DE2730495C2 - Doppelwandiges Kühlgefäß zur Aufnahme und Kühlung einer strahlungsempfindlichen Detektoranordnung und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Description

2. Kühlgefäß nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an die Verbindungsleitungen (14) auf der nicht-evakuierten Seite des elektrisch isolierenden Verbindungsringes (18) Steckeranordnungen (30,40) angeschlossen sind.

3. Kühlgefäß nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützflansch (16) erste und zweite konzentrisch angeordnete Anschlagflächen (16a, \6b) aufweist, wobei die zweite Anschagfläche (16a) dichter als die erste Anschlagfläche (16Z^ dem Innengefäß (12) benachbart ist und daß das Außengefäß (24) mit dem Stützflansch (16) an der ersten Anschlagfläche (16b) verbunden ist

4. Kühlgefäß nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch eine Strahungsabschirmung (22), welche konzentrisch zwischen Innen- und Außengefäß angeordnet und mit der zweiten Anschlagfläche (16a,) des Stützflansches (16) verbunden ist.

5. KUhlgefäß nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsabschirmung (22) eine das Gesichtsfeld der Detektoranordnung (10) definierende öffnung aufweist.

6. Kühlgefäß nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der elektrisch isolierende Verbindungsring (18) aus Glas besteht.

7. KUhlgefäß nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß als Metall für die Verbindungsleitungen (14) und den Stützflansch (16) eine Eisen-Nickel-Kobalt-Legierung gewählt ist.

8. Kühlgefäß nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen weiteren mit dem Ende des Innengefäßes (12) verbundenen Stützflansch (48).

9. Kühlgefäß nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Steckeranordnungen aufweisen:
tragende, elektrisch isolierende Randstreifen (38); und mehrere, sich speichenförmig von dem Randstreifen (38) erstreckende Leiter (40) zu Kontaktierung mil den Verbindungsleitungen (14).

10. Kühlgefäß nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Randstreifen (38) mit dem Stützflansch (16) verbunden ist

11. Verfahren zur Herstellung eines Kühlgefäßes nach einem der Ansprüche 1 bis 10, gekennzeichnet durch:

die Einbettung mehrerer Verbindungsleitungen (14) in die Außenwand des Innengefäßes (12); und
Anordnung eines isolierenden Verbindungsringes (18) zwischen dem Stützflansch (16) und dem Innengefäß (12), wobei der Verbindungsring (18) in Längsrichtung nur einen Teil der eingebetteten Verbindungsleitungen (14) überdeckt so daß zu beiden Seiten des Verbindungsringes (18) die Verbindungsleitungen (14) zugänglich sind.

12. Verfahren nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch die Befestigung des Außengefäßes (24) an dem Stützflansch (16) mittels einer Vakuum-Abdichtung.

13. Verfahren nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte zum Einbetten der Verbindungleitungen (14):

Herstellung von ersten und zweiten Stützstreifen (60,62), zwischen denen sich mehrere Verbindungsleitungen (14) erstrecken;

Herstellung eines ersten Teiles (12a^ des Innengefäßes (12); Anordnung des ersten Teiles (12a^ des Innengefäßes (12) und der durch die Verbindungsleitungen (14) verbundenen Stützstreifen (SO, 62) nach deren Verbiegung zu einem zylindrischen Käfig in einer Schmelzform (64—70);

Erhitzung der Schmelzform (64—70), um den ersten Teil {12a) des Innengefäßes (12) mit den Verbindungsleitungen (14) zu verschmelzen;

Entfernung der Stützstreifen (60,62) von den Verbindungsleitungen (14) nach dem Schmelzprozeß; und

Verbindung eines zweiten Teiles {12b) des Innengefäßes mit dem ersten Teil (12aJ.

14. Verfahren nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch die Anordnung eines ersten und zweiten Zylinders (12,18) aus schmelzbarem Material zu beiden Seiten des zylindrischen Käfigs (14, 60, 62) in einer Schmelzform und die Erhitzung der Schmelzform.

15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützflansch (16) vor dem Erhitzen in die Schmelzform um den Verbindungsring (18) gelegt wird.

16. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Teil (12a^ des Innengefäßes (12) mit einem weiteren Teil (12c^ verbunden wird.

Die vorliegende Erfindung betrifft ein doppelwandiges Kühlgefäß nach dem Gattungsbegriff des Anspruches 1 sowie ein Verfahren zur Herstellung desselben. Insbesondere befaßt sich die vorliegende Erfindung mit dem Aufbau und einem Herstellverfahren einer Infrarot-Detektoranordnung in einem Dewar-Gefäß.

Infrarot-Fotodetektoren erfordern niedrige Betriebstemperaturen zur Erzielung einer verbesserten Detektorleistung. Die Detektoren werden daher normalerweise in einem doppelwandigen Kühlgefäß vom Dewar-Typ angeordnet. Ein Dewar-Gefäß besteht aus einem inneren und einem äußeren Gefäß. Die Infrarot-Detektoren befinden sich in thermischem Kontakt mit der Dachfläche des Innengefäßes, das auf Tiefsttemperaturen gekühlt ist. Die Detektoren werden somit mit diesen

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Tiefsttemperaturen betrieben. Da das Dewar-Gefäß Fig. Ic eine teilweise aufgeschnittene Ansicht eines

normalerweise in der Umgebung der Detektoren ein Teiles des Kühlgefäßes gemäß den Fig. la und Ib,

Vakuum aufweist, ergeben sich gewisse Schwierigkeiten Fig. 2 die Verbindungsanordnung zur Herstellung

bei der Herausführung der elektrischen Anschlüsse von der Verbindung mit den Durchführungen im nicht-eva-

den Detektoren im evakuierten Teil nach draußen. Die 5 kuierten Teil des Kühlgefäßes,

ff für die Montage der Detektoren in dem Dewar-Gefäß F i g. 3 eine Draufsicht auf das Innengefäß gemäß den

te und zur Herstellung der elektrischen Anschlüsse der Fig. la bis Ic,

|j Detektoren nach draußen benutzte Herstellungstechnik F i g. 3a einen Längsschnitt durch das Innengefäß geil umfaßt im allgemeinen eine große Anzahl von manuel- maß Fig.3,

!■'."; len Fabrikationsschritten. Diese manuellen Fabrika- 10 F i g. 3b einen Teilschnitt aus F i g. 3a,

(i tionsschritte sind zeitaufwendig, langwierig, teuer und F i g. 3c eine vergrößerte Ansicht eines Teiles in

* I im allgemeinen unbegriedigend. F i g. 3a und

If Ein spezielles, schwieriges, Problem ergibt sich bei Fig.4a bis 4i den Herstellprozeß eines Innengefäßes Il der Erzeugung vakuumdichter Durchführungen, d.h. in Obereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung.
K von Verbindungsleitungen von dem evakuierten Teil 15 Bei der vorliegenden Erfindung sind die aus dem Va- |j des Dewar-Gefäßes nach draußen in den nicht-evaku- kuumteil nach draußen führenden Verbindungsleitung ierten Teil des Gefäßes. Dieses Problem gestaltet sich gen axial ausgerichtet und sie sind teilweise in das In-[ besonders schwierig, wenn eine große Anzahl von De- nengefäß eingebettet, wobei zu beiden Seiten des Ver-S tektoren in dem Kühlgefäß anzuordnen ist So werden bindungsringes Teile dieser elektrischen Leitungen frei tt beispielsweise in vielen bekannten Anwendungsfällen 20 zugänglich sind. Ein solcher Aufbau ist leicht herstellbar, ■- mehr als 100 Durchführungen gefordert Die getrennte wobei nur ein Minimum an manuellen Bearbeitungsj - Handhabung, Befestigung und Verschmelzung der schritten erforderlich ist Der sich ergebende Aufbau Durchführungen in einzelnen Schritten führt hierbei zu des Kühlgefäßes vom Dewar-Typ ist daher in besondeeinem untragbaren Aufwand. rem Maße für eine Massenfertigung geeignet
ι, ι In der Vergangenheit sind verbesserte Verfahren zur 25 Gemäß den Fig. la bis Ic weist das Kühlgefäß eine Herstellung von Durchführungen in einem Kühlgefäß Detektoranordnung 10 auf, die auf dem oberen Ende ; bekanntgeworden, wobei ein solches Verfahren bei- des Innengefäßes 12 angeordnet ist Leitungsdrähte in ί spielsweise in der US-PS 37 19 990 beschrieben ist Bei Dünnfilmtechnik erstrecken sich von der Dachfläche '- diesem bekannten Verfahren werden vakuumdichte des Innengefäßes 12 nach den Seitenflächen desselben. Durchführungen in die Seitenwand des Außengefäßes 30 Diese Leitungen sind an die Verbindungsleitungen an- k: eingesetzt. Die Durchführungen weisen die Form meh- geschlossen, die aus mehreren metallischen Leitungen rerer speichenförmig angeordneter leitender Streifen 14 bestehen, welche axial ausgerichtet und teilweise in l auf, die sich auf einem äußeren Stützrand befinden. Eine die Seitenfläche des Innengefäßes 12 eingebettet sind, etwa gleiche Anordnung ist in der US-PS 38 51 173 dar- Ein erster Stützflansch 16 ist in Höhe der Verbindungs-' gestellt und beschrieben. 35 leitungen 14 mit dem Innengefäß 12 verbunden. Der '> Ausgehend von diesen bekannten Anordnungen und erste Stützflansch 16 besteht vorzugsweise aus Metall, Herstellverfahren ist es die Aufgabe der vorliegenden z. B. aus einer Eisen-Nickel-Kobaltlegierung »Kovar« Erfindung, eine Anordnung, sowie ein Verfahren zur und ist mit dem Innengefäß 12 über einen isolierenden Herstellung derselben anzugeben, die leicht und preis- Verbindungsring 18 aus Glas verbunden. Die metalliwert unter Inanspruchnahme weniger manueller Schrit- 40 sehen Verbmdungsleitungen 14 sind zu beiden Seiten te herstellbar ist und wobei eine zuverlässige Abdich- des Verbindungsringes 18 zugänglich,
tung erzielt wird, ohne daß beim Auftreten mechani- Über der Detektoranordnung 10 befindet sich eine "^l scher Beanspruchung die Anordnung unzulässig hohen Kälteabschirmung 20, die die gesamte Dachfläche des , ■ Spannungen ausgesetzt wird. Die Lösung dieser Aufga- Innengefäßes 12 sowie die darauf befindlichen Dünnbe gelingt gemäß der im Anspruch 1 gekennzeichneten 45 filmleitungen überdeckt Die Kälteabschirmung 20 ist Anordnung. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen die- auf der Innenseite vorzugsweise schwarz und auf der ser Anordnung sowie ein Verfahren zur Herstellung Außenseite vergoldet, wobei ein Schlitz oberhalb der . dieser Anordnung sind den Unteransprüchen entnehm- Detektoranordnung so bemessen ist, daß er mit dem bar. geforderten Gesichtsfeld übereinstimmt Da die Kälte-Gemäß der vorliegenden Erfindung sind mehrere so abschirmung 20 sich in thermischem Kontakt mit dem / Verbindungsleitungen teilweise in die Außenwand des Innengefäß 12 befindet, wird sie auf der für den Betrieb Innengefäßes eingebettet. Die Verbindungsleitungen des Kühlgefäßes erforderlichen Tiefsttemperatur gehalsind im wesentlichen axial ausgerichtet Ein isolierender ten.

¹ Verbindungsring befindet sich zwischen dem Innerige- An einem ersten Anschlag 16a des ersten Stützflan-

fäß und einem ersten Stützflansch. Zu beiden Seiten des 55 sches 16 ist eine Strahlungsabschirmung 22 befestigt.

Verbindungsringes sind die Verbindungsleitungen frei Diese Strahlungsabschirmung 22, die vorzugsweise aus

. zugänglich. Das Außengefäß ist auf den ersten Stütz- rostfreiem Stahl besteht, ist konzentrisch zu dem lnnen-

1 flansch aufgesetzt und eine Vakuumdichtung befindet gefäß 12 angeordnet Das Dach der Strahlungsabschir-

sich zwischen dem Außengefäß und dem ersten Stütz- mung 22 weist eine öffnung über der Detektoranord-

flansch. 60 nung auf, die so bemessen ist, daß eine Anpassung an

J^ Anhand eines in den Figuren der Zeichnungen darge- das geforderte Gesichtsfeld erfolgt Die Oberfläche der

_{{ stellten Ausführungsbeispieles sei die Erfindung im fol- Strahlungsabschirmung 22 ist vorzugsweise sowohl auf

genden näher erläutert. Es zeigt der Innen- als auch auf der Außenseite vergoldet.

F i g. 1 a eine Ansicht des doppelwandigen Kühlgefä- Die Strahlungsabschirmung 22 ist von einem Außenßes gemäß der vorliegenden Erfindung in auseinander- 65 gefäß 24 umgeben. In einem bevorzugten Ausführungs-, gezogener Darstellung, beispiel besteht das Außengefäß 24 aus Metall, z. B. aus Fig. Ib eine teilweise aufgeschnittene Ansicht des »Kovar« und ist vakuumdicht an einer zweiten Anzusammengebauten Kühlgefäßes, schlagfläche 166 des Stützflansches 16 befestigt Die Va-

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kuumabdichtung zwischen denn Stützflansch 16 und sind ebenso wie die Leitungen 32 und 34 des Getters 30 dem Außengefäß 24 wird vorzugsweise durch eine Ver- mit Pfosten des Korbes 52 verschraubt, wobei lsolatoschweißung gebildet Ein Germaniumfenster 26 ist auf ren verwendet werden, um einen Kurzschluß über den die Dachfläche des Außengefäßes 24 aufgelötet und ge- Korb zu vermeiden. Ein Außenzylinder 53 ist über den stattet den Einfall von Infrarotstrahlung auf die Detek- 5 Korb 52 gestülpt und mit diesem verschraubt. Schleiftoranordnung 10. In Nähe der Dachfläche des Außenge- ringe 54 und 56 sind in einer Nut 58 im Zwischenflansch fäßes 24 befindet sich ein Flansch 28, mit welchem eine 50 angeordnet. Eine Indexplatte 60 ist über Schrauben äußere, nicht dargestellte Kälteabschirmung verbunden mit den Schleifringen 54 und 56 verbunden,
werden kann. Das vorstehend beschriebene doppelwandige Kühl- j

In dem evakuierten Teil des Kühlgefäßes ist ein Get- 10 gefäß zur Aufnahme und Kühlung einer strahlungsemp-

ter 30 angeordnet Leitungsdurchführungen 32 und 34 findlichen Detektoranordnung weist verschiedene Vor- ₍>

erstrecken sich von dem Getter 30 nach dem nicht- teile auf. Erstens ist das Kühlgefäß relativ einfach herzu- i

evakuierten Teil des Kühlgefäße& Ferner ist aus F ig. Ic stellen, wobei nur ein Minimum manueller Herstell- f,

eine Evakuierröhre 36 ersichtlich, an der die Evakuie- schritte erforderlich ist Zweitens wird bei der Herstel- ίΊ

rung des doppelwandigen Kühlgefäßes vorgenommen is lung des Kühlgefäßes von der ausgereiften Technologie

wird. einer Glas/Kovar-Metall-Verbindung Gebrauch ge-

Der elektrische Anschluß zwischen den Verbindungs- macht, die zu Vakuumabdichtungen höchster Zuverläsleitungen 14 und den Detektorelementen der Detektor- sigkeit führt Drittens führt der in den Fig. la bis Ic anordnung 10 wird durch elektrische Leitungen in dargestellte Aufbau zu einer mechanischen Entkoppe-Dünnfilmtechnik hergestellt, die sich von den einzelnen 20 lung aller Komponenten, wenn man einmal die Glas/ Verbindungsleitungen 14 auf die Dachfläche des Innen- Metall-Vakuumabdichtung außer Acht läßt. Viertens gefäßes 12 erstrecken. Es wird sodann ein elektrischer kann die Umfangsrichtung eine Ausrichtung erfolgen, Anschluß zwischen den Detektoren und den Dünnfilm- ohne daß die Abdichtung beansprucht wird. Das Kühlleitungen auf der Dachfläche des Innengefäßes 12 her- gefäß ist daher sowohl einfach herzustellen, als auch frei gestellt 25 von gefährlicher mechanischer Beanspruchung.

Der elektrische Anschluß mit den Verbindungsleitun- Gemäß den F i g. 3 bis 3c ist die Anordnung der Vergen 14 auf der anderen Seite des Verbindungsringes 18 bindungsleitungen in einer axialen Matrix näher dargewird durch einen elektrisch isolierenden Randstreifen stellt Wie aus diesen Figuren ersichtlich, sind die Verhergestellt, in welchen mehrere Leitungen eingebettet bindungsleitungen 14 teilweise in die Seitenwand des sind. Die Leitungen erstrecken sich von dem Randstrei- 30 Innengefäßes 12 eingebettet. In einem bevorzugten fen speichenförmig nach innen, um den Kontakt mit Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung besteentsprechenden Verbindungsleitungen 14 herzustellen. hen die Verbindungsleitungen 14 aus »Kovar«-Leitern Bei der Ausführungsform gemäß den F i g. la bis lc be- mit einem quadratischen Querschnitt und einer Kantensteht der Randstreifen 38 aus vier Abschnitten, wobei länge von ungefähr 0,13 mm.

jeder Abschnitt ein Viertel der speichenförmig angeord- 35 Die axiale Matrix gemäß den Fig. 3 bis 3c kann in

neten Leitungen 40 aufnimmt Der Randstreifen 38 ist in einer Anzahl von Verfahren hergestellt werden, die die

unmittelbarer Nachbarschaft des Stützflansches 16 an- Schritte des Schmelzens, des Flammensprühens und des

geordnet In F i g. 2 ist eine weitere Ansicht des Rand- Vakuurnschrumpfens bzw. des Vakuumdehnens umfas-

streifens 38 und der Leitungen 40 dargestellt sen. Ein besonders vorteilhaftes Verfahren zur Bildung

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist der 40 der axialen Matrix ist in den F i g. 4a bis 4i gezeigt. Die-Randstreifen 38 durch eine Epoxydverbindung mit dem ses Verfahren verwendet das Glasschmelzen.
Stützflansch 16 verbunden. Die Leitungen 40 sind je- In F i g. 4a ist ein Metallgitter dargestellt. Das Gitter weiis im Hinblick auf die Verbindungsleitungen 14 aus- umfaßt zwei Stützstreifen 60 und 62 und mehrere sich gerichtet Sie bestehen vorzugsweise aus L-förmig ge- zwischen den Stützstreifen erstreckende Drähte. Diese bogenen Fingern, die aus Beryllium/Kupfer hergestellt 45 Drähte bilden die Verbindungsleitungen 14 in der sind. Diese Finger werden mit den Verbindungsleitun- axialen Matrix. Bei einem erfolgreichen Ausführungsgen 14 verschweißt beispiel besteht das Gitter aus »Kovar« und weist eine

Ein flaches flexibles Kabel 42 ist an den Randstreifen Dicke von 0,13 mm auf, wobei 220 Drähte mit einer 38 angeschlossen und stellt den elektrischen Anschluß Breite von 0,13 mm sich zwischen den Stützstreifen 60 mit den Leitungen 40 her. Ein Widerstandspaket 44 in 50 und 62 erstrecken. Die Drähte werden in einem hergedruckter Schaltkreistechnik ist ebenso wie ein Stek- kömmlichen Foto-Ätzverfahren gebildet
ker 46 auf dem flexiblen Kabel 42 angeordnet Der Stek- Das Gitter wird sodann auf einem Aufspanndorn zu ker 46 weist eine in der Luftfahrtindustrie übliche Form einem Zylinder gebogen und an den Stoßstellen durch auf. Jeder Widerstand des Widerstandspaketes 44 in ge- eine Punktschweißung verbunden. Es ergibt sich somit druckter Schaltkreistechnik kann auf einen bestimmten 55 die Form einer Käfigwicklung. Diese sich ergebende Wert voreingestellt sein, um einen speziellen Vorwider- Käfigwicklung ist in F i g. 4b dargestellt
stand zusammen mit seinem zugehörigen Detektorele- In den F i g. 4c bis 4e ist die Entwicklung der Schmelzment zu bilden. form dargestellt die benötigt wird, um die Vakuumab-

In das Ende des Innengefäßes 12 ist ein Metallring 48 dichtung zu bilden und die Verbindungsleitungen in die mit einem Zwischenflansch 50 eingeschmolzen. Eine 60 Seitenwand des Innengefäßes einzubetten. Die Schulter ist für eine O-Ringdichtung zwischen dem Me- Schmelzformen 64,66,68 und 70 bestehen aus Graphit lallring 48 und dem nicht dargestellten Kühler vorgese- Zwei sorgfältig dimensionierte Zylinder 12a und 18 aus hen. der das Innengefäß 12 kühlt Ein Korb 52, der be- einem schmelzbaren Material (vorzugsweise Glas) wernutzt wird, um die Stecker 46 in ihrer Lage zu halten, ist den konzentrisch in der Schmelzform angeordnet womit dem Zwischenflansch 50 verschraubt Jedes Wider- 65 bei die Käfigwicklung zwischen den beiden Zylindern standspaket 44 ist durch eine Epoxydverbindung mit positioniert ist Der Stützflansch 16 umgibt den Verbinihrer zugeordneten Stützplatte verbunden, wobei diese dungsring 18.
Stützplatte einen Teil des Korbes 52 bildet Die Stecker Wenn die Schmelzform in der in F i g. 4e dargestellten

Weise zusammengesetzt ist, so wird die gesamte Anordnung erhitzt. Die Hitze wird vorzugsweise durch einen Induktionsheizer erzeugt. Die Hochfrcqucnzcncrgie des Induktionsheizers erzeugt eine Hitze, die sich der Schmelzform mit niedrigem Widerstand und den Metallteilen mitteilt. Durch die Berührung mit der Schmelzform und den Metallteilen wird das Glas erhitzt. Beim Auftreten der Hitze fließt das Glas um die Drähte der Käfigwicklung, wobei diese gesamthaft im Bereich innerhalb des Stützflansches 16 benetzt werden und wo- durch somit eine gute Vakuumabdichtung sichergestellt wird.

Die Schmelzform wird sodann abgekühlt und die rohe Axialmatrix wird entfernt, wie dies in F i g. 4f dargestellt ist. Da alle Drähte über die Stützstreifen 60 und 62 miteinander verbunden sind, müssen diese Stützstreifen abgeschnitten werden, wie dies in F i g. 4g dargestellt ist

In Fig.4h ist das Innengefäß dargestellt, nachdem Glasteile 126 und 12c an die axiale Matrix angesetzt worden sind. Der Metallring 48 wird während der Herstellung ebenfalls mit dem Innengefäß verbunden. Die Verbindung der Teile 126 und 12c mit dem Mittelteil wird durch eine herkömmliche Glas-Verbindungstechnik bewerkstelligt.

Im bevorzugten Ausführungsbeispiel gemäß der vorliegenden Erfindung wird der Anschluß der Verbindungsleitungen 14 an die Infrarotdetektoren durch Dünnfilmleitungen bewirkt, die auf der Außenseite und der Dachfläche des Teiles 126 des Innengefäßes abgelagert sind. Hierbei wird der Teil 126 durch Zerstäubung oder Ionen-Plattierung mit Metall beschichtet Teile der Beschichtung werden sodann selektiv in einem Fotoverfahren entfernt, wodurch einzelne Leiter verbleiben, die mit den Verbindungsleitungen 14 in Verbindung treten und sich auf der Seitenfläche des Teiles 126 bis zu dessen Dachfläche erstrecken.

Wenn dieses Verfahren verwendet wird, so wird der Teil 126 geschliffen, um einen genauen Außendurchmesser im Hinblick auf das Foto/Ätzverfahren zu erzeugen. Ein dünner Metallfilm ist somit auf der Dachflä- ehe und der Seitenfläche des Teiles 126 des Innengefäßes abgelagert Dieser Metallfilm übergreift die Verbindungsleitungen 14. Ein Foto/Ätzverfahren wird benutzt, um selektiv das Material zu entfernen.

Dieses Verfahren kann in verschiedener Weise ausgeführt werden. Ein besonders vorteilhaftes Verfahren besteht aus zwei Schritten, wobei die gebogene seitliche Oberfläche getrennt von der flachen Dachfläche bearbeitet wird. Eine flexible Maske wird um die gebogene Oberfläche des Innengefäßes geschlungen und befindet sich in Kontakt mit einem Fotoresist, das das abgelagerte Metali überdeckt Der Vorteil dieses Verfahrens liegt in seiner Einfachheit Da das Innengefäß metallbeschichtet und daher lichtundurchlässig ist und da die Maske sich in Kontakt mit dem Fotoresist befindet spielt die Richtung, in der die Materialentfernung erfolgt, keine Rolle. Es sind somit keine ausgeklügelten Befestigungen und Werkzeuge erforderlich, um die Belichtung des Fotoresists durchzuführen. Da nur eine Belichtung erforderlich ist, kann zusätzlich das Verfahren rasch mit wenigen Handgriffen und mit geringen Kosten durchgeführt werden.

Nach der Belichtung wird das belichtete Fotoresist weggewaschen. Die Metallisierung wird sodann weggeätzt und es kann anschließend die Bearbeitung der es Dachfläche des Innengefäßes vorgenommen werden.

Die Bearbeitung der Dachfläche erfolgt in gleicher Weise, wobei eine Kontaktmaske auf die Dachfläche aufgelegt wird. Es kann eine einzeige Belichtung verwendet werden, wonach das Abwaschen, das Ätzen und die Reinigung der Fläche erfolgt. In Fig.4i ist die mit diesem Verfahren hergestellte Struktur dargestellt, wobei sich die aufgetragenen Leitungen 80 und 82 von den Verbindungsleitungen 14 über die Seitenfläche bis zur Dachfläche des Innengefäßes erstrecken. Die Verbindung der Detektoren der Detektorenanordnung mit den einzelnen Leitungen auf der Dachfläche des Innengefäßes kann in bekannter Weise erfolgen.

Hierzu 5 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

Patentansprüche:

1. Doppelwandiges Kühlgefäß zur Aufnahme und Kühlung einer strahlungsempfindlichen Detektoran-Ordnung, mit einem Detektoren und elektrische Leitungen tragenden Innengefäß, mit einem Außengefäß, das über einen Stützflansch mit dem Innengefäß verbunden ist, wobei sich zwischen beiden Gefäßen ein evakuierter Hohlraum befindet, und mit Verbindungsleitungen zum Herausführen der im Vakuum angeordneten elektrischen Leitungen in den vakuumfreien Raum, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:

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die Verbindungsleitungen (14) erstrecken sich in Achsenrichtung des Innengefäßes (12) und sind zumindest teilweise in dessen. Außenfläche eingebettet; und

b) ein elektrisch isolierender Verbindungsring (18) ist zwischen dem die Verbindungsleitungen (14) tragenden Teil des Innengefäßes (12) und dem das Außengefäß (24) tragenden Stützflansch (16) angeordnet, wobei der Stützflansch (16) aus Metall besteht und die Verbindungsleitungen auf gegenüberliegenden Seiten des elektrisch isolierenden Verbindungsringes zugänglich sind.