DE2157695A1 - Verfahren zur Herstellung von vakuumdichten Leitungsdurchführungen in einer Dewar-Einrichtung - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von vakuumdichten Leitungsdurchführungen in einer Dewar-Einrichtung

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Description

Patentanwälte Dr.-Infl. von Knlsler Dr.-Ing. SdwnwoM *> <j ρ* η ρ* Q C
Df.-!ng.Th. Aieyer ßr.Fues Dipl.-Che(i).AIek von KreiiJor fc IO /O3O
Dipl.-Clwfli.Carola Keller Dr.-Ing. iilöpsdi Dipl.-Ing. Setting
19.11.I97I Se
Optoelectronics } Inc.,
Dynamic Street, Petaluma, California 94952, V.St.Ä1
Verfahren zur Herstellung von vakuumdichten Leitungsdurchführungen in einer Dewar-Einrichtung
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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von vakuumdichten Leitungsdurchführungen in einer Dewar-Einrichtung. Derartige Leitungsdurchführungen sind insbesondere als Zuleitungen für aus vielen Elementen bestehende Infrarot-Detektoren in einem Dewar-Gefäß notwendig.
Es ist bereits bekannt, infrarot-empfindliche photoelektrische Zellen in einer Dewareinrichtung vorzusehen, um eine verbesserte Detektorleistung zu erzielen. Beispielsweise werden die Infrarot-Detektoren· an der Außenseite des inneren Dewar-Zylinders angeordnet, wo sie sich im Vakuum befinden. Wenn das innere Gefäß der Dewareinrichtung mit Kältemitteln gekühlt wird, kann eine verbesserte Detektorleistung der Infrarotdetektoren erreicht werden.
Die elektrische Verbindung zwischen den einzelnen Detektoren· im evakuierten Teil des Dewar-Gefäßes und dem - nicht evakuierten - Außenraum des Dewar-Gefäßes wird mittels durch die Seitenwände des Dewar-Gefäßes hindurchgeführter Leiterelemente hergestellt. Dabei wurden diese durch die Seitenwände des Dewar-Gefäßes hindurchgehenden Leiterelemente bisher separat gehandhabt und einzeln gehalten, während Glas um sie herum verschmolzen wurde, um eine vakuumdichte elektrische Verbindungsleitung herzustellen.
Diese bekannten Herstellungsverfahren weisen schwerwiegende Nachteile auf. Wenn viele verschiedene Detektoren in einem einzelnen Dewar-Gefäß angeordnet werden, so ist es schwierig, die Leiter für die Durchführungen einzeln anzuordnen bzw. zu halten. Außerdem kommen die Leiter in vielen Fällen so zu liegen, daß sie entweder das Dewar-Gefäß nicht ganz durchdringen, untereinander in Kontakt kommen und somit die einzelnen elektrischen Signalwege querverbinden oder andererseits vom Glas versehentlich isoliert werden, sodaß ein nachfolgender elektrischer Anschluß der einzelnen, entsprechenden Infrarot-Detektoren nicht möglich ist.
Es ist Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung derartiger vakuumdichter Leitungsdurchführungen zu schaffen, bei dem die oben angeführten Nachteile vermieden
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werden. Dieses Verfahren i'st erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet , daß ein Tragrahmen mit mehreren daran angeordneten, sich von diesem aus erstreckenden Leitern zwischen übereinanderliegenden Abschnitten für eine Dewar-Einrichtung angeordnet werden, daß dann die übereinanderliegenden Abschnitte der Dewar-Einrichtung unter Einschluß der Leitern an, vom Tragrahmen entfernten Stellen, miteinander verschmolzen werden, wonach der Tragrahmen von den Leitern abgetrennt wird.Es wird demnach z.B. ein zylindrischer Teil des Dewar-Gefäfiea in zwei übereinanderliegende Abschnitte geteilt.. Sodann werden mehrere beispielsweise flache Leiterstreifen radspeichenartig an einem äußeren, vorzugsweise ringförmigen Tragrahmen angeordnet und an der Stelle der Durchführungen zwischen den beiden Abschnitten des Dewar-Zylinders eingeklemmt. In dieser Lage werden die aus Glas bestehenden Abschnitte des Dewar-Zylinders miteinander verschmolzen, wobei sie die Leiter zwischen sich einschließen. Damit ist es möglich, eine Vielzahl von vakuumdichten elektrischen Leitungsdurchführungen herzustellen mit dem Vorteil, daß ein jeweils separates Anordnen, Halten und Verschmelzen der einzelnen Leitungsdurchführungen vermieden wird.
Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens ist, daß es möglich ist, durchzuführende Leiter mit einem flachen, rechteckigen Querschnitt zu verwenden, welche zwischen den einander zugewandten bzw. übereinanderliegenden Abschnitten des Dewar-Zylinders eine kleine Abmessung besitzen. Dadurch braucht das Glas nur ein relativ kleines Stück fließen, wenn es gleichzeitig um alle einzelnen Leiter verschmelzen wird.
Es Vorteil der Erfindung liegt auch darin, daß sich die Leiter schon vor dem Verschmelzen durch die Wände des Dewar-Gefäßes hindurch bzw. über diese hinaus erstrecken. Nach dem Verschmelzen ist dann eine komplette, fehlerlose elektrische Versorgung durch die Durchführungen hindurch gesichert.
Der Vorteil dieser verbesserten Anordnung ist, daß die einzelnen Leiter in genauer, radialer Ausrichtung angeordnet -werden können, wodurch diese in praktischer Weise sowohl außen als auch innen elektrisch-angeschlossen werden können.
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Ein anderer Vorteil der Erfindung ergibt sich dadurch, daß ein Dewar-Gefäß mit einer hohen Dichte von Leitungsdurchführungen hergestellt werden kann.
Aus der Erfindung ergibt sich auch eine Vorrichtung zur Herstellung der Buchführungen und des Dewar-Gefäßes in genauer konzentrischer Relation zueinander. Die genaue Konzentrizität der Dewargefäßteile und Leitungsdurchführungen bietet den Vorteil, daß das fertiggestellte Dewargefäß Jaule-Thompson-Kühler vom Kryostat-Typ aufnehmen kann, weiche einen genauen Innendurchmesser des Dewar-Gefäßes erfordert. Überdies besitzt diese Vorrichtung den Vorteil, daß bei der Herstellung ein unabsichtliches Bedecken und somit isolieren der angebrachten Leiter durch das Glas verhindert wird.
Weitere Vorteile und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden in der nachstehenden Beschreibung an einem in der Zeichnung dargestellten Beispiel näher erläutet. In der Zeichnung zeigen im einzelnen die Fig. 1 eine Darstellung (in auseinandergezogener Anordnung) eines Teiles einer Dewar-Einrichtung für Infrarotdetektoren mit Leitern zur Durchführung, wobei die Teile des Dewar-Gefäßes vor dem Verschmelzen dargestellt sind, Fig. 2 in verkleinertem Maßstab die Teile des Dewar-Gefäßes gemäß Fig. 1, jedoch nach dem Verschmelzen und nachdem der Tragrahmen für die einzelnen Leiter in den Durchführungen abgetrennt wurde, Fig. 3 die Dewar-Einrichtung gemäß Fig. 1 und 2 vor dem abschließenden Zusammenbau und die Fig. 4 einen Längsschnitt durch eine zylindrische Form, in der die Teile des Dewar-Gefäßes in genauer konzentrischer Relation zueinander miteinander verbunden werden.
Die Anordnung der Infrarot-Detektoren läßt sich am besten anna.nd der Fig. 3 erläutern. Der äußere Dewar-Zylinder A und der innere Dewar-Zylinder B sind übereinanderliegend gezeichnet,» Der äußere Dewar-Zylinder A ist in zv/ei Abschnitte geteilt; der erste Abschnitt 14 befindet sich in der Darstellung konzentrisch oberhalb des inneren Dewar-Zylinders 3; der zweite Abschnitt 15 des äußeren Dewar-Zylinders ist mit der Abdeckung C des Dewar-Gefäßes, welche sich zwischen der Außenseite des äußeren Zylinders A und der Innenseite des inneren
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Zylinders erstreckt, verschmolzen dargestellt.
Die oberen Enden der Dewar-Zylinder A, B sind beide abgeschlossen. Dabei ist der äußere Dewar-Zylinder A mit einem durchsichtigen Fenster 17 und der innere Dewar-Zylinder B mit einer infrarot-empfindlichenZellentragscheibe 18 abgeschlossen.
Die endgültige Form des Dewar-Gefäßes wird erhalten, wenn die Abschnitte 14 und 15 des äußeren Dewar-Zylinders A miteinander verbunden werden. Sodann wird der Zwischenraum zwischen dem äußeren Dewar-Zylinder A und dem inneren Dewar-Zylinder B durch den Auslaß 20 evakuiert, wodurch die hervorragenden Wärmeisolationseigenschaften erhalten werden.
Eine Vielzahl von infrarot-empfindlichen Elementen bzw. Zellen 22 werden beispielsweise auf dem oberen Abschluß 18 des ärmeren Dewar-Zylinders B angeordnet. An dieser Stelle werden die infrarot-empfindlichen Zellen 22 nur dem Vakuum ausgesetzt, befinden sich in einem kleinem Abstand vom Fenster 17 und werden an parallele elektrische Kreise angeschlossen.
Die parallelen Stromkreise für die einzelnen infrarot-empfindlichen Zellen 22 bestehen aus zwei Masseleitern 24 an jede.m Ende des Leiterstreifens für die infrarot-empfindlichen Zellen 22 sowie den jeweiligen Drahtleitern 25, welche sich je von einer Zelle 22 zu einer gesonderten Stelle am Umfang der Tragscheibe 18 erstrecken.
Die Hasseleiter 24 und diejeinzelnen Drahtleiter 25 sind jeweils mit versilberten elektrischen Leitern 2 7 verbunden, welche sich von der Tragscheibe 18 zur Abdeckung C des Dewar-Gefäßes erstrecken. Die äußere Oberfläche'des inneren Dewar-Zylinders B wird in an sich bekannter Weise versilbert, angezeichnet, beschriftet (beschichtet) und schließlich geätzt, um Silberstreifen 27 mit geringer Dicke zu erhalten. Diese Streifen 27 sollen einerseits eine gute elektrische Verbindung zu den infrarot-empfindlichen Zellen 2 2 herstellen und andererseits eine Wärmeleitung zwischen diesen Zellen 2 2 und den Teilen des Dewar-Gefäßes nahe der Abdeckung C verhindern.
Die elektrischen Verbindungen zu den einzelnen Silberstreifen
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27 erfolgen durch Durchführungen D in der Seitenwand des Dewar-Gefäßes. Wie in Fig. 3 dargestellt ist, erstrecken sich die durchgeführten Leiter D- durch den äußeren Zylinder A zu den Basispunkten der einzelnen Silberstreifen 27. "Dadurch stellen die Leiter D parallel geschaltete Zuleitungen für die infrarot-empfindlichen Zellen 2 2 dar.
Der Herstellungsprozeß für die Leitungsdurchführungen gemäß der Erfindung laßt sich vorteilhaft anhand der Fig. 1 und 2 illustrieren, wobei zuerst die nahe den Durchführungen zu liegen kommenden Teile und sodann das Verschweißen dieser Teile untereinander beschrieben werden.
" Der äußere Dewar-Zylinder A gemäß Fig. 1 weist als Abschnitt 15 einen Verschweißring 30 sowie einen Glasring 32 auf. Bei der .Herstellung des Abschnittes 15 des äußeren Dewar-Zylinders A wird der Ring 30 mit dem Glasring 32 verschmolzen und bildet die Fläche, an die danach der Abschnitt 14 des äußeren Dewar-Zylinders A angeschmolzen wird (Fig. 3).
Die Leiter D sind gemäß Fig.l an einem äußeren Tragrahmen E angeordnet, welcher jeden Leiter D an dessen äußerem Ende hält, sodaß sich diese Leiter D radial nach innen gegen die Mitte des beispielweise ringförmigen Tragrahmens E erstrecken. Die Leiter D sind an ihren innenliegenden Enden jedoch nicht ^ miteinander verbunden.
Der'Tragrahmen E mit den Leitern D können aus einer einzelnen, flachen Platte aus leitendem Metall mittels Photoätzverfahren hergestellt werden. Die Dicke dieses Metalls ist beispielsweise in der Größenordnung von etwa 1/4-0 cm (0,01 Zoll).
Die Dichte der Durchführungen (in Umfangsrichtung gesehen) kann beliebig variiert werden. Im gezeigten Ausführungsbeispiel sind zwölf Durchführungen dargestellt. In der Praxis werden jedoch meist viel mehr Durchführungen angebracht. So wurden beispielsweise einhundertvierundvierzig Durchführungen an einem Dewar-Gefäß angebracht, bei dem der innere Zylinder einen Durchmesser von 1,8 cm (0,7 Zoll) aufwies.
Der Außendurchmesser des Tragrahmens E wird derart gewählt,
d ii s
daß eine bequeme Unterscheidung der sich nach außen/der Dewar-
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Einrichtung erstreckenden Leiter D möglich ist. Die inneren Enden 33 der Leiter D liegen auf einem ICreis , dessen Durchmesser gleich dem oder vorzugsweise etwas größer als der Außendurchmesser des inneren Dewar-Zylinders B ist. Dadurch werden diese inneren Enden 33 nicht mit bzw.· zwischen dem inneren Dewar-Zylinder B und der Abdeckung C verschmolzen.
Vorzugsweise wird für die Herstellung des Verschweißringes 30, der Leiter D und des Tragrahmens E eine Kobalt-Nickel-Legierung verwendet, die unter dem eingetragenen Handelsnamen "KOVAR" von der Westinghouse Electrical Corporation verkauft wird. Weiters können die Dewar-Zylinder A, B sowie die Abdeckung C aus einem Glas hergestellt werden, das unter der Handelsbezeichnung "7052" von der Corning Glass Corporation auf den Markt gebracht wird.
Diese Materialien haben bekanntermaßen ausgezeichnete Eigenschaften für die Herstellung von Infrarot-Detektoren in Dewar-Einrichtungen. Die Legierung KOVAR erzeugt bei der Oxy-dation an der äußeren Oberfläche ein Oxyd, welches leicht mit Glas zu verschmelzen ist. Dadurch läßt sich eine vakuumdicke Verbindung von Glas und der Legierung leicht herstellen.Außerdem weisen die Metallegierung KOVAR und das CORNING GLASS 7052 einen im wesentlichen gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen den beim Verschmelzen auftretenden Temperaturen bis zu dem Tieftemperaturbereich auf, bei welchem die Infrarot-Detektoren arbeiten. Dadurch wird in einem weiten Temperaturbereich die Verbindung zwischen dem Metall "Kovar" und den Glas "7052" nicht unterbrochen oder gestört. Es ist klar, daß andere Glas-iuetall-Konbinationen bei Gleichheit der Wärmeausdehnungskoeffizienten sowohl bei der Schmelztemperatur als auch bei der tiefen Temperatur, bei der die Infrarot-Detektoren arbeiten, für das erfindungsgemäße Verfahren verwendet werden können. ■
Die Abdeckung C besteht beispielsweise aus einer kreisförmigen Glasscheibe mit einer inneren kreisförmigen öffnung 36, die zum Außenumfang 35 konzentrisch ist. Der Außendurchmesser ist gleich dem Außendurchmesser des Glasringes 32 des äußeren
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Dewar-Zylinders A. Dadurch kann der Glasring 32 mit der Abdeckung C leicht verschmolzen werden. Der Durchmesser der Öffnung 3 6 ist gleich dem Innendurchmesser 3 7 des inneren Dewar-Zylinders B, wodurch dieser Zylinder B leicht mit der Abdeckung C verschmelzbar ist.
Da die Leiter D mit ihren Enden 3 3 nahe der Außenseite des inneren Dewar-Zylinders B enden, können, da die Zwischenräume zwischen den Enden 33 der Leiter D einerseits und der Außenoberfläche des inneren Dewar-Zylinders B andererseits äußerst klein sind, die Verbindungen zwischen den Leitern D und den später auf der Außenoberfläche des Zylinders B angebrachten Silberstreifen 27 leicht hergestellt werden.
In Fig. 2 sind die in Fig. 1 in auseinandergezogener Anordnung dargestellten Teile des Dewar-Gefäßes in verschmolzenem Zustand gezeichnet. Dabei wurde der Glasring 3 2 des äußeren Dewar-Zylinders A. mit der Abdeckung C unter Bildung der Leitungsdurchführungen D verschmolzen. Jeder der Leiter endet unmittelbar an der Außenseite des inneren Dewar-Zylinders B.
Nach diesem Verschmelzungsvorgang wird der Tragrahmen E von den Leitern D abgetrennt; dies kann beispielsweise durch Stanzen, Schneiden o.dgl. erfolgen. Der Tragrahmen wird sodann entfernt, wodurch die Leiter D jeweils gesonderte elektrische Signalwege ergeben.
Wenn die Dewar-Finrichtung soweit, wie in Fig. 2 dargestellt, hergestellt ist, wird beispielsweise die Tragscheibe 18 mit den infrarot-empfindlichen Zellen 2 2 oben auf dem inneren Dewar-Zylinder B angebracht. Danach werden zum Anschluß der Zellen 22 die Leiterdrähte 24, 25 und Streifenleitungen 27 an der Außenseite des inneren Dewar-Zylinders B angebracht.
Sobald dies geschehen ist, wird der Abschnitt IM· des äußeren · jewar-Zylinders A überstülpt und mit de;«v Verschweißring 30 verbunden. Dies kann beispielsweise auch dadurch erf olgen ,daß an offenen, unteren Ende des oberen Abschnittes 14 des äußeren Dewar-Zylinders A ein komplementärer Schmelzring 40 vorgesehen wird. Durch Vorsehen eines Bindemittels zwischen den Ringen 30 und 40 kann eine vakuumdichte Vcri induin- hergestellt werden und die komplette Dewar-Anordnung zusammengebaut werden. Die Fertigstellung des Infrarot-Detektors in
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einem Dewar-Gefäß wird Evakuierung durch den Rohransatz 20 und anschließendes Verschließen dieses Rohransatzes 20 erreicht. _ ,
Der Herstellungsprozeß, wie er in den Fig. 1 bis 3 dargestellt ist, kann auf verschiedene Arten erfolgen. Das Einschmelzen der Leiter D kann beispielsweise händisch oder aber mittels Werkzeugen erfolgen, die in der Technik der Vakuumröhren bekannt sind. In der Fig. 4 ist jedoch eine hiefür besonders gut geeignete Form dargestellt.
Die Fig. 4 zeigt eine Form für die Herstellung von Durchführungen an Einrichtungen, wie sie in Fig. 2 dargestellt sind; und zwar stellt die Fig. 4 einen axialen Schnitt einer zylindrischen Form dar.
Die Form weist beispielsweise einen Graphitsockel 50 auf sowie einen hohlen Graphit stab 51 mit einem an dessen oberer'1 Ende angebrachten Flansch 52. Der Sockel 50 und der Stab 51 werden mittels einer Stahlstange 54 zentriert. Eine Spiralfeder 55 stützt sich an einer an der Stahlstange 54 verankerten Unterlagsscheibe 56 ab und drückt den Graphitstab 51 mit dem Flansch 54 abwärts und gegen den Sockel 50. Der hohle Graphitstab 51 paßt mit seinem unteren Ende in eine Ausnehmung 57, im oberen Teil des Sockels 50. Dadurch wird der hohle Graphitstab oder- zylinder 51 mit bezug auf den Sockel 50 genau zentriert.
Der Zylinder 51 weist einen Außendurchmesser auf, der dem Innendurchmesser des inneren Dewar-Zylinders B und dem Innendurchmesser der Abdeckung C genau entspricht. Dadurch dient der Außenmantel des Graphitzylinders zur Zentrierung und Fixierung der Abdeckung C in bezug auf den Innenraum des inneren Dewar-Zylinders B, Es wird demnach eine genaue konzentrische Anordnung der Abdeckung C und des inneren Dewar-Zylinders B erreicht.
Der Flansch 52 besitzt an seiner Unterseite außen eine konzentrische Kerbung oder Ausnehmung 60. Diese Ausnehmung ist für die konzentrische Aufnahme und Halterung des oberen Randes eines Quarzzylinders 62 vorgesehen, welcher die Federkraft der Spiralfeder 55 vom Flansch 52 auf den unteren Teil der Form
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übeträgt. Der untere Formteil wiederum dient dazu, den Schmelzring 30 und den Glasring 3 2 gegen die Leiter D und die Abdeckung C zu pressen.'
Der .Quarzzylinder 62 lagert mit seinem unteren Ende in einer konzentrischen Ausnehmung 6 3 eines Formteiles 6 5/ der als Flansch 65 eines Formteiles 64 ausgebildet ist. Der Formteil 61 besteht in seinem oberen Abschnitt aus diesem Flansch 65 und erstreckt sich einwärts zur Verbindungsstelle zwischen dem inneren Dewar-Zylinder B und der Abdeckung C bei 67. Von 67 erstreckt sich der Formteil 64 sowohl vertikal aufwärts, parallel zum inneren Dewar-Zylinder B, sowie waagrecht, auf den Leitern D aufliegend, wodurch die Leiter D, die sich ,von 67 konzentrisch auswärts erstrecken ,zwischen der Abdeckung C und der horizontalen Fläche des Formteiles 64 zu liegen kommen. Der Flansch 6 5 erstreckt sich oberhalb dieser Auflagefläche auswärts bis außerhalb der Außenfläche des Glasringes 32 bzw. des Schmelzringes 30. Beispielsweise weist der Formteil 64 eine kegelstumpfförmxge Oberfläche 68 auf, mit der er innerhalb des Glasringes 32 liegt.
Der Unterteil des Flansches 65, der Formteil 64, der Sockel 50 sowie die AußenmanteIfläphen der Abdeckung C, des Glasringes 32 und des Verschmelzringes 30 bilden zusammen eine zylindrische Fläche' 70,'deren Zylinderdurchmesser gleich dem Außendurchmesser des Dewar-Zylinders A ist. Über diese zylindrische Fläche 70 werden drei konzentrische, zylindrische Formteile 71, 72 und 73 aufgeschoben.
Der Formzylinder 71 paßt konzentrisch auf die Zylinderfläche 70, und zwar auf den Teil, der durch den Oberteil des Formteile 64 nahe dem Flansch 65 gebildet wird. Dieser Formzylinder 71 weist eine derartige vertikale Abmessung auf, daß er die Leiter D bei 75 berührt und diese fest nach unten drückt.
Der untere Formzylinder 72 ist ebenfalls so dimensioniert, daß er über die zylindrische Fläche 70, u. zw. über den Teil der vom Sockel so gebildet wird, paßt und fest an der Unterseite der Leiter D bei 76 anliegt. Dieser Formzylinder 72 übt bei 76 eine Gegenkraft nach oben auf die Leiter D aus.
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Im gezeigten Ausführungsbeispiel sind die beiden Formzylinder 71 und 72 zu den Leitern D und deren Tragrahmen E hin zugespitzt, wodurch nahe dem Glasring 32.und der Abdeckung D zwei schmale, ringförmige, einander gegenüberliegende Auflageflächen 75, 76 gebildet werden. Es wird damit oberhalb der äußeren Enden der Leiter D und des Tragrahmens E eine Aushöhlung geschaffen. Während des Verschmelzens kann dann entweder von der Abdeckung C oder vom Glasring 32 Glas in diese Aushöhlung fließen.
Die Zylinder 71, 7 2 bilden mit ihren Außenflächen eine zylindrische Fläche 80, über die ein Formzylinder 73 aufgeschoben wird. Der Formzylinder 7 3 dient zur Zentrierung des Tragrahmens E in bezug auf die restlichen Teile der Dewar-Ein-richtung, wie sie in Fig. 2 dargestellt sind.. Dadurch ist der Tragrahmen E mit den daran befestigten Leitern D genau konzentrisch mit den restlichen Teilen, nämlich dem Versehmelzring 30, dem Glasring 32, der Abdeckung C und dem inneren Dewar-Zylinder B angeordnet.
Mit Ausnahme des Quarzzylinders 62, der Stahlstange 54, der Spiralfeder 55 und der Unterlag sscheibe 56, sind alle in Fig. 4 dargestellten Formteile aus Graphit hergestellt Wenn diese GraphitformteiIe der Energie von Hcchfrequenzschwingungen (Mikrowellen) ausgesetzt werden, werden sie genügend heiß,.um die entsprechenden Glas- und Metallteile der Dewar-Anordnung (gemäß Fig. 2) zu verschmelzen.
Es ist klar, daß sowohl die Form als auch die Teile des Dewar-Gefäßes anders als hier gezeigt konstruiert sein können. So ist es beispielsweise möglich, daß die Leiter bzw. deren Tragrahmen an verschieden weit auseinanderliegenden Stellen entweder des äußeren oder des inneren Dewar-Zylinders, in Umfangsrichtung gesehen, angeschmolzen werden. Auch können die Durchführungen in einer Entfernung von der Abdeckung angebracht werden, sodaß sich die Leiter frei zwischen den beiden Dewar-Zylindern erstrecken. Darüberhinaus sind noch viele anaere Aowandlungen im Rahmen der Erfindung möglich.
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Claims (4)

  1. Patentansprüche
    I./. Verfahren zur Herstellung von vakuumdichten Leitungsdurchführungen in einer Dewar-Einrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß ein Tragrahmen (E) mit mehreren daran angeordneten, sich von diesem aus erstreckenden Leitern D zwischen übereinanderliegenden Abschnitten für eine Dewar-Einrichtung angeordnet werden, daß dann die übereinanderliegenden Abschnitte der Dewar-Einrichtung unter Einschluß der Leiter (D) an vom Tragrahmen (E) entfernten Stellen fe miteinander verschmolzen werden, wonach der Tragrahmen (E) von den Leitern (D) abgetrennt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Tragrahmen (E) mit sich von diesem aus radial nach innen erstreckenden Leitern verwendet wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,dadurch gekennzeichne t,daiijeder Dewar-Zylinder wenigstens aus zwei Abschnitten besteht.
  4. 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, d a "durch gekennzeichnet, daß ein erster
    Formteil um den ersten und ein zweiter Formteil um den zweiten der übereinanderliegenden Abschnitte der Dewar-Ein- w richtung mit übereinanderliegend einander zugewandten Seiten gebracht wird, daß die Leiter für die Durchführungen zwischen den ersten und den zweiten Formteil sowie zwischen die übereinanderliegenden Abschnitte der Dewar-Einrichtung eingeführt werden und daß zum Verschmelzen des Glases um di.e Leiter die Formteile, vorzugsweise mit Mikrowellenenergie, erhitzt werden.
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    BAD ORIGINAL
DE19712157695 1970-11-23 1971-11-20 Verfahren zur Herstellung von vakuumdichten Leitungsdurchführungen in einer Dewar-Einrichtung Pending DE2157695A1 (de)

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