DE602005005481T2 - Vakuumpumpkreislauf und damit ausgerüstete maschine zur behandlung von behältern - Google Patents

Vakuumpumpkreislauf und damit ausgerüstete maschine zur behandlung von behältern Download PDF

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Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Vakuumpumpkreislauf und eine Maschine zur Behandlung von Behältern, insbesondere Flaschen, wie in dem Patent FR 2799994 beschrieben ist.
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich insbesondere auf einen Vakuumpumpkreislauf einer Maschine zur Behandlung von Behältern durch Aufbringen eines eine Sperre bildenden, inneren Überzugs mittels eines Mikrowellenplasmas, der folgendes aufweist:
    • – eine obere Kammer und eine untere Kammer, die über eine Anschlussöffnung bzw. Verbindungsöffnung miteinander in Verbindung stehen, wobei die untere Kammer mit einem Hohlraum verbunden ist, und die obere Kammer mit einer Vakuumpumpe verbunden ist, die das Vakuum in dem Hohlraum herstellen soll, bis der Druck in dem Hohlraum einen festgelegten Wert erreicht,
    • – und ein Ventil, das durch Verschieben entlang einer Achse geführt wird, die im wesentlichen vertikal in einer entsprechenden Öffnung der oberen, querverlaufenden Wand der oberen Kammer verläuft, und zwar zwischen einer unteren, geschlossenen Axialposition, in der die Anschlussöffnung durch den Kopf des Ventils geschlossen wird, und einer oberen, geöffneten Axialposition, in der das Ventil einen Schaft besitzt, der außerhalb der oberen Kammer axial nach oben verläuft, wobei der Schaft des Ventils mit Elementen verbunden ist, die das Ventil zumindest in Richtung seiner geöffneten Position betätigen können.
  • Um das Ventil in der geschlossenen Position zu halten, beispielsweise in der Zeit, in der ein Behälter behandelt wird, indem der innere Überzug aufgebracht wird, wird bekannterweise eine Spiraldruckfeder verwendet, die das Ventil axial in seine geschlossene Position bringt.
  • Diese Lösung ist nicht ganz zufriedenstellend, da es mit der Feder Probleme in Bezug auf die Zuverlässigkeit gibt. Es kann nämlich passieren, dass die Feder unter den mechanischen Beanspruchungen, denen sie ausgesetzt ist, bricht.
  • Bei einem Pumpkreislauf mit einer Behandlungsstation, die an einem Drehtisch angeordnet ist, wird das Ventil bekanntermaßen auch mittels eines Nockensystems in Position gehalten, beispielsweise mittels einer Rolle, die mit dem Ventilschaft und einer feststehenden Steuerfläche verbunden ist.
  • Diese Lösung ist ebenfalls nicht vollkommen zufriedenstellend, da eine relativ lange Steuerfläche sowie genaue Anpassungen erforderlich sind, um eine Abdichtung der Schließung sicherzustellen. Außerdem können der Verschleiß der Rolle oder der Steuerfläche die Ventildichtung beeinträchtigen.
  • Mit der vorliegenden Erfindung sollen insbesondere diese Nachteile beseitigt werden.
  • Im Hinblick auf diese Zielsetzung wird mit der Erfindung ein Vakuumpumpkreislauf der oben beschriebenen Art vorgeschlagen, dadurch gekennzeichnet, dass der Schaft des Ventils mit einem Abschnitt versehen ist, der einen Kolben bildet, der die obere, bewegliche Wand einer Steuerkammer bildet, die mit der oberen Kammer in Verbindung steht, wobei der Kolben eine Oberseite besitzt, die permanent dem atmosphärischen Luftdruck ausgesetzt ist, sowie eine Unterseite, die dem Druck ausgesetzt ist, der in der Steuerkammer herrscht, so dass das Ventil durch die Wirkung der Druckdifferenz zwischen den beiden Seiten des Kolbens in geschlossener Position gehalten wird, wenn der Druck in der unteren Kammer den Endwert erreicht.
  • Nach weiteren Merkmalen der Erfindung:
    • – besitzt die obere, querverlaufende Wand einen ringförmigen Steg, der zwischen der Öffnung und der Steuerkammer axial eingeschoben ist, wobei die Steuerkammer eine mittlere Leitung für die axiale Führung des Ventilschaftes besitzt, die mit Kanälen versehen ist, welche die Verbindung zwischen der Steuerkammer und der oberen Kammer herstellen
    • – ist eine vakuumdichte Wellrohrfeder axial zwischen dem äußeren Umfangsrand des Kolbens und dem äußeren Umfangsrand eines axialen Abschnittes des Steges eingeschoben, so dass entlang dem Schaft des Ventils die äußere Umfangswand der Steuerkammer gebildet wird;
    • – besitzt das Ventil eine axiale Verkleidung, die durch Axialverschiebung mit dem Ventilschaft verbunden ist, und die die Wellrohrfeder und den Kolben umgibt;
    • – wirkt der Abschnitt am oberen Endes des Ventilschaftes mit Vorrichtungen wie beispielsweise einem Nockenmechanismus zusammen, um die Verschiebung des Ventils in Richtung seiner geöffneten Position zu steuern.
    • – weist der Nockenmechanismus eine Steuerfläche auf, die die Verschiebung des Ventils zu seiner geschlossenen Position hin kontrolliert;
    • – ist der Ventilkopf am unteren Ende des Ventilschaftes angesetzt;
    • – besitzt die Anschlussöffnung eine obere, querverlaufende Randleiste, und der Ventilkopf besitzt eine untere, querverlaufende Schließfläche, die mit einer ringförmigen Abdichtung versehen ist, und eine axiale, dichte Auflage gegen die querverlaufende Randleiste bieten soll, wenn das Ventil seine geschlossene Position einnimmt; Mit der Erfindung wird auch eine Maschine zur Behandlung von Behältern, insbesondere Flaschen, vorgeschlagen, und zwar durch Aufbringen eines eine Sperre bildenden, inneren Überzugs mittels eines Mikrowellenplasmas, insbesondere um die Verpackung bzw. Aufbewahrung von sauerstoffempfindlichen Flüssigkeiten zu ermöglichen, die mindestens eine Behandlungsstation für einen Behälter besitzt, wobei jede Behandlungsstation folgendes aufweist:
    • – eine Behandlungskammer, die den Behälter enthalten soll, und die um den Behälter einen Hohlraum umgrenzt,
    • – und einen Deckel zum hermetischen Schließen der Kammer, wobei eine Pumpleitung dicht im Inneren des Behälters angeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Deckel nach einem der vorhergehenden Ansprüche mit einem Vakuumpumpkreislauf ausgestattet ist, dass die untere Kammer dicht mit dem Hohlraum, der von der Kammer umgrenzt ist, verbunden ist, und dass die obere Kammer mit der Pumpleitung verbunden ist.
  • Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung, zu deren besserem Verständnis man sich auf die beigefügten Zeichnungen beziehen kann. Es zeigen:
  • 1 eine axiale Schnittansicht, die eine Behandlungsstation der Maschine, welche mit einem Vakuumpumpkreislauf ausgestattet ist, der nach den Angaben der Erfindung hergestellt wurde, im Verlaufe einer ersten Pump-Phase schematisch darstellt;
  • 2 eine Ansicht ähnlich der in 1 gezeigten Ansicht, die die Behandlungsstation im Verlaufe einer zweiten Pump-Phase zeigt;
  • 3 eine axiale Schnittansicht, die einen Teil des Anschlusses des Vakuumpumpkreislaufs, der mit einem Ventil ausgestattet ist, das seine axiale, geöffnete Position einnimmt, schematisch darstellt;
  • 4 eine Ansicht ähnlich der in 4 gezeigten Ansicht, die das Ventil in axialer, geschlossener Position zeigt;
  • 5 eine perspektivische Ansicht, die den mit dem Ventil ausgestatteten Deckel gemäß den Angaben der Erfindung schematisch darstellt, wenn er seine geschlossene Position einnimmt.
  • In der nachfolgenden Beschreibung sind identische, ähnliche oder analoge Elemente mit denselben Bezugsziffern bezeichnet.
  • In den 1 und 2 wird teilweise eine Maschine 10 zur Behandlung von Behältern 12 gezeigt, die hier in Form von Flaschen dargestellt sind, und die mit einem Vakuumpumpkreislauf 14 ausgestattet ist, welcher gemäß den Angaben der Erfindung hergestellt wurde.
  • Mit der Maschine 10 soll ein, eine Sperre bildender, innerer Überzug mittels eines Mikrowellenplasmas aufgebracht werden, insbesondere, um die Verpackung bzw. Aufbewahrung einer sauerstoffempfindlichen Flüssigkeit in den Behältern 12 zu ermöglichen.
  • Nach herkömmlicher Art und Weise besitzt die Maschine 10 mehrere Behandlungsstationen 16, die regelmäßig umlaufend an einem nicht gezeigten Drehtisch verteilt sein können, wobei jede Behandlungsstation 16 jeweils einen Behälter 12 behandelt.
  • In den Figuren wird teilweise eine einzige Behandlungsstation 16 gezeigt.
  • Die Behandlungsstation 16 besitzt eine Behandlungskammer 18 für den Behälter 12, die um den Behälter 12 einen Hohlraum 20 umgrenzt.
  • Der Behälter 12 ist hier vertikal mit seiner Öffnung nach oben angeordnet.
  • Die Behandlungsstation 16 besitzt auch einen Deckel 22, mit dem die Kammer 18 hermetisch verschlossen werden soll, indem das obere Ende des Hohlraums 20 abgegrenzt wird, und sie besitzt eine Pumpleitung 24, die dicht im Inneren des Behälters 12 angeschlossen ist.
  • Die Pumpleitung 24 ist an einem ersten Ende 26 mit einer Vakuumpumpe 28 verbunden.
  • Das zweite Ende 30 der Pumpleitung 24 steht über einen Verbindungsabschnitt 32, der hier an einem Ende des Deckels 22 angeordnet ist, mit dem Hohlraum 20 der Behandlungskammer 18 in Verbindung.
  • Der Deckel 22 besitzt auch eine Düse 33 für ein Gas als Zwischenprodukt, beispielsweise Acetylen bei einem kohlenstoffhaltigen Überzug, wobei die Düse mit einem Einspritzrohr 35 ausgestattet ist, das axial in den Behälter 12 hinein verläuft.
  • Der Verbindungsabschnitt 32 ist in den 3 und 4 detaillierter gezeigt.
  • Der Verbindungsabschnitt 32 des Vakuumpumpkreislaufs 14 besitzt eine obere Kammer 34 und eine untere Kammer 36, die über eine Anschlussöffnung 38 miteinander in Verbindung stehen.
  • Nach der hier dargestellten Ausführungsart ist die untere Kammer 36 mit einem Hohlraum 20 verbunden, der von der Behandlungskammer 18 umgrenzt ist, und die obere Kammer 34 ist mit einer Pumpleitung 24 im Bereich des zweiten Endes 30 verbunden.
  • Der Verbindungsabschnitt 32 weist ein Ventil 40 auf, das durch Verschieben entlang einer im wesentlichen vertikalen Achse A1 geführt wird, und zwar zwischen einer unteren, geschlossenen Axialposition, die in den 2 und 4 gezeigt ist, in der der Kopf 42 des Ventils 40 die Anschlussöffnung 38 schließt, und einer oberen, geöffneten Axialposition, die in den 1 und 3 gezeigt ist.
  • In der nachfolgenden Beschreibung wird eine vertikale, axiale Ausrichtung entlang der Ventilverschiebeachse A1 bestimmt, die nicht einschränkend zu verstehen ist. In Bezug auf diese Achse A1 werden die Elemente als querverlaufend bezeichnet.
  • Das Ventil 40 ist in einer entsprechenden Öffnung 44 der oberen, querverlaufenden Wand 46 der oberen Kammer 34 verschiebbar montiert.
  • Die obere, querverlaufende Wand 46 besteht hier aus der querverlaufenden, oberen Wand des Deckels 22.
  • Das Ventil 40 besitzt einen Schaft 48, der axial nach oben außerhalb der oberen Kammer 34 verläuft, und mit Elementen 50 verbunden ist, die die Verschiebung des Ventils 40 zumindest zu seiner geöffneten Position hin steuern können.
  • Nach den Angaben der Erfindung ist der Schaft 48 mit einem Abschnitt ausgestattet, der einen Kolben 52 bildet, welcher die obere, bewegliche Wand einer Steuerkammer 54 bildet, die mit der oberen Kammer 34 in Verbindung steht.
  • Der Kolben 52 ist hier im wesentlichen zylinderförmig und verläuft koaxial zu dem Schaft 48 und er ist aus demselben Material wie der Schaft 48 hergestellt.
  • Der Kolben 52 besitzt eine querverlaufende Oberseite, die ständig dem atmosphärischen Luftdruck ausgesetzt ist, sowie eine ebenfalls querverlaufende Unterseite 58, die dem Druck ausgesetzt ist, der in der Steuerkammer herrscht.
  • Die querverlaufende obere Wand 46 besitzt vorteilhafterweise einen ringförmigen Steg 60, der zwischen der Öffnung 44 und der Steuerkammer 54 axial eingeschoben ist.
  • Der Steg 60 besitzt einen im wesentlichen zylindrischen und rohrförmigen Hauptteil, durch den von seinem unteren Ende bis zu seinem oberen Ende axial ein mittleres Leitungsrohr 64 verläuft.
  • Der Schaft 48 wird axial durch die axialen Innenwände des mittleren Leitungsrohres 64 geführt.
  • Der Steg 60 besitzt einen oberen Abschnitt 66 in Form eines radialen Bundes, dessen querverlaufende Oberseite 68 axial gegenüber der Unterseite 58 des Kolbens 52 angeordnet ist, so dass die Steuerkammer 54 axial begrenzt wird.
  • Der Abschnitt am unteren Ende 70 des Steges 60 ist hier in die Öffnung 44 eingeschraubt, bis ein unterer radialer Bund 72 des Steges 60 eine axiale, dichte Auflage gegenüber der Oberseite 74 der querverlaufenden, oberen Wand 46 bildet.
  • Der radiale, untere Bund 72 ist hier mit einer O-Ring-Dichtung 76 versehen, die axial zwischen dem radialen, unteren Bund 72 und der querverlaufenden, oberen Wand 46 eingeschoben ist.
  • Der Steg 60 ist mit axialen Kanälen 78 versehen, die in seiner radialen Stärke angeordnet sind, und die Verbindung zwischen der Steuerkammer 54 und der oberen Kammer 34 herstellen.
  • Jeder axiale Kanal 78 mündet in die axiale Außenseite 80 des Abschnittes am oberen Ende des Steges 60, sowie in die querverlaufende Seite am unteren Ende 82 des Steges 60.
  • Eine vakuumdichte Wellrohrfeder 84 ist axial zwischen dem äußeren Umfangsrand der Unterseite 58 des Kolbens 52 und dem äußeren Umfangsrand des radialen Bundes eingeschoben, der den oberen Abschnitt 66 des Steges bildet.
  • Die Wellrohrfeder 84 verläuft koaxial zu dem Schaft 48 und stellt die äußere Umfangswand der Steuerkammer 54 entlang dem Schaft 48 dar.
  • Das Ventil 40 besitzt vorzugsweise eine axiale Verkleidung 86, die durch Axialverschiebung mit dem Ventilschaft 48 verbunden ist, und die die Wellrohrfeder 84 und den Kolben 52 umgibt.
  • Der Kopf 42 des Ventils 40 ist hier zylinderförmig und ist am unteren Ende des Ventilschaftes 48 angesetzt.
  • Die Anschlussöffnung 38 weist hier eine obere, querverlaufende Randleiste 88 auf Der Kopf 42 des Ventils 40 besitzt eine untere, querverlaufende Schließfläche 90, die mit einer ringförmigen Abdichtung 92 versehen ist, und die eine axiale, dichte Auflage gegenüber der querverlaufenden Randleiste 88 bieten soll, wenn das Ventil 40 seine geschlossene Position einnimmt, wie in den 2 und 4 gezeigt.
  • Wie in den Figuren gezeigt, weisen die Einrichtungen 50, die das Verschieben des Ventils 40 mindestens zu seiner geöffneten Position hin steuern sollen, einen Nockenmechanismus auf, der mit dem Abschnitt am oberen Ende 94 des Schaftes 48 zusammenwirkt, um das Verschieben des Ventils 40 zu seiner geöffneten Position hin zu steuern, und der die Verschiebung des Ventils 40 zu seiner geschlossenen Position hin kontrolliert.
  • Der Nockenmechanismus 50 besitzt hier einen Hebel 96, der an dem Deckel 22 drehbar um eine Querachse A2 herum montiert ist.
  • Das Drehen bzw. Schwenken des Hebels 96 ist mit dem Verschieben des Ventils 40 mittels eines Satzes von Schwingarmen 98 verbunden.
  • Der Hebel 96 trägt einen Rollkörper 100, der mit einer nicht gezeigten Steuerfläche der Maschine 10 zusammenwirken soll.
  • Die Steuerfläche besitzt mehrere Teilabschnitte, die die Drehung des Hebels 96 hervorrufen und das Ventil 40 in angemessener Art und Weise zu einer seiner beiden äußeren Axialpositionen hin antreiben sollen.
  • Es werden nun der Betrieb bzw. die Funktion der Maschine 10 und des Vakuumpumpkreislaufes 14, mit dem sie ausgestattet ist, beschrieben.
  • Das Behandlungsverfahren für den Behälter 12 durch die Maschine 10 weist eine Vorstufe auf, in der der Vakuumpumpkreislauf 14 eine Druckminderung im Innern des Hohlraums 20 bis zu einem festgelegten äußeren Endwert pFext herbeiführt, sowie eine Druckminderung im Inneren des Behälters 12 bis zu einem festgelegten inneren Endwert pFint. Im allgemeinen beträgt der innere Endwert pFint ungefähr 0,1 mbar und der äußere Endwert pFext ungefähr 50 mbar, so dass das Vakuum in dem Behälter 12 größer ist als in dem Hohlraum 20.
  • Der Vorstufe folgt eine Behandlungsstufe, in der die Endwerte pFext und pFint in dem Hohlraum 20 und in dem Behälter 12 gehalten werden, so dass der innere Überzug in dem Behälter 12 aufgebracht werden kann.
  • Während der Behandlungsphase wird das Gas mittels der Düse 33 in den Behälter 12 eingespritzt und der Einwirkung von Mikrowellen ausgesetzt, so dass es in den Plasmazustand übergeht und es an den Innenwänden des Behälters 12 zu einem Sperrüberzug (kohlenstoffhaltig, wenn es sich bei dem Gas um ein Gas auf Acetylenbasis handelt) kommt. Dieser Niederschlag stellt einen inneren Überzug dar, der beispielsweise gegenüber Disauerstoffmolekülen und gegenüber Kohlendioxidmolekülen eine Sperre bildet.
  • Die Vorstufe hat eine erste Phase, die in 1 gezeigt ist, in der der Pumpvorgang gleichzeitig in dem Hohlraum 20 und in dem Behälter 12 durchgeführt wird, und eine zweite Phase, die in 2 veranschaulicht ist, und in der der Pumpvorgang nur in dem Behälter 12 durchgeführt wird.
  • Die erste Phase endet, wenn der Druck in dem Hohlraum 20 den äußeren Endwert pFext erreicht.
  • Während der ersten Phase verringert sich der Druck im Innern des Vakuumpumpkreislaufs 14 insbesondere in der oberen Kammer 34, die mit der Steuerkammer 54 in Verbindung steht.
  • Der Druck in der Steuerkammer 54 verringert sich also gleichzeitig, was zwischen der Oberseite 56 und der Unterseite 58 des Kolbens 52 eine Druckdifferenz erzeugt, da die Oberseite 56 dem atmosphärischen Druck ausgesetzt ist, der außerhalb des Vakuumpumpkreislaufs 14 herrscht.
  • Folglich wird das Ventil 40 durch einen axialen Auflagedruck, der sich aus dieser Druckdifferenz ergibt, axial nach unten gedrückt.
  • Durch den Nockenmechanismus 50 wird das Ventil 40 vorteilhafterweise in offener Position gehalten, bis der Druck in dem Hohlraum 20 seinen äußeren Endwert pFext erreicht.
  • Wenn sich der Druck in dem Hohlraum 20 seinem äußeren Endwert pFext nähert, steuert der Nockenmechanismus 50 die Verschiebung des Ventils 40 derart, dass das Ventil bis zu seiner geschlossenen Position schrittweise nach unten fährt (2 und 4).
  • Wenn das Ventil 40 seine geschlossene Position einnimmt, wird die zweite Phase der Vorstufe ausgeführt.
  • Während der zweiten Phase setzt der Vakuumpumpkreislauf 14 den Pumpvorgang nur in dem Behälter 12 fort, bis der innere Endwert pFint erreicht ist, der unter dem Druck in dem Hohlraum 20 liegt.
  • Am Ende der zweiten Phase kann die Behandlungsstufe ausgeführt werden.
  • Während der Behandlungsstufe wird das Vakuum durch den hermetischen Verschluss der Kammer 18 in dem Hohlraum 20 und durch kontinuierliches und regelmäßiges Pumpen mittels einer Vakuumpumpe in dem Behälter 12 gehalten.
  • Am Ende der Behandlungsstufe wird in dem Behälter 12 und in dem Hohlraum 20 der atmosphärische Druck wiederhergestellt.
  • Zu diesem Zweck steuert der Nockenmechanismus 50 die Öffnung des Ventils 40.
  • Es wird darauf hingewiesen, dass das Ventil 40 während der zweiten Phase der Vorstufe und während der Behandlungsstufe weder die Betätigung des Nockenmechanismus 50, noch die Betätigung eines elastischen Rückholelementes benötigt, um axial in seiner geschlossenen Position gehalten zu werden. Denn das Ventil 40 wird allein unter der Wirkung der Druckdifferenz zwischen den beiden Kolbenseiten 52 in seiner geschlossenen Position gehalten.

Claims (9)

  1. Vakuumpumpkreislauf (14) einer Maschine zur Behandlung von Behältern (12) durch Aufbringen eines eine Sperre bildenden, inneren Überzugs mittels eines Mikrowellenplasmas, der folgendes aufweist: – eine obere Kammer (34) und eine untere Kammer (36), die über eine Verbindungsöffnung (38) miteinander in Verbindung stehen, wobei die untere Kammer (36) mit einer Vertiefung (20) verbunden ist, und die obere Kammer (34) mit einer Vakuumpumpe (28) verbunden ist, die das Vakuum in dem Hohlraum (20) herstellen soll, bis der Druck in dem Hohlraum (20) einen festen Wert, den sogenannten Endwert (pFext), erreicht, – und ein Ventil (40), das durch Verschieben entlang einer Achse (A1) geführt wird, die im wesentlichen vertikal in einer entsprechenden Öffnung (44) der oberen, querverlaufenden Wand (46) der oberen Kammer (34) verläuft, und zwar zwischen einer unteren, geschlossenen Axialposition, in der die Anschlussöffnung (38) durch den Kopf (42) des Ventils (40) geschlossen wird, und einer oberen, geöffneten Axialposition, in der das Ventil (40) einen Schaft (48) besitzt, der außerhalb der oberen Kammer (34) axial nach oben verläuft, wobei der Schaft (48) des Ventils mit Elementen (50) verbunden ist, die das Ventil (40) zumindest in Richtung seiner geöffneten Position betätigen können, dadurch gekennzeichnet, dass der Schaft (48) des Ventils mit einem Abschnitt versehen ist, der einen Kolben (52) bildet, der die obere, bewegliche Wand einer Steuerkammer (54) bildet, die mit der oberen Kammer (34) in Verbindung steht, wobei der Kolben (52) eine Oberseite besitzt, die permanent dem atmosphärischen Luftdruck ausgesetzt ist, sowie eine Unterseite (58), die dem Druck ausgesetzt ist, der in der Steuerkammer (54) herrscht, so dass das Ventil (40) durch die Wirkung der Druckdifferenz zwischen den beiden Seiten (56, 58) des Kolbens in geschlossener Position gehalten wird, wenn der Druck in der unteren Kammer (36) den Endwert (pFext) erreicht.
  2. Vakuumpumpkreislauf (14) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die obere, querverlaufende Wand (46) einen ringförmigen Steg (60) besitzt, der zwischen der Öffnung (44) und der Steuerkammer (54) axial eingeschoben ist, wobei die Steuerkammer eine mittlere Leitung (64) für die axiale Führung des Schaftes (48) des Ventils besitzt, die mit Kanälen (78) versehen ist, welche die Verbindung zwischen der Steuerkammer (54) und der oberen Kammer (34) herstellen.
  3. Vakuumpumpkreislauf (14) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass eine vakuumdichte Wellrohrfeder (84) axial zwischen dem äußeren Umfangsrand des Kolbens (52) und dem äußeren Umfangsrand eines Teils (66) des Steges (60) eingeschoben ist, so dass entlang dem Schaft (48) des Ventils die äußere Umfangswand der Steuerkammer (54) gebildet wird.
  4. Vakuumpumpkreislauf (14) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass das Ventil (40) eine axiale Verkleidung (86) besitzt, die durch Axialverschiebung mit dem Schaft (48) des Ventils verbunden ist, und die die Wellrohrfeder (84) und den Kolben (52) umgibt.
  5. Vakuumpumpkreislauf (14) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtungen (50), die das Ventil zumindest in Richtung seiner geöffneten Position steuern können, aus einem Nockenmechanismus (50) bestehen, der mit dem Abschnitt am oberen Ende des Schaftes (48) des Ventils zusammenwirkt, um die Verschiebung des Ventils (40) in Richtung seiner geöffneten Position zu steuern.
  6. Vakuumpumpkreislauf (14) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Nockenmechanismus (50) eine Steuerfläche aufweist, die die Verschiebung des Ventils (40) in Richtung seiner geschlossenen Position kontrolliert.
  7. Vakuumpumpkreislauf (14) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Kopf (42) des Ventils am unteren Ende des Schaftes (48) des Ventils angesetzt ist.
  8. Vakuumpumpkreislauf (14) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Anschlussöffnung (38) eine obere, querverlaufende Randleiste (88) besitzt, und dass der Kopf (42) des Ventils (40) eine untere, querverlaufende Schließfläche besitzt, die mit einer ringförmigen Abdichtung (92) versehen ist, und eine axiale, dichte Auflage gegen die querverlaufende Randleiste (88) bieten soll, wenn das Ventil (40) seine geschlossene Position einnimmt.
  9. Maschine (10) zur Behandlung von Behältern (12) durch Aufbringen eines eine Sperre bildenden, inneren Überzugs mittels eines Mikrowellenplasmas, die mindestens eine Behandlungsstation (16) für einen Behälter (12) besitzt, wobei jede Behandlungsstation (16) folgendes aufweist: – eine Behandlungskammer (18), die die Flasche enthalten (12) soll, und die um den Behälter (12) einen Hohlraum (20) umgrenzt, – und einen Deckel (22) zum hermetischen Schließen der Kammer (18), wobei eine Pumpleitung (24) dicht im Inneren des Behälters (12) angeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Deckel (22) nach einem der vorhergehenden Ansprüche mit einem Vakuumpumpkreislauf (14) ausgestattet ist, und dass die untere Kammer (36) dicht mit dem Hohlraum (20), der von der Kammer (18) umgrenzt ist, verbunden ist, und dass die obere Kammer (34) mit der Pumpleitung (24) verbunden ist.
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