DE2729659B2

DE2729659B2 - Gasentladungsanzeigeeinrichtung

Info

Publication number: DE2729659B2
Application number: DE2729659A
Authority: DE
Inventors: Shizuo Dipl.-Ing. Kobe Andoh; Kazuo Kobe Yoshikawa
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1976-07-02
Filing date: 1977-06-30
Publication date: 1981-03-26
Also published as: FR2357056A1; NL181468C; DE2729659C3; NL181468B; NL7707330A; IT1083878B; US4185229A; DE2729659A1; GB1584662A; FR2357056B1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Gasentladungsanzeigeeinrichtung gemäß dem Oberbegriff der An-Sprüche 1, Π und 13.

Eine derartige Gasentladungsanzeigeeinrichtung ist aus der FR-PS 22 68 323 bekannt, bei der sich die Barrieren durchgehend über die ganze Grundplatte erstrecken. w)

lime andere bekannte Form der Plasma-Anz.cigeeinrichtung mit einer Funktion der Verschiebung von Entladungspunkten ist in der US-PS 37 04 389 beschrieben. Bei dieser bekannten Anordnung werden Versthicbeclektro'len mit einem speziellen Muster ver- '■'■ wendet, um die Entlndungspunkte zu verschieben, wobei das Ausdehnuf'gsprianon". _·η der Wandhidungen an der angrenzenden Hntl;tdungswami benutz! wird. Der Verschiebekanal in Form einer Mäanderstrecke wird durch diere Verschiebeelektroden mit dem spezieller*. Muster gebildet. Jedoch ist diese bekannte selbstschiebende Plasma-Anzeigeeinrichtung insofern nicht verwertbar, als die Plasma-Kopplung zwischen angrenzenden Zellen nicht berücksichtigt wird, wodurch es schwierig ist, die für den kommerziellen Gebrauch erforderliche Betriebszuverlässigkeit zu erhalten.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Gasentladungsanzeigeeinrichtung zu schaffen, bei der Oberkreuzungspunkte vermieden werden, wodurch eine großflächige Anzeige ermöglicht wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale der Ansprüche 1,11 und 13 gelöst. Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstände der Unteransprüche.

Die Erfindung wird nachstehend an Hand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigt

F i g. 1 eine Elektrodenanordnung einer ersten Ausführungsform der Gasentladungseir/ichtung nach der Erfindung,

Fig.2 eine perspektivische Ansicht eines größeren Ausschnitts der Gasentladungsanzeigeeinrichtung nach Fig.l,

Fig.. 3 einen Spannungsverlauf an Elektroden und Entladungszellen entlang eines Verschiebekanals,

Fig.4 eine Elektrodenanordnung einer weiteren Ausführungsform,

Fig.5, 6 und 7 weitere abgewandelte Elektrodenanordnungen,

Fig.8 eine Elektrodenanordnung einer weiteren Ausführungsform mit einer Elektrodenstruktur für lmal 3 Phasen,

Fig.9 ein Schnittbild der Gasentladungsanzeigeeinrichtung nach F i g. 8,

Fig. 10 einen Spannungsverlauf an Elektroden nach Fig. 8,

Fig. II, 12 abgewandelte Elektrodenanordi ungen für 2mal 4 Phasen und 3mal 3 Phasen und

Fig. 13 eine Gasentladungsanzeigeeinrichtung einer weiteren Ausführungsform bei Verwendung von Phusphormaterial.

Fig. 1 zeigt eine Elektrodenanordnung einer ersten Ausführungsform einer Gasentladungsanzeigeeinrichtung gemäß der Erfindung. Darin stellen Xa, Xb, Ya und Yb Busleitungen dar; xai (xa 1, xa 2,...), xbi (xb 1. xb 2, ...) sind Spaltenelektroden, die in ,Y-Richtung angeordnet sind, yaj (ya 1, ya 2, ...), ybj (yb 1, yb 2, ...) sind Zeilenelektroden, die in V-Richtung angeordnet sind, wj

/VI, w2 ) sind Schreibelektroden, BR sind Barrieren

undSCj(SC\,SC2,...)sind Verschiebekanäle.

F i g. 2 ist eine teilweise perspektivische Darstellung der G-uentladungsanzeigeeinnchtung der Ausführungsform nach Fig. 1, in der t und 2 Substrate, z. B. Glas, bedeuten. Dieleksrhche Schichten, beispielweise aus bei niedriger Temperatur schmelzendem Glas, sind mit 3 und 4 bezeichnet, 5 und 6 sind die obengenannten Elektroden. BR sind Barrieren, die eine Wandstruktur besitzen, welche ai^s bei niedriger Temperatur schmelzendem Glas besteht und die zumindest auf einer dielektrischen Sicht 4 nach einem Verfahren, ζ. Β einem Druckverfahren, aufgebracht sind.

Der im der Schreib-lintkulungszellc von der Schreibelektrode wj erzeugte Entladungspunkt wird in Zickzacklinie entlang des Verschiebekanals .9Ct, der von den Barrieren BR gebildet wird, über angrenzende zwei Zcilcnelektroden verschoben. Der Kntladungspunkt. der an tier Entlaiiungszelle der .Schreibelektrode

»· 1 erzeugt worden ist. wird beispielsweise der Reihe nach durch die Entladiingszellcn />. c. d, c. i. g ... verschoben. Im Falle einer statischen Anzeige kann die Anzeige dadurch erfolgen, daß nur eine Entladungszelle unter den Entladungszellen b bis c/oder die angrenzenden zwei oder mehr Entladungszellen in der Verschieberichtung benutzt werden.

F^: i g. 3 ist ein Beispiel für den Verlauf von Spannungen an einzelnen Elektroden und Entladungszeilen entlang eines Verschiebekanals. Kv a. Vxb. Yy n und Vyb sind Pulsspannungen, die an die Dusleitungen A'a. Xh, Yn und Yb gelegt werden müssen. Kcispiclswcise kann der Pulsabstand / 1 auf 15 us, die Piilsbroile /2 eines Verschiebepulses SP auf 5 bis IO ns und die l'iilsbreite / 3 eines l.öschpulses /i/'auf I bis 2 jis gesetzt werden, Der Spitzenwert Vsh eines Verschiebcpiilscs wird so gewühlt, daß er auf Grund des Vorspannungseffekts, bedingt durch die Einwirkung eines Entladungs-

Entladung erzeugt. Van. Vab. Vbb und Vba sind Spannungen, die den Entladungs/.ellen an den Über kreu/ungspunkten der Elektroden zuzuführen sind, die mit den Biislcitungen Aa. Xh. Yu und Yh verbunden sind.

Wenn beispielsweise die Schreibelektrode n I durch die Eingangsdaten ausgewählt worden ist. ein Sclireibpuls dort zugeführt worden ist und somit ein Emladungspunkt an der Entladungszclle n erscheint, wird eine Pulsspannung Van an die Entladungs/.cllc b gegeben, wahrend gleichzeitig ein Verschiebepuls Vsh an die Busleitungcn Aa und Ya gegeben wird und der Entladungspunkt an der Entladungszellc ^aufscheint.

Wenn ein Verschiebepuls an die Busleitungcn A'a und Yb gegeben worden ist. wird eine Pulsspannung Vab an die Entladungszelle c gegeben. Damit wird der Entladungspunkt zur Entladungszelle c verschoben, und ein Löschpuls EP wird an die Busleitung Xa gegeben. Damit wird der Entladungspunkt der Entladungszelle b gelöscht. Da außerdem ein Verschiebepiils Vsh an die Busleitungen Xb und Yb gegeben wird, wird eine Pulsspannung Vbb an die Entladungszelle d gegeben, und der Entladungspunkt wird von der Entladungszelle czur Entladungszelle c/verschoben.

Da dann ein Löschpuls EP an die Busleitung A'a gegeben wird, wird der Entladungspunkt an der Entladungszelle c gelöscht. Wenn beispielsweise die Verschiebeoperation zwischen zwei benachbarten Zellen, die eine gemeinsame Zeilenelektrode besitzen, in der Weise ausgeführt wird, wie von der Entladungszelle g zur angrenzenden Entladungszelle h. so ist dabei zu berücksichtigen, daß der Entladungdpunkt von der Entladungszelle g zur Entladungszelle Λ verschoben wird, daß jedoch der Entladungspunkt der anfänglichen Entladungszelle g nicht nach rückwärts zur Entladungszelle d verschoben wird, wenn ein Verschiebepuls an die Busleitungen Xb und Yb gegeben wird. Mit anderen Worten, es ist dabei zu berücksichtigen, daß der Einfluß des Vorspannungseffekts auf Grund der Plasma-Kopplung zwischen den Entladungszellen g und d verhindert wird. Es ist für eine derartige Verschiebecperation des Entladungspunkts eine Barriere BR zwischen abwechselnd benachbarten Entladungszellen vorgesehen, für die die Zeilenelektrode gemeinsam benutzt wird, !m Falle der in der F i g. 1 gezeigten Ausführungsform hat die Barriere BR eine Grundlinie, um die aus zwei benachbarten Zeä!e::eiektroden gleicher Ordnung bestehenden Verschiebekanäle zu trennen. Außerdem ist die Barriere in Form eines Kamms ausgebildet, der sich zwischen angrenzenden Entladungszellen verschiede ner Ordnung von dieser Grundlinie aus erstreckt.

Da die Barrieren I)R vorgesehen sind, um uw Kopplungsgrad für die angrenzenden Entladungszellen Ί in der Nicht-Verschieberichtung zu vermindern, ist es möglich, eine Schicht aus einem Material mit einem geringen Sekundär-Elektronen-Emissionskoeffizienten oder eine Elektrode selbst vorzusehen, daß die durch die Entladung erzeugten Elektronen nicht gegen die

κι Verschieberichtung diffundieren können. Diese Elektrode (Pig. 5 bis 7) hat die gleiche Form wie die Barrieren HR. um den gleichen Effekt wie diese zu bewirken. Außerdem ist es auch möglich, eine farbige Anzeige zu erhalten, wenn Phosphormatenal für diese

ι > Barrieren verwendet wird.

I ι g. 4 zeigt eine Elektrodenanordnung einer weiteren Aiisführungsform dieser Erfindung. Bei dieser Aiisführungsform ist das Muster tier Barrieren IiR

hi verändert. Deshalb sind die /eilenelektroden yaj und yhj abwechselnd zweimal nacheinander und dann nach jeweils zwei anderen Elektroden anstatt nach jeweils einer anderen Elektrode angeordnet und verbunden (yh\ \a\.\a2-yb\.yb3- ...).

.·> Wie oben ausgeführt wurde, können die Gasent ladiingsanzeigeeinrichtungcn der beiden erwähnten Ausführungsformen den Entladungspunkt entlang eines Vcrscb .'hekanals verschieben. Dazu dienen die Entladungszellen an den Überkreuzungspunkten der

κι Spalten- und /eilenelektroden xai. xhi und yaj. ybj. wobei die .Spaltenelektroden xai \hi bzw. die Zeilen elektroden yaj, ybj mit den Zwoi Phascn-Buslcitungen /Ya, Xb auf dem einen Substrat bzw. mit den Zwci-Phasen-Busleitungen Ya. Yb auf dem anderen

r> Substrat verbunden werden. Da jeweils zwei Busleitun gen für Spalten- und Zeilcnelektroden benutzt werden, wodurch Überkreuzungsbereiche vermieden werden, besitzt die Erfindung den Vorteil, mittels eines einfachen Herstellungsprozesses realisierbar zu sein.

4(i Die konventionelle Gasentladungsanzeigeeinriehtung der selbstschiebenden Bauart besitzt eine Elektrodenanordnung von sich kreuzenden Elektroden und erfordert drei oder mehr Busleitungen. Wenn daher eine Spannung nur an eine von den drei Busleitungen gelegt

■ii wird, so sind die anderen beiden Elektroden als leere Elektroden zwischen den Bildelementen des Entladungspunkts vorhanden. Im Fall der vorliegenden Erfindung gibt es jedoch nur eine Elektrode, und damit ist der besondere Vorteil sichergestellt, daß bei einer

w Ausführungsform nach Fig. I eine Anzeige mit hoher Auflösung erreicht werden kann, auch wenn der g' .iche Elektrodenabstand wie bei bisherigen Ausführungen verwendet wird.

Betrachtet man die beiden erwähnten Ausführungs-

V5 formen, so kann die Elektrodenanordnung auch so abgewandelt werden, wie dies in F i g. 5, 6 und 7 gezeigt ist. In F i g. 5 sind die Zeilenelektroden yaj. ybj. die mit den Busleitungen Ya. Yb verbunden sind, auf einem Substrat angeordnet, und zwar in einem nahezu

bft parallelen und linearen Muster, wobei ihre Oberfläche mit einer dielektrischen Schicht, die nicht dargestellt ist, überzogen ist. Die Spaltenelektroden xai, xbi, die mit den Busleitungen Xa. Xb verbunden sind, sind in der gleichen Weise auf dem anderen Substrat in einem nicht linearen Muster angeordnet und ebenso mit einer nicht dargestellten dielektrischen Schicht überzogen. Dies ergibt eine Anordnung von Entladungszellen mit einem urgleichen Abstand der Oberkreuzungspunkte von

Spalten· mn /eilenelckiroden. Daum kann der Versch'cbekanal. der die angrenzenden Entladungs-/ellen .iiif dem kürzesten Weg in Form einer Maanderstreeke verbnulel. über den Zeilenelektroden ι.//. \hj zweier benachbarter Reihen ausgebildet werden, und damit kann der I ntladiingspunkt. der an der Sehreibentladungszelle ,( erzeugt worden ist. in /ick» '.jkform entlang des Verschiebekanals b. c. d. c. f und g verschoben werden. Bei dieser Ausführtingsform ist nämlich der Absland /wischen zwei angrenzenden f nll.idiingszelli-n. die liber zwei Zeilenelektroden zur Ausbildung des Mii.inder Verschiebekanals angeordnet sind, in Verschicberichtiing nahezu gleich und ist infolge der \usfuhriingsiorm tier genannten .Spaltenelektroden kleiner als der Abstand zu angrenzenden Entladungszellen entgegen der Richtung des Verschiebekanals.

Wenn deshalb hi. ■ der in Fig. 5 gezeigten Ausfüh ningsform der Entl.idungspiinkt von der Entladungs-

/VlH C /IJI UilLmn 11 I I Ii I₁KItIIIU ^ r CIl I VVIV IHMICII «Uli.

wird der Verschieliepuls an die Buslcitungen \n. V .ι gegeben, und gleichzeitig wird du- gleiche Verschiebespanming an die Entladungszelle b über die gemeinsame lliisleiliing >',/ I gegeben. Diese genannte l.ntladungszelle /) ist jedoch von der I adimgsquellen/elle c weiter c'ilfernl als von der Fntladungs/elic f. zu der der Punkt \ erschiiben werden soll, uiul damit wird ein Unterschied zwischen den Zündspannungen der f.nlladunt's/ellcn b iimi f auf (inind des Grads der Plasma-Kopplung erzeugt (die notwendige Zündspannung der Eniladungszelle h ist großer als die der Fntladungs/ellc Ij. Wenn d.is S_r>annungsniveau der Verschiebespannung höher eingestellt wird als die Zündspannung der Entladungs-/elle /!welche der Enlladungs/clle c benachbart ist. wird damit der Entladungspunkt nur in der Richtung zur Entladungszelle /verschoben, und der Eritladungspunkt kann nicht in der Gegen-Vcrsehieberiehtung verscho ben werden. In diesem Fall können die Barrieren IiR prinzipiell weggelassen werden, jedoch ist es günstig, eine Barriere zwischen auf langen Abstand benachbar ten Entladungs/.ellcn auszubilden, um eine hinreichende · Betriehs/uvcrlässigkeit /u garantieren, jedoch ist die Genauigkeit des Barrieren-Musters geringer, als es für die in F" i g. I oder 4 gezeigten Ausführungsformen nötig ist. Damit ist diese Ausfuhrungsform besonders vorteilhaft für den HerMellungspro/eßder Barrieren.

F ι g. b ist eine weitere Abwandlung der tiektrodenanordming. in der zwei parallele, mäandcrförmige V crschiebckanäle SC 1 und SC 2 gezcie! sind. In F ι g. b sind diese Verschiebekanäle SCl und SC2 so ausgebildet, daß sie in zwei Gruppen von Zeilenelektroden yaj. ybj umfaßt werden, die entlang zweier Reihen angeordnet sind, die sich mit den genannten Spalienelekiroden auf dem anderen Substrat überkreuzen. Die Spaltenelektroden-Gruppen xai und xbi. die abwechselnd mit den gemeinsamen Busleitungen Xa und Xb verbunden sind, sind für jeden Verschiebekanal getrennt angeordnet. Jede der Zeilenelektroden-Gruppen yaj ist in der einen Reihe ebenfalls in Einzelelektroden so unterteilt, daß sie gemeinsam einem angrenzenden Spaltenelektrodenpaar (xa 1 - xb I, ♦ xa2 ■ xb2, ...) von zwei Gruppen gegenüberstehen. Jede Zeilenelektrodengruppe ybj der anderen Reihe ist so angeordnet, daß sie gemeinsam Spaltenelektrodenpaaren verschiedener Ordnung von zwei Elektrodengruppen (xb 1 ■ xa Z xb 2 ■ xa 3 ) gegenübersteht. «

!π der in F i g. 6 dargestellten Elektrodenanordnung wird, wenn eine bestimmte Entladungszelle gezündet wird, ein Unterschied der Plasma-Kopplung zwischen den angrenzenden zwei l-ntladungszellen an beiden Seiten der genannten l.adungsquellen/dlc erzeugt, line solche Plasma-Kopplung wird nämlich stark auf der Seite zwischen der l.adungsquellen/elle und der F.ntladiingszelle. für die eine F.leklrode gemeinsam benutzt wird, und schwächer auf der Seite zwischen tier l.acliingsqucllcn/elle und der l'.ntladungszclle, für die eine Elektrode getrennt, benutzt wird. Mit anderen Worten, es wird der Entladungspunkt im allgemeinen in der Richtung, wie sich die Elektrode erstreckt, verschoben. Aus diesem Grunde geht die von der l.adungsqiiellenzelle konmende Zufuhr der Elektronen. Ionen und metastabilen Atome, die als die Intensität der Plasma-Kopplung oder als Grad des Vorspanniingseffekts definiert ist. über die Ztidihr für die benachbarte Entladungszelle hiiuius. und damit wird die Zündspannung geringer als die Zündspannung der angrenzenden Entlailiings/elle auf der Seite, wo die Elektroden

ΊΓιί'ιί ιιΐ'ΰΓιμ

Methode, eine iinterteilic Elektrode anzuordnen, wird damit die Plasma-Kopplung zwischen benachbarten Entladtings/ellcn in tier Gegen-Verschieberiehturis.' begrenzt und damit kann the Verschieherichliing wie gewünscht bestimmt werden. Auch in diesem IaI! können die Barrieren, wie sie in E i g. I und 4 gezeigt sind, weggelassen werden. Es ist jedoch gunstig, solche Barneren zusätzlich vorzusehen, um eine hinreichende Helriebszuverlässigkcit zu erreichen.

E i g. 7(A). 7(B) und /(C) zeigen weitere Abwandlun gen für Elckirodenanordnungcn. Wie aus E i g. 7(A). 7(B) und 7(C) ersichtlich ist. ist bei diesen Ausführungsformen die Gasentladiingsanzeigccinrichtung mit einer Elektrodenanordnung versehen, wie es sieh durch Kombination der in 1 g. 5 und 6 gezeigten Elektrodenmuster ergibt. Der Unterschied /wischen den Elektrodenanordnungen von E ι g. 7(A). 7(B) und 7(C) kann insbesondere in der Art der Leiterverbindung für die Busleitungen /ur Gruppierung dieser Elektroden gesehen werden, weniger im Eleklrodenmuster selbst. In E i g. 7(A) sind die Elektroden eines jeden Verschiebekanals innerhalb der gleichen Gruppe und der gleichen Numerierung nut den Busleilungen auf beiden oberen und unteren Seiten über die Verbindungsleiter *.(/. xbl und UiI. ybl verbunden, die sich in vertikaler Richtung erstrecken, in E ι g. 7(B) sind beide Zeilen- und Spaltenelektroden m jedem Verschiebekanal unabhängig mit den Busleitungen verbunden. Da/u dienen die Verbindungsleiter \ji. xbl und yul. ybl. die sich in seitlicher Richtung erstrecken. Im EaII der Ausluhrungsform nach E i g. /(C) ist die Zeilenelektrode für jeden Vcrschiebekanal unabhängig herausgeführt, «.dhrend die Spaltenelektrode für zwei Verschiebekanäle gemeinsam herausgeführt ist. jede der drei Arten der Elektrodenanordnungen, wie sie in Fig. 7(A), 7(B), 7(C) gezeigt sind, ergeben einen mäanderförmigen Verschiebekanal, der aus zwei Reihen von Zeilenelektrodengruppen yaj. ybj. die nochmals in Einzelelektroden unterteilt sind, und Spaltenelektroden-Gruppcn xai. xbi besteht, die schiefwinkelig in der Weise angeordnet sind, daß die Entladungszellen-Anordnung auf der genannten Reihe mit ungleichem Abstand (Li <L2)definiert ist.

Jede der oben beschriebenen Ausführungsformen bezieht sich auf die selbstschiebende Plasma-Anzeigeeinrichtung. Dabei sind Zeilen- und Spaltenelektroden von 2m.a! 2 Gruppen vorgesehen, die spannufigsmäüig mit 2mal 2 Phasen angetrieben werden, wobei die Zahl der Phasen ohne Überkreuzungsbereiche auch vergro-

lien werden kann.

F ι g. H /cigi cmc sclbstschicbendc Plasma-Anzeige, bei der cine [Elektrodenanordnung von ,!mal 5 Phasen »Is eine weitere Ausführungsform vorgesehen ist. In dieser Figur werden drei mäanderförmigc Verschiebekanäle SCi bis .S^-C3 gebildet, und /war durch die /cilenelektroden yaj. ybj, und durch die Spaltenelcktroden xm. xbi, xci. Die Zeilenelektroden yaj. ybj, die parallel in horizontaler Richtung auf dem einen Substrat mit einem nahezu geradlinigen Muster ausgebildet sind, sind abwechselnd mit den Buslcitungen Ya. Yb verbunden und mit einer dielektrischen Beschichtung umhüllt. Die .Spaltenelektroden xbi einer ein/igen Phase, die in der vertikalen Richtung auf dem anderen Substrat vorgesehen sind, sind parallel angeordnet, mit etwa dem gleichen Abstand für die genannten /.cilenelektroden yaj. ybj. und zu dem gemeinsamen AnschltiUpunkt Xb herausgeführt, wobei die Mäundcr-

/ellengruppc /wischen ihnen festgelegt wird. Mit anderen Worten, die Spaltcnelektrodcn xbi Sinti gemeinsam in Mäanderform verbunden. Im Zwischenraum der in Mäanderform verbundenen Spaltenelektroden xbi sind die Spaltenelektroden xai. welche mit Jen entsprechenden Zeilenelektroden die /weiten Entladungszellengruppen geben, und die Spaltenelektroden xci. welche ein Teil der dritten Entladungszcllcng~uppen sind, abwechselnd angeordnet und der Reihe nach über die Busleitungen Xa und AV hcrausgehihrt. Zusätzlich sind die Schreibelcktroden wj zum Schreiben der Information für jeden Verschiebekanal an einer solchen Stelle vorgesehen, daß sie dem einen Ende des Zeilenelektrodenpaars gegenüberliegen, welches der äußersten Spaltenelektrode xa I benachbart ist.

In der in F i g. 8 gezeigten Ausführungsform sind die die Entladung begrenzenden Vorrichtungen 60 regelmäßig in dem in der Figur gezeigten Muster vorgesehen, um die Wirkung einer Gasentladung einer Entiadungsz.elle J gegenüber den anderen Entladungszellen b. c. J. c. f. g. Λ.... des Verschiebekanals in Pfeilrichtung /u begrenzen.

lig. 9(A) zeigt ein Teilschnittbild entlang der .Spaltenelektrode yb2 der Ausführungsform mit dieser F.ntladungsbegren/iingsvorrichtung 60. Diese Fnti.idungsbegrenzungsvorriehtung 60 wird hier als gedruckte Barriere dargestellt, die aus einem bei geringer Temperatur schmelzenden («las besteht, welches an Uberkreuzungspunkten von Spalten- mit Zeilenelektroden zum Zweck der Entladungsbegrenzung auf der dielektrischen Schicht, welche die Spaltenelektroden umhüllt, angebracht ist. Um eine Entladungsbegrenzung zu erreichen, ist es auch möglich, die Entladungszellenwand von Überkreuzungspunkten mit einem Material 60, beispielsweise AbOj, zu beschichten, welches, verglichen mit dem übrigen effektiven Entladungszellenbereich, einen relativ geringen Sekundär-Elektronen-Emissionskoeffizient besitzt, wodurch die derart bearbeitete Entladungszelle hinsichtlich einer Gasentladung unwirksam wird. In diesem Fall erfordert das Barrierenmuster keine so hohe Genauigkeit, da nur erforderlich ist, daß die Zündspannung der Entladungszellen im Verschiebekanal niedriger gemacht wird als die Zündspannung der anderen, den Verschiebekanal begrenzenden Entladungszellen, was durch den unterschiedlichen Sekundär-Emissions-Koeffizienten der Oberfläche bedingt ist. Ais weitere Abwandlung einer solchen Entladungsbegrenzungsvorrichtung is; es mög lich, eine wandförmige Barriere 70 zu bilden, wie in t ι g. 4(B) gezeig· ist, indem ein bei geringer I emper.mir schmelzendes Glas an der Oberfläche der dielektrischen Schicht 40 verwendet wird, um die Plasma-Kopplung zu den Entladimgs/ellcn im Verschiebekanal /w begrenzen. Da in diesem Fall der Grad der Kopplung für die benachbarten Entladungszellen in der Gegen-Verse hie berichtung vermindert werden muß. ist es günstig, die Barriere in einer Höhe auszubilden, die dem Zwischen raum des Gasentladungsraiims im Fall der körnen tionellen Barriere entspricht.

In Fig. 9(A) und 9(») bedeuten 10 und 20 Substrate 30 ist ein Gasentladiingsniiim. 40 und 50 sind dielektrische Schichten, die aus einem bei geringer Temperatur schmelzenden Glas bestehen, wobei diese dielektrischen Schichten 40 und 50 nicht wesentlich f'.ir die sclbMschicbende Operation sind. Es ist auch moglic·.. die Gaseniladungsanzeigeeinrichüing mit Gleichstrom zu betreiben.

·* nt^prCC'iiCrtii vi C Γ ν ι it SC Γΐί

p £ J

mit der obengenannten Gestaltung kann der Ent ladungspiinkt nach seiner Entstehung an der Schrcib-Entladungszelle J durch Anlegen des Schreih pulses an beispielsweise der Schreibelektrode n I liber den mäandcrförmigon Verschiebckanal liber die Ent ladungszellen b. c. d. c. f. f. .. . verschoben werden, wie durch Pfeile angezeigt ist. Dazu werden die Verschiebe pulse sequentiell an die Busleitungen (Xn. ) .i). (\b. Ya). (Xc. Yd). (Xc, Yb). (Xb. Yb). (\a. > fV gegeben (vergleiche F ι g. 8).

Fig. 10 zeigt ein Beispiel fur die Treibe! spannung von 2mal 3 Phasen fur eine solche Selbstschiebeoperation. In dieser Figur sind V \,i. \\b. V\c. Vya und Ivf¹ Pulsspannungen, die den Verschiebepuls Sl^y und den l.öschpuls f-'P umfassen. Diese Pulsfolge mnJ an teile Zeilen- und Spaltenelektrode über die Buslcitungen Aj. .Vf. Ac Ya und Yb gegeben werden.

1 ι g. 1 1 und 12 zeigen weitere Ausführiingstormen der selbstschiebenden Plasmaanzeigeeinnchtung. wobei die Zahl der Elektrodenphasen ohne Llberkrcu/ungsoereiche gegenüber dem Aiistührungsbeispiel in F ι g. a vergrößert worden ist. In Fig. 11 sind zwei Vorschiebekanäle durch Zwei-Phasen-Zeilenekktroden yai. \b/ ausgebildet, die mit den Busleitungen Va. Yb verbunden sind, und Vier-Phascn-Spaltenclektrodcn xai. xbi. xci und \t//. die mit den Busleitungen Aj. Xb. Xc und Xd verbunden sind. Die benachbarten Elektroden der zwei Gruppen xbi und xci unter den Vier Phasen-Spaltcnelektrodcn-Gruppen sind der Reihe nach gemeinsam mit dem Mäandermusier verbunden, und die verbleibenden zwei Gruppen der Spaltenelektroden xai und xdi (xbi)sind abwechselnd im, Zwischenraum der mäanderförmigen Elektroden angeordnet. Die durch die Markierung ® bezeichneten Entladungszellen auf den Spaltenelektroden xbi und xci, die in Mäanderform verbunden sind, um die Verschieberichtung zu bestimmen, werden durch die Barrieren 60 entlang den zwei Spaltenelektroden yaj. ybj abwechselnd unwirksam gemacht. Damit kann der Entladungspunkt sequentiell in den Entladungszeilen verschoben werden, die durch die Markierung O gekennzeichnet sind.

In Fig. 12 bestehen drei Verschiebekanäle aus Drei-Phasen-Zeilenelektroden yaj. ybj und ycj, die mit den Busleitungen Va, Yb und Vc verbunden sind, und aus Vier-Phasen-Spaltenelektroden xai. xbi. xci und xdi. die mit den Busleitungen Xa. Xb. Xc und Xd verbunden sind. Wie in Fig. i wird die Entladung an den Entladungszellen auf den Mäanderelektroden, gekennzeichnet durch die Markierung ®, begrenzt. Damit kann

Il

der l.ntladungspiinkt sequentiell /n den au die durch du.· Markierungen i_ und © gekenn/eiehnelen Lntladimgs /eilen angre.i/cnden /eilen verschoben «erden.

Die selbslschiebcnde Plasmaan/cigecmnchtiing mil der V iel Phaseii-Lleklrotlenanonlnung. wie sie in IΊ g. K. I! und 12 gezeigt ist. ist hinsichtlich der Auflösung gegenüber tier l'lat'e mn Imal 2 Phasen (I ig. 1) unterlegen, da clic Zahl der Llekliodenphasen \ergröl3ert worden ist. Hei dieser Ausführungsfoim im ledoeh die Gefahr einer lehl/undung geringer, da der n Abstand /wischen Lnlladiings/cllen in tier gleichen Phase wahrend der Verschiebung des Kiuladuni'spunkts \ergrößerl ist. Damit kann ein sicheres Uelnebsvcr halten gut fracht werden. Zusätzlich hat eine der.inige Viel-Phasen Llektrodenanordnung den besonderen Vorteil, die I lerstellung einer selbstschiebendcn Plasma Anzeige von großer Ausdehnung bei geringen Kosten /u ermöglichen, da I berktcu/imgspunkte zur Heraus

dieser I rfu- lung ist es möglich, eine Gestaltung einzuführen, wie ve in I ι g. Ii gezeigt ist. In I ι g. I i sind zumindest zwei Arten von Phosphor /■'/. I und /■"/. 2 kombiniert und sind an den Seiten« .inclen der Raineren HR ausgebildet An der einen Seitenwand der Bymrren HR entlang den Zeilenelektioden yni eines ledcn Verschiebckanals ist rotes Phosphormaterial /7.2 vorgesehen, während an der entgegengesetzten Seitenwand der ilamcren entlang den Zcilenclckttoden W)/ grünes Phosphormatcrial /-'/. I vorgesehen ist. Nach dem dei geschriebene l.niladungspunki an die ge wunst IiIe Position verschoben worden ist. w irtl c an der Lntladungs/ellc .Uli tier /eilenelektrodc ».7/fixiert oder !'ufrechterhalten. Damit wird d.is rote Chosphoi niale rial /7.2 angeregt. Dies fuhrt /ii einer Anzeige in rot. Wenn tier l'ntladungspunkl an tier Lntl.idungs/cll·· au. tier Z.cilenel'ktrodc \ly fixiert oder iiiilreclllerhalten wird, wird das gri'ine Phosphomialeri.il Il 1 angelegt.

the Genauigkeit in tier Ausbildung tier Barrieren ."■ vermindert w.,'d.

Andererseits ist es bei Plasmaan/eigeemrichtiingen oft sehr niit/lich. eine Anzeige in gewünschter l'arbe /u erhalten, indem das Gasen! ladungslicht in das von Phosphor emittierte Licht up'gew-.indell wird. Da/u -'' wird zusätzlich Phosphormaterial vorgesehen, l-'iir den '■all einer solchen Kombinat:· ■■ "i: l'ht)sphormatenal ist die Gaseniladungsan/.eigccmm htiing entsprechend vorliegender lirfmdung sehi ιιιιι/'ί i'. Wenn nämlich die Birricren IiR mit dem photoliinnreszicrentlen Phos- >" phormaterial ausgebildet werden, welche tt.is Licht bei Anregung durch das lint ladungslicht. insbesondere durch ultraviolette Strahlen, emittieren, so kann eine Anzeige in der ( arbe des \om Phosphor emittierten Lichts (/. IJ. grün) erfolgen. Außerdem kam: bei den ' ■ Atisführungsformen nach iig. 8. 11 und 12 durch Verwendung von Phosphormaterial fur die Barrieren W) als I.ntladungs-Bcgrenzungsvorrichuing eine larbanzcige ebenfalls in der gleichen Weise erlolgen. Da die .Sekundärelektronen-LmiSMonskr.ift des Phosphor- "■ materials im allgemeinen geringer ist als die des Magnesiumoxids (MgO). welches als Oberflächenma'.erial der dielektrischen Schicht benutzt wird, wird der Fintladungsbegren/ungseffckt noch verstärkt.

Als weitere Abwandlung der Kombination von '· Phtisphor und der Gasentiadungsan/eigceinrichtung Auswahl tier /eilenelektroden. die fur ilen Anzeige modi's gepai.rt werilen nitissen. kann die Λη/eige .irbe geändert wert!··:! Beim Λη/eigevorgaiig kann der l.ntladungspunkt an den beulen vertikal und h< >n/> -■>t.:! angrenzenden Lnliatlungs/ellen gehalten wei'ileri. untl damit kann the Anzeigefarbe ebenlalls durch Versx. ι llung von Phosphormaterialien mit \erschii.tlem ■■ iarben. die fur jede Spallenelektrole kombiniert werden müssen, und lurch Auswahl zweier Gruppen von SpaltenelektroJen verändert werden, /jis.i'/iich können tlurch ! estlegung der hntladungs/eilc zur I ixierung des l.ntlatliingspunkts und tlurch Kombiriation von \ier Phosphorarten fur |cde Ciruppe (Kt Vier Phasen Lntl.itiungs/ellcn vier otler mehr An/cigc farben ausgewählt werden.

Wie aus der obigjn Beschreibung deutlich geworden ist. ist die Gasentladungsanzeigeeinriehiung Jc f" ι * ι γ ι dung einfach unn preisgiinslig in tier Projuktinp imci besitzt eine hohe Auflösung, da die Verschiebek.imile ohne Überkreiizungspunkte -»usgebildet sir' I. /us it/!icli kann ein gutes Betriebsverhalten erreich; werden. >^: ι tehlcrhalte Verschiebungen in der Gegen-\ erschiei'---richtung tlurch die Barrieren eingeschränkt weni. ,. Außerdem ist the Gasentladungsan/etgeeinricliti.'ng / r Kombination mit Phosphormaterialien untl >-\r ν .■; -chi-.. dene Λη/eige/w ecke geeignet.

Hierzu 10 Blatt Zeichnuneen

Claims

Patentansprüche:

1. Gasentladungsanzeigeeinrichtung mit zumindest zwei Zeilenelektroden, die im wesentlichen parallel auf einem Substrat angeordnet sind, mit mehreren Spaltenelektroden, die auf einem anderen Substrat angeordnet und im wesentlichen quer zu den Zeilenelektroden ausgerichtet sind, mit einem zwischen den Substraten eingeschlossenen Entladungsgas, mit Entladungszellen an den Kreuzungspunkten der Spalten- und Zeilenelektroden im gasgefüllten Zwischenraum zwischen den Substraten und mit Barrieren zur Begrenzung einer Plasmakopplung zwischen benachbarten Zellen, dadurch gekennzeichnet, daß die Barrieren (BR) alternierend längs der Zeilenelektrodenrichtung im Bereich zwischen benachbarten Entladungszellen (b und e. Fig. 1), für die die eine ZeileneleJctiode (ya I) gemeinsam benutzt wird, und im Bereich benachbarter Entladungszellen (d und g, Fig. 1), für die eine andere Zeilenelektrode (ybi) gemeinsam benutzt wird, vorgesehen sind, daß die Barrieren einen mäanderförmigen Verschiebekanal (SCi, SC2, SC3) für einen Entladungspunkt bilden, wobei dieser Verschiebekanp! die Entladungszellen (a.b.cd,...) längs der Zeilenelektroden (ya 1, yb 1) aufeinanderfolgend verbindet

2. Gasentladungsanzeigeeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zeilen- elektroden : egelmäßig mit einer Busleitung von zwei Phasen auf dem »inen Substrat verbunden sind, daß die Spaltenelektroden abwechselnd mit verschiedenen Busleitungen von rvei Phasen auf dem anderen Substrat verbunden sind, daß mehrere Verschiebekanäle entlang benachbarten zwei Zeilenelektroden, abwechselnd mit je einer der Zwei-Phasen-Busleitungen verbunden, ausgebildet sind und daß zusätzlich Schreibelektroden zur Bildung einer Schreib-Entladungszelle an zumindest *o einem Ende eines jeden Verschiebekanals vorgesehen sind.

3. Gasentladungsanzeigeeinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine der genannten Zeilen- oder Spaltenelektroden mit einer dielektrischen Schicht bedeckt und damit vom Entfadungsgas getrennt ist.

4. Gasentladungsanzeigeeinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Barrieren wandförmig ausgebildet sind, die sich abwechselnd w zwischen benachbarten Entladungszellen auf beiden Seiten des Verschiebekanals erstrecken.

5. Gasentladungsanzeigeeinrichtung nach Anspruch 2. dadurch gekennzeichnet, daß zwei Zeilenelektroden, welche die genannten Verschiebekanäle bilden, getrennt derart angeordnet sind, daß sie abwechselnd zwei benachbarte Spaltenelektroden überbrücken.

6. Gasentladungsanzeigeeinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Spalten- elektroden für jeden Verschiebekanal getrennt angeordnet sind.

7. Gasentladungsanzeigeeinrichlung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Spaltenclcktroden abwechselnd mit mit einer Neigung in t>5 der entgegengesetzten Richtung so angeordnet sind. daß der Abstand zwischen benachbarten Zellen zur Verhinderung einer Verschk Hung gegen die gewünschte Verschieberichtung größer ist als der Abstand zwischen benachbarten Zellen in Verschieberichtung.

8. Gasentladungsanzeigeeinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die getrennt angeordneten Zeilenelektroden zweier Reihen und die getrennt angeordneten Spaltenelektroden der Reihe nach mit Busleitungen über Verbindrngsleiter verbunden sind, die entlang eines jeden Verschiebekanals vorgesehen sind.

9. Gasentladungsanzeigeeinrichtung nach Anspruch 3. dadurch gekennzeichnet, daß die Barrieren aus Phosphormaterial bestehen, welches auf der dielektrischen Schicht aufgebracht ist.

10. Gasentladungsanzeigeeinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Phosphormaterial an der Seitenwand der Barrieren aufgebracht ist

11. Gasentladungsanzeigeeinrichtung mit zumindest zwei Zeilenelektroden, die im wesentlichen parallel auf einem Substrat angeordnet sind, mit mehreren Spaltenelektroden, die auf einem anderen Substrat angeordnet und im wesentlichen quer zu den Zeilenelektroden ausgerichtet sind, mit einem zwischen den Substraten eingeschlossenen Entladungsgas, mit Entladungszellen ar. den Kreuzungspunkten der Spalten- und Zeilenelektroden im gasgefüllten Zwischenraum zwischen den Substraten und mit Barrieren zur Begrenzung einer PlasmakoppIiT.g zwischen benachbarten Zellen, dadurch gekennzeichnet, daß die Zeilenelektroden eine erste Elektrodengruppe (yaj, ...) eine zweite Elektrodengruppe (ybj, ...) bilden, wobei die Zeilenelektroden in einem Muster paralleler Elektroden in ungefähr gleichem Abstand angeordnet und abwechselnd mit einer von zwei gemeinsamen Busleitungen (Ya, Yb) verbunden sind, und daß die Spaltenelektroden aus einer dritten Elektrodengruppe (xaj,... ^ und einer viertvn Elektrodengruppe (xbj, ...) zusammengesetzt sind, wobei die Elektroden der dritten und der viercen Elektrodengruppe jeweils über zwei benachbarten Zeilenelektroden (yaj, ybj) liegen, so daß ein mäanderförmiger Verschiebekanal für einen Entladungspunkt gebildet wird, wobei benachbarte Entladungszellen verbunden sind, für die Zeilen- oder Spaltenelektroden gemeinsam benutzt werden.

12. Gasentladungsanzeigeeinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die an den dritten und vierten Elektrodengruppen beteiligten Spaltenelektroden abwechselnd angeordnet sind, wobei die Elektroden gegeneinander eine Neigung in entgegengesetzter Richtung aufweisen, so daß ein weiter Abstand zwischen benachbarten Zellen sichergestellt werden kann, um die Verschiebung eines Entladungspunkts zu verhindern.

13. Gasentladungsanzeigeeinrichtung mit zumindest zwei Zeilenelektroden, die im wesentlichen parallel auf einem Substrat angeordnet sind, mit mehreren Spaltenelektroden, die auf einem anderen Substrat angeordnet und im wesentlichen quer /u den Zcilenelektroden ausgerichtet sind, mit einem zwischen den Substraten eingeschlossenen F.ntladungsgas. mit Entladungs/ellen an den Kreuzungspunkten der Spalten- und Zeilenclektroden im gasgefüllten Zwischenraum zwischen den Sub ■»traten und mit Barrieren zur Begrenzung einer l'lasmakopplung zwischen benachbarten Zellen.

dadurch gekennzeichnet, daß die Spaltenelektroden zumindest eine mäanderförmige Spaltenelektrode (xb) aufweisen, welche in parallele Abschnitte mit im wesentlichen gleichem Abstand mäanderförmig gefaltet ist, so daß eine erste Entladungszellengruppe zwischen den jeweils mäanderförmig gefalteten parallelen Elektrodenabschnitten (xb 1, xb 2, .... Fig. H) und den mindestens zwei Zeilenelektroden (ya 1, yb 1) gebildet wird, daß zwei Gruppen paralleler Spaltenelektroden (xa, xc), die jeweils alternierend zwischen den mäanderförmig gefalteten parallelen Elektrodenabschnitten (xb i,xb2,...) der mäanderförmigen Elektrode (xb) liegen, vorgesehen sind, so daß eine zweite Gruppe und eine dritte Gruppe von Entladungszellen der ersten Entladungszellengruppe gebiidel: werden, daß Entladungsbegrenzungsvorrichtungen (60) zur Begrenzung einer Entladung einer Entladungszelle der ersten Gruppe in der Nähe beider Seiten der Zellen der zweiten und dritten Gruppe auf den zwei M Zeiienelektroden (ya 1. yb i) regelmäßig und alternierend angeordnet sind und daß ein mäanderförmiger Verschiebekanal (SCX) für eir.zn Entladungspunkt gebildet wird, wobei dieser Verschiebekanal benachbarte Entladungszellen (b, c, d, e, ...) über mindestens zwei Zeilenelektroden verbindet.

14. Gasentladungsanzeigeeinrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zur Entladungsbegrenzung (60) aus einem Material gebildet ist, welches einen geringeren Sekundärelektronen-Emissions-Koeffizienten hat als jenes an den anderen Entladungszellen.

15. Gasentladungsanzeigevorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrich- J5 tung zur Entladungsbegrenzung (60) aus einer strukturellen Barriere besteht.

16. Gasentladungsanzeigeeinrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Zeilenelektrodeti aus zwei parallelen Zeilenelektroden und zumindest einer weiteren parallelen Zeilenelektrode bestehen, welche zwischen den obigen beiden Elektroden angeordnet ist und welche in Mäanderform über mehrere Verschiebekanäle verbunden ist.

17. Gasentladungsanzeigeeinrichtung nach Anspruch 13. dadurch gekennzeichnet, daß die zwischen den parallelen Spaltenelektroden zweier Gruppen angeordnete Mäanderelektrode zwei gefaltete parallele Elektroden enthält.

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