DE2729659A1

DE2729659A1 - Gasentladungsplatte

Info

Publication number: DE2729659A1
Application number: DE19772729659
Authority: DE
Inventors: Shizuo Dipl Ing Andoh; Kazuo Yoshikawa
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1976-07-02
Filing date: 1977-06-30
Publication date: 1978-01-05
Also published as: FR2357056A1; DE2729659B2; NL181468C; DE2729659C3; NL181468B; NL7707330A; IT1083878B; US4185229A; GB1584662A; FR2357056B1

Description

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Eine Gasentladungsplathe nach der Erfindung ist eine v/echselstrombetriebene selbstschiebende Plasma-Anzeigeplatte, die durch einen mäanderförmigen Verschfebungskanal zur Verschiebung des Entladungspunktes gekennzeichnet ist. Dieser mäanderförmige Ver-Schiebungskanal ist aus der Anordnung von Entladungszellen zusammengesetzt, die zwischen den Elektroden /on 2x2 Gruppen festgelegt sind, die einander gegenüberliegend in sich wechselseitig kreuzender Richtung angeordnet sind. Eine Barrierenvorrichtung zur Festlegung der Richtung der Verschiebung ist regelmäßig zwischen einer bestimmten Zelle und der einen von zwei angrenzend in Vorwärts- und Rückwärts-Richtung der Verschieberichtung angeordneten Zellen vorgesehen. Das Datenmaterial in Form eines Entladungspunktes, der an einem Ende des Verschiebekanals geschrieben worden ist, wird durch die Verschiebespannung mit 2x2 Phasen gesteuert und über die Mäanderstrecke für die Anzeige an der gewünschten Position verschoben.

:0 Diese Erfindung bezieht sich auf eine Gasentladun^splatte, bei der die Verschiebung oder die Abtastfunktion für den Entladungspunkt vorgesehen ist, genauer betrachtet bezieht sich die Erfindung auf eine Verbesserung einer selbstschiebenden Plasmaplatte mit Wechselstromsteuerung zur Informationsanzeige und/oder Informationsspeicherung.

Als ein Beispiel der Gasentladungs-Anzeigeplatte ist eine Plasma-Anzeigeplatte mit Wechselstromantrieb bekannt, die eine matrixförmige Elektrodenanordnung besitzt. Jedoch hat diese matrixförmige Plasma-Anzeigetafel den Nachteil, daß ein komplizierter Treiberkreis benötigt wird, um eine individuelle Adresse auf die Elektroden auszuführen, die in horizontaler und vertikaler Richtung angeordnet sind, und die Rosten für einen solchen Treiberkreis wachsen stark mit wachsender Größe der Platte. Eine Gasentladungsplatte, die gegenwärtig "selbstschiebende Plasma-Anzeige" genannt wird, bei der die Entladungspunkt-Verschiebefunktion vorgesehen ist, wird deshalb entwickelt, um einen derartigen Treiberkreis zu vereinfachen.

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Die typische Ausbildung einer derartigen selbstschiebenden Plasma-Anzeige ist im einzelnen in der US-Patentschrift ■ 3 9^ 875 "Gasentladungsanordnung mit einer Funktion der Versen ie bung von Entladungspunkten¹¹ von Owaki et al. beschrieben, der Inhaber des Patentes ist der gleiche wie der Rechtsinhaber an dieser Erfindung. Entsprechend der Darstellung in dieser US-Patentschrift 3 9^A 875 umfaßt die gegenwärtige selbstschiebende Plasma-Anzeige die gemeinsamen Elektroden, die in horizontaler Richtung (Y) und umhüllt von der dielektrischen Schicht auf dem einen Substrat angeordnet sind, und eine Vielzahl von Verschiebeelektroden, die in vertikaler Richtung (X) und ebenfalls mit der dielektrischen Schicht beschichtet, auf dem anderen Substrat angeordnet sind. Die Verschiebeelektroden sind periodisch, der Reihe nach mit drei oder mehr Busleitungert verbunden und an die entsprechenden gemeinsamen Anschlüsse herausgeführt, dies führt zu einem Verschiebungskanal, der eine periodische Zellenanordnung zwischen der gemeinsamen Elektrode besitzt. Außerdem ist an dem einen Ende dieses Verschieluncskanals die Schreibelektrode zur Eingabe der Anzeigeinformation vorgesehen. Damit können in einer derartigen selbstschiebenden Plasma-Anzeige die Entladungspunkte, die vom Informationseingang an die Schreibelektrode erzeugt worden sind, seauentiell an die benachbarte Entladungszelle verschoben werden, dazu wird der auf der Plasma-Kopplung durch die Operationen zur sequentiellen Schaltung der Verschiebespannung beruhende Vorspannungseffekt benutzt, der zu Jeder Verschiebespannung über die Busleitung gegeben werden muß.

Die oben genannte selbstschiebende Plasma- Anzeige der Bauart mit gekreuzten Elektroden erfordert jedoch, daß verschiedene Verschiebeelektroden nachfolgend mit mindestens drei Busleitungen auf einem Substrat verbunden werden müssen. Aus diesem Grunde muß bei Verbindungen der Busleitungen der Kreuzungsbereich zwischen mindestens einer Busleitung und dem Verschiebeelektroden-Leiter, der mit der anderen Busleitung verbunden werden muß, isoliert werden, dies erfordert eine schwierige Uberkreuzungstechnik. Die Ausbildung dieser Uberkreuzungsbereiche ist nicht nurhinderlich bei Platten und bei Verbesserungen der Zuverlässigkeit, dadurch wird auch die Datendichte der Ver-

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schiebeelektrode Klein gemacht, dies führt dazu, daß die Realisierung einer hoch auflösenden Anzeige deutlich beschränkt wird.

Auf der anderen Seile wird in der US-Patentschrift 3 775 764 "Multi-Linien-Plasma-Schieberegister-Anzeige" von I.P. Gaur die Plattenausbildung des anderen Typs der selbstschiebenden Plasma-Anzeige beschrieben, hier sind mehrere parallele Verschiebeelektroden einander gegenüber in Zickzackform an der Innenfläche eines Substratpaares angeordnet, und diese Verschiebeelektroden sind in zwei Gruppen auf jedem Substrat gruppiert. Bei dieser selbstschiebenden Plasma-Anzeige der Bauart mit parallelen Elektroden wird der mit der Bildung der oben beschriebenen Uberkreuzungsbereiche verbundene Nachteil sicher vermieden, jedoch tritt ein neues Problem auf, und zwar die Entladungspunkt-Trennungstechnik in der Richtung der Verschiebeelektroden. Damit ist diese Ausführung ebenso ungeeignet für eine Anzeige mit hoher Auflösung.

Außerdem wird eine andere bekannte Form der Plasma-Anzeige mit ) der Funktion der Verschiebung von Entladunpspunk en in der US-Patentschrift 3 704 389 "Verfahren und Vorrichtung zur Speicherung und Anzeige" von W.B. McClelland beschrieben. Bei dieser bekannten Anordnung werden Verschiebeelektroden mit einem speziellen Huster verwendet, um die Entladungspunkte zu verschieben, wobei > das Ausdehnungsphänomen der Wandladungen an der angrenzenden Entladungswand benutzt wird. Und der Verschiebungskanal in Form der Mäanderstrecke wird durch diese Verschiebeelektroden mit dem speziellen Muster gebildet. Jedoch ist diese bekannte selbstschiebende Plasma-Anzeige insofern nicht praktikabel, daß die • Plasma-Kopplung zwischen angrenzenden Zellen nicht berücksichtigt wird, und damit ist es schwierig, die für den kommerziellen Gebrauch erforderlichen Betriebsgrenzen zu erhalten.

Eine erste Aufgabe der Erfindung ist es, eine Gasenlladungsplatte anzugeben, die eine neue Ausbildung für die Verschiebung oder die Abtastfunktion des Entladungspunktes aufweist.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, eine Gasentladungsplatte aufzuzeigen, die eine verbesserte Ausbildung auS/eist,

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so daß die Notwendigkeit für Uberkreuzungsbereiche zwischen den Elektroden und den Busleitungen ausgeräumt wird.

Eine weitere Aufgabe dieser Erfindung ist es, eine selbstschiebende Plasma-Anzeigeplatte aufzuzeigen, die für Anzeige mit hoher Auflösung geeignet ist.

Außerdem ist es eine Aufgabe dieser Erfindung, eine preisgünstige selbstschiebende Plasma -Anzeige mit einer einfachen Ausbildung und hoher Zuverlässigkeit, aufzuzeigen.

Außerdem ist es Aufgabe dieser Erfindung, eine wechselstromgetriebene Plasma-Anzeigeplatte aufzuzeigen, die eine neue Ausführung mit mäanderförmigem Verschiebekanal besitzt und die eben· so als Anzeigeplatte des Matrixtyps benutzt werden kann.

Zusätzlich ist es Aufgabe der Erfindung, eine selbstschiebende Plasma-Anzeige aufzuzeigen, die in einfacher Weise gewünschte Farbanzeigen ausführen kann, wobei Photolumineszenz zusammen mit Phosphormaterial benutzt wird.

Kurz gesagt ist die Gasentladungsplatte dieser Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß ein mäanderförmiger Verschiebekanal für die Entladungspunkte vorgesehen ist.

Gemäß einem ersten Merkmal dieser Erfindung ist folgendes vorgesehen:

Die Entladungsplatte umfaßt ein Substratpaar, zumindest zwei Reihen von Zeilenelektroden (Y), die ungefähr parallel auf dem einen Substrat angeordnet sind, mehrere SpaltenelekToden, die in einer die Zeileneleklroden kreuzenden Richtung auf dem anderer Substrat angeordnet sind, und ein Entladungsgas , welches zwisch« den Substraten eingeschlossen ist;
Entladungspunkte oder Entladungszellen sind an den Kreuzungen zwischen den Spalten- und Zeilenelektroden definiert; Und die Barrierenvorrichtung zur Blockierung der· Plasma-Kopplung ist, um die Verschieberichtung des Entladungspunktes festzulegen, abwechselnd entlang den Zeilenelektroden und regelmäßig zwischen

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angrenzenden Enlladungszellen, welche gemeinsam die einen Zeilenelektroden verwenden, und zwischen den angrenzenden Entladungszellen, welche gemeinsam die anderen Zeilenelektroden verwenden, vorgesehen.

Durch Einführung dieser Barrierenvorrichtung kann der mäanderförmige Verschiebekanal ausgebildet werden, der die angrenzenden Entladun-szellen verbindet, die über die Zeilenelektroden von zwei Reihen verteilt sind. Wenn eine solche Ausbildung für die bekannte matrixförmige Plasma -Anzeigeplatte verwendet wird, kann die Information, die durch individuelle Adressenausführung an die Spaltenelektroden geschrieben worden ist, in jeder anderen nicht linear entlang des mäanderförmigen Verschiebekanals verschoben werden, dazu werden die Zeilen- bzw. Spaltenelektroden in 2x2 Phase angetrieben. Außerdem kann eine solche Ausführungsform als Gasentladungsplatte zum Selbstschiebebetrieb benutzt werden, dazu werden nur abwechselnd die Zeilen- und Spaltenelektroden vorher an die Zwei-Phasen-Busleitungen auf dem jeweiligen Substrat angeschlossen, und zusätzlich wird die Schreibelektrode an zumindest einem Ende des Verschiebekanals vorgesehen, um die Schreib-Entladungszelle festzulegen.

Entsprechend dem zweiten Merkmal dieser Erfindung ist für die Gasentladungsplatte der mäanderförmige Verschiebekanal vorgesehen, der aus einer mäanderförmigen Anordnung von Entladungszellen gebildet wird, die zwischen Spaltenelektroden dreier oder mehrerer Gruppen über den zwei oder mehr Reihen der Zeilenelektroden festgelegt sind. Mit anderen Worten umfaßt diese Gasentladungsplatte zumindest eine mäanderförmige Spaltenelektrode, welche so angeordnet ist, daß sie zumindest zwei Zeilenelektroden Uberkreuzt und etwa paralel gefaltet ist, wobei die erste Entladungszellen-Gruppe zwischen diesen Elek'roden liegt; weiter umfaßt diese Gasentladungsplatte zwei Gruppen paralleler Spaltenelektroden, die abwechselnd zwischen jeder der umgefalte ten parallelen Elektroden der genannten mäanderförmigen SpaltenelekTode angeordnet sind, um die zweite und dritte Entladungszellengruppe, abwechselnd zwischen den angrenzenden Entladungszellen der genannten ersten Entladungszellengruppe, zu bilden;

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und außerdem umfaßt diese Gasentladungsplatte die Barriere zur Beschränkung der Entladung der genannten Entladungszellen, und zwar für die eine der zwei ersten Entladun^szellen, die der Reihe nach an die zweite und dritte Entladungszelle auf der

einen von zumindest zwei genannten Zeileneleklroden angrenzt, und für die andere der zwei ersten Entladungszellen, die der Reihe nach an die genannte zweite und dritte Entladungszelle auf den anderen Zeilenelektroden angrenzt.

Entsprechend dem dritten Merkmal dieser Erfindung ist die Barrierenvorrichtung zur Bestimmung der Verschieberichtung des Entladungspunktes aus Phosphormaterial gebildet, insbesondere aus photolumineszierendem Phosphormaterial.

Weitere Aufgaben und Merkmale dieser Erfindung werden leichter bei der Erklärung bevorzugter Ausführungsbeispiele anhand der folgenden Figuren verstanden.

Figur 1 ist das Elektroden-Layout der ersten Ausführungsform der Gasentladungsplatte entsprechend der vorliegenden Erfindung. Figur 2 ist die perspektivische Ansicht eines größeren Ausschnittes der Gasentladungsplatte entsprechend der ersten Hauptausführungsform.
Figur 3 ist die Wellenform der Antriebsspannung zur VerschiebungsausfUhrung.

Figur h ist das Elektroden-Layout der zweiten HauptausfUhrungsform.

Figur 5, 6 bzw. 7 sind andere modifizierte Elektroden-Layouts.

Figur 8 ist das Elektroden-Layout der dritten HauptausfUhrungsform mit einer Elektrodenstruklur fUr 2x3 Phasen.

Figur 9 ist das Schnittbild der Gasentladun^splatte, wie es fUr die Elektrodenstruktur nach Figur 8 vorgesehen ist. Figur 10 ist die Treiber-Wellenform zum Antrieb der in Figur 8 dargestellten Platte.

Die Figuren 11 bzw. 12 sind modifizierte Elektroden-Layouts für 2x4 Phasen und 3x3 Phasen.

Figur 13 ist die Gasentladungsplatte einer vierten HaiptausfUhrungsfonn mit einem Phosphormaterial.

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Figur 1 ist das Elektroden-Layout der ersten Ausführungnform der Gasentladungsplatte gemäß dieser Erfindung. In den Figuren sind Xa, Xb, Ya und Yb Busleitungen; xai, xbi sind Spaltenelektroden, die in der X-Richtung angeordnet sind; yaj, ybj sind Zeilenelektroden, die in der Y-Richtung angeordnet sind; wj ist eine Schreibelektrode, und BR ist eine Barriere; SC1 bis SC3 sind Verschiebekanäle.

Figur 2 ist eine teilweise perspektivische Darstellung der Gasentladungsplate dieser Ausführungsform, dabei sind 1 und 2 Substrate, wie z.B. Glas. Dielektrische Schichten, beispielsweise aus bei niedriger Temperatur schmelzendem Glas, sind mit 3 und k bezeichnet. 5 und 6 sind die oben genannten X- und Y-Elektroden. BR ist eine Barriere, die eine Wandslruktur besitzt, welche aus einem bei niedriger Temperatur schmelzenden Glas besteht und die zumindest auf einer dielektrischen Schicht U nach einem Verfahren wie z.B. einem Druckverfahren ausgeführt ist. Wird die Zahl jeder anderen X-Elektroden xai als Nxa angenommen, die Zahl der verbleibenden X-Elektroden xbi als Nxb, die Zahl jeder anderen Y-Elektroden yai als Nya und die Zahl der verbleibenden Y-Elektroden ybj als Nyb, so kann die Zahl der Entladungszellen N ausgedrückt werden als

N = (Nxa + Nxb) χ (Nya + Nyb)

hier gelten die Beziehungen Nxa = Nxb oder Nxa = Nxb +_ 1 und Nya = Nb oder Nva = Nyb +_ 1.

Der an der Schreib-Entladungszelle erzeugte En Iladungspunkt, der von der Schreibelektrode wj gegeben wird, wird in Zickzacklinie entlang des Verschiebekanals einer abwechselnden Strecke über die angrenzenden zwei Y-Elektroden, die von der genannten Barriere BR gebildet werden, verschoben. Z.B. wird der Entladungspunkt, der an der Entladungsstelle A der Schreibelektrode w1 erzeugt worden ist, der Reihe nach durch die Eniladungszellen b, c, d, f, g ... verschoben. Im Falle einer statischen Anzeige kann die Anzeige dadurch erfolgen, daß nur eine Entladungszelle uner den Entladungszellen b - d oder die angrenzenden zwei oder mehr Entladungszellen in der Verschieberichtung benutzt werden.

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Figur 3 ist ein Beispiel für die Wellenform der Treiberspannung. Vxa, Vxb, Vya und Vyb sind Pulsspannungen, die an die Busleitungen Xa, Xb, Ya bzw. Yb gegeben werden müssen. Beispielsweise kann der Pulsabstand ti auf 15 /US gesetzt werden. Die Pulsbreite t2 des Verschiebepulses SP kann auf 5 bis 10 ,us gesetzt werden,und die Pulsbreite t3 des Löschpulses EP kann auf 1 bis 2 ,us gesetzt werden. Der Spitzenwert Vsh wird so ausgewählt, daß er aufgrund des Vorspannungseffektes eine En'ladung verursacht, während der Entladungspunkt an den angrenzenden Entladungszellen erzeugt wird. Vaa, Vab, Vbb und Vba sind Spannunge die den Entladungszellen an den Kreuzungen der Elektroden zuzuführen sind, die mit den Busleitungen Xa, Xb, Ya und Yb verbunden sind.

Wenn beispielsweise die Schreibelektrode w1 durch die Eingangsdaten ausgewählt worden ist und der Schreibpuls dort zugeführt worden ist und wenn ein Entladungspunkt an der Entladungsstelle a erscheint, wird die Pulsspannung Vaa an die Entladungszelle b gegeben, während der Verschiebepuls Vsh an die Busleitungen Xa und Ya zu dieser Zeit gegeben wird, und der Entladungspunkt erscheint auch an der Entladungsstelle b.

Wenn der Verschiebepuls an die Busleitungen Xa und Yb gegeben worden ist, wird die Pulsspannung Vab an die Entladungszelle c gegeben. Damit wird der Entladungspunkt zur Zelle c verschoben, und der Löschpuls Ve wird an die Buslei rung Xa gegeben. Damit wird der Entladungspunkt der Entladungszelle w gelöscht. Da außerdem der Verschiebepuls Vsh an die Busleitungen Xb und Yb gegeben wird, wird eine Pulsspannung Vbb an die Entladungszelle d gegeben, und der Entladungspunkt wird zur Entladungszelle d verschoben.

Da dann der Löschpuls Ve an die Busleitung Xa gegeben wird, wird der Entladungspunkt an der Entladungszelle c gelöscht. Damit wird der Entladungspunkt in der gleichen Weise, wie oben beschridjen wurde, verschoben. Wenn beispielsweise die Verschiebeoperation zwischen den benachbarten Zellen, für die die Y-Elektrode gemeinsam benutzt wird, in solch einer Weise ausgeführt

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wird, wie von der Entladungszelle g zur angrenzenden Entladungsstelle h, dabei ist zu berücksichtigen, daß der Entladungspunkt zur Entladungszelle h verschoben wird, daß jedoch der EnMadungspunkt der anfänglichen Entladungszelle g nicht nach rückwärts zur Entladungszelle d verschoben wird, wenn der Verschiebepuls an die Busleitungen Xb und Yb gegeben wird, mit anderen Worten, dabei ist zu berücksichtigen, daß der Einfluß des Vorspannungseffekts aufgrund der Plasma -Kopplung zwischen den Entladungszellen g und d verhindert wird, so ist für eine derartige Verschiebeoperation des Entladungspunktes die Barriere BR zwischen abwechselnd benachbarten Entladungszellen vorgesehen, für die die Y-Elektrode gemeinsam benutzt wird. Im Falle der in der Figur gezeigten Ausführungsform hat die Barriere BR die Grundfläche in der Form eines Streifens, um zwischen aus gepaarten zwei Y-Elektroden bestehenden Verschiebekanälen zu trennen, außerdem ist die Barriere in der Form eines Kammes ausgebildet, der sich zwischen abwechselnd angrenzenden En^- ladungszellen von dieser Grundfläche aus erstreckt.

Da diese Barriere BR vorgesehen ist, um den Kopplun^sgrad für die angrenzenden Entladungszellen in der Nicht-Verschieberichtung zu vermindern, ist es möglich, eine Schicht aus einem Material mit einem geringen Sekundär-Elektronen-Emissionskoeffizient vorzusehen, oder eine Elektrode vorzusehen, die mit einem solchen Feld beaufschlagt wird, so daß die durch die Entladung erzeugten Elektronen nicht in der Nicht-Verschieberichtung diffundieren können, diese Elektrode hat die gleiche Form wie die Barriere BR, um den gleichen Effekt wie die Barriere zu bewirken. Außerdem ist es auch möglich, eine farbige Anzeige auszuführen, dazu wird ein Phosphormaterial für diese Barriere verwendet.'

Figur 4 zeigt ein Elektroden-Layout der zweiten Hauptausführungsform dieser Erfindung, und Bereiche mit den gleichen Bezeichnungen wie in Figur 1 sind entsprechende Bereiche. Bei dieser Ausführungsform ist das Muster der Barriere BR gegenüber der in Figur 1 dargestellten Ausführungsform verändert, und deshalb sind die Y-Elektroden yaj und ybj abwechselnd in jeder

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anderen nach jeweils zwei anstatt nach jeweils einer anderen Elektrode angeordnet und verbunden.

Wie oben ausgeführt wurde, können die Gasentladungsplatten der ersten und zweiten Ausführungsform den Entlndunr;spunkt über den alternativen Weg verschieben, dazu dienen die Entladungszellen an den Kreuzungen der X-Elektroden xai, xbi und der Y-Elek^roden yaj, ybj, wobei die X-Elektroden xai, xbi bzw. die Y-Elektroden yajt ybj mit den einen Zwei-Phasen-Busleitungen Xa, Xb auf dem einen Substrat und mit den anieren Zwei-Phasen-Busleitungen Ya, Tb auf dem anderen Substrat verbunden werden. Da jeweils zwei Busleitungen für die Busleitungen auf beiden Seiten benutzt werden dies erübrigt die Uberkreuzungsbereiche, besitzt die Erfindung den Vorteil, mittels eines einfachen Herstellungsprozesses realisierbar zu sein.

Die konventionelle Gasentladungsplatte der selbstschiebenden Bauart besitzt ein Layout mit kreuzenden Elektroden und erfordert drei oder mehr Busleitungen, und wenn deshalb eine Spannung nur

!0 an eine von den drei Busleitungen gelegt, wird, so sind die anderen beiden Elektroden als leere Elektroden zwischen den Bildelementen des Entladungspunktes vorhanden, im Fall der vorliegenden Erfindung gibt es jedoch nur eine Elektrode, und damit ist der besondere Vorteil sichergestellt, daß eine Anzeige

!5 mit hoher Auflösung erreicht werden kann, auch wenn der gleiche Elektrodenabstand wie der gegenwärtige eingeführt wird.

Betrachtet man die erste und zweite Hauptausführungsform, wie sie oben erläutert wurde, so kann das Elektroden-Layout außerdem so modifiziert werden, wie es in den Figuren 5, 6 und 7 gezeigt ist. In Figur 5 sind die.Zeilenelektrode yaj, ybj, die mit den Zwei-Phasen-Zeilenelektroden-Busleitungen Ya, Yb verbunden sind, auf einem Substrat angeordnet, und zwar mit einem nahezu parallelen und linearen Muster, und ihre Oberfläche ist mit einer dielektrischen Schicht, die nicht dargestellt ist, überzogen.

Die Spaltenelektroden xai, xbi, die mit den Zwei-Phasen-Spaltenelektroden-Busleitungen Xa, Xb verbunden sind, sind in der gleichen Weise auf dem anderen Substrat mit dem nicht linearen

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Muster angeordnet und ebenso mit einer nicht dargestellten dielektrischen Schicht überzogen, dies ergibt eine Anordnung einer Entladungszelle mit einem ungleichen Abstand an der Kreuzung mit den genannten Zeilenelektroden.Damit kann der Verschiebekanal, der die angrenzenden Entladungszellen in der kürzesten Richtung in Form der Mäanderstrecke verbindet, über den Zeilenelektroden yaj, ybj zweier benachbarter Reihen ausgebildet werden,und damit kann der Entladungspunkt, der an der Schreibentladungszelle a erzeugt worden ist, in Zickzackform durch die Reihe der Zellen b, c, d, e, f und g verschoben werden. Bei dieser AusfUhrungsform ist nämlich der Abstand zwischen den angrenzenden Entladungszellen die über zwei Zeilenelektroden zur Ausbildung des Mäander-Verschiebekanals angeordnet sind, in Verschieberichtung nahezu gleich gemacht, und auf der anderen Seite ist der Abstand zwischen dem angrenzenden Abstand in Gegen-Verschieberichtung entlang den genannten zwei Zeilenelektroden langer gehalten als der Abstand zwischen angrenzenden Entladungszellen in der genannten Verschieberichtung, dazu dient das Muster der genannten Spaltenelektroden.

Wenn deshalb bei der in Figur 5 gezeigten Ausführungsform der En^adungspunkt von der Entladungszelle e zur nächsten Entladungszelle f verschoben wird, wird der Verschiebepuls an die Busleitungen Xa, Xb gegeben, und gleichzeitig wird die gleiche Verschiebespannung an die Zelle b über die gemeinsame Busleitung gegeben. Jedoch ist diese genannte Entladungszelle b von der Ladungsquellenzelle e weiter entfernt als von der Zelle f, zu der der Punkt verschoben werden soll, und damit wird ein Unterschied zwischen den Zündspannungen der Zellen b und f aufgrund des Grades der Plasma-Kopplung erzeugt (die Zündspannung derZelle b ist größer als die der Zelle f). Wenn das Spannungsniveau der Verschiebespannung höher eingestellt wird als die Zündspannung der Entladungszelle f, wäLche der Ladungsquellenzelle e benachbart ist, wird damit der Entladungspunkt nur in der Richtung zur Zelle f verschoben, und der Entladungspunkt kann nicht in der Gegen-Verschieberichtung verschoben werden. In diesem Fall kann die Barriere BR prinzipiell weggelassen werden. Jedoch ist es erwünscht, eine Barriere zwischen auf langen Abstand be-

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nachbarten Entladungszellen auszubilden, um eine hinreichende Betriebsgrenze zu garantieren. Jedoch ist die Genauigkeit des Barrieren-BR-Musters gröber als es für die in den Figuren 1 oder 4 gezeigten AusfUhrungsform nötig ist, wie in der Figur gezeigt ist, damit ist diese Ausführungsform besonders vorteilhaft für den Herstellungsprozeß der Barriere.

Figur 6 ist eine weitere Modifikation der Elektrodenanordnung.

Zwei parallele Verschiebekanäle SC1 und SC2 sind gezeigt. In Figur 6 sind diese Verschiebekanäle SC1 bzw. SC2 so ausgebildet, daß sie in zwei Gruppen von Spaltenelektroden xai und xbi, die parallel mit etwa gleichem Abstand auf dem einen Substrat angeordnet sind, und zwei Gruppen von Zeilenelektroden yaj, ybj umfassen, die entlang zweier Reihen angeordnet sind, die sich mit den genannten Spaltenelektroden auf dem anderen Substrat überkreuzen. Die Spaltenelektroden-Gruppen xai und xbi, die abwechselnd mit den gemeinsamen Busleitungen Xa und Xb verbunden sind, sind nämlich separat für jeden Verschiebekanal angeordnet, und die Zeilenelektroden-Gruppen aus zwei Reihen yaj und ybj, die mit den gemeinsamen Busleitungen Ya bzw. Yb verbunden sind, sind ebenfalls separat mit einer solchen Position zueinander angeordnet, daß sie eine Phasendifferenz in der dreidimensionalen Ansicht haben. Jede der Zeilenelektroden-Gruppen yaj ist in der einen Reihe ebenfalls separat in der Form ausgebildet, daß sie gemeinsam dem angrenzenden Spaltenelektrodenpaar (xa1 * xb1, xa2 · xb2 ...) von zwei Gruppen gegenüberstehen. Und jede Zeilenelektrodengruppe xbj der anderen Reihe ist in der Form separat angeordnet, daß sie gemeinsam den anders numerierten Spaltenelektrodenpaaren von zwei Elektrodengruppen (xb1 · xa2, xb2 · xa3, ...) gegenüberstehen.

In dem in Figur 6 dargestellten Elektroden-Layout wird, wem eine bestimmte Entladungszelle die Ladungsquellenzelle mit einem Entladungspunkt wird, ein Unterschied der Plasma-Kopplung zwischen den angrenzenden zwei Entladungszellen an beiden Seiten der genannten Ladungsquellenzelle erzeugt, eine solche Plasma-Kopplung wird nämlich stark auf der Seite zwischen der Ladungsquellenzelle und der Zelle, für die die Elektrode gemeinsam be-

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nutzt wird, dagegen ist die Plasma-Kopplung schwach auf der Seite zwischen der Ladungsquellenzelle und der Zelle, für die die Elektrode getrennt benutzt wird. Mit anderen Worten, aus diesem Grunde wird der Entladungspunkt im allgemeinen in der Richtung, wie sich die Elektrode erstreckt, verschoben. Aus diesem Grunde geht die von der Ladungsquellenzelle kommende Zufuhr der Elektronen, Ionen und metastabilen Atome, die als die Intensität der Plasma-Kopplung oder als Grad des Vorspannungseffektes definiert ist, über die Zufuhr für die benachbarte Entladungszelle hinaus, und damit wird die Zündspannung geringer als die Zündspannung der angrenzenden Entladungszelle auf der Seite, wo die Elektroden getrennt ausgebildet sind. Durch Einführung der Methode, eine solche separate Elektrode anzuordnen, wird damit die Plasma-Kopplung zwischen benachbarten Entladungszellen in der Gegen-Verschieberichtung begrenzt, und damit kann die Verschieberichtung wie gewünscht bestimmt werden. Auch in diesem Falle kann die Barriere, wie sie in den Figuren 1 und k gezeigt ist, weggelassen werden, jedoch ist es erwünscht, eine solche Barriere zu kombinieren (zusätzlich vorzusehen), um eine hinreichende Betriebsgrenze zu erreichen.

Die Figuren 7a, 7b bzw. 7c zeigen eine weitere Modifikation für das Elektroden-Layout. Einander entsprechende Bereiche sind mit den gleichen Bezugszeichen wie in den vorangegangenen Figuren bezeichnet. Wie aus den Figuren 7a, 7b und 7c ersichtlich ist, ist bei diesen Ausführungsformen die Gasentladungsplatte mit dem Elektroden-Layout versehen, wie es sich durch Kombination der in den Figuren 5 und 6 gezeigten Elektrodenmuster ergibt. Der Unterschied zwischen den Elektroden-Layouts, wie sie in den

JO Figuren 7a, 7b und 7c gezeigt sind, kann insbesondere in der Art der Leiterverbindung für die Busleitungen zur Gruppierung dieser Elektroden gesehen werden, weniger im Elektrodenmuster selbst. In Figur 7a sind die Elektroden eines jeden Verschiebekanals innerhalb der gleichen Gruppe und der gleichen Nummerierung mit den

!5 Busleitungen auf beiden oberen und unteren Seiten über die Verbindungsleiter xal, xbl und yal, ybl verbunden, die sich in vertikaler Richtung erstrecken. In Figur 7b sind beide Zeilen- und Spaltenelektroden in jedem Verschiebekanal unabhängig mit den Busleitungen verbunden, dazu dienen die Verbindungsleiter xal,

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xbl und yal, ybl, die sich in lateraler Richtung erstrecken. Im Fall derAusfUhrungsform nach Figur 7c ist die Zeilenelektrode für jeden Verschiebekanal unabhängig herausgeführt, während die Spaltenelektrode für jeden Verschiebekanal gemeinsam herausgeführt ist. Jede der drei Arten der Elektroden-Layouts, wie sie in Figur 7 gezeigt sind, ergeben den mäanderförmigen Verschiebekanal, der aus zwei Reihen von Zeilenelektroden-Gruppen xaj, ybj, die separat an der unterschiedlichen Stelle ausgebildet sind, und Spaltenelektroden-Gruppen xai, xbi besteht, die schiefwinklig in der Weise angeordnet sind, daß die Entladungszellen-Anordnung auf der genannten Reihe mit ungleichen Abstand (L1<L2) defindiert ist.

Jede der oben beschriebenen Ausführungsformen bezieht sich auf die selbstschiebende Plasma-Anzeigeplatte, dabei sind die Zeilen-(X)-Elektroden und die Spalten-(Y)-Elektroden von 2x2 Gruppen vorgesehen, die von einer Spannung s-Wellenform mit 2x2 Phasen angetrieben werden, und die Zahl der Phasen kann ohne Uberkreuzungsbereiche vergrößert werden.

Figur 8 zeigt eine selbstschiebende Plasma-Anzeige, bei der das Elektroden-Layout von 2x3 Phasen als die dritten Hauptausführungsform vorgesehen ist. In dieser Figur werden drei mäanderförmige Verschiebekanäle SC1 bis SC3 gebildet, und zwar durch die Zeilenelektroden yaj, ybj, die ein'Paar mit zwei Elektroden bilden, und durch die Spaltenelektroden xai, xbi, xci von 3 Phasen. Die Zeilenelektroden yaj, ybj, die parallel in der horizontaler Richtung auf dem einen Substrat mit einem nahezu graden Muster ausgebildet sind, sind abwechselnd mit dem Paar der Busleitungen Ya, Yb verbunden und sind mit einer dielektrischen Beschichtung umhüllt. Die Spaltenelektroden xbi einer einzigen Phase, die in der vertikalen Richtung auf dem anderen Substrat vorgesehen sind, sind parallel gefaltet, mit etwa dem gleichen Abstand für die genannten Zeilenelektroden yaj, ybj, und zu dem gemeinsamen Anschlußpunkt Xb herausgeführt, wobei die Mäandermuier so ausgebildet sind, daß die erste Entladungszellengruppe zwischen ihnen festgelegt wird. Mit anderen Worten, die Spaltenelektroden xbi sind gemeinsam in der Mäanderform verbunden. Im Zwischenraum der in der Mäanderform verbundenen Spaltenelektroden xbi sind die Spaltenelektrode xai,

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die die zweiten Entladungszellengruppen zwischen den Zeilenelektroden geben, und die Spaltenelektroden xci, die in die dritten Entladungszellengruppen in der gleichen Weise eingreifen, abwechselnd angeordnet und der Reihe nach über die Busleitungen

j zu den Anschlußpunkten Xa und Xc herausgeführt. Zusätzlich ist die Schreibelektrode wj zum Schreiben der Information für jeden Verschiebekanal an einer solchen Stelle vorgesehen, daß sie dem einen Ende des Zeilenelektrodenpaars gegenüberliegt, welches der äußersten Spaltenelektrode xa1 benachbart ist.

In der in Figur 8 gezeigten Ausführungsform sind die die Entladung begrenzenden Vorrichtungen 60 regelmäßig in dem in der Figur gezeigten Muster vorgesehen, um die Zellen auf den Spaltenelektroden xbi, die in der Form der Mäanderstrecke verbunden sind, teilweise ungültig zu machen, um den an der Schreibzelle a erzeugten Entladungspunkt über die Mäanderstrecke in der Reihe b, c, d, e, f, g, h ... zu verschieben.

Figur 9a zeigt ein Schnittbild der Ausführungsform dieser Ent-

>0 ladungsbegrenzungsvorrichtung 60. In Figur 9a wird nämlich diese Entladungsbegrenzungsvorrichtung 60 als die gedruckte Barriere dargeboten, die aus einem bei geringer Temperatur schmelzenden Glas besteht, welches entsprechend den Kreuzungen der Elektroden zum Zweck der EntLadungsbegrenzung auf der dielektrischen Schicht

!5 geformt ist, welche die Spal^!enelektroden umhüllt. Außerdem ist es auch möglich, die Anordnung dazu zu benutzen, im wesentlichen die Entladungszelle ungültig zu machen, indem die Entladungszellenwand der Kreuzungen zur Entladungsbegrenzung mit dem MaterialöO, beispielsweise Al 0 , beschichtet wird, welches einen relativ

(0 geringen Sekundär-Elektronen-Emissionskoeffizient besitzt, verglichen mit dem übrigen effektiven Entladungszellenbereich. In diesem Falle erfordert das auszubildende Musterteine so hohe Genauigkeit, da nur erforderlich ist, daß die Zündspannung an der relevanten Entladungszelle, abhängig vom Sekundär-Elektronen-

(5 Emissionskoeffzienten der Oberfläche, höher gemacht wird als die Zündspannung der anderen effektiven Entladungszelle. Als eine weitere Modifikation einer solchen Entladungsbegrenzungsvorrichtung ist es möglich, die wandförmige Barriere 70 auszubilden,

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wie in Figur 8b gezeigt ist, indem ein bei geringer Temperatur schmelzendes Glas an der Oberfläche der dielektrischen Schicht AO am Zwischenpunkt der mäanderförmigen Spaltenelektroden xbi und der verbleibenden Spaltenelektroden xai oder xci verwendet wird. Da in diesem Fall der Grad der Kopplung für die benachbarten Entladungszellen in der Gegen-Verschieberichtung vermindert werden muß, ist es erwünscht, die Barriere mit der Dicke auszubilden, die dem Zwischenraum des Gasentladungsraumes im Fall der konventionellen Barriere entspricht.

In den Figuren 9a und 9b sind 10 und 20 Substrate. 30 ist ein Gasentladungsraum. 40 und 50 sind dielektrische Schichten, di-e aus einem bei geringer Temperatur schmelzenden Glasmaterial bestehen, wobei diese dielektrischen Schichten 40 und 50 kein wesentliches Material für die selbstschiebende Operation sind, und in einigen Fällen ist es auch möglich, die Ausführungsform zu Erzeugung eines Gleichstromantriebes zu benutzen, dazu werden die Elektroden belichtet,oder es ist möglich, daß irgendeine der Zeilen- und Spaltenelektroden mit einer dielektrischen Schich oder einer Schicht aus Widerstandsmaterial umhüllt ist.

Entsprechend der Gasentladungsplatte mit der oben genannten Gestaltung kann der Enr.ladungspunkt, nachdem der Entladungspunkt an der Schreib-Entladungszelle a durch Anlegen des Schreibpulses an beispielsweise die Schreibelekrrode w1 erzeugt worden ist, über die Mäanderstrecke in der [leihe der Entladungszellen b, c, d_t e, f, g, ... verschoben werden, wie durch die Pfeile angezeigt ist, dazu werden die Verschiebepulse sequentiell an die Busleitungen (Xa, Ya), (Xb, Ya), (Xc, Ya) , (Xc, Yb), (Xb, Yb), (Xa, Yb) gegeben.

Figur 10 zeigt ein Beispiel für die Treiberspannung von 2x3 Phasen für eine solche Selbstschiebeoperation. In dieser Figur sind Vxa, Vxb, Vxc, Vya und Vyb Impulsfolgen, die den Verschiebepuls SP und den Löschpuls EP umfassen, diese Impulsfolge muß an Jede Zeilen- und Spaltenelektrode über die Busleitungen Xa, Xb, Xc, Ya und Yb gegeben werden.

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Die Figuren 11 und 12 zeigen weitere Ausführungsformen der selbstschiebenden Plasma-Anzeigeplatte, wobei die Zahl der Elektrodenphasen ohne Uberkreuzungsbereiche vergrößert worden ist. In Figur 11 sind zwei Verschiebekanäle durch Zwei-Phasen-Zeilenelektroden yaj, ybj ausgebildet, die mit den Anschlußpunkten Ya, Yb verbunden sind, und Vier-Phasen-Spaltenelektroden xai, xbi, xci und xdi sind mit den Anschlußpunkten Xa, Xb, Xc und Xd verbunden. Die benachbarten Elektroden der zwei Gruppen xbi und xci unter den Vier-Phasen-Spaltenelektroden-Gruppen sind der Reihe nach gemeinsam mit dem Mäandermuster verbunden, und die verbleibenden zwei Gruppen der Spaltenelektroden xai und xdi (xbi) sind abwechselnd im Zwischenraum der gefalteten Elektroden angeordnet. Die du-ch die Markierung® bezeichneten Entladungszellen auf den Spaltenelektroden xbi und xci, die in Mäanderform verbunden sind, um die Verschieberichtung zu bestimmen, werden durch die Barriere 60 entlang den zwei Spaltenelektroden yaj, ybj abwechselnd ungültig gemacht. Damit kann der Entladungspunkt sequentiell in den Zellen verschoben werden, die durch die Markierung O gekennzeichnet sind.

In Figur 12 bestehen drei Verschiebekanäle aus Drei-Phasen-Zeilenelektroden yaj, ybj und ycj, die mit den Anschlußpunkten Ya, Yb und Yc verbunden sind, und aus Vier-Phasen-Spaltenelektroden xai, xbi, xci und xdi, die mit den Anschlußpunkten Xa, Xb, Xc und Xd verbunden sind. Wie im Fall der Figur 1 wird die Entladung an den Entladungszellen auf den Mäanderelektroden, gekennzeichnet durch die Markierung x) , in der regulären Beziehung begrenzt. Damit kann der Entladungspunkt sequentiell zu den an die durch die Markierungen O und (p) gekennzeichneten Entladungszellen angrenzenden Zellen verschoben werden.

Die selbstschiebende Plasma-Anzeige mit der Viel-Phasen-Elektrodenausbildung, wie sie in den Figuren 8, 11 und 12 gezeigt ist, ist in der Auflösung gegenüber der Platte mit 2x2 Phasen, wie sie in Figur 1 gezeigt ist, unterlegen, da die Zahl der Elektrodenphasen vergrößert worden ist, jedoch ist bei dieser Ausführungsform die Gefahr einer Fehlzündung geringer, da der Abstand zwischen Entladungszellen in der gleichen Phase während der Verschiebung des

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Entlad!ngspunktes vergrößert ist. Damit kann eine weite Be'riebsgrenze gut erreicht werden. Zusätzlich hat eine derartige Viel-Phasen-Elektrodenanordnung den besonderen Vorteil, die Herstellunj einer selbstschiebenden Plasma-Anzeige mit großer Ausdehnung leicht, bei geringen Kosten zu ermöglichen, da Uberkreuzungen zur Herausfiihrung der Elektroden nicht erforderlich sind, und da eine Genauigkeit in der Ausbildung der Barriere vermindert wird.

Andererseits ist es bei Plasma-Anzeigen oftmals sehr nützlich, eir Anzeige mit gewünschter Farbe zu erhalten, indem das Gasentladungslicht in das vom Phosphor emittierte Licht umgewandelt wird, dazu wird zusätzlich Phosphormaterial vorgesehen. Für den Fall einer solchen Kombination mit Phosphormaterial ist die Gasentladungsplatte dieser Erfindung sehr nützlich. Wenn nämlich die Barriere BR mit dem photolumineszierenden Phosphormaterial ausgebildet wird, welches das Licht bei Anregung durch das En'-ladungslicht, insbesondere durch ultraviolette S'rahlen, emittier+ so kann eine Anzeige mit der Farbe des vom Phosphor emittierten LichTes (grün) erfolgen. Außerdem kann bei den Ausführungsformen,

wie sie in den Figuren 8, 11 und 12 gezeigt sind, durch Verwendung des Phosphormaterials für die Barriere 60 als die En"-ladungs-Begrenzungsvorrichtung eine Farbanzeige ebenfalls in der gleichen Weise erfolgen. Da die Sekundärelektroden-Emissionskraft des Phosphormaterials im allgemeinen geringer is⁴- als die des Magnesiumoxids (MgO), welches als Oberflächenmaterial der dielektrischen Schicht benutzt wird, wird der Entladungsbegrenzung: effekt noch verstärkt.

Als die andere Modifikation der Kombination des Phosphors für die Gasentladungsplatte dieser Erfindung ist es möglich, eine Gestaltung einzuführen, wie sie in Figur 13 gezeigt ist. In Figur 13 sind zumindest zwei Arten von Phosphor FH und F12 kombiniert, und diese sind an den Seitenwänden der Barriere BR ausgebildet. An der Seitenwand der Barriere BR entlang den einen Zeilenelektroden yaj, um das Paar eines jeden Verschiebekanals zu sein, ist rotes Phosphormaterial F12 vorgesehen, während an der entgegengesetzten Seitenwand der Barriere entlang den anderen Zeilenelektroden ybj das grüne Phosphormaterial FH vorgesehen

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ist. Nachdem damit der geschriebene Entladungspunkt an die gewünschte Position verschoben worden ist, wird er an der Entladungszelle auf der Zeilenelektrode yaj fixiert oder aufrechterhalten. Damit wird das rote Phosphormaterial F12 angeregt, dies führt zu einer Anzeige in rot. Wenn der Entladungspunkt an der Entladungszelle auf der Zeilenelektrode xbj fixiert oder aufrechterhalten wird, wird das grüne Phosphormaterial FL1 angeregt, dies führt zu einer Anzeige in grün. Durch Auswahl der Zeilenelektroden nämlich, die für den Anzeigemodus gepaart werden müssen, kann die Anzeigefarbe geändert werden. Beim Anzeigemodus kann der Entladungspunkt an den beiden vertikal und horizontal angrenzenden En;ladungszellen gehalten werden, und damit kann die Anzeigefarbe ebenfalls durch Verwendung von Phosphormaterialien mit verschiedenen Farben, die für jede Spaltenelektrode kombinier^ werden müssen, und durch Auswahl zweier Gruppen von Spaltenelektroden verändert werden. Zusätzlich können durch Festlegung der Entladungszelle zur Fixierung des Entladungspunktes und durch Kombination von vier Phosphorarten für jede Gruppe der Vier-Phasen-Entladungszellen vier Arten oder mehr Anzeigefarben ausgewählt werden.

Wie aus der obigen Beschreibung deutlich geworden ist, ist die Gasentladungsplat⁴e der Erfindung einfach und preisgünstig in der Produktion und besitzt eine hohe Auflösung, da der Ver-Schiebekanal ohne Überkreuzung ausgebildet ist. Zusätzlich kann eine weitere Betriebsgrenze erreicht werden, da fehlerhafte Verschiebungen in der Gegen-Schieberichlung durch die Barriere eingeschränkt werden. Außerdem ist die Gasentladungsplatte zur Kombination von Phosphormaterialien brauchbar und geeignet für verschiedene Anzeigezwecke.

Die obige Beschreibung erfolgte nur für die für die vorliegende Erfindung erwünschten AusfUhrungsformen, und verschiedene Abänderungen, beispielsweise ein Einsatz in Gasentladungsplatten des Gleichstrom-Entladung-Typs und Kombinationen können leicht vom Personal ausgeführt werden, welches auf diesem Gebiet beschäftigt ist. Der Umfang dieserErfindung wird durch die Ansprüche abgegrenzt.

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Claims

DR. CLAUS REINLANOER DIPL.-ING. KLAUS BERNHARDT

Orthstroße 12 ■ D-8000 München 60 ■ Telefon 832024/5 Telex 5212744 · Telegramme Interpatent

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Fujitsu Limited, Kawasaki, Japan

Gasentladungsplatte

Priorität: 2. Juli 1976 - Japan -Aktenzeichen 51-79308 30. Juli 1976 - Japan -Aktenzeichen 51-91696

Patentansprüche

Gasentladungsplatte mit zumindest zwei Zeilenelektroden, die ungefähr parallel auf einem Substrat angeordnet sind, einer Vielzahl von Elektroden, die in der, die genannten Zeilenelektroden orthogonal kreuzenden Richtung auf einem anderen Substrat angeordnet sind, und dem Entladungsgas, welches zwischen diesem Substratpaar eingeschlossen ist, und welches so gestaltet ist, daß jeder Kreuzungsbereich, an dem sich die genannten Zeilenelektroden und Spaltenelektroden gegenüber liegen, als die Entladungszelleneinheit anzusehen ist, dadurch g e k e η η zeichnet , daß Barrierenvorrichtungen zur Verhinderung einer Plasma-Kopplung zwischen benachbarten Entladungszellen

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vorgesehen sind, wobei diese Barrierenvorrichtungen abwechselnd entlang der Richtung der Zeilenelektroden in dem Bereich zwischen den benachbarten Entladungszellen, wo die eine genannte Zeilenelektrode gemeinsam benutzt wird.und entlang des Bereiches zwischen den benachbarten Entladungszellen, wo die andere Zeilenelektrode gemeinsam benutzt wird, vorgesehen sind, und daß der Verschiebekanal für einen Entladungspunkt in der Form einer Mäanderstrecke ausgebildet ist, wobei die benachbarten En ;ladungszellen über die genannten zwei Zeilenelektroden durch diese Barriere verbunden werden.
2. Gasentladungsplatte nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die Spaltenelektroden regelmäßig mit der Busleitung von zwei Phasen auf dem einen Substrat verbunden sind, und daß die Spaltenelektroden abwechselnd mit verschiedenen Busleitungen von zwei Phasen auf dem anderen Substrat verbunden sind, und daß mehrere Verschiebekanäle entlang den benachbarten zwei Spaltenelektroden, mit jeder Zwei-Phasen-Busleitung verbunden, ausgebildet sind, und daß zusätzlich Schreibelektroden vorgesehen sind, um die Schreib-EnMadungszelle an zumindest ein Ende eines jeden Verschiebekanals zu geben.
3. Gasentladungsplatte nach Anspruch 2, dadurch g e k e η η zeichnet , daß eine der genannten Zeilen- oder Spaltenelektroden mit der dielektrischen Schicht bedeckt und damit, vom Entladungsgas getrennt ist.
4. Gasentladungsplatte nach Anspruch 2, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die Barrierenvorrichtung in Form einer Wand ausgebildet ist, die sich abwechselnd zwischen den benachbarten En*ladungszellen auf beiden Seiten der Wand erstreckt und zwischen den benachbarten Verschiebekanälen vorgesehen ist.
5. Gasentladungsplatte nach Anspruch 2, dadurch g e k e η η zeichnet , daß zwei Zeilenelektroden, die die genannten Verschiebekanäle bilden, getrennt in einer solchen Beziehung angeordnet sind, daß sie die abwechselnd benachbarten zwei Spaltenelektroden überbrücken.

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6. Gasentladungsplatte nach Anspruch 5, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die Spaltenelektrodeigetrennt für jeden Verschiebekanal angeordnet sind.
7· Gasentladungsplatte nach Anspruch 6, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die Spaltenelektroden abwechselnd mit einer Neigung in der entgegengesetzten Richtung so angeordnet sind, daß der Raum (Abstand) zwischen benachbarten Zellen zur Verhinderung einer Verschiebung größer ausgebildet ist als der Raum zwischen den benachbarten Zellen zur Verschiebung.
8. Gasentladungsplatte nach Anspruch 6, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die getrennt angeordneten Zeilenelektroden zweier Reihen und die getrennt angeordneten Spaltenelek*roden der Reihe nach mit den Busleitungen über Verbhdungsleiter verbunden sind, die entlang eines jeden Verschiebekanals vorgesehen sind.
9. Gasentladungsplatte nach Anspruch 3, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die Barrierenvorrichtung aus Phosphormaterial zusammengesetzt ist, welches auf der dielektrischen Schicht vorgesehen ist.
10. Gasentladungsplatte nach Anspruch 4, dadurch g e k e η η zeichnet , daß das Phosphormaterial an der Seitenwand der Barrierenvorrichtung abgestützt ist.
11. Gasentladungsplatte, bei der der erste Elektrodensatz, der auf dem einen Substrat vorgesehen ist, und die Vielzahl der zweiten Elektrodensätze, die auf dem anderen Substrat vorgesehen ist, einander gegenüberliegend angeordnet sind, getrennt durch den Gasentladungsraum, wobei" jede Elektrodenkreuzung zwischen dem ersten und dem zweiten Elektrodensatz als Entladungszelleneinheit anzusehen ist, dadurch gekennzeichnet , daß die erste Elektrodengruppe und die zweite Elektrodengruppe ausgebildet werden, indem die Elektroden des ersten Elektrodensatzes mit dem Muster paralleler Elektroden in ungefähr gleichem Abstand, abwechselnd mit den zwei gemeinsamen Busleitungen verbunden, angeordnet sind, und daß gleichzeitig die Elektroden des zweiten

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Elektrodensatzes aus den Serien der dritten Elektrodengruppe, wobei die Serien getrennt, gegenüber und gemeinsam über dem Elektrodenpaar aus zwei, jeweils dem ersten Elekt.rodensatz benachbarten (Elektroden) angeordnet sind, und aus den Serien der vierten Elektrodengruppe zusammengesetzt sind, wobei die Serien der vierten Elektrodengruppe getrennt, gegenüber und gemeinsam über dem Elektrodenpaar aus zwei, jeweils dem ersten Elektrodensatz benachbarten (Elektroden), parallel zur ersten Elektrodengruppe und mit der dreidimensionalen Phasendifferenz angeordnet sind, so daß der Verschiebekanal der Mäanderform für den Entladungspunkt erhalten werden kann, indem die benachbarten Entladungszellen verbunden werden, für die die Elektroden eines Elektrodensatzes gemeinsam benutzt werden.
12. Gasentladungsplatte nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet , daß die an den dritten und vierten Elektrodengruppen beteiligten Elektroden abwechselnd angeordnet sind, wobei die Elektroden gegeneinander eine Neigung in entgegengesetzter Richtung aufweisen, so daß ein weiter Abstand zwischen benachbarten Zellen sichergestellt werden kann, um die Verschiebung eines Entladungspunktes zu verhindern.
13. Gasentladungsplatte mit zumindest zwei Zeilenelektroden, die parallel auf dem einen Substrat angeordnet sind, und einer Vielzahl von Spaltenelektroden, die sich mit den Zeilenelektroden Uberkreuzen, und auf dem anderen Substrat angeordnet sind, und dem EnLladungsgas, welches zwischen dem Substratpaar eingeschlossen ist, wobei die Entladungsplatte so ausgebildet ist, daß die Entladungszelleneinheit an den Bereichen vorgesehen ist, wo sich die Zeilenelektroden und Spaltenelektroden gegenüber stehen, dadurch gekennzeichnet , daß die Spaltenelektrode parallel gefaltet ist, mit ungefähr dem gleichen Abstand für jede Zeilenelektrode, daß zumindest eine mäanderförmige Elektrode vorgesehen ist, die so angeordnet ist, daß die erste Entladungsze Dengruppe zwischen diese Elektroden und gepaarte parallele, gemeinsam verbundene Spaltenelektroden gegeben wird, welche abwechselnd zwischen jedem zurUckgefalteten parallelen ElektrodenstUck dernäanderförmigen Spaltenelektrode angeordnet sind, so daß die zweiten und dritten

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Entladungszellen zwischen die benachbarten Entladungszellen der ersten Entladungszellengruppe gegeben werden, "

daß eine Vorrichtung zur Beschränkung der Entladung regelmäßig angeordnet ist, wobei die Entladung der einen der zwei ersten Entladungszellen beschränkt wird, die an die beiden Seiten der zweiten und dritten Ent-ladungszellen auf der einen Spaltenelektrode der oben genannten zumindest, zwei Spaltenelektroden grenzt, und wobei die Entladung der anderen ersten Enlladun/^szelle beschränkt wird, die an die beiden Seiten der zweiten und dritten Entladungszellen auf den anderen Spaltenelektroden grenzt, und daß ein Verschiebekanal mit Mäanderform für einen Entladungspunkt ausgebildet ist, der die benachbarten EnLladungszellen über die zumindest zwei Spaltenelektroden verbindet.
14. Gasentladungsplatte nach Anspruch 13, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die Vorrichtung zur Entladungsbeschränkunf aus einem derartigen Material gebildet ist, welches eine geringere Sekundärelektroden-Emissionskraft als jenes an den anderen Entladungszellen hat.
15. Gasentladungsplatte nach Anspruch 14, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die Vorrichtung zur Entladungsbeschränkung aus einer strukturellen Barriere besteht.
16. Gasentladungsplatte nach Anspruch 13, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die Zeüenelektroden zwei parallelen Zeilenelektroden und zumindest eine andere Zeilenelektrode umfassen, welche zwischen den obigen beiden Elektroden angeordnet ist und welche in der Form einer Mäanderstrecke über mehrere Kanäle als die Paarelek¹rode verbunden ist.
17. Gasentladungsplatte nach Anspruch 13, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die zwischen den parallelen Spalfcenelektroden zweier Gruppen angeordnete Mäanderelektrode das Elektrodenpaar von jeweils zwei umfaßt.

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