DE2536516C3 - Verfahren zur stromlosen Metallabscheidung auf Molybdän oder Wolfram - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur stromlosen Metallabscheidung auf Molybdän oder Wolfram als Substratmetall.

Die Übergangsmetalle Molybdän und Wolfram der Gruppe Vl des periodischen Systems der Elemente finden in hochentwickelten Bereichen der modernen Technik wichtige Anwendungsgebiete, beispielsweise bei Laufschaufeln für hohe Drehzahlen in Turbinen und Flugzeugtriebwerken, bei denen hohe Betriebstemperaturen auftreten, und bei miniaturelektronischen Bauteilen.

Da diese Metalle bei Raumtemperatur oder erhöhten Temperaturen Oberflächenoxide bilden und da diese Oxide die Verwendung von aus diesen Metallen hergestellten Gegenständen beeinträchtigen können, ist es oftmals notwendig, diese Metalle mit einem metallischen Schutzüberzug zu versehen.

Verfahren zum Aufbringen eines metallischen Schutzüberzuges auf diese Obergangsmetalle sind bereits bekannt, jedoch wird die Herstellung eines metallischen

ίο Schutzüberzugs durch den chemisch stabilen, physikalisch jedoch instabilen Zustand einiger der Metalloxide sowie durch die Neigung einiger dieser chemisch stabilen Oxide erschwert, an die Oberfläche des Substratmetalls zu wandern, wo sie an der Grenzfläche zwischen dem Substratmetall und dem Oberzugsmetall verbleiben. Die Wanderung dieser Oxide begünstigt ferner die Oxidation des das Substratmetall bildenden Obergangsmetalls und die Zerstörung der Oberflächeneigenschaften des Metallüberzugs, beispielsweise durch Verlust der Oberflächenglätte oder durch Ablösung des Überzugsmetalls vom Substratmetall. Dies kann schließlich zum Bruch oder zur Unbrauchbarkeit von aus dem metallüberzogenen Übergangsmetall hergestellten wichtigen Bauteilen führen.

Ein bekanntes Verfahren zum Überziehen von Molybdän ist in der US-PS 33 86 896 beschrieben und sieht vor, das Molybdänsubstrat durch einen Goldüberzug zu schützen. Zunächst wird eine dünne Goldgrundschicht auf hydratisierte Molybdänoxide aufgalvanisiert,

JO wonach eine Reduktion der Molybdänoxide mit Wasserstoff in einem Ofen bei erhöhter Temperatur stattfindet, um den Sauerstoff auszutreiben. Anschließend wird eine dickere Goldschicht auf die Goldgrundschicht aufgebracht Dieses bekannte Verfahren besteht

J5 aus einer Reihe von Reaktionsvorgängen, wobei eine gesonderte Reduktion der Molybdänoxide nach dem anfänglichen Aufgalvanisieren einer dünnen Goldschicht erforderlich ist und diese danach vor dem Aufbringen der dicken Goldschicht wieder mit der Luft in Berührung kommt, so daß zwischen den einzelnen Verfahrensschritten möglicherweise wieder eine Oxidation durch diese dünne Goldschicht hindurch eintreten kann. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs dargelegten Art so zu verbessern, daß Oberflächenoxide auf dem Substratwerkstoff entfernt und die Bildung solcher Oxide während und nach der Metallabscheidung verhindert wird, daß weiter die oben genannte Oxidwanderung unterbunden wird und daß sich eine verbesserte Bindung des Überzugsmetalls an das Substratmetall ergibt.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen

Maßnahmen gelöst.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung werden die Metallperoxide bildenden Metalle Molybdän und Wolfram in einem einzigen Reaktionsvorgang mit einem Metallüberzug versehen, wobei in

bo diesem Reaktionsvorgang die physikalisch instabilen Oberflächenoxide ausgetauscht werden und eine stromlose Abscheidung einer Schutzmetalischicht stattfindet. Bei diesem stromlosen Abscheidungsverfahren finden in einer einzigen Lösung Oxidationsvorgänge und Reduk-

»■5 tionsvorgänge statt, welche zu der Umwandlung der Oberflächenoxide in eine chemisch stabile Peroxidform und zum Austausch der Peroxide durch Atome des gewünschten Überzugmetalls auf dem Substratmetall

führen. Läuft die Reaktion wegen nicht ausreichender Reaktionszeit oder wegen nicht ausreichender Reagenzien nicht vollständig ab, so erscheinen in einem dem Ausmaß der Reaktionsunvollständigkeit entsprechenden Maß Metalloxide in der Peroxidform, welche jedoch nicht die Schwierigkeiten der physikalisch instabilen Oxide, wie beispielsweise Wanderung und Begünstigung weiterer Oxidationen zeigen. Solche Peroxide können zweckmäßig mittels einer nicht unbedingt notwendigen Wärmebehandlung ohne Erfordernis einer nochmaligen Metalibeschichtung beseitigt werden.

Der Reaktionsmechanismus, der für die Beseitigung instabiler Oxide und die Anlagerung einer Schutzmetallschicht verantwortlich zu sein scheint, wird durch die Hydratisierung von physikalisch instabilen Molybdäntrioxiden (MoOa) zu Molybdänhydraten (MoO₄H₂) eingeleitet. Die Molybdänhydrate auf der Oberfläche des Molybdäns werden mit einem Peroxid zu Molybdänperoxidhydraten (MOO5H2 und MoOoH₂) oxidiert, wobei die Oxidation der Molybdänhydrate mit der Reduktion eines Metallions zur Erzeugung einer Metalianlagerung unmittelbar auf dem Molybdän verbunden ist Die Reduktion des Metallions durch die Molybdänperoxidhydrate kann gleichzeitig mit der Oxidation der Molybdänhydrate erfolgen, wenn beispielsweise eine einzige Lösung von Metallionen und Peroxid verwendet wird, oder nach der genannten Oxidation stattfinden, wenn beispielsweise das Molybdänsubstrat zuerst mit einem Oxidationsmittel behandelt wird, um Molybdänperoxidhydrate zu erzeugen, und danach eine Metallionenlösung hinzugefügt und durch die Molybdänperoxidhydrate zu einem reinen Metallüberzug reduziert wird. Bsi beiden Abscheidungsverfahren läuft die Reaktion der Molybdänperc/xidhydrate mit Metallionen aus der Metallionenlösung auf der Oberfläche des Molybdänsubstrats weiter, bis sämtliche an der Substratoberfläche befindliche Molybdänperoxidhydrate ausgetauscht sind oder bis die Reaktion durch Erschöpfung der Metallionen oder andere Faktoren zum Stillstand kommt bei beiden Verfahrensvarianten werden die instabilen Trioxide durch Oxidation zu Molybdänperoxidhydraten beseitigt, weiche dann im wesentlichen oder vollständig durch das Überzugsmetall ausgetauscht werden.

Die Erfindung bietet gegenüber herkömmlichen Abscheidungsverfahren zahlreiche Vorteile, da die Überzugsschicht nicht so dick wie bei herkömmlichen Verfahren sein muß, um eine Wanderung von Molybdänoxid (MoO₃) und eine weitere Oxidation zwischen dem Molybdänsubstrat und dem Überzugsmetall zu unterbinden oder auf ein Minimum zu verkleinern. Ferner wird, da die Oxidations- und Reduktionsschritte in einem einzigen Abscheidungsbad durchgeführt werden können, die mögliche Bildung zusätzlicher schädlicher Oxide verhindert, und es erübrigen sich die zahlreichen Verfahrensschritte, die bisher zum Überziehen von Peroxid bildenden Übergangsmetallen der Gruppe Vl des periodischen Systems der Elemente erforderlich waren.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Beispielen mehr im einzelnen beschrieben.

Molybdän als Substratmetall soll mit einem Überzugsmetall Müberzogen werden.

Das zu überziehende Molybdänsubstrat wird im allgemeinen in Wasser gewaschen, bevor die Metallabscheidung in einer Lösung von Wasserstoffperoxid und Überzugsmetallionen stattfindet. Die gleichzeitige Oxidation der Oberflächenoxide zu Molybdänperoxidhy draten und Reduktion von Metallionen zur Bildung eines festhaftenden Metallüberzugs läuft entsprechend den nachstehenden allgemeinen Reaktionsgleichungen

a) MoO₃ + H₂O -* MoO₄H₂ (Hydratisierung)

b) MoO₄ + H₂O₂ — MoG₅H₂ + H₂O (Gelbfärbung)

1. MoO₅H₂ + M⁺² + H₂O !5 — M + MoO₆H₂ + 2H ⁺

c) MoO₃H₂ + H₂O₂ -> MoO₆H₂ + H₂O (Rotfärbung)

2. MoO₆H₂ + M⁺² + H₂O

— M + MoO₅H₂ + O₂ + 2H ⁺

Die Reaktionen a, b und c laufen so lange weiter, bis sämtliche Oxide zu Molybdänperoxidhydraten (MoOsH₂ und MoOoH₂) umgewandelt sind, wobei diese Molybdänperoxidhydrate in den gleichzeitig ablaufenden Reaktionen 1 und 2 im Sinne einer Reduktion der Metallionen aus der Abscheidungslösung reagieren. Die Reaktionen sind typischerweise beendet, wenn die Gasentwicklung aus dem Abscheidungsbad aufhört und das Substratmetall durch den Metallüberzug geschützt ist. In diesem Zeitpunkt sind die Metalloxide zu

J5 Peroxiden oxydiert worden und viele von ihnen, sofern nicht alle, haben die Überzugsmetallionen zu atomaren Anlagerungsteilchen auf dem Substratmetall reduziert, welche einen sauerstoffundurchlässigen Überzug auf dem Substratmetall bilden, der eine spätere Beeinträch tigung der Metall-Metall-Bindung und der Substratme talleigenschaften verhindert. Gegebenenfalls zurückbleibende Molybdänperoxidhydrate zeigen nicht die Schwierigkeiten, die sich durch die zwar chemisch stabilen, jedoch physikalisch instabilen Trioxide erge ben.

Als Grundlage für die obengenannten Reaktionen kann das Vorhandensein von Molybdäntrioxid im allgemeinen vorausgesetzt werden, welches sich auf dem Molybdän ebenso wie Oxide auf anderen Metalloberflächen in der normalen Atmosphäre infolge allgemein bekannter Reaktionen auf natürlichem Wege bilden. Ist das Molybdän überhaupt noch nicht oxydiert, so wird es zuerst in eine oxydierende Peroxidlösung eingetaucht, wobei sich gemäß den nachstehenden

Reaktionsgleichungen das Trioxid bildet:

Mo + 2H₂O₂ > 2H₂O + MoO₂

MoO₂ + H₂O₂ > H₂O + MoOj

Die Existenz der Molybdänperoxidhydrate (MOO5H2 und MOO6H2) in den Reaktionen b und c ist durch die Oxidation von Molybdän mit Peroxid und die Abwesenheit von Metallsalz mit und ohne Ammoniumhydroxid bestätigt worden, welches normalerweise die rote Farbe tLs MoOeH₂ und die gelbe Farbe des MOO5H2 unterdrückt, welche für Anzeigezwecke in die allgemeine Abscheidungsreaktion einbezogen sind. Die MOO5-

und Μοθβ-Oxide für die Reduktion des Überzugsmetalls ergeben sich aufgrund der Anwesenheit der MOO5H2- und MoOeHrPeroxide durch die reversiblen Reaktionen:

MoO₅H₂ ^ MoO₅H- +H⁺^ MoO₅= + 2H ⁺

MoO_nH₂

MoO_ftH~ +H⁺^ MoO₆= + 2H ⁺

Nachdem die Oxidations-Reduktions-Reaktion stattgefunden hat und die Sauersioffentwicklung im Abscheidungsbad aufgehört hat, können irgendwelche, beispielsweise wegen nicht ausreichender Reaktionszeit, Reaktionstemperatur oder Konzentration der Abscheidungslösung noch verbliebene Molybdänperoxidhydrate durch eine reduzierende Wärmebehandlung in einer Wasserstoffatmosphäre in einem Ofen bei etwa 70O⁰C bis etwa 1300⁰C aufgetrieben werden. Diese Wärmebehandlung ist außer zur Austreibung irgendwelcher noch verbliebener Molybdänperoxidhydrate auch zur Herbeiführung einer Legierung zwischen dem Überzugsmetall und dem Molybdänsubstrat von Vorteil, wodurch ein gleichförmigerer Übergang zwischen dem Molybdänsubstrat und dem Überzugsmetall herbeigeführt wird.

Gemäß einem nicht unbedingt notwendigen Schritt des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Oberfläche des Molybdäns vorzugsweise zuerst in einer geeigneten Säure oder Säurekombination wie beispielsweise Phosphor- und/oder Schwefelsäure geätzt, hauptsächlich um das Substratmetall von Öl und anderen Oberflächenverunreinigungen zu reinigen. Ferner ist es wünschenswert, aber nicht unbedingt notwendig, das geätzte Molybdänsubstrat mit destilliertem oder deionisiertem Wasser zu waschen oder mit Ammoniumhydroxid zu behandeln und anschließend zu waschen. Die Anwesenheit von Ammoniak im Abscheidungsbad ist unerwünscht, da das Vorhandensein von Ammoniak oder Ammoniumhydroxid im Abscheidungsbad das Maß der Löslichkeit von Peroxiden in einem wäßrigen Medium erhöht, wodurch das Substratmetall ungeschützt bleibt. Nach dem Ätzen und Waschen wird das Substratmetall in die vorgesehene Abscheidungslösung getaucht. Die Abscheidungsreaktion findet vorzugsweise in einer Apparatur, die auf eine Temperatur zwischen 0°C und 6O⁰C gekühlt wird, bei Steuerung der exothermen Reaktionen statt, da die Bildung von Metallperoxiden Wärme erzeugt und mit einer Gasentwicklung verbunden ist. Bei den Abscheidungsreaktionen sollte Vorsicht geübt werden, da die Bildung von MoO₆H₂ unter starker Hitzeentwicklung und Sauerstoffentwicklung stattfindet, was zu einer Explosion der Reaktionsapparatur führen könnte. Die Reaktionstemperatur wird in an sich bekannter Weise gesteuert. Eine Temperatur von etwa VO⁰C wird bevorzugt, jedoch ist das Verfahren nicht unbedingt auf den genannten Temperaturbereich von O⁰C bis 60°C beschränkt. Ein thermisch gesteuertes Schmelz- oder Eisbad, welches in der Lage ist, die Reaktion im Temperaturbereich von O⁰C bis 6O⁰C zu halten, reicht im allgemeinen zur Beherrschung der exothermen Reaktionen aus.

Abscheidungslösungen nach der Erfindung sind aus einem Salz des gewünschten Überzugsmetalls in einer wäßrigen Lösung von etwa 0,1 mol bis 3 mol und übersättigten Lösungen herstellbar. Außerdem wird der Abscheidungslösung ein Oxidationsmittel wie beispielsweise Wasserstoffperoxid beigegeben. Das Substratmetall, und zwar mit einer Oberfläche von bis zu 0,1 m² pro Liter Abscheidungslösung, wird in diese stromlose Abscheidungslösung eingetaucht und verbleibt darin während einer Zeit von etwa 1 min bis 60 min. In bestimmten Fällen kann diese Verweilzeit kleiner als 1 min sein, was von den Bedingungen abhängt, unter welchen die Reaktion stattrindet Die Beendigung der Gasentwicklung signalisiert den Zeitpunkt, an welchem die Reaktion als beendet betrachtet werden kann.

Die nachfolgenden Ausführungsbeispiele dienen der weiteren Erläuterung des erfindungsgemäßen Verfahrens.

Beispiel 1

Ein Molybdänkörper mit einer Oberfläche von etwa 30 cm² wurde in einem Bad von konzentrierter Phosphorsäure und konzentrierter Schwefelsäure im Volumenverhältnis von 1 :1 geätzt Der Molybdänkörper wurde dann in deionisiertem Wasser gewaschen und in einer verdünnten 10%igen Ammoniumhydroxidlösung gelöscht. Danach wurde der Molybdänkörper erneut in deionisiertem Wasser gewaschen und dann in ein Bad mit 100 ml einer etwa 30%igen bis 32%igen Wasserstoffperoxidlösung, welcher 200 ml einer übersättigten Nickelsulfatlösung zur Vervollständigung des Abscheidungsbades zugegeben wurden, eingetaucht. Die übersättigte Nickelsulfatlösung wurde aus 500 g Nickelsulfat pro Liter bei 25°C hergestellt. Die Reaktion zwischen dem Molybdänsubstrat und der Peroxidlösung zur Nickelabscheidung fand bei Raumtemperatur während einer etwa 10 min bei kräftiger Bewegung der Abscheidungslösung statt, und nach der genannten Zeitspanne war die Erzeugung kleiner Blasen beträchtlich verringert Der Molybdänkörper wurde aus der Abscheidungslösung herausgenommen, gewaschen und unter einem Mikroskop untersucht, wobei sich eine dünne sichtbare Nickelablagerung zeigte. Ein Nickeltest auf dem überzogenen Molybdän war positiv. Die Betrachtung einer Schnittfläche unier einem Mikroskop bei 400facher Vergrößerung zeigte das Fehlen der dunkeln Bereiche aus Molybdänoxiden. Die Nickelablagerung wurde nachfolgend durch eine zusätzliche stromlose Nickelabscheidung verdickt.

Beispiel 2

Auf Molybdänteile, die ebenso wie beim vorstehenden Beispiel 1 vorbereitet waren, wurde durch stromlose Abscheidung Chrom aufgebracht. Nachdem die Molybdänteile wie in Beispiel 1 vorbereitet worden waren, wurden sie in eine Chromabscheidungslösung mit 150 ml Wasserstoffperoxidlösung einer Konzentration von 30% bis 32% und 20 ml einer Chromsäurelösung (CrO3) eingetaucht Die 20 ml Chromsäurelösung wurden einem Chromsäurelösungsvorrat entnommen, der unter Verwendung von 600 g CrO₃ pro Liter Wasser hergestellt worden war. Während die Abscheidungsreaktion bei Raumtemperatur fortschritt, wurden 50 ml zusätzliches Wasserstoffperoxid in die kontinuierlich bewegte Abscheidungslösung zugegeben. Nachdem das Gemisch während etwa 15 min bis 20 min eingewirkt hatte, wurden die Molybdänteile herausgenommen und es wurde festgestellt, daß sie einen Chromüberzug aufwiesen und keine schädliche Oxide vorhanden waren. Wegen des heftigen Ablaufs der Reaktion bei Raumtemperatur sollte die Reaktion bei etwa 10° C stattfinden.

Beispiel 3

Bei diesem Versuch wurde eine Nickel-Chrom-Legierung auf ein Molybdänsubstrat aufgebracht, indem 20 ml einer Nickelsulfatlösung nach Beispiel 2 zugegeben wurde. Dieser Nickelsulfat-Chromsäure-Lösung wurden etwa 150 ml Wasserstoffperoxidlösung mit einer Konzentration von 30% bis 32% als Oxidationsmittel zugegeben. Das Molybdänsubstrat wurde wie im Beispiel I vorbereitet. Das Molybdänsubstrat wurde etwa 20 min lang bei etwa 15°C in die stark bewegte Abscheidungslösung eingetaucht. Nach diesem Zei¹ raum zeigte die Veränderung der Gasentwicklung aas Ende der Reaktion an. Das überzogene Molybdänsubstrat wurde dann unter dem Mikroskop untersucht und die Analyse des Überzugs und Substratmetalls zeigte Ablagerungen von Nickel und Chrom als Peroxide.

Beispiel 4

Bei diesem Beispiel wurde eine Kobaltabscheidungslösung für ein Molybdänsubstrat mit etwa der gleichen Oberfläche wie im Beispiel 1 verwendet. Die Abscheidungslösung bestand aus 20 ml Kobaltsulfatlösung und 50 ml Wasserstoffperoxid (Konzentration 30% bis 32%). Die Kobaltsulfallösung wurde mittels 600 g Kobaltsulfat pro Liter Wasser hergestellt. Das Molybdänsubstrat wurde wie im Beispiel I vorbereitet und bei Raumtemperatur während etwa 20 min in das stark bewegte Abscheidungsbad gelegt, und es wurden etwa 30 ml Peroxid nach und nach während der Abscheidungsreaktion zugegeben. Nach dem Waschen und Trocknen wurden Kobaltablagerungen festgestellt, die gleichmäßig und auf einigen der Molybdänteiie glänzend waren.

Beispiel 5

Bei diesem Versuch wurde Rhodium auf etwa die gleiche Oberfläche eines Molybdänsubstrats wie im Beispiel 1 aufgebracht. Die Abscheidungslösung bestand aus 50 ml Rhodiumsulfatlösung und 50 ml Wasserstoffperoxid mit einer Konzentration von 30% bis 32%. Die Rhodiumsulfatlösung wurde unter Verwendung von 100 g Rhodiumsulfat pro Liter Wasser hergestellt. Das Molybdänsubstrat wurde wie im Beispiel 1 vorbereitet und bei Raumtemperatur während etwa 20 min in die kräftig bewe'ote Abscheidungslösung eingelegt. Das Molybdän zeigte einen ungleichförmigen schwarzen Überzug aus Rhodium.

Beispiel 6

Bei diesem Versuch wurde Nickel auf eine etwa 36 cm² große Oberfläche eines Wolframsubstrats aufge-

> bracht. Eine Nickelsulfatlösung wurde unter Verwendung von 500 g Nickelsulfat pro Liter Wasser hergestellt. Das Nickelabscheidungsbad wurde unter Verwendung von 200 ml der Nickelsulfatlösung und etwa 100 ml Wasserstoffperoxid (Konzentration 30%

in bis 32%) hergestellt, was eine Abscheidungslösung mit einem pH-Wert von 2,3 ergab. Das Wolframsubstrat wurde ebenso wie das Molybdänsubstrat im Beispiel 1 für die Metallabscheidung vorbereitet. Das Wolframsubstrat wurde anfänglich bei 15°C in das Abschei-

r> dungsbad eingelegt, wonach die Temperatur mit fortschreitender Abscheidungsreaktion auf 12°C abgesenkt wurde. Nach einer Gesamtreaktionszeit von 5 min hörte die Gasentwicklung im wesentlichen auf. Das nickelüberzogene Wolfram wurde untersucht und es

-Ό wurde festgestellt, daß es einen gleichmäßigen glänzenden Nickelüberzug besaß. Das nickelüberzogene Wolfram wurde anschließend während etwa 20 min bei einer Stromstärke von 3 A zum Zwecke des Aufbaus einer dickeren Nickelschu !u galvanisiert.

Die Reihenfolge der Zugabe der Lösungen und die Konzentrationen der Metallionen des abzuscheidenden Metalls sind im einzelnen nicht kritisch und können zur Steuerung der Geschwindigkeit des Reaktionsablaufs variiert werden. Vorzugsweise werden gesättigte

in Lösungen der Metallionen des gewünschten Uberzugsmetalls verwendet und das zu übei ziehende Substralmetall wird in eine kombinierte oxydierende Lösung und Metaliionenlösung oder zuerst in die oxydierende Lösung eingelegt, bevor die Zugabe der die Metallionen

r, enthaltenden Lösung erfolgt. Diese Reihenfolge der Lösungszugabe und die Konzentration der Lösung ermöglichen die Aktivierung der Oberfläche de? .Substratmetalls zur Bildung von Peroxiden auf dei Substratoberfläche zur sofortigen Reaktion mit der die

in Metallionen enthaltenden Abscheidungslösung. Außerdem wird zweckmäßig die Abscheidungslösung stark bewegt, während die Abscheidungsreaktion stattfindet, was die Erfindung insbesondere für Pump- und UmwäUabscheidungsverfahren zur Beschichtung gro-

;, IJer Metallteile geeignet macht. Zur Entfernung etwa zurückgebliebener Metallperoxide ist eine Wärmebehandlung nach der Abscheidungsreaktion möglich.

Claims (9)

Patentansprüche:

1. Verfahren zur stromlosen Metallabscheidung auf Molybdän oder Wolfram als Substratmetall, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:

a) Oxidation von auf der Oberfläche des Substratmetalls befindlichen Oxiden zu entsprechenden Metallperoxiden und

b) Reduktion einer Metallabscheidungslösung mit den genannten Metallperoxiden zu Lösungsionen zwecks Anlagerung einer metallischen Schutzschicht auf dem Substratmetall.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Oxidationsschritt mit Hilfe von Wasserstoffperoxid ausgeführt wird und daß in der Metallabscheidungslösung Metallionen der Gruppe Nickel, Chrom, Kobalt, Rhodium oder Kombinationen eingesetzt werden.

3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Oxidationsschritt folgende Einzelschritte umfaßt:

al) Entfernung von Oberflächenverunreinigungen des Substratmetalls,

a2) Hydratisierung der Substratoberfläche in Wasser und

a3) Oxidation des hydratisierten Substratmetalls in einer Wasserstoffperoxidlösung zur Bildung von Metallperoxiden.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß in der reduzierbaren Abschsidungslösung eine Metallsalzlösung von Nickelsulfat, Chromsäure, Kobaltsulfat oder Rhodiumsulfat oder Gemischen davon eingesetzt wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur der Abscheidungslösung während der Metallabscheidung in einem Bereich von 0^cC bis 60⁰C gehalten wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Abscheidungslösung während der Anlagerung der metallischen Schutzschicht auf dem Substratmetall bewegt wird.

7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mittels einer Wärmebehandlung eine Legierung des Substratmetalls mit dem Abscheidungsmetall herbeigeführt wird.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Wärmebehandlung in einer reduzierenden Atmosphäre durchgeführt wird.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß eine Wasserstoffatmosphäre eingesetzt wird.