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Korpuskularstrahlgerät mit einem Halter
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für ein schwenkbares Teil Die Erfindung bezieht sich auf ein Korpuskularstrahlgerät
mit einem Halter für ein in den Korpuskularstrahl einschwenkbares und aus ihm ausschwenkbares
Teil, der mit einer an seinem Umfang angreifenden Druckfeder gegen ein an der Schwenkbewegung
nicht beteiligtes Bauteil abgestützt ist. Bei einem aus der DT-PS 959 307 bekannten
Korpuskularstrahlgerät dieser Art ist der Halter durch zwei Verstelleinrichtungen
quer zum Korpuskularstrahl verschwenkbar. Der Halter selbst wird von einer Verstelleinrichtung
getragen und ist gegenüber dieser abgestützt. Er dient zum Einbringen einer Blende
in den Strahlengang.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Korpuskularstrahlgerät
der eingangs genannten Art zu schaffen, das sich durch einen vereinfachten konstruktiven
Aufbau auszeichnet; insbesondere soll die bisher aus den Verstelleinrichtungen,
dem Halter und der Druckfeder bestehende Schwenkeinrichtung hinsichtlich der Zahl
der Teile reduziert sein. Die Lösung dieser Aufgabe besteht gemäß der Erfindung
darin, daß die Druckfeder ein Faltenbalg ist, der an seinem einen Ende mit dem Halter
und mit seinem anderen Ende direkt mit dem Rand einer Öffnung des Gerätegehäuses
mechanisch verbunden ist und diese Öffnung vakuumdicht verschließt, und daß der
Halter die Wand des Gerätegehäuses durchsetzt, zumindest annähernd um den Mittelpunkt
des Faltenbalges schwenkbar ist und sich auf einem in der Wand des Gerätegehäuses
angebrachten Anschlag abstützt.
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Der Faltenbalg übt eine Druckwirkung auf den Halter aus und sorgt
für eine sichere Fixierung des verschwenkbaren Teiles auf dem
Anschlag.
Darüber hinaus wirkt er als Dichtelement; eine weitere Funktion besteht darin, daß
er den Halter trägt.
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Dadurch, daß der Halter durch die Wand des Gerätegehäuses nach außen
geführt ist, ist es möglich, die Lage des verschwenkbaren Teiles anhand der Lage
des Halterendes außerhalb des Gerätes zu erkennen.
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Eine Bewegung des Halters in seiner Längsrichtung und damit eine Justierung
bezüglich des Korpuskularstrahls kann ifl vorteilhafter Weise dadurch ermöglicht
sein, daß der Anschlag in Längsrichtung des Halters bewegbar ist. Alternativ dazu
ist es möglich, den Halter an seinem dem Korpuskularstrahl abgewandten Ende gegenüber
dem Anschlag in seiner Längsrichtung verstellbar zu machen.
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Der Anschlag kann mit Vorteil als Kulissenführung für die Schwenkbewegung
ausgebildet sein.
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An dem dem Korpuskularstrahl abgewandten Ende des Halters können weitere
Anschläge zur seitlichen Begrenzung der Schwenkbewegung vorgesehen sein. Einer der
Anschläge kann der Wirkstellung des Teiles, der andere Anschlag der Stellung des
Teiles zugeordnet sein, in der dieses aus dem Korpuskularstrahl ausgeschwenkt ist.
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Es kann weiter von Vorteil sein, wenn der Halter eine mit dem Faltenbalg
verbundene Hülse aufweist, mit der er lösbar verbunden ist. Damit kann der Ausbau
des Halters aus dem Gerät erleichtert werden. Eine derartige Maßnahme kann beispielsweise
zu Wartungszwecken oder zum Auswechseln des vom Halter getragenen Teiles erforderlich
sein.
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In der Figur ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt.
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Die Figur zeigt einen Schnitt durch ein Elektronenmikroskop 1 senkrecht
zu dessen Achse, in dessen Strahlengang - der Elektronenstrahl steht senkrecht zur
Schnittebene und trägt die Bezeichnung 3 - eine Blende 2 einschwenkbar ist. Die
Blende 2 ist von einem Halter 4 getragen, der die Wand des Gehäuses 5 des Mikroskops
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durchsetzt. Der Halter 4 ist über eine lösbare Verbindung - die dafür vorgesehene
Schraube ist mit 6 bezeichnet - in einer Hülse 7 gehalten. Die Hülse 7 ist mit einem
Faltenbalg 8 verbunden, der an dem dem Elektronenstrahl 3 abgewandten Ende 9 von
einem Einsatz 10 getragen wird. Der Einsatz 10 wird von einem Deckel 11 getragen
und beim Aufschrauben des Deckels 11 auf die Wand des Gehäuses 5 in eine Öffnung
12 des Gehäuses 5 gepreßt.
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In einer zentralen Bohrung 11' des Deckels 11 ist ein Führungskörper
13 vorgesehen, in dessen zentraler Bohrung 13' der Halter 4 geführt ist. Der Führungskörper
13 besitzt eine als Führungskulisse 14 dienende zylindrische Außenfläche, auf der
ein Kopf 15 des Halters 4 aufliegt. Der Kopf 15 ist ein Gewindering (Gewinde 26),
der auf das dem Elektronenstrahl abgewandte Ende 16 des Halters 4 aufgeschraubt
ist (Gewinde 27).
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Der Halter 4 ist um den Mittelpunkt 18 des Faltenbalges 8 schwenkbar.
Der Kopf 15 des Halters 4 läuft während einer Schwenkung des Halters 4 auf der Kulisse
14. Die Bewegung des Halters 4 ist durch zwei Anschlagschrauben 19, 20 begrenzt,
die in einen Deckel 21 eingeschraubt sind; der Deckel 21 ist auf dem Deckel 11 befestigt.
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Dem durch die Schraube 19 gebildeten Anschlag ist die Wirkstellung
der Blende 2 zugeordnet. Die Blende 2 befindet sich dabei im Strahlengang des Mikroskops
1. Durch eine Verdrehung des Kopfes 15 kann der Halter 4 und damit auch die Blende
2 in Längsrichtung des Halters 4 verstellt werden. Der durch die Schraube 20 gebildete
Anschlag entspricht einer Stellung der Blende 2,- bei der diese aus dem Strahlengang
herausgeschwenkt ist.
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Die Blende 2 kann auch in ihrer Höhe innerhalb des Mikroskops 1 verstellt
werden. Dies geschieht durch Anheben bzw. Absenken des Führ'ungskörpers 13 innerhalb
der Bohrung 11 t des Deckels 11. Die Blende führt dabei eine zur Bewegung des Körpers
13 entgegengesetzte-Bewegung aus. Die Bewegung des Führungskörpers 13 erfolgt mit
Hilfe von zwei Schrauben, die von oben bzw. unten in eine in Richtung der Achse
des Mikroskops verlaufende Bohrung 29 des Deckels 11 eingeschraubt sind und die
auf die Oberseite bzw.
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Unterseite des Führungskörpers 13 drücken. Eine dieser Schrauben ist
in der Figur angedeutet und mit 28 bezeichnet. Durch Ausschrauben einer Schraube
und entsprechendes Einschrauben der anderen Schraube kann der Führungskörper 13
in seiner Höhe verstellt werden.
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Der Faltenbalg 8 stellt zusammen mit einer Dichtung zwischen dem Einsatz
10 und dem Gehäuse 5 die Vakuumdichtung zwischen dem Inneren des Mikroskops 1 und
dem Außenraum dar. Die Dichtung ist durch einen Rundschnurring 22 gebildet, der
in einer Einfräsung 30 des Einsatzes 10 liegt. Der Rundschnurring 22 wird beim Aufschrauben
des Deckels 11 auf die Wand des Gehäuses 5 gegen einen Vorsprung 25 des Gehäuses
gedrückt.
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Zum Austausch der Blende 2 wird der Deckel 11 abgenommen und damit
der Halter 4 zusammen mit dem Einsatz 10 aus dem Elektronenmikroskop 1 herausgezogen.
Anschließend daran können der Halter 4 und der Einsatz 10 nach Lösen der Schraube
6 voneinander getrennt werden.
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Außer einer Blende kann mit Hilfe des Halters z. B. auch ein Leuchtschirm
in den Strahlengang des Mikroskops geschwenkt werden.
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Die Anwendung der Erfindung kommt insbesondere bei Elektronenmikroskopen
infrage. Es ist jedoch auch möglich, sie z. B. bei Ionenmikroskopen oder Korpuskularstrahl-Bearbeitungsgeräten
einzusetzen.
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1 Figur 5 Ansprüche
L e e r s e i t e