DE2739258C2 - Verfahren zur Aufbringung einer Siliciumcarbid und Siliciumnitrid enthaltenden Schutzschicht auf Kohlenstofformkörper - Google Patents
Verfahren zur Aufbringung einer Siliciumcarbid und Siliciumnitrid enthaltenden Schutzschicht auf KohlenstofformkörperInfo
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Abstract
Zur Herstellung eines festkörpergeschweißten Verbundkörpers aus Metall und Keramik werden ein Metallteil (1) und ein Keramikteil (2) mit ihren zu verbindenden Oberflächen ggf. unter erhöhtem Druck gegeneinander gehalten und einer unterhalb der Schmelztemperatur liegenden Schweißtemperatur ausgesetzt, bei der sich die beiden Oberflächen unter Ausbildung einer Zwischenschicht (3) miteinander verbinden. Zur Erhöhung der Haftfestigkeit wird ein Metall verwendet, das beim Abkühlen von der Schweißtemperatur eine Phasenumwandlung erfährt, wobei die bei der Schweißtemperatur auftretende Phase ein kleineres Volumen als die bei Raumtemperatur stabile Phase besitzt, so daß während des Abkühlens des Verbundkörpers von der Schweißtemperatur auf Raumtemperatur der thermischen Volumenabnahme des Metalls eine Volumenzunahme beim Phasenübergang überlagert ist.
Description
Kohlenstofformkörper und insbesondere Graphitformkörper werden in der Technik aufgrund ihrer ausgezeichneten
Wärmestandzeiten weitverbreitet für Hochtemperaturprozesse eingesetzt. Auch beim Tiegel-
ziehen von Germanium nach dem Czochralski-Verfahren haben sich Graphittiegel zur Aufnahme der Germaniumschmelze
bewährt. Für das Tiegelziehen von Silicium können derartige Graphittiegel aber leider nicht eingesetzt
werden, da bei den hohen Temperaturen die Schmelze den Graphittiegel unter der Bildung von Siliciumcarbid
angreift. Aus diesem Grunde mußten für das Tiegelziehen von Silicium andere Tiegelmaterialien gefunden
werden. Von den, insbesondere in den Fünfziger Jahren in zahlreichen Patentanmeldungen vorgeschlagenen
Schmelztiegeln aus Kupfer, Silber, Tantal, Wolfram, Molybdän, aus Magnesiumoxid, Aluminiumoxid
oder Quarz hat sich eigentlich nur letzterer durchsetzen können. Nach dem heute gängigen Verfahren wird dabei
so gearbeitet, daß die Siliciumschmelze von einem Quarztiegel aufgenommen wird, welcher außen von einem
zweiten Tiegel aus Graphit umschlossen wird. Bei den großen Stabdurchmessern und Stablängen, die heute
nach dem Czochralski-Verfahren gezogen werden können, werden dabei enorm große Quarztiegel zur
Aufnahme der erforderlichen Schmelzmengen benötigt. Die Gestehungskosten derartiger Quarztiegel, die meist
ohnehin nur einmal verwendet werden können, sind außerordentlich hoch, so daß das Tiegelmaterial als solches
einen erheblichen Anteil an den Herstellungskosten tiegelgezogener Siliciumstäbe ausmacht.
In der US-Patentschrift 29 92 127 wird nun ein Verfahren
beschrieben, Graphittiegel gegenüber Oxidationsprozessen und insbesondere gegenüber dem Angriff
von schmelzflüssigem Silicium resistent zu machen.
Gemäß diesem Verfahren wird die zu beschichtende Oberfläche des Graphitkörpers mit pulvrigem Silicium
abgedeckt, welches beim Erhitzen des Graphitkörpers auf über 13600C in einer Inertgasatmosphäre oberflächlich
zu einer zusammenhängenden Schicht aus Siliciumcarbid abreagiert. Gegebenfalls kann in einem zweiten
Schritt zusätzlich noch Siliciumnitrid in pulvriger Form aufgetragen und bei erhöhter Temperatur mit dem
Formkörper zusammengesintert werden. Der Nachteil dieses Verfahrens liegt darin, daß gekrümmte Kohlenstofformkörper
nach diesem Verfahren nicht mit einer gleichmäßig dicken Schicht von Siliciumcarbid bzw. Siliciumnitrid
überzogen werden können. Zum anderen resultiert bei diesen Sinterprozessen lediglich eine Oberflächenschicht
mit sehr schlechter Porendichtigkeit.
Schmelzflüssiges Silicium dringt mit der Zeit in diese Poren ein und greift den unterliegenden Graphitkörper
zersetzend an. Außerdem kann umgekehrt Kohlenstoff aus dem Graphitkörper über entsprechende Poren in
der Überzugsschicht als störender Fremdstoff in die Siiidumschmelze
und somit zum Teil auch in den aus dieser Schmelze gezogenen Siliciumstab eindringen.
Aus der US-PS 29 72 556 ist bekannt, K&hlenstoffformkörper
durch Reaktion mit einer zunächst aufgebrachten Schicht aus elementarem Silitym mit einer
Siliciumcarbidbeschichtung zu überziehen und dann das noch nicht carbidisierte Silicium durch Reaktion mit einer
geeigneten Gasphase zu nitridieren. Dieses Verfah ren ist jedoch ^vegen der für den Carbidisierungsschritt
erforderlichen Temperatur von ca. 2200° C sehr energieaufwendig.
Der Erfindung lag daher die Aufgabe zugrunde, eine Schutzschicht für Kohlenstofformkörper zu finden, welche
die Oberfläche derartiger Formkörper gegenüber dem Angriff schmelzflüssigen Siliciums absolut resistent
macht und somit eine Mehrfachverwendung zuläßt
Gelöst wird diese Aufgabe· durch ein Verfahren gemäß
dem kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1. Bevorzugte Ausführungsformen ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Im wesentlichen sind die Maßnahmen, die für das chemische Dampfniederschlagen von Siliciumcarbid und
Siliciumnitrid erforderlich sind, bekannt
Im nachstehenden wird die Erfindung näher erläutert:
Der zu beschichtende Kohlenstofformkörper wird in einem geeigneten Reaktor eingebracht, welcher vorzugsweise
mit einer Halterung für den zu beschichtenden Körper versehen ist, welcher es ermöglicht, den
Kohlenstofformkörper im Fluß der Abscheidegase zu drehen, um eine möglichst gleichmäßige Beschichtung
zu erzielen. Vor der eigentlichen Abscheidung wird der zu beschichtende Kohlenstofformkörper auf eine Temperatur
von 1250 bis 1350° C vermittels einer geeigneten
Heizeinrichtung, beispielsweise einer Widerstandsheizung oder vorzugsweise einer Induktionsheizspule, aufgeheizt.
Um eine Oxidation des Kohleformkörpers bei diesen hohen Temperaturen zu vermeiden, ist es dabei
erforderlich, den Reaktor vorher mit einem entsprechenden Inertgas, beispielsweise Argon, luftfrei zu spülen.
Während der Aufheizung des Kohleformkörpers wird über einen geeigneten Gaseinlaß ein Trägergas in
einer Menge von 0,1 bis 6 Normalliter/h · cm2 in den Reaktor eingeleitet Als Trägergase eignen sich insbesondere
Argon und Wasserstoff. Wenn der Kohleformkörper auf die für die Abscheidung in der ersten Stufe
erforderliche Temperatur von 1250 bis 1350° C aufgeheizt
ist, werden dem Trägergas die für die Abscheidung in der ersten Stufe erforderlichen Gase beigemengt
oder auch separat in den Abscheidereaktor eingeleitet. Die Silicium enthaltende gasförmige Beimengung wird
dabei im Gemisch mit überschüssigem Wasserstoff, zweckmäßig im Gemisch mit 85 bis 95 Vol.-% Wasseistoff,
vorzugsweise etwa 92 bis 94 Vol. -% Wasserstoff, eingesetzt, und in Mengen von 0,01 bis 0,2 Normalliter/
h · cm2 in den Reaktor eingebracht.
Als Silicium enthaltende gasförmige Beimengung eignen sich dabei insbesondere Chlorsilane, wie beispielsweise
Monochlorsilan, Dichlorsilan, Trichlorsilan, Siliciumtetrachlorid
oder Hexachloridisilan, wobei Siliciumtetrachlorid und insbesondere Trichlorsilan bevorzugt
werden.
Neben der Silicium enthaltenden gasförmigen Beimengung wird im Trägergas oder direkt der Atmosphäre
des Reaktors noch die Kohlenstoff enthaltende gasförmige Beimengung der ersten. Stufe im Gemisch mit
überschüssigem Wasserstoff, zweckmäßig 85 bis 95 Vol.-%, bevorzugt 88 bis 92 Vol.-% Wasserstoff in
Mengen von 0,01 bis 4 Normalliter/h · cm2 in den Reaktor
eingeleitet Wenngleich es möglich ist, die Silicium und die Kohlenstoff enthaltenden gasförmigen Beimengungen
in bezüglich einer Siliciumearbidabscheidung stöchiometrischen Mengen einzusetzen, so wird ganz
allgemein doch ein Überschuß der Kohlenstoffkomponente gegenüber der Siliciumkomponente bevorzugt,
um eine kohlenstoffreiche Siliciumcarbiaschicht auf dem Kohlenstofformkörper abzuscheiden Das Gasverhältnis
wird dabei zweckmäßig so gewählt, daß bezogen auf die Elemente der Kohlenstoff in 5 bis 20fachem
Überschuß gegenüber dem Silicium im Abscheidegas vorhanden ist
Als Kohlenstoff enthaltende gasförmige Beimengungen kommen dabei allgemein Kohlenwasserstoffe, insbesondere
chlorierte Kohlenwasserstoffe, in Frage, wobei die besten Ergebnisse mit chlorierten Kohlenwasserstoffen
mit 1 bis 2 Kohlenstoffatomen, wie beispielsweise Methylchlorid oder Äthylchlorid, erzielt wurden.
Wenngleich die Herstellung einer mehr oder minder kohlenstoffreichen Siliciumcarbidschicht in der ersten
Stufe durch Zersetzung einer Silicium enthaltenden gasförmigen Verbindung und Zersetzung einer Kohlenstoff
enthaltenden gasförmigen Verbindung bevorzugt wird, da bei dieser Verfahrensvariante noch während der Abscheidung
das Verhältnis Silicium zu Kohlenstoff beliebig variiert werden kann, so ist es dennoch gleichermaßen
möglich. Silicium und Kohlenstoff in Form einer einzigen gasförmigen Verbindung, beispielsweise einer
organischen Siliciumverbindung, in den Reaktor einzuführen.
Die Abscheidung als solche erfolgt üblicherweise in der ersten und in der zweiten Stufe bei einem Druck von
0,5 bis 2 bar, wobei die Abscheidung bei Normaldruck naturgemäß am rationellsten ist.
Die Abscheidung in der ersten Stufe, die nach der bevorzugten Ausführungsform zu einer kohlenstoffhaltigen
Siliciumcarbidschicht führt, wird zweckmäßig nach einer Schichtdicke von etwa 5 bis 100 μπι abgebrochen
und der zu beschichtende Kohleformkörper auf eine Temperatur von etwa 1000 bis 1200°, vorzugsweise
1050 bis 1150°C abgekühlt Nach dem Freispülen des
Reaktors von den Abscheidegasen der ersten Stufe mit Wasserstoff oder Argon wird nach Erreichen einer konstanten
Temperatur der Kohlenstofformkörper dem Trägergas, welches auch in der zweiten Stufe in einer
Menge von 0,1 bis 6 Normalliter/h · cm2 eingeleitet wird und welches in der zweiten Stufe neben Wasserstoff
und Argon beispielsweise auch Stickstoff sein kann, eine gasförmige organische Siliciumverbindung
im Gemisch mit überschüssigem Wasserstoff, zweckmäßig 80 bis 95 VoL-%, vorzugsweise 82 bis 88 Vol.-%
Wasserstoff in einer Menge von 0,01 bis 0,2 Normalliter/h · cm2 in den Reaktor eingebracht
Neben der gasförmigen organischen Siliciumverbindung wird gleichzeitig Ammoniakgas in Mengen von 0,1
bis 6 Normalliter/h · cm2 in den Reaktor eingeführt, wobei zweckmäßig ein Silicium-Stickstoff-Verhältnis in der
Gasatmosphäre des Reaktors von 1 · 10 bis 1 :30 eingestellt wird.
Als gasförmige organische Siliciumverbindung kommen beispielsweise methylierte oder äthylierte Chlorsilane
od?v Silane in Frage. Vorzugsweise wird als organische Siliciumverbindung Tetramethyisilan eingesetzt,
weil es den Vorzug hat, daß es mit dem Ammoniak erst unmittelbar vor Ort, also kurz vor der Oberfläche des zu
beschichtenden Kohlenstofformkörpers in Reaktion tritt. Hieraus leitet sich auch die Notwendigkeit ab, bei
Einsatz anderer organischer Siliciumverbindungen diese getrennt vom Ammoniakgas in den Reaktor einzuleiten,
um eine Reaktion beider Gase in den Zuleitungen zu verhindern.
Zur Erzielung möglichst gleichmäßiger Schichten ist es erforderlich, in der ersten wie auch in der zweiten
Stufe, die Temperatur des zu beschichtenden Kohlenstofformkörpers möglichst konstant zu halten. Die Abscheidung
in der zweiten Stufe wird zweckmäßig bei einer Schichtdicke der stickstoffreichen Siliciumnitridschicht
von ca. 10 bis 1500 μΐη abgebrochen und der Reaktor mit einem Inertgas, wie insbesondere Argon,
von den Abscheidegasen freigespült.
Vorteilhaft wird zur Verfestigung der Schichten der Kohlcnstoffkörpcr bei ca. 1300 bis 14000C noch für einige
Zeit, also beispielsweise einige Stunden, im gleichen Reaktor getempert.
Die solchermaßen auf dem Kohlenstofformkörper hergestellten Schutzschichten sind absolut porenfrei
und somit gasdicht. Der beschichtete Kohlenstoffkörper besitzt eine hohe chemische Resistenz und kann gefahrlos
für längere Zeit mit schmelzflüssigem Silicium in Kontakt gebräche werden. Die solcherart beschichteten
Kohlenstofformkörper sind für eine Mehrfachverwendung geeignet, wobei es in der Regel günstig ist, von
Zeit zu Zeit, abhängig vom Gebrauch des entsprechenden Kohlenstofformkörpers, die Beschichtung zu erneuern.
Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren beschichteten Kohlenstoff- oder Graphitformkörper, insbesondere
Tiegel, sind erheblich billiger als die teuren Quarz- oder Glaskohlenstofftiegel bei gleichzeitig höheren
Standzeiten.
Anhand der Abbildung, die eine einfache Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens
schematisch wiedergibt, wird die Erfindung beispielhaft erläutert:
in einem vertikal gestellten Quarzreaktor, bestehend aus einem oberen Teil 1, welcher über einen angeschliffenen
Kern 2 gasdicht in die Hülse 3 des unteren, ebenfalls aus Quarz gefertigten Teils 4 der Quarzapparatur
eingepaßt ist, wird ein Graphittiegel 5 in einen paßgerecht geformten Quarzsuszeptor 6 gestellt, welcher
über eine Tiegelwelle 7 um seine vertikale Achse gedreht werden kann. Der Innendurchmesser dieses
Quarzreaktors beträgt im oberen zylindrischen Teil 50 mm, die Höhe der gesamten Quarzapparatur
500 mm. Vor der eigentlichen Abscheidung wurde das Innere des Reaktors durch den Gaseinlaß 8 mit Argon
freigespült, wobei die Gase über den Gasauslaß 9 aus dem System verdrängt wurden. Nach einer Spülzeit von
ca. 30 Minuten wurde nunmehr neben Argon zusätzlich Wasserstoff eingeleitet und der Graphittiegel 5 vermittels
der Induktionsheizspule 10 auf ca. 1300° C aufgeheizt
Nachdem der Graphittiegel die angegebene Temperatur erreicht hatte, wurde der Argonstrom abgeschaltet
und Wasserstoff als Trägergas in einer Menge von 1, 5 Normal!iter/h · cm2 in den Reaktor durch den
Gaseinlaß 8 eingeleitet Dem Trägergas wurden zusätzlich die Reaktionsgase zugemischt, und zwar 0,1 Nor- eo
malliter/h · cm2 eines zusätzlichen Gasgemisches aus
Trichlorsilan in 93 VoL-% Wasserstoff, sowie 1 Normal-Iiter/h · cm2 eines Gasgemisches aus 1.1. -Dichloräthylen
in 89 Vol.-°/o Wasserstoff. Durch die Regulierung der Gaszuführung und Gasabführung wurde dabei ein
Druck im Reaktor von 1.2 bar eingestellt Während der Abscheidung wurde der Tiegel 5 um seine vertikale
Achse mit einer Geschwindigkeit von 30 U/min gedreht Diese Drehung wurde durch einen Keilriemenantrieb
11 auf den äußeren Magneten 12 und über diesen auf den innerhalb der Apparatur befindlichen kleineren Magneten
13 sowie auf die über das Zwischenstück 14 verbundene Tiegelwelle 7 übertragen. Die genaue Zentrierung
der Quarzwelle 7 wurde dabei durch einen eingeschliffenen Quarzring 15 gewährleistet. Die gleichmäßige
Abscheidung der kohlenstoffreichen Siliciumcarbidschicht auf der Innenseite des Kohlenstofftiegels wurde
außerdem durch eine Perforierung des unteren Teils des in das Tiegelinnere einmündenden Gaseinlasses 8 und
die abschließende Quarzfritte 16 zusätzlich gefördert Um eine Abscheidung an den Wänden des Quarzreaktors
selbst zu verhindern, war der obere Teil des Quarzresktors mit einem wasserdurchströmten Kühlmantel
17 versehen.
Nach einer Abscheidungsdauer in der ersten Stufe von 4 Stunden betrug die Dicke der kohlenstoffreichen
Siliciumcarbidschicht auf der Innenwandung des Graphittiegels ca. 50 μηι.
Nach der Siliciumcarbidbeschichtung wurde die Temperatur des Graphittiegels 5 auf 1050° C abgesenkt, der
Zustrom der Reaktionsgase abgestellt und der Reaktor mit Wasserstoff freigespült, um alle chlorhaltigen Reaktionsgase
aus dem System zu entfernen. Nach einer Spülzeit von ca. 15 Minuten wurde zur Erzeugung einer
zusätzlichen kohlenstoffhaltigen Siliciumnitridschicht der als Trägergas fungierende Wasserstoffstrom bei
1,5 Normalliter/h · cm2 belassen, jedoch zusätzlich ein Gasgemisch aus 0,1 Normalliter/h ■ cm2 Tetramethylsi-Ian
in 85Vol.-% Wasserstoff und 1,2 Normalliter/ h · cm2 Ammoniak bei einem Druck von 1,2 bar durch
den Reaktor geleitet. Die Abscheidungsdauer in der zweiten Stufe betrug ca. 5 Stunden, die Schichtdicke,
bezogen auf kohlenstoffhaltiges Siliciumnitrid, betrug etwa 200 μπι.
Nach dem Abkühlen des beschichteten Graphittiegels auf Raumtemperatur und Freispülen der Apparatur i
mit Argon, wurde der Tiegel entnommen und in ihm in j einer zweiten Apparatur Silicium aufgeschmolzen, j
Nach 10 Stunden wurde die Siliciumschmeize ausgegos- }
sen und die Oberfläche des Graphittiegels untersucht. | Es zeigten sich keine Korrosionserscheinungen, die eine |
Wiederverwendung unmöglich gemacht hätten. \
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (15)
1. Verfahren zur Aufbringung einer Siliciumcarbid und Siliciumnitrid enthaltenden Schutzschicht auf
Kohlenstofformkörper, dadurch gekennzeichnet,
daß auf die zu beschichtende Oberfläche des auf eine Temperatur von 1250 bis 13500C
aufgeheizten Kohleformkörpers durch chemisches Dampfniederschlagen aus einem Trägergas das Reaktionsprodukt
aus eine Silicium und Kohlenstoff enthaltenden gasförmigen Beimengung abgeschieden
und nachfolgend auf diese erste Schicht bei einer Temperatur des Kohleformkörpers von 1000 bis
1200° C durch chemisches Dampfniederschlagen aus einem Trägergas das Reaktionsprodukt einer gasförmigen
organischen Siliciumverbindung und Ammoniak aufgebracht wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß in beiden Stufen ein Trägergas in einer Menge von 0,1 bis 6 Normalliter/h · cm2 in den Re-'tktor
eingeleitet wird.
3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Silicium enthaltende
gasförmige Beimengung im Gemisch mit überschüssigem Wasserstoff in Mengen von 0,01 bis 0,2 Normalliter/h
■ cm2 in den Reaktor eingeleitet wird.
4. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Silicium enthaltende
gasförmige Beimengung der ersten Stufe im Gemisch mit 85 bis 95 Vol.-% Wasserstoff in den Reaktor
eingeleitet wird.
5. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Silicium enthaltende
gasförmige Beimengung Chlorsilane eingesetzt werden.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß als Silicium enthaltende gasförmige Beimengung Trichlorsilan eingesetzt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kohlenstoff enthaltende gasförmi ■
ge Beimengung im Gemisch mit überschüssigem Wasserstoff in Mengen von 0,01 bis 4 Normalliter/h
· cm2 in den Reaktor eingeleitet wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Kohlenstoff enthaltende gasförmige
Beimengung der ersten Stufe im Gemisch mit 85 bis 95 Vol.-°/o Wasserstoff in den Reaktor eingeleitet
wird.
9. Verfahren nach den Ansprüchen 7 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß als Kohlenstoff enthaltende
gasförmige Beimengung chlorierte Kohlenwasserstoffe mit 1 bis 2 C-Atomen eingesetzt werden.
10. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 9, dadurch
gekennzeichnet, daß in der ersten Stufe bis zu einer Schichtdicke von 5 bis 100 μπι abgeschieden
wird.
11. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die gasförmige organische Siliciumverbindung der zweiten Stufe mit überschüssigem Wasserstoff
in Mengen von 0,01 bis 0,2 Normalliter/ h · cm2 in den Reaktor eingeleitet wird.
12. Verfahren nach Anspruch 1 "i, dadurch gekennzeichnet,
daß die gasförmige organische Siliciumverbindung im Gemisch mit 80 bis 95 Vol.-% Wasserstoff
in den Reaktor eingeleitet wird.
13. Verfahren nach den Ansprüchen 11 und 12,
dadurch gekennzeichnet, daß als gasförmige organische Siliciumverbindung Tetramethylsilan eingesetzt
wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß Ammoniak in Mengen von 0,1 bis
6 Normalliter/h · cm2 in den Reaktor eingeleitet wird.
15. Verfahren nach den Ansprüchen 11 bis 14, dadurch
gekennzeichnet, daß in der zweiten Stufe bis zu einer Schichtdicke von 10 bis 1500 μπι abgeschieden
wird.
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