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Rahmen- und Leiter-Anordnung für ein Halbleiterbauelement
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Die erfindung bezieht sich auf eine Rahmen- und Leiter-Anordnung
zur Verwendung bei der Herstellung einer üalbleiteranordnung.
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Die Halbleiteranordnung weist ein Halbleiterelement und dieses wiederum
ein Halbleiter-Chip und mindestens ein Schaltungselement auf dem Chip auf. Das Schaltungselement
hat mehrere
Elektrodenbereiche. Die Halbleiteranordnung kann ein
Transistor, eine integrierte Schaltung od.dgl. sein. Bei einer koL-plizierten Halbleiteranordnung
sind die Elektodenbereiche einzeln mit Außenleitern verbunden oder gebondet.
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Aus den japanischen atentanmeld.en oho 46-37.929 (1971), 44-13.663
(1969) und 47-3.206 (1972) sind Rahmen- und Leiter-Anordnungen bekannt, die mehrere
leitfähige Streifenleiter aufweisen, die gleichzeitig elektrisch mit den Elektrodenbereichen
verbunden werden können. Bisher war es jedoch sehr schwierig, die Streifenleiter
jeweils in ihrer exakten Stellung zu halten.
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Aus der U5-PS 3 440 027 ist eine Rahmen- und Leiter-Anordnung mit
einem Isolatorblatt bekannt, das die Streifenleiter jeweils in ihrer exakten Stellung
hält. Imine genaue Einstellung der Streifenleiter bezüglich der Elektrodenbereiche
war jedoch bisher bei der Leiter-Anordnung nicht leicht zu realisieren. Zudem ist
diese Leiteranordnung meist dann ungeeignet, wenn die Streifenleiter weiterhin elektrisch
mit Außenleitern verbunden werden sollen.
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Demgegenüber hat die Erfindung als wesentliche Aufgabe, eine Rahmen-
und Leiter-Anordnung zur Verwendung bei der Herstellung einer ein Halbleiterelement
aufweisenden Halbleiteranordnung zu
schaffen, bei dem die btreifenleiter
jeweils in ihrer exakten Stellung gehalten werden und bei der es trotzdem möglich
ist, eine genaue Einstellung der Streifenleiter bezüglich der Elektrodenbereiche
des halbleiterelements leicht zu erreichen.
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Eine weitere wesentliche Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine
Rahmen- und Leiter-Anordnung der oben beschriebenen art zu schaffen, die eine leichte
Verbindung der Streifenleiter mit den Außenleitern ermöglicht.
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Eine weitere wichtige Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Rahmen-
und Leiter-Anordnung der oben beschriebenen Art zu schaffen, durch die eine elektrische
Verbindung zwischen den Leiterstreifen und den Elektrodenbereichen und/oder den
Außenleitern leicht hergestellt werden kann.
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Die erfindungsgeme Rahmen- und Leiter-Anordnung ergibt eine Verbesserung
der aus der US-PS bekannten herkömmlichen Halbleiteranordnung. Die Halbleiteranordnung
weist ein Halbleiterelement mit mehreren Elektrodenbereichen auf. Die herkömmliche
Rahmen- und Leiter-Anordnung weist mehrere Streifenleiter aus einem elektrischleitfähigem
Material und Haltevorrichtungen zum Halten der Streifenleiter in sich im wesentlichen
radial erstreckenden Stellungen auf.
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Die Streifenleiter weisen jeweils in radialer Richtung innere Endbereiche
zur Verbindung mit den Elektrodenbereichen auf.
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Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Haltevorrichtung
ein Rahmenteil mit einem Innenrand, der im wesentlichen eine öffnung zur Aufnahme
des Halbeiterelements umschließt, mehrere Verstärkungsstreifen aus elektrisch isolierendem
taterial, die jeweils mit mindestens einem vorbetiiui-ten Bereich der Streifenleiter
einstückig, ausgebildet sind, sowie Verbindungsteile aufweist, die die Verstärkungsstreifen
mit dem Rahmenteil verbinden, um die Streifenleiter jeweils in ihrer Stellung zu
halten. Dabei stimmen die Verstärkungsstreifen il wesentlichen in Gestalt und abuiessungen
mit den Bereichen der Streifenleiter überein, mit denen die Verstärkungsstreifen
einstückig ausgebildet werden.
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Demnach sieht die Erfindung eine Rahmen und Leiter-Anordnung für
ein Halbleiterbauelement vor, bei dem die leitfähigen 5treifenleiter, die innere
Bereiche zur Verbindung mit den Slek-rodenbereichen des Halbleiterelements aufweisen,
am Rahmen gehalten werden, und zwar durch Verstärkungsstreifen aus isolierendem
Material, das mindestens mit mittleren Bereichen der entsprechenden Streifenleiter
einstückig ausgebildet ist, und eine Verbindungsanordnung zum Verbinden der Verstärkungsstreifen
mit dem Rahmen vorgesehen ist.
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Die Verbindungsanordnung kann dabei aus den äußeren sndbereichen der
entsprechenden Verstärkungsstreifen, die mit dem Rahmen des isolierendem Materials
einstückig ausgebildet sind, und den äußeren Sndbereichen der entsprechenden Streifenleiter
bestehen, die an dem Rahmen angebracht sind. Die Verstärkungsstreifen können dabei
miteinander durch
Bruckenteile aus entweder dem gleichen Isoliermaterial
oder einem anderen Isoliermaterial verbunden werden. aiieiterhin kann die Verbindungsvorrichtung
ein die Verstärkungsstreifen miteinander verbindendes Brückenteil sowie Haltevorrichtungen
aufweisen, die die Brückenteile mit dem Rahmen verbinden, wobei die äußeren Snuabschnitte
der Streifenleiter entweder vom Rahmen getrennt sind oder sie aber weiter nach außer
vorspringende Endbereiche aufweisen, die am Rahmen angebracht sind. Vorzugsweise
sind der Rahmen die Brückenteile und die Halteteile aus Isoliermaterial und miteinander
einstückig. ausgebildet, wobei die äußeren Endbereiche der Streifenleiter nicht
mir den Verstärkungsstreifen einstückig ausgebildet sind. Bei einer anderen Ausführungsform
sind die inneren Endbereiche der streifen leiter nicht einstückig Illit den Verstärkungstreifen
ausgebildet.
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Ausführungsformen der Erfindung werden anhand der Zeichnungen näher
beschrieben. Es zeigen Fig. 1 eine schematische Draufsicht auf eine herkömmliohe
Rahmen und Leiter-Anordnung; Fig. 2 eine ähnliche Ansicht einer anderen herkömmlichen
Rahmen- und Leiter-Anordnung; Fig. 3 eine ähnliche Ansicht einer weiteren herkömmlichen
Rahmen-und Leiter-Anordnung;
Fig. 4 eine schematische Draufsicht
auf eine erste Ausführungsform der erfindungnsgemäíen Rahmen-und Leiter-Anordnung;
Fig. 5 einen schematischen Querschnitt entlang' der Linie 5-5 nach Fig. 4; Fig.
6 eine schematische Draufsicht auf eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen
Rahmen-und Leiter-Anordnung; Fig. 7 einen schematischen Querschnitt entlang der
Linie 7-7 nach Fig. 6; Fig. 8 eine schematische Draufsicht auf ein Halbleiterbauelement,
das die in den Fig. 4 und 5 dargestellte Rahmen- und Leiter-Anordnung aufweist;
Fig. 9 eine ähnliche Ansicht wie Fig. 8, jedoch mit daran angebrachten Außenleitern;
Fig. 10 eine schematische Draufsicht auf eine dritte Ausführungsform der erfindungsgemäßen
Rahmen- und Leiter-Anordnung;
Sig. 11 einen schematischen Querschnitt
entlang der Linie 11-11 nach Fig. 10 und Fig. 12 einen schematischen Querschnitt
durch ein Halbleiterbauelement, das die in den Fig. 10 und 11 dargestellte Rahmen-
und Leiter-Anordnung aufweist.
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Eig. 1 zeigt eine herkömmliche Rahmen- und Leiter-Anordnung zur Verwendung
bei der Herstellung einer Halbleiteranordnung.
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Die Halbleiteranordnung weist ein Halbleiterelement 55 auf, das üblicherweise
rechteckig oder quadratisch ist und dessen Seiten eine Länge von eins bis mehrere
Millimeter lang ist. Der Einfachheit halber wird angenommen, daß das Halbleiterelement
55 vier Elektrodenbereiche 56 aufweist. Üblicherweise ist jeder Elektrodenbereich
56 quadratisch und besitzt eine Seitenlänge von 100 bis 150 µm. Jeder Elektrodenbereich
56 besitzt zum nächstgelegenen Elektrodenbereich einen Abstand von 100 bis 200 pm.
Die Rahmen-und Leiter-Anordnung weist einen Aluminiumrahmen 61 mit einem Innenrand
62 auf, der allgemein eine Öffnung zur Aufnahme des Halbleiterelements 55 umschließt.
Diese öffnung ist in der dargestellten Ausführungsform im wesentlichen kreisförmig.
Von dem Innenrand 62 aus erstrecken sich in radialer Richtung in die Öffnung mehrere
Aluminiumstreifenleiter 65. In Abhängigkeit von den
Ibmessungen
des Halbleiterelements 55 besitzt die öffnung einen Durchmesser von 10 bis 20 mm.
Folglich sind die Streifenleiter 65 zwischen 5 und 10 mm lang und weisen jeweils
in radialer Richtung innere Endbereiche 66 zur Verbindung mit den Elektrodenbereichen
56 auf. Der Rahmen 61 und die Streifenleiter 65 sind einstückig ausgebildet,entweder
durch mechanieches Stanzen oder chemisches Ätzen einer Aluminiumfolie. Bei der Herstellung
der Halbleiteranordnung werden die inneren Endbereiche 66 genau mit den Elektrodenbereichen
56 zur Deckung gebracht und durch Druckausübung damit verbunden.
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Je genauer die Elektrodenbereiche 56 ausgebildet sind, des eher ist
es erforderlich, daß die Streifenleiter 65 genaue Abmessungen aufweisen und relativ
zueinander exakt angeordnet sind. Zur Herstellung der Streifenleiter 65 mit ausreichender
Genauigkeit ist die Verwendung einer dünnen Folie wünschenswert. Eine zu dünne Folie
beeinträchtigt jedoch die mechanische Festigkeit der Streifenleiter 65. Daher sollte
die Dicke der Folie etwa 35µm oder mehr und im allgemeinen etwa 50 po betragen.
Selbst bei diesen Dicken tritt oft bei der Herstellung der Leiteranordnung und/oder
bei der Verbindung der inneren ndbereiche 66 mit den Elektrodenbereichen 56 eine
Verformung der Streifenleiter 65 auf. Weiterhin ist es unmöglich, die elektriechen
Eigenschaften der Halbleiteranordnung zu prüfen, bevor die
Streifenleiter
65 vom Rahmen 61 zu getrennten Leitern der Halbleiteranordnung abgeschnitten werden.
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Fig. 2 zeigt eine weitere herkömmliche Rahmen- und Leiter-Anordnung
mit einem Polyimid-Rahmen 61 und mehreren Kupferstreifenleiter 65, die jeweils in
radialer Richtung äußere Endbereiche 67 auiweisen, die am Rahmen 61 angebracht sind.
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Selbstbei einer Dicke von etwa 100 P , besitzt der Rahmen 61 eine
ausreichende nechanische Festigkeit. Die Dicke der Kupferstreifenleiter 65 ist ähnlich
wie die der Aluminiumstreifenleiter nach Fig. 1. Bei der Herstellung der Leiter-Anordnung
wird ein einem Polyimid-Blatt zuPolyimid-Rahmen, wie etwa 61, gestanzt oder in anderer
Weise geformt. Eine Kupferfolie wird durch Druckausübung auf dem Rahmen 61 aufgebracht,
wobei sich dazwischen ein Polyamid-Klebstoff befindet und die Temperatur angehoben
wird.
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Danach wird die Kupferfolie den bekannten Photowiderstand- und Ätzverfahren
ausgesetzt, so daß sich die Streifenleiter 65 ergeben. Obwohl die elektrischen Kenndaten
auch bei nichtabgetrenntem Rahmen 61 gemessen werden können, werden die Kupferstreifenleiter
6 auch hier leicht verformt.
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Fig. 3 zeigt eine weitere herkömmliche Rahmen- und Leiter-Anordnung
mit mehreren Kupferstreifenleiter 65 und einem dünnen Blatt 69 aus einem elektrisch
isolierendem Material, wie etwa
Polyesterharz, um die Streifenleiter
65 jeweils in ihrer genauen Stellung zu halten. Das Isolierblatt 69 ist wieder etwa
1UO pm dick. Bei der Herstellung der Leiter-Anordnung wird eine Kupferfolie mit
dem Polyesterblatt 69 wäremegepreßt und den Photowiderstand-und Ätzverfahren ausgesetzt.
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Das Isolierblatt 69 bedeckt dabei die eine der beiden Hauptflächen
eines jeden Streifenleiters 65. Obwohl dies zur Verstärkung der Streifenleiter 65
beiträgt, ist dies doch dann ungeeignet, wenn die bedeckte Hauptfläche des ntreifenleiters
65 mit einem Außenleiter elektrisch verbunden werden soll. Darüberhinaus ist es
schwierig, die inneren Endbereiche 66 bei aer Lerstellung einer T'Xalbleiteranordnurlg
genau mit den Elektrodenbereichen 56 zur Deckung zu bringen.
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In den Fig. 4 und 5 ist eine erste Ausführungsform der erfindungsgemäßen
Rahmen- und Leiter-Anordnung dargestellt, die einen Polyimid-Rahmen 61 mit einem
Innenrand 62 aufweist, der im wesentlichen eine Öffnung zur Aufnahme des Halbleiterelements
55 umschließt. Die Leiter-Anordnung weist weiterhin mehrere leitfähige Streifenleiter
65 auf, die durch den Rahmen 61 getragen und sich im wesentlichen in radialer Richtung
in der nachfolgend beschriebenen Weise erstreckt. Die Streifenleiter 65 weisen jeweils
in radialer Richtung innere Endbereiche 66 zur Verbindung mit den Elektrodenbereichen
56 sowie äußere Endbereiche 67 auf,
die am Rahmen 61 angebracht
sind. Die Leiter-Anordnung weist weiterhin mehrere Polyimid-Verstärkungsstreifen
71 auf, die einstückig mit dem Rahmen 61 ausgebildet sind und sich in radialer Richtung
nach innen entlang der entsprechenden Streifenleiter 65 erstrecken und mindestens
mit vorbestimmten Bereichen der entsprechenden Streifenleiter 65 einstückig ausgebildet
sind. Die Verstärkungsstreifen 71 sind im wesentlichen zweidimensional und stimmen
in Form und Abmessungen mit den Rereichen der Streifenleiter 65 überein, mit denen
sie einstückig ausgebildet sind. Die Verstärkungsstreifen 71 weisen in radialer
Richtung jeweils äußere Endbereiche 72 auf, die als einstückige Verlängerungen des
Rahmens 61 ausgebildet sind und dazu dienen, die übrigen Bereiche der Verstärkungsstreifen
71 mit dem Rahmen 61 zu verbinden und damit die streifenleiter jeweils bezüglich
der übrigen Bereiche in ihrer genauen Stellung zu plazieren.
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Außerdem dienen die äußeren Endbereiche 67 dazu, die Verstärkungsstreifen
71 mit dem Rasen 61 zu verbinden.
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Der in den Fig. 4 und 5 dargestellte Rahmen 61 mit den einstückig
ausgebildeten Verstärkungsstreifen 71 wird vorzugsweise dadurch hergestellt, daß
ein dünnes Isolierblatt mit einer Dicke von etwa 100 um den bekannten Photowiderstand-
und Ätzverfahren ausgesetzt wird. Das Xtzen eines Polyimid-Blattes wird vorzugsweise
dadurch ausgeführt, daß als Ätzmittel Hydrazin bei einer leicht erhöhten Temperatur
zwischen etwa 500 und 800C verwendet
wird. Die Streifenleiter 65
werden dadurch ausgebildet, daß eine Aluminium-, eine Kupfer- oder eine ähnliche
Metallfolie mit einer Dicke zwischen einigen µm und mehreren Dutzend pm durch das
bekannte Heizpreßverfahren auf dem vorgeformten Isolierblatt aufgebracht werden
und die Metallfolie den bekannten Photowiderstand- und Ätzverfaliren ausgesetzt
wird. Es ist auch möglich, die Metallfolie an einem nichtvorgefertigten Isolierblatt
anzubringen und die streifenleiter 65 gleichzeitig für mehrere Rahmen- und Leiter-Anordnungen
auszubilden und danach das Isolierblatt in einzelne vorgeformte Blätter zu trennen,
so daß sich einzelne Rahmen- und Leiter-Anordnungen ergeben. Vorzugsweise wird das
Heizpre;3verfahren unter Verwendung eines Polyamid-, einem Epoxyharz- oder einem
ähnlichen Klebstoff bei einer Temperatur zwishcen 100° und 200°C und bei einem Druck
zwischen 0,5 und mehreren kg/cm2 durchgeführt. Bei einer anderen Ausführungsform
werden die Streifenleiter 65 durch Drucken oder anderweitiges Aufbringen einer leitfähigen
Paste, wie etwa einer Silber- oder Goldpaste, auf das vorgefertigte Isolierblatt
gebildet und die Paste vorzugsweise bei einer Temperatur zwischen etwa 2000 und
30000 gebrannt. Unabhängig von der Art der flerstellung werden die Streifenleiter
65 genau in ihrer stellung gehalten. Darüberhinaus ist es sehr leicht möglich, die
inneren Endbereiche 66 genau mit den Elektroden 56 auszurichten.
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In den Fig. 6 und 7 ist eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen
Rahmen- und Leiter-Anordnung dargestellt, wobei
ähnliche Teile
mit den gleichen Bezugszeichen wie in den Fig. 2, 4 und 5 gekennzeichnet sind. Die
Leiter-Anordnung weist zudem mehrere Isolierbrückenteile 75 auf, die die Verstärkungsstreifen
65 miteinander verbinden. Bei der dargestellten usfüirunsform bilden die Brückenteile
75 im wesentlichen ein kreisförmiges Ringteil, das die Verstärkun6sstreifen 71 konzentrisch
zum Innenrand 62 schneidet und im wesentlichen eine innere Öffnung, die kleiner
ist als die durch den Innenrand 62 gebildete, zur Aufnahme des Halbleiterelements
55. Die Brückenteile 75 weisen keine leitfähigen Filme oder Schichten darauf auf.
Durch anwendung der Photowiderstand-und Ätzverfahren können die Brückenteile 75
zusammen mit dem Rahmen 61 und den Verstärkungsstreifen 71 leicht aus dem Isolierblatt
hergestellt werden. Bei einer anderen Äusführungsform werden die Brückenteile 75
zuerst aus einem Blatt aus einem anderen elektrisch isolierendem Itaterial, wie
etwa einem Polyesterharz für den Rahmen 61 und die Verstärkungsstreifen 71 aus Polyimid,
mit einer Dicke von etwa 20 bis 100 µm ausgestanzt oder anaerweitig gebildet und
dann mit den Verstärkunsstreifen 71 wärmgepreßt. Das Wärmepreßverfahren wird vorzugsweise
unter Verwendung eines Polyesterharzes oder eines ähnlichen Klebstoffes bei einer
Temperatur zwischen etwa 80° und 120°C und bei einem Druck zwischen etwa 0,5 und
mehreren kg/cm2 durchgeführt. Erforderlichenfalls kann auch nur ein einzelnes Brücken-
teil
75 verwendet werden, das einen bestimmten Verstärkungs streifen 71 mit einem nächstgelegenen
verbindet, vorzugsweise dann, wenn der bestimmte Verstärkungsstreifen sich in einer
gewissen Länge vom Innenrand 62 aus erstreckt. Das Ringteil muß nicht notwendigerweise
eine regelmäßige Gestalt aufweisen, sondern es kann ein Brückenteil 75 aufweisen,
das in radialer Richtung nach außen oder innen versetzt ist gegenüber dem in Drehrichtung
zunächstgelegenen Brückenteil.
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In den Fig. 8 und 9 wurden die Verstärkungsstreifen 71 vom Rahmen
61 zusammen mit den Streifenleitern 65 abgeschnitten, nachdem die inneren Endbereiche
66 mit den Elektrodenbereichen 56 (nicht gezeigt) druckgepreßt wurden, um damit
eine Halbleiteranordnung zu bilden. In Fig. 9 werden die in lig. 8 dargestellten
Streifenleiter 65 der Halbleiteranordnung an den Punkten 76 jeweils mit einer gleichen
Anzahl von Metalleitern 77 durch WärmepreSSen verbunden. Die Metalleiter 77 bestehen
vorzugsweise aus einer Nickel-Kobalt-Eisen-Legierung, die als Kovar bekannt ist,
und werden zinnplattiert. Es können nun weitere elektrische Verbindungen mit jeder
beliebigen Fläche eines jeden t¢etalleiters 77 hergestellt werden. In den Fig. 10
und 11 ist eine dritte Ausführrungsform der erfindungsgemäßen Rahmen- und Leiter-Anordnung
dargestellt, wobei wiederum ähnliche Teile mit gleichen Bezugszeichen wie in den
Fig. 4, 5, d und 9 gekennzeichnet sind. Die
Verstärkungsstreifen
71 sind jedoch nicht direkt mit dem Rahmen 61 verbunden, sondern indirekt über die
oben beschriebenen Brückenteile 75, die in gleicher Anzahl wie die Verstärkungsstreifen
71 vorgesehen sind, und über mehrere Tragteile al.
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Die Brückenteile 75 bind zwischen den entsprechenden Verstärkungsstreifen
71 angeordnet und bilden ein im wesentlichen quadratisches Ringteil, das die Verstärkungsstreifen
71 in der Öffnung schneidet und im wesentlichen in der Öffnung eine innere Öffnung
zur Aufnahme des Halbleiterelementes 55 bildet. Die Tragteile 81 verbinden das Ringteil
mit dem Rahmen 61 an Stellen, die gegenüber den Verstärkungsstreifen 71 verseilt
sind. Sofern der abstand zwischen zwei benachbarten Streifenleitern 65 es ermöglicht,
werden die Tragteile 81 jeweils vorzugsweise zwischen zwei benachbarten Verstärkungsstreifen
71 angeordnet. Zusätzlich dazu können ein oder mehrere Brückenteile, ähnlich denen
bei 75, verwendet werden, die durch ein oder mehrere Tragteile 81 mit dem Rahmen
61 entweder verbunden oder nichtverbunden sein können. Bei dieser Anordnung können
die Streifenleiter 65 in radialer Richtung äußere Endbereiche 66 aufweisen, die
nicht einstückig mit den Verstärkungsstreifen 71 ausgebildet sind. Damit ist es
möglich, einen Außenleiter, wie etwa den oben beschiebenen Metallleiter 77, mit
irgendeiner Hauptseite des jeweiligen Streifenleiters 65 zu verbinden und den Preßvorgang
ohne die dazwischenliegenden Isolierverstärkungsstreifen 71 durchzuführen, um die
elektrische
Verbindung sicherzustellen. In der dargestellten IusfuhrLm'sform sind auch die inneren
kndbereiohe 66 nicht mit den Verstärkungsstreifen 71 einstückig ausgebildet. Dies
erleichtert und stellt die elektrische Verbindung der inneren Endbereiche 66 mit
den Elektrodenbereichen 56 sicher.
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Wie in den Fig. 10 und 11 dargestellt ist, wird die Verbindung der
Verstärkungsstreifen 71 mit dem Rahmen 61 durch die oben erwähnten äußeren Endbereiche
67 verbessert, die in radialer Richtung weiter außen liegen als die benachbarten
äußeren Endbereiche 86 und die an dem Rahmen 61 angebracilt werden. Einstückig mit
dem Rahmen 61 ausgebildete Vorsprünge 87 erstrecken sich in radialer Richtung etwas
nach innen, entlang der entsprechenden Streifenleiter 65, und sind Bit den äußeren
Endbereichen 67 einstückig ausgebildet. Die äußeren endbereiche 67 können sich in
radialer Richtung weiter nach augen erstrecken und am Rahmen in der in den Fig.
4, 5, 8 und 9 dargestellten Weise angebracht sein. Dabei sind die Vorsprünge 87
mit den Teilen der äußeren Endbereiche einstückig ausgebildet, die in der Nähe des
Randes 62 liegen. Bei der Herstellung aus dem gleichen Isoliermaterial werden der
Rahmen 61 mit oder ohne Vorsprünge 87, die Verstärkungsstreifen 71, die Brückenteile
75 und die Tragteile 81 leicht als eine einstückige Anordnung aus einem Isolierblatt
durch die Photowiderstand- und Ätzverfahren gebildet. Vorzugsweise wird
das
Isolierblatt erst nach Bildung der Streifenleiter 65 behandelt, insbesondere dann,
wenn die Streifenleiter 65 innere und äußere Endbereiche 66 und 86 aufweisen, die
nicht einstückig mit den Verstärkungsstreifen ausgebildet sind.
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Wie in Fig. 12 dargestellt ist, werden die Streifenleiter 65 entlang
oder in der Nähe der in radialer Richtung äußersten Linien der unbedeckten äußeren
endbereiche 86 abgeschnitten, nachdem das Halbleiterelement 55 auf der Rahmen- und
Leiter-Anordnung aufgebracht wurde. Die Streifenleiter 65 einer so gebildeten Halbleiteranordnung
werden mit Außenleiter 77 durch Pressen verbunden.
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Danach werden die Halbleiteranordnung und die inneren Endbereiche
der äußeren Leiter 77 in einer Epoxyharz-Nasse aD versiegelt oder abgedichtet.
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Änderungen und Ausgestaltungen der beschriebenen Ausführungsformen
sind für den Fachmann ohne weiteres möglich und fallen in den Rahmen der Erfindung.
So kann z.B. der Rahmen 61 aus einem elektrisch leitfähigem Material, wie etwa Polyimid
oder einem kolyester-, einem PolYpropylen- oder einem Polyvinylharz bestehen. Bei
der dritten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Rahmen und Leiter-Anordnung können
die Brückenteile 75 und/oder die tragteile 81 aus dem gleichen oder einem verschiedenen
leitfähigem liaterial sein. Wenn der Rahmen 61 bei der dritten Ausfühiiingsform
der Rahmen- und Leiter-Anordnung aus einem leitfähigem
Material
besteht, weisen die Streifenleiter 65 im Hinblick auf die Prüfung der elektrischen
Kenndaten keine an den leitfähigen Rahmen 61 angebrachte äußeren Endbereiche 67
auf, sondern äußere Endbereiche 86, die sich lediglich in radialer Richtung nach
außen zum Innenrand 62 hin erstrecken. ebenso können die Tragteile bl relativ zu
den Verstärkungsstreifen 71 dreidimensional versetzt sein. Weiterhin kann die Zahl
der Streifenleiter 65 die Zahl der Elektrodenbereiche 56 übersteigen. Außerdem kann
die finung elliptisch oder rechteckig gestaltet sein.
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