予め測定しておいて、この
圧縮応力の測定値とほぼ等しくなるように前記プラスチ
ックフィルムの二軸方向に負荷されるそれぞれの引張り
力の大きさを設定することを特徴としている。
【００２０】この第４の発明によるコーティングフィル
ムの製造方法は、第３の発明において、プラスチックフ
ィルムに二軸方向に負荷される引張り力の大きさが、予
め測定された硬質炭素コーティング膜の形成時に発生す
る圧縮応力の測定値とほぼ等しい大きさになるように設
定される。
【００２１】これによって、コーティングフィルムの製
造工程において、硬質炭素コーティング膜の形成時に、
硬質炭素コーティング膜に発生する圧縮応力とプラスチ
ックフィルムの二軸方向にそれぞれ負荷される引張り力
とを完全にバランスさせることができるので、硬質炭素
コーティング膜に発生する圧縮応力によってプラスチッ
クフィルムに細かい不規則な皺が発生するのが完全に防
止される。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、この発明の最良と思われる
実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２３】図１は、本願発明によるコーティングフィ
ルムの一例を示す断面図であり、プラスチックフィルム
１の片側の表面にダイアモンド状炭素からなる硬質炭素
膜（以下、ＤＬＣ（Diamond Like Carbon ）膜という）
２が形成されている。
【００２４】このダイアモンド状炭素からなる硬質炭素
膜とは、ｉカーボンまたは水素化アモルファスカーボン
（ａ−Ｃ：Ｈ）と呼ばれる硬質炭素により炭素間のＳＰ
3 結合を主体にして形成されたアモルファスな炭素膜の
ことを言い、非常に固く絶縁性に優れており、しかも高
い屈折率を有する非常に滑らかなモルフォロジを有して
いる。
【００２５】基材であるプラスチックフィルム１を形成
するプラスチック材としては、ポリエチレン樹脂，ポリ
プロピレン樹脂，ポリスチレン樹脂，シクロオレフィン
コポリマ樹脂，ポリエチレンテレフタレート樹脂，ポリ
エチレンナフタレート樹脂，エチレン−ビニルアルコー
ル共重合樹脂，ポリ−４−メチルペンテン−１樹脂，ポ
リメタクリル酸メチル樹脂，アクリロニトリル樹脂，ポ
リ塩化ビニル樹脂，ポリ塩化ビニリデン樹脂，アクリロ
ニトリル・スチレン樹脂，アクリロニトリル・ブタジエ
ン・スチレン樹脂，ポリアミド樹脂，ポリアミドイミド
樹脂，ポリアセタール樹脂，ポリカーボネート樹脂，ポ
リブチレンテレフタレート樹脂，アイオノマ樹脂，ポリ
スルホン樹脂および４フッ化エチレン樹脂などが挙げら
れる。
【００２６】プラスチックフィルム１の表面にＤＬＣ膜
２を形成するコーティング方法としては、減圧式のプラ
ズマ蒸着法が挙げられる。
【００２７】この減圧式のプラズマ蒸着法とは、真空室
内に互に対向するように配置されて一方が高周波電源に
接続され他方がアースされた一対の電極間に、コーティ
ングを行なう基材のプラスチックフィルムを置き、真空
室内を真空にして原料ガスを供給した後、一方の電極に
高周波電源から電力を投入して一対の電極間にプラズマ
を発生させ、このプラズマ中に存在する炭素の原料ガス
をイオン化してプラスチックフィルムの表面に衝突させ
るものである。そして、このプラスチックフィルムの表
面に衝突した炭素イオンが、近接するもの同士で結合す
ることによって、プラスチックフィルムの表面に極めて
緻密なＤＬＣからなる硬質炭素膜を形成するものであ
る。
【００２８】原料ガスとしては、常温で気体または液体
の脂肪族炭化水素類，芳香族炭化水素類，含酸素炭化水
素類，含窒素炭化水素類などが使用される。特に、この
原料ガスには、炭素数が６以上のベンゼン，トルエン，
o-キシレン，m-キシレン，p-キシレン，シクロヘキサン
等が望ましい。
【００２９】これらの原料は、単独で用いても良いが、
２種以上のガスを混合して使用するようにしても良い。
さらに、これらのガスをアルゴンやヘリウムの様な希ガ
スで希釈して用いるようにしても良い。
【００３０】上記のような方法によって形成されたＤＬ
Ｃ膜によって、フィルムの酸素や二酸化炭素のような低
分子無機ガスに対する透過度を著しく減少させることが
出来るだけでなく、臭いを有する各種の低分子有機化合
物の収着を防止することが出来る。また、このＤＬＣ膜
の形成によって、プラスチックフィルムの有する透明性
が損なわれることもない。
【００３１】なお、ＤＬＣ膜の膜厚および膜質は、高周
波の出力，真空室内の原料ガスの圧力，供給ガス流量，
プラズマ発生時間，電極に発生する自己バイアスおよび
原料ガスの種類等に依存し、高周波出力の増加，真空室
内の原料ガスの圧力減少，供給ガスの流量減少，自己バ
イアスの増加および原料の炭素数の低下等は、何れもＤ
ＬＣ膜の硬化，緻密さの向上，圧縮応力の増大および脆
さに大きな影響を与える。
【００３２】また、ＤＬＣ膜とプラスチックフィルムと
の密着性をさらに向上させるために、ＤＬＣ膜を形成す
る前に、アルゴンや酸素などの無機ガスによってプラズ
マ処理を行い、プラスチックフィルムの表面を活性化さ
せるようにするのが好ましい。
【００３３】この減圧式プラズマ蒸着法によって薄いプ
ラスチックフィルムにＤＬＣ膜を形成する際には、真空
室内において一対の電極間に置かれた基材のプラスチッ
クフィルムの二軸方向に、このプラスチックフィルムに
形成されるＤＬＣ膜にその製膜時に発生する圧縮応力に
相当する引張り力を負荷した状態で、プラズマ蒸着を行
う。
【００３４】図２および３は、上記のようにプラズマ蒸
着を行うプラスチックフィルムに、その二軸方向に引張
り力を負荷する方法の一例を示すものであって、真空室
内に設けられたカソード電極１０上に置かれた基材であ
る方形のプラスチックフィルム１の四辺に、それぞれフ
ィルムの縁部に沿って剛性を有する耐熱テープＴ１〜Ｔ
４が張り付けられ、この各耐熱テープＴ１〜Ｔ４の中央
部にそれぞれ耐熱テープＴ１’〜Ｔ４’がその一端部を
連結されている。
【００３５】各耐熱テープＴ１’〜Ｔ４’はそれぞれ耐
熱テープＴ１〜Ｔ４に対して直角に外方に延びるように
配置されていて、他端部がカソード電極１０を支持する
絶縁板１１の縁から下方に垂れ下げられており、この垂
れ下げられた各耐熱テープＴ１’〜Ｔ４’の他端部に鉛
直下向きに所要の荷重が負荷されるようになっている。
【００３６】この各耐熱テープＴ１’〜Ｔ４’への荷重
の負荷は、ばねを連結したりまたは図示のように分銅Ｗ
を吊り下げたりする等の方法によって行うことができ、
ばねの引張り力を可変にしたり分銅Ｗを交換したりする
ことによって、負荷の大きさを任意に設定することがで
きる。
【００３７】このように、プラスチックフィルム１にそ
の二軸方向に引張り力を負荷した状態でＤＬＣ膜の形成
を行うのは、プラズマ蒸着法によって形成されるＤＬＣ
膜は、図４に示されるように、分子力学上、圧縮応力を
有する分子ｍ１と引張り応力を有する分子ｍ２の結合で
あって、このＤＬＣ膜の形成過程においては、分子ｍ１
による圧縮応力と分子ｍ２による引張り応力との分布
が、これらの分子が加速されて基材であるプラスチック
フィルム１に結合する際のエネルギ状態や真空室内の条
件によって多様に変化するので、無負荷状態のプラスチ
ックフィルム１にＤＬＣ膜を形成する場合には、上記の
ような形成中のＤＬＣ膜における応力分布のばらつきに
よって、プラスチックフィルム１に不規則な細かい皺が
生じてしまうからである。
【００３８】そして、ＤＬＣ膜の形成後に、このＤＬＣ
膜に出来た皺を延ばそうとすると、ＤＬＣ膜に亀裂が入
ってそのガスバリア性等が損なわれる虞があるためであ
る。
【００３９】上記のように、ＤＬＣ膜の形成過程におい
てプラスチックフィルム１に引張り力を負荷しておい
て、ＤＬＣ膜に発生する圧縮応力とバランスさせるよう
にすることにより、プラスチックフィルム１に不規則な
細かい皺が発生するのが防止される。
【００４０】なお、ＤＬＣ膜の形成が終わると、分子ｍ
１とｍ２の二種類の応力が合成されて応力分布のばらつ
きが無くなるため、細かい皺がプラスチックフィルム１
に発生することはない。
【００４１】ＤＬＣ膜の形成過程においてプラスチック
フィルム１に負荷される引張り力の設定は、皺が形成さ
れる虞が無い十分な厚さを有する基板の一方の面に、無
負荷状態において、プラズマ蒸着法によってプラスチッ
クフィルム１に形成するＤＬＣ膜と同じ厚さのＤＬＣ膜
を形成し、このＤＬＣ膜に発生する圧縮応力を予め求め
ておくことによって行われる。
【００４２】すなわち、所要の厚さを有する基板に無負
荷状態でＤＬＣ膜を形成してゆくと、このＤＬＣ膜に発
生する圧縮応力によって基板がカールするため、このカ
ールした基板の曲率半径を測定して、下記の式からＤＬ
Ｃ膜に発生した圧縮応力を算出し、この算出された圧縮
応力と等しい大きさになるように引張り力を設定する。
【００４３】 Ｓ＝｛Ｅｓ・Ｄ2 ／６（１−νS ）｝・（１／Ｒ） Ｓ ：圧縮応力 Ｅｓ：基板のヤング率 νS ：基板のポアソン比 Ｄ ：基板の厚み Ｒ ：ＤＬＣ膜の形成によってカールした基板の曲率半
径 減圧式のプラズマ蒸着法において、高周波出力を１３．
５６ＭＨＺとし、真空室内に０．１ｔｏｒｒのヘキサン
とアルゴンの混合蒸気を加えてプラスチックフィルム１
に蒸着したものをラマン分光法によって評価することに
より、プラスチックフィルム１の表面に形成された膜が
ＤＬＣ膜であることを確認することができる。
【００４４】図５は、上記条件のもとで、原料ガスの組
成を変えてＤＬＣ膜を形成したコーティングフィルムに
ついて、ＤＬＣ膜の密度（比重）および膜厚を測定した
値を示したものである。
【００４５】図６は、図５の各コーティングフィルムに
ついて密着性および耐アルカリ性を示したものである。
この図６において、密着性１とは、コーティングフィル
ム上に描かれた１００の桝目について剥離が生じていな
い桝目の数を示したものである。
【００４６】図７は、図５の各コーティングフィルムに
ついて低分子有機化合物（香気成分）の収着性を示した
ものである。この図７において、実験Ｎｏ．７は、コー
ティングを施していない厚さ２５ミクロンのプラスチッ
クフィルムの収着性を示している。
【００４７】図８は、図５の各コーティングフィルムに
ついてガス透過係数（ガスバリア性）と、各フィルムに
４パーセントの伸びを与えたときのガス透過係数の増加
率を示している。
【００４８】この図８において、実験Ｎｏ．１−Ａ〜７
−Ａが、実験Ｎｏ．１ないし７の各コーティングフィル
ムにそれぞれ４パーセントの伸びを与えたときのガス透
過率を示す値である。そして、括弧内の数値は、それぞ
れのガス透過係数の増加率（ガスバリア性の変動率）、
すなわち伸びが生じた時のガス透過係数を伸びが生じて
いない時のガス透過係数で除した値を示している。
【００４９】この値が１．００に近いほどガスバリア性
に変動がないことを示しており、値が１．０〜１．５の
場合にはほとんど変化しないと判断（◎）され、１．５
〜２．０の場合には多少変化すると判断（○）され、
２．０以上の場合には変化が激しいと判断（×）され
る。
【００５０】上記各図における評価は、それぞれ以下の
方法により行なわれている。
【００５１】(1) ＤＬＣ膜を構成する炭素と水素のモル
組成比 ＲＢＳ測定法およびＥＲＤＡ測定法（J.Crank,"The Mat
hematics of Diffusion ”，Claredon Press(1956)の方
法）により測定した。
【００５２】(2) ＤＬＣの膜厚 予めプラスチックフィルムの表面にマジックインキ等で
マスキングを行って、ＤＬＣを被覆した後、ジエチルエ
ーテル等でマスキングを除去し、Ｖｅｃｃｏ社製、表面
形状測定器ＤＥＣＴＡＣＫ３によって膜厚を測定した。
【００５３】(3) ＤＬＣの密度 成膜前と成膜後の重量差を測定し、(2) で求めた膜厚か
ら密度を算出した。
【００５４】(4) 密着性１ プラスチックフィルムのコーティング面について、ＪＩ
ＳＫ５４００の基盤目テープ法に準じて、以下の条件で
行った。
【００５５】 ・切り傷のすきま間隔：１ｍｍ ・ます目の数 ：１００ (5) 密着性２ 容器の側壁部について、新東科学製、連続加重式引掻試
験機ＨＥＩＤＯＮ２２を使用して、以下の条件で行っ
た。密着の程度は、膜が剥がれ始めたときの引掻針にか
かる垂直加重で表した。
【００５６】 ・引掻針の素材、形状：ダイヤ、５０μＲ ・加重速度 ：１００ｇ／ｍｉｎ ・テーブル速度 ：１０００ｍｍ／ｍｉｎ (6) 耐アルカリ性 水酸化ナトリウムを１０ｗｔ％となるように添加したア
ルカリ溶液中にＤＬＣを片面コーティングしたフィルム
を入れ、７５℃の湯浴中に２４時間浸漬し、ＤＬＣの形
状変化、剥離の有無を確認した。結果は２４時間以上の
浸漬で変化のないものを優（◎）、１２時間以上の浸漬
で変化のないものを良（○）として表示した。
【００５７】(7) 低分子有機化合物（香気成分）の収着
性 環境材の一種として臭いを有する低分子有機化合物（香
気成分）を使用し、松井らの方法（Ｊ．Ａｇｒｉｃ．Ｆ
ｏｏｄ．Ｃｈｅｍ．，１９９２，４０，１９０２−１９
０５）を参考にして試験を行った。
【００５８】手順は以下の通りである。
【００５９】・各種香気成分（オクタン、オクタナー
ル、オクタノール、エチルヘキサノエート、ｄ−リモネ
ン）をそれぞれ１００ｐｐｍ添加した０．３％シュガー
エステル溶液を作り、モデルフレーバ溶液とする。
【００６０】・この５０mlのモデルフレーバ溶液中にフ
ィルムの両面にＤＬＣをコーティングしたサンプルを入
れて、蓋をした後、２０℃で１カ月間保管する。
【００６１】・１カ月後、モデルフレーバ溶液を廃棄
し、６０℃の蒸留水でサンプルを洗浄した後、乾燥させ
る。
【００６２】・５０mlのジエチルエーテル中にサンプル
を入れ、サンプルに収着した香気成分を抽出する。
【００６３】・ジエチルエーテルからサンプルを取り出
し、無水硫酸ナトリウムを添加して脱水する。
【００６４】・アミルベンゼンを内標準としてガスクロ
マトグラフによって定量分析を行う。結果は、１ｐｐｍ
の香気成分が存在する水溶液中にフィルムを漬けた場合
のフィルムに収着する香気成分の量をμｇで表示する。
従って、単位はμｇ／ｐｐｍ／ｃｍ3 となる。
【００６５】(8) 酸素ガス透過係数および二酸化炭素ガ
ス透過係数 高真空法気体透過測定装置を用いて測定した。
【００６６】図６の結果から分かるように、実験Ｎｏ．
１〜６の何れのコーティングフィルムも、ＤＬＣの密着
性および耐アルカリ性については問題がなく、特に実験
Ｎｏ．１のコーティングフィルム（炭素の組成が９０ m
ol％，水素の組成が１０ mol％）および実験Ｎｏ．２の
コーティングフィルム（炭素の組成が７５ mol％，水素
の組成が２５ mol％）の耐アルカリ性が優れている。
【００６７】また、図７の結果から分るように、低分子
有機化合物（香気成分）の収着性については、実験Ｎ
ｏ．１〜６の何れのコーティングフィルムも、実験Ｎ
ｏ．７のコーティングを施していないフィルムに比べて
各段に低下しており、特に実験Ｎｏ．２のコーティング
フィルム（炭素の組成が７５ mol％，水素の組成が２５
mol％）は、全く収着性を有していない。
【００６８】さらに、図８から分るように、実験Ｎｏ．
１のコーティングフィルムは伸びが生じた場合に著しく
そのガスバリア性が低下するが、実験Ｎｏ．２ないし６
のコーティングフィルムは、伸びが生じてもそのガスバ
リア性がほとんど低下しない。
【００６９】以上の結果から、実験Ｎｏ．２ないし６の
コーティングフィルム（炭素の組成が７５〜５５ mol
％，水素の組成が２５〜４５ mol％）は、低分子有機化
合物（香気成分）の収着性が低く、密着性，耐アルカリ
性およびガスバリアー性にも優れていて、しかも伸びが
生じたときのガスバリアー性の低下もほとんど無いの
で、食品や薬品等の包装に適していることが判明した。
【００７０】特に、実験Ｎｏ．２のコーティングフィル
ム（炭素の組成が７５ mol％，水素の組成が２５ mol
％）は、全く収着性を有していないので、食品や薬品等
の包装に最も適していると言える。
【００７１】そして、ＤＬＣ膜を形成したコーティング
フィルムは、その透明性が損なわれることがなく、しか
もその成分が炭素と水素なので、包装材のリサイクルの
際に障害となる虞がない。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるコーティングフィルムの一例を
示す側断面図である。
【図２】この発明によるコーティングフィルムの製造方
法の一例を示す平面図である。
【図３】同コーティングフィルムの製造方法を示す概略
斜視図である。
【図４】プラズマ蒸着法によるＤＬＣ膜の形成状態を示
す説明図である。
【図５】同例におけるＤＬＣ膜の組成の例とそれぞれの
ＤＬＣ膜の比重および膜厚を示す表である。
【図６】図５のＤＬＣ膜の密着性および耐アルカリ性を
示す表である。
【図７】図５のＤＬＣ膜の低分子有機化合物の収着試験
の結果を示す表である。
【図８】図５の硬質炭素膜のガス透過係数およびフィル
ムに伸びが生じたときのガス透過係数の増加率を示す表
である。
【符号の説明】
１ …プラスチックフィルム ２ …ＤＬＣ膜（コーティング膜） １０…カソード電極 Ｔ１〜Ｔ４ …耐熱テープ Ｔ１’〜Ｔ４’…耐熱テープ Ｗ …分銅
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｃ２３Ｃ 16/26 Ｃ２３Ｃ 16/26 16/50 16/50 Ｃ３０Ｂ 29/04 Ｃ３０Ｂ 29/04 Ｘ (56)参考文献 特開 平５−320873（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−304373（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65D 81/24 B65D 65/42 C01B 31/02 C01B 31/06 C08J 7/06 C23C 16/26 C23C 16/50 C30B 29/04

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 プラスチックフィルムの少なくとも一方
    の表面に、ダイヤモンド状炭素からなる硬質炭素膜によ
    ってコーティング膜が形成され、 前記コーティング膜の組成が、炭素が７５〜５５モルパ
    ーセントであり水素が２５〜４５モルパーセントである
    ことを特徴とするコーティングフィルム。
  2. 【請求項２】 前記コーティング膜の組成が、炭素が７
    ５モルパーセントであり水素が２５モルパーセントであ
    る請求項１に記載のコーティングフィルム。
  3. 【請求項３】 プラスチックフィルムにその二軸方向に
    引張り力を負荷した状態で、このプラスチックフィルム
    の少なくとも一方の表面にプラズマ蒸着法によって硬質
    炭素コーティング膜を形成するコーティングフィルムの
    製造方法。
  4. 【請求項４】 プラスチックフィルムに形成される硬質
    炭素コーティング膜にその形成過程において発生する圧
    縮応力の大きさを予め測定しておいて、この圧縮応力の
    測定値とほぼ等しくなるように前記プラスチックフィル
    ムの二軸方向に負荷されるそれぞれの引張り力の大きさ
    を設定する請求項３に記載のコーティングフィルムの製
    造方法。
JP01003097A 1996-02-09 1997-01-23 コーティングフィルムおよびその製造方法 Expired - Lifetime JP3176558B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP01003097A JP3176558B2 (ja) 1996-02-09 1997-01-23 コーティングフィルムおよびその製造方法
KR1019970002915A KR100457637B1 (ko) 1996-02-09 1997-01-31 코팅필름및그제조방법
US09/174,453 US6045916A (en) 1996-02-09 1998-10-19 Coating film and preparation method thereof

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8-24052 1996-02-09
JP2405296 1996-02-09
JP01003097A JP3176558B2 (ja) 1996-02-09 1997-01-23 コーティングフィルムおよびその製造方法
US09/174,453 US6045916A (en) 1996-02-09 1998-10-19 Coating film and preparation method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09272567A JPH09272567A (ja) 1997-10-21
JP3176558B2 true JP3176558B2 (ja) 2001-06-18

Family

ID=27278803

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP01003097A Expired - Lifetime JP3176558B2 (ja) 1996-02-09 1997-01-23 コーティングフィルムおよびその製造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6045916A (ja)
JP (1) JP3176558B2 (ja)
KR (1) KR100457637B1 (ja)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0853116A (ja) * 1994-08-11 1996-02-27 Kirin Brewery Co Ltd 炭素膜コーティングプラスチック容器
SE520491C2 (sv) * 1999-04-07 2003-07-15 Tetra Laval Holdings & Finance Förpackningslaminat med barriäregenskaper mot gas och aromämnen
FR2812666B1 (fr) * 2000-08-01 2003-08-08 Sidel Sa Revetement barriere comportant une couche protectrice, procede d'obtention d'un tel revetement et recipient muni d'un tel revetement
JP4738590B2 (ja) * 2000-12-08 2011-08-03 日本山村硝子株式会社 容器のガスバリヤー性を向上させるキャップ構造
JP2002200694A (ja) * 2000-12-28 2002-07-16 Nihon Tetra Pak Kk バリア性積層包装材料および液体用紙容器
US6822391B2 (en) 2001-02-21 2004-11-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device, electronic equipment, and method of manufacturing thereof
CN100337881C (zh) * 2002-05-28 2007-09-19 麒麟麦酒株式会社 包覆有dlc薄膜的塑料容器及其制造设备和制造方法
JP4207554B2 (ja) * 2002-12-12 2009-01-14 住友電気工業株式会社 光射出面上に回折光学膜を有する発光素子とその製造方法
JP3818255B2 (ja) * 2002-12-16 2006-09-06 住友電気工業株式会社 端部に回折光学膜を有する光ファイバとその製造方法
US7866342B2 (en) 2002-12-18 2011-01-11 Vapor Technologies, Inc. Valve component for faucet
US8555921B2 (en) 2002-12-18 2013-10-15 Vapor Technologies Inc. Faucet component with coating
US7866343B2 (en) 2002-12-18 2011-01-11 Masco Corporation Of Indiana Faucet
US8220489B2 (en) 2002-12-18 2012-07-17 Vapor Technologies Inc. Faucet with wear-resistant valve component
JP4733941B2 (ja) * 2004-08-20 2011-07-27 株式会社プラズマイオンアシスト シール材およびその製造方法
US8012586B2 (en) * 2006-11-22 2011-09-06 Entegris, Inc. Diamond like carbon coating of substrate housings
US8950614B2 (en) * 2007-08-14 2015-02-10 Toyo Seikan Kaisha, Ltd. Biodegradable resin container with a vacuum-evaporated film and method of forming a vacuum-evaporated film
KR101019065B1 (ko) 2010-06-23 2011-03-07 (주)제이 앤 엘 테크 나노 박막을 코팅한 대전방지 기능을 갖는, 전자부품 포장용 포장재 및 그 제조방법
KR101252368B1 (ko) * 2011-01-10 2013-04-08 율촌화학 주식회사 카본이 코팅된 적층 필름
US8773812B1 (en) * 2011-12-13 2014-07-08 Western Digital Technologies, Inc. Systems and methods for providing adsorptive surface coatings on internal components of a storage drive
JP5989423B2 (ja) * 2012-06-29 2016-09-07 東海旅客鉄道株式会社 コンクリート構造物の保護構造及びコンクリート構造物の保護工法
US9404334B2 (en) 2012-08-31 2016-08-02 Baker Hughes Incorporated Downhole elastomeric components including barrier coatings
CN104250722A (zh) * 2013-06-27 2014-12-31 深圳富泰宏精密工业有限公司 被覆件及其制造方法
JP6331222B2 (ja) * 2013-09-26 2018-05-30 Toto株式会社 水まわり用金属部材
KR102253531B1 (ko) 2014-07-25 2021-05-18 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 그 제조 방법
JP6427478B2 (ja) 2015-11-04 2018-11-21 学校法人慶應義塾 薄膜積層フィルム、その製造方法及びその製造装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ES498024A0 (es) * 1979-12-21 1981-11-16 Pelikan Ag Perfeccionamientos en los sistemas laminares copiadores sen-sibles a la presion
US5171607A (en) * 1990-01-29 1992-12-15 Bausch & Lomb Incorporated Method of depositing diamond-like carbon film onto a substrate having a low melting temperature
US5455081A (en) * 1990-09-25 1995-10-03 Nippon Steel Corporation Process for coating diamond-like carbon film and coated thin strip
JPH04304373A (ja) * 1991-03-29 1992-10-27 Shimadzu Corp 硬質カーボン膜形成方法
JPH05320873A (ja) * 1992-05-15 1993-12-07 Oike Ind Co Ltd 透明で耐レトルト性に優れたガスバリアフイルム
US5470661A (en) * 1993-01-07 1995-11-28 International Business Machines Corporation Diamond-like carbon films from a hydrocarbon helium plasma

Also Published As

Publication number Publication date
KR19980067060A (ko) 1998-10-15
KR100457637B1 (ko) 2005-04-06
JPH09272567A (ja) 1997-10-21
US6045916A (en) 2000-04-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3176558B2 (ja) コーティングフィルムおよびその製造方法
EP0974615B1 (en) Aliphatic polyester film and gas barrier film
US4297187A (en) Surface treatment of plastic material
KR20040030059A (ko) 증착 필름
JPH0853116A (ja) 炭素膜コーティングプラスチック容器
US7807232B2 (en) Inline passivation of vacuum-deposited aluminum on web substrate
JP2002192646A (ja) ガスバリアフィルム
Vasquez-Borucki et al. Amorphous hydrogenated carbon films as barrier for gas permeation through polymer films
EP1479513B1 (en) Gas barrier material
JPH02194944A (ja) レトルト耐性を有する透明バリアー複合フィルム
JP2016087814A (ja) ガスバリア積層体およびその製造方法
Lin et al. Characterization of the silicon oxide thin films deposited on polyethylene terephthalate substrates by radio frequency reactive magnetron sputtering
JP4090551B2 (ja) 透明バリア性フィルム
JP4124293B2 (ja) 酸化アルミニウム蒸着フィルム
Yonekura et al. Influence of film structure on gas barrier properties of SiOxNy films
JP4121609B2 (ja) 透明バリア性フィルムおよびその製造法
JPH07145256A (ja) 透明蒸着フィルム
US5672383A (en) Barrier films having carbon-coated high energy surfaces
JPH11322979A (ja) 透明バリア性フィルムおよびその製造法
JP4341290B2 (ja) 積層体の製造方法
JPS60240434A (ja) ポリエステルフイルム
JPH03134157A (ja) 耐摩耗性の透明物品
JPS60242049A (ja) 機能性積層体
US20020098296A1 (en) Gas barrier film having polypropylene as a base film and method of manufacturing same
JPH05320873A (ja) 透明で耐レトルト性に優れたガスバリアフイルム

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S202 Request for registration of non-exclusive licence

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R315201

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R315531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080406

Year of fee payment: 7

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080406

Year of fee payment: 7

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090406

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090406

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100406

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110406

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120406

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130406

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130406

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160406

Year of fee payment: 15

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term