DE2536516B2 - Verfahren zur stromlosen Metallabscheidung auf Molybdän oder Wolfram - Google Patents
Verfahren zur stromlosen Metallabscheidung auf Molybdän oder WolframInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur stromlosen Metallabscheidung auf Molybdän oder Wolfram als
Substratmetall.
Die Übergangsmetalle Molybdän und Wolfram der Gruppe VI des periodischen Systems der Elemente
finden in hochentwickelten Bereichen der modernen Technik wichtige Anwendungsgebiete, beispielsweise
bei Laufschaufeln für hohe Drehzahlen in Turbinen und Flugzeugtriebwerken, bei denen hohe Betriebstemperaturen
auftreten, und bei miniaturelektronischen Bauteilen.
Da diese Metalle bei Raumtemperatur oder erhöhten Temperaturen Oberflächenoxide bilden und da diese
Oxide die Verwendung von aus diesen Metallen hergestellten Gegenständen beeinträchtigen können, ist
es oftmals notwendig, diese Metalle mit einem metallischen Schutzüberzug zu versehen.
Verfahren zum Aufbringen eines metallischen Schutzüberzuges auf diese Übergangsmetalle sind bereits
bekannt, jedoch wird die Herstellung eines metallischen Schutzüberzugs durch den chemisch stabilen, physikalisch
jedoch instabilen Zustand einiger der Metalloxide sowie durch die Neigung einiger dieser chemisch
stabilen Oxide erschwert, an die Oberfläche des Substratmetalls zu wandern, wo sie an der Grenzfläche
zwischen dem Substratmetall und dem Überzugsmetall verbleiben. Die Wanderung dieser Oxide begünstigt
ferner die Oxidation des das Substratmetall bildenden Übergangsmetalls und die Zerstörung der Oberflächeneigenschaften
des Metallüberzugs, beispielsweise durch Verlust der Oberflächenglätte oder durch Ablösung des
Überzugsmetalls vom Substratmetall. Dies kann schließlich zum Bruch oder zur Unbrauchbarkeit von
aus dem metallüberzogenen Übergangsmetall hergestellten wichtigen Bauteilen führen.
Ein bekanntes Verfahren zum Überziehen von Molybdän ist in der US-PS 33 86 896 beschrieben und
sieht vor, das Molybdänsubstrat durch einen Goidüberzug zu schützen. Zunächst wird eine dünne Goldgrundschicht
auf hydratisierte Molybdänoxide aufgalvanisiert, wonach eine Reduktion der Molybdänoxide mit
Wasserstoff in einem Ofen bei erhöhter Temperatur stattfindet, um den Sauerstoff auszutreiben. Anschließend
wird eine dickere Goldschicht auf die Goldgrundschicht aufgebracht. Dieses bekannte Verfahren besteht
aus einer Reihe von Reaktionsvorgängen, wobei eine gesonderte Reduktion der Molybdänoxide nach dem
anfänglichen Aufgalvanisieren einer dünnen Goldschicht erforderlich ist und diese danach vor dem
Aufbringen der dicken Goldschicht wieder mit der Luft in Berührung kommt, so daß zwischen den einzelnen
Verfahrensschritten möglicherweise wieder eine Oxidation durch diese dünne Goldschicht hindurch eintreten
kann.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs dargelegten Art so zu
verbessern, daß Oberflächenoxide auf dem Substratwerkstoff entfernt und die Bildung solcher Oxide
während und nach der Metallabscheidung verhindert wird, daß weiter die oben genannte Oxidwanderung
unterbunden wird und daß sich eine verbesserte Bindung des Überzugsmetalls an das Substratmetall
ergibt.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen
Maßnahmen gelöst.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung werden die Metallperoxide bildenden Metalle
Molybdän und Wolfram in einem einzigen Reaktionsvoirgang mit einem Metallüberzug versehen, wobei in
diesem Reaktionsvorgang die physikalisch instabilen Oberflächenoxide ausgetauscht werden und eine stromlose
Abscheidung einer Schutzmetallschicht stattfindet. Bei diesem stromlosen Abscheidungsverfahren finden in
einer einzigen Lösung Oxidationsvorgänge und Reduktionsvorgänge statt, welche zu der Umwandlung der
Oberflächenoxide in eine chemisch stabile Peroxidform und zum Austausch der Peroxide durch Atome des
gewünschten Überzugmetalls auf dem Substratmetall
führen. Läuft die Reaktion wegen nicht ausreichender Reaktionszeit oder wegen nicht ausreichender Reagenzien
nicht vollständig ab, so erscheinen in einem dem Ausmaß der Reaktionsunvollständigkeit entsprechenden
Maß Metalloxide in der Peroxidform, welche jedoch nicht die Schwierigkeiten der physikalisch instabilen
Oxide, wie beispielsweise Wanderung und Begünstigung weiterer Oxidationen zeigen. Solche Peroxide können
zweckmäßig mittels einer nicht unbedingt notwendigen Wärmebehandlung ohne Erfordernis einer nochmaligen
Metallbeschichtung beseitigt werden.
Der Reaktionsmechanismus, der für die Beseitigung instabiler Oxide und die Anlagerung einer Schutzmetallschicht
verantwortlich zu sein scheint, wird durch die Hydratisierung von physikalisch instabilen Molybdäntrioxiden
(MOO3) zu Molybdänhydraten (MOO4H2) eingeleitet Die Molybdänhydrate auf der Oberfläche
des Molybdäns werden mit einem Peroxid zu Molybdänperoxidhydraten (MoO5H2 und MoO6H2) oxidiert,
wobei die Oxidation der Molybdänhydrate mit der Reduktion eines Metallions zur Erzeugung einer
Metallanlagerung unmittelbar auf dem Molybdän verbunden ist. Die Reduktion des Metallions durch die
Molybdänperoxidhydrate kann gleichzeitig mit der Oxidation der Molybdänhydrate erfolgen, wenn beispielsweise
eine einzige Lösung von Metallionen und Peroxid verwendet wird, oder nach der genannten
Oxidation stattfinden, wenn beispielsweise das Molybdänsubstrat zuerst mit einem Oxidationsmittel behandelt
wird, um Molybdänperoxidhydrate zu erzeugen, und danach eine Metallionenlösung hinzugefügt und
durch die Molybdänperoxidhydrate zu einem reinen Metallüberzug reduziert wird Bei beiden Abscheidungsverfahren
läuft die Reaktion der Molybdänperoxidhydrate mit Metallionen aus der Metallionenlösung J5
auf der Oberfläche des Molybdänsubstrats weiter, bis sämtliche an der Substratoberfläche befindliche Molybdänperoxidhydrate
ausgetauscht sind oder bis die Reaktion durch Erschöpfung der Metallionen oder andere Faktoren zum Stillstand kommt. Bei beiden
Verfahrensvarianten werden die instabilen Trioxide durch Oxidation zu Molybdänperoxidhydraten beseitigt,
welche dann im wesentlichen oder vollständig durch das Überzugsmetall ausgetauscht werden.
Die Erfindung bietet gegenüber herkömmlichen Abscheidungsverfahren zahlreiche Vorteile, da die
Überzugsschicht nicht so dick wie bei herkömmlichen Verfahren sein muß, um eine Wanderung von
Molybdänoxid (MOO3) und eine weitere Oxidation zwischen dem Molybdänsubstrat und dem Überzugsme- so
tall zu unterbinden oder auf ein Minimum zu verkleinern. Ferner wird, da die Oxidations- und
Reduktionsschritte in einem einzigen Abscheidungsbad durchgeführt werden können, die mögliche Bildung
zusätzlicher schädlicher Oxide verhindert, und es erübrigen sich die zahlreichen Verfahrensschritte, die
bisher zum Überziehen von Peroxid bildenden Übergangsmetallen der Gruppe VI des periodischen Systems
der Elemente erforderlich waren.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von fao
Beispielen mehr im einzelnen beschrieben.
Molybdän als Substratmetall soll mit einem Überzugsmetall Λ/überzogen werden.
Das zu überziehende Molybdänsubstrat wird im allgemeinen in Wasser gewaschen, bevor die Metallabscheidung
in einer Lösung von Wasserstoffperoxid und Überzugsmetallionen stattfindet. Die gleichzeitige Oxidation
der Oberflächenoxide zu Molybdänperoxidhydraten und Reduktion von Metallionen zur Bildung
eines festhaftenden Metallüberzugs läuft entsprechend den nachstehenden allgemeinen Reaktionsgleichungen
ab:
a) MoO3 + H2O -» MoO4H2
(Hydratisierung)
(Hydratisierung)
b) MoO4 + H2O2 ~>
MoO5H2 + H2O
(Gelbfärbung)
(Gelbfärbung)
1. MoO5H2 + M+2 + H2O
— M + MoO6H2 + 2H +
c) MoO5H2 + H2O2 ->
MoO6H2 + H2O
(Rotfärbung)
(Rotfärbung)
2. MoO6H2 + M+2 + H2O
-> M + MoO5H2 + O2+ 2H +
Die Reaktionen a, b und c laufen so lange weiter, bis sämtliche Oxide zu Molybdänperoxidhydraten
(MOO5H2 und ΜοΟβΗ2) umgewandelt sind, wobei diese
Molybdänperoxidhydrate in den gleichzeitig ablaufenden Reaktionen 1 und 2 im Sinne einer Reduktion der
Metallionen aus der Abscheidungslösung reagieren. Die Reaktionen sind typischerweise beendet, wenn die
Gasentwicklung aus dem Abscheidungsbad aufhört und das Substratmetall durch den Metallüberzug geschützt
ist. In diesem Zeitpunkt sind die Metalloxide zu Peroxiden oxydiert worden und viele von ihnen, sofern
nicht alle, haben die Überzugsmetallionen zu atomaren Anlagerungsteilchen auf dem Substratmetall reduziert,
welche einen sauerstoffundurchlässigen Überzug auf dem Substratmetall bilden, der eine spätere Beeinträchtigung
der Metall-Metall-Bindung und der Substratmetalleigenschaften verhindert Gegebenenfalls zurückbleibende
Molybdänperoxidhydrate zeigen nicht die Schwierigkeiten, die sich durch die zwar chemisch
stabilen, jedoch physikalisch instabilen Trioxide ergeben.
Als Grundlage für die obengenannten Reaktionen kann das Vorhandensein von Molybdänirioxid im
allgemeinen vorausgesetzt werden, welches sich auf dem Molybdän ebenso wie Oxide auf anderen
Metalloberflächen in der normalen Atmosphäre infolge allgemein bekannter Reaktionen auf natürlichem Wege
bilden. Ist das Molybdän überhaupt noch nicht oxydiert, so wird es zuerst in eine oxydierende Peroxidlösung
eingetaucht wobei sich gemäß den nachstehenden Reaktionsgleichungen das Trioxid bildet:
Mo + 2H2O2
MoO2 + H2O2
MoO2 + H2O2
2H2O + MoO2
H2O + MoO,
H2O + MoO,
Die Existenz der Molybdänperoxidhydrate (MoOsH2
und MoOeH2) in den Reaktionen b und c ist durch die
Oxidation von Molybdän mit Peroxid und die Abwesenheit von Metallsalz mit und ohne Ammoniumhydroxid
bestätigt worden, welches normalerweise die rote Farbe des MoOeH2 und die gelbe Farbe des MoOsH2
unterdrückt, welche für Anzeigezwecke in die allgemeine Abscheidungsreaktion einbezogen sind. Die MOO5-
und MoOö-Oxide für die Reduktion des Überzugsmetalis
ergeben sich aufgrund der Anwesenheit der MOO5H2- und MoOehb-Peroxide durch die reversiblen
Reaktionen:
MoO5H2 ^ MoO5H- +H+^ MoO5= + 2H +
MoO6H2 ^ MoO6H" + H+^ MoO6= + 2H +
MoO6H2 ^ MoO6H" + H+^ MoO6= + 2H +
Nachdem die Oxidations-Reduktions-Reaktion stattgefunden
hat und die Sauerstoffentwicklung im Abscheidungsbad aufgehört hat, können irgendwelche,
beispielsweise wegen nicht ausreichender Reaktionszeit, Reaktionstemperatur oder Konzentration der
Abscheidungslösung noch verbliebene Molybdänperoxidhydrate durch eine reduzierende Wärmebehandlung
in einer Wasserstoffatmosphäre in einem Ofen bei etwa 70O0C bis etwa 130O0C ausgetrieben werden.
Diese Wärmebehandlung ist außer zur Austreibung irgendwelcher noch verbliebener Molybdänperoxidhydrate
auch zur Herbeiführung einer Legierung zwischen dem Oberzugsmetall und dem Molybdänsubstrat von
Vorteil, wodurch ein gleichförmigerer Übergang zwischen dem Molybdänsubstrat und dem Überzugsmetall
herbeigeführt wird.
Gemäß einem nicht unbedingt notwendigen Schritt des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Oberfläche
des Molybdäns vorzugsweise zuerst in einer geeigneten Säure oder Säurekombination wie beispielsweise
Phosphor- und/oder Schwefelsäure geätzt, hauptsächlich um das Substratmetall von Öl und anderen
Oberflächenverunreinigungen zu reinigen. Ferner ist es wünschenswert, aber nicht unbedingt notwendig, das
geätzte Molybdänsubstrat mit destilliertem oder deionisiertem Wasser zu waschen oder mit Ammoniumhydroxid
zu behandeln und anschließend zu waschen. Die Anwesenheit von Ammoniak im Abscheidungsbad ist
unerwünscht, da das Vorhandensein von Ammoniak oder Ainmoniumhydroxid im Abscheidungsbad das
Maß der Löslichkeit von Peroxiden in einem wäßrigen Medium erhöht, wodurch das Substratmetall ungeschützt
bleibt. Nach dem Ätzen und Waschen wird das Substratmetall in die vorgesehene Abscheidungslösung
getaucht. Die Abscheidungsreaktion findet vorzugsweise in einer Apparatur, die auf eine Temperatur zwischen
O0C und 60° C gekühlt wird, bei Steuerung der
exothermen Reaktionen statt, da die Bildung von Metallperoxiden Wärme erzeugt und mit einer Gasentwicklung
verbunden ist. Bei den Abscheidungsreaktionen sollte Vorsicht geübt werden, da die Bildung von
MoOeH2 unter starker Hitzeentwicklung und Sauerstoffentwicklung
stattfindet, was zu einer Explosion der Reaktionsapparatur führen könnte. Die Reaktionstemperatur
wird in an sich bekannter Weise gesteuert Eine Temperatur von etwa 100C wird bevorzugt, jedoch ist
das Verfahren nicht unbedingt auf den genannten Temperaturbereich von O0C bis 6O0C beschränkt Ein
thermisch gesteuertes Schmelz- oder Eisbad, welches in der Lage ist, die Reaktion im Temperaturbereich von
0°C bis 6O0C zu halten, reicht im allgemeinen zur
Beherrschung der exothermen Reaktionen aus.
Abscheidungslösungen nach der Erfindung sind aus einem Salz des gewünschten Überzugsmetalls in einer
wäßrigen Lösung von etwa 0,1 mol bis 3 mol und übersättigten Lösungen herstellbar. Außerdem wird der
Abscheidungslösung ein Oxidationsmittel wie beispielsweise Wasserstoffperoxid beigegeben. Das Substratmetall,
und zwar mit einer Oberfläche von bis zu 0,1 m2 pro
Liter Abscheidungslösung, wird in diese stromlose Abscheidungslösung eingetaucht und verbleibt darin
während einer Zeit von etwa 1 min bis 60 min. In bestimmten Fällen kann diese Verweilzeit kleiner als
1 min sein, was von den Bedingungen abhängt, unter welchen die Reaktion stattfindet Die Beendigung der
Gasentwicklung signalisiert den Zeitpunkt an welchem die Reaktion als beendet betrachtet werden kann.
ίο Die nachfolgenden Ausführungsbeispiele dienen der weiteren Erläuterung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
ίο Die nachfolgenden Ausführungsbeispiele dienen der weiteren Erläuterung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
Ein Molybdänkörper mit einer Oberfläche von etwa 30 cm2 wurde in einem Bad von konzentrierter
Phosphorsäure und konzentrierter Schwefelsäure im Volumenverhältnis von 1 :1 geätzt Der Molybdänkörper
wurde dann in deionisiertem Wasser gewaschen und in einer verdünnten 10%igen Ammoniumhydroxidlösung
gelöscht. Danach wurde der Molybdänkörper erneut in deionisiertem Wasser gewaschen und dann in
ein Bad mit 100 ml einer etwa 30%igen bis 32%igen Wasserstoffperoxidlösung, welcher 200 ml einer übersättigten
Nickelsulfatlösung zur Vervollständigung des Abscheidungsbades zugegeben wurden, eingetaucht.
Die übersättigte Nickelsulfatlösung wurde aus 500 g Nickelsulfat pro Liter bei 25°C hergestellt. Die Reaktion
zwischen dem Molybdänsubstrat und der Peroxidlösung zur Nickelabscheidung fand bei Raumtemperatur
während einer etwa 10 min bei kräftiger Bewegung der
Abscheidungslösung statt und nach der genannten Zeitspanne war die Erzeugung kleiner Blasen beträchtlich
verringert. Der Molybdänkörper wurde aus der Abscheidungslösung herausgenommen, gewaschen und
unter einem Mikroskop untersucht, wobei sich eine dünne sichtbare Nickelablagerung zeigte. Ein Nickeltest
auf dem überzogenen Molybdän war positiv. Die Betrachtung einer Schnittfläche unter einem Mikroskop
bei 400fachcr Vergrößerung zeigte das Fehlen der dunkeln Bereiche aus Molybdänoxiden. Die Nickelablagerung
wurde nachfolgend durch eine zusätzliche stromlose Nickelabscheidung verdickt
Auf Molybdänteile, die ebenso wie beim vorstehenden Beispiel 1 vorbereitet waren, wurde durch
stromlose Abscheidung Chrom aufgebracht. Nachdem die Molybdänteile wie in Beispiel 1 vorbereitet worden
waren, wurden sie in eine Chromabscheidungslösung mit 150 ml Wasserstoffperoxidlösung einer Konzentration
von 30% bis 32% und 20 ml einer Chromsäurelösung (CrO3) eingetaucht. Die 20 ml Chromsäurelösung
wurden einem Chromsäurelösungsvorrat entnommen, der unter Verwendung von 600 g CrO3 pro Liter Wasser
hergestellt worden war. Während die Abscheidungsreaktion bei Raumtemperatur fortschritt, wurden 50 ml
zusätzliches Wasserstoffperoxid in die kontinuierlich bewegte Abscheidungslösung zugegeben. Nachdem das
Gemisch während etwa 15 min bis 20 min eingewirkt hatte, wurden die Molybdänteile herausgenommen und
es wurde festgestellt, daß sie einen Chromüberzug aufwiesen und keine schädliche Oxide vorhanden waren.
Wegen des heftigen Ablaufs der Reaktion bei Raumtemperatur sollte die Reaktion bei etwa 1O0C
stattfinden.
Bei diesem Versuch wurde eine Nickel-Chrom-Legierung auf ein Molybdänsubstrat aufgebracht, indem 20 ml
einer Nickelsulfatlösung nach Beispiel 2 zugegeben wurde. Dieser Nickelsulfat-Chromsäure-Lösung wurden
etwa 150 ml Wasserstoffperoxidlösung mit einer Konzentration von 30% bis 32% als Oxidationsmittel
zugegeben. Das Molybdär.substrat wurde wie im Beispiel 1 vorbereitet. Das Molybdänsubstrat wurde
etwa 20 min lang bei etwa 15°C in die stark bewegte Abscheidungslösung eingetaucht. Nach diesem Zeitraum
zeigte die Veränderung der Gasentwicklung das Ende der Reaktion an. Das überzogene Molybdänsubstrat
wurde dann unter dem Mikroskop untersucht und die Analyse des Überzugs und Substratmetalls zeigte
Ablagerungen von Nickel und Chrom als Peroxide.
Bei diesem Beispiel wurde eine Kobaltabscheidungslösung für ein Molybdänsubstrat mit etwa der gleichen
Oberfläche wie im Beispiel 1 verwendet. Die Abscheidungslösung bestand aus 20 ml Kobaltsulfatlösung und
50 ml Wasserstoffperoxid (Konzentration 30% bis 32%). Die Kobaltsulfatlösung wurde mittels 600 g
Kobaltsulfat pro Liter Wasser hergestellt. Das Molybdänsubstrat wurde wie im Beispiel 1 vorbereitet und bei
Raumtemperatur während etwa 20 min in das stark bewegte Abscheidungsbad gelegt, und es wurden etwa
30 ml Peroxid nach und nach während der Abscheidungsreaktion zugegeben. Nach dem Waschen und
Trocknen wurden Kobaltablagerungen festgestellt, die gleichmäßig und auf einigen der Molybdänteile
glänzend waren.
Bei diesem Versuch wurde Rhodium auf etwa die gleiche Oberfläche eines Molybdänsubstrats wie im
Beispiel 1 aufgebracht. Die Abscheidungslösung bestand aus 50 ml Rhodiumsulfatlösung und 50 ml Wasserstoffperoxid
mit einer Konzentration von 30% bis 32%. Die Rhodiumsulfatlösung wurde unter Verwendung von
100 g Rhodiumsulfat pro Liter Wasser hergestellt. Das
Molybdänsubstrat wurde wie im Beispiel 1 vorbereitet und bei Raumtemperatur während etwa 20 min in die
kräftig bewebte Abscheidungslösung eingelegt Das Molybdän zeigte einen ungleichförmigen schwarzen
Überzug aus Rhodium.
Bei diesem Versuch wurde Nickel auf eine etwa 36 cm2 große Oberfläche eines Wolframsubstrats aufgebracht.
Eine Nickelsulfatlösung wurde unter Verwendung von 500 g Nickelsulfat pro Liter Wasser
hergestellt. Das Nickelabscheidungsbad wurde untei Verwendung von 200 ml der Nickelsulfatlösung und
etwa 100 ml Wasserstoffperoxid (Konzentration 30%
ίο bis 32%) hergestellt, was eine Abscheidungslösung mil
einem pH-Wert von 2,3 ergab. Das Wolframsubstrai wurde ebenso wie das Molybdänsubstrat im Beispiel 1
für die Metallabscheidung vorbereitet. Das Wolframsubstrat wurde anfänglich bei 15°C in das Abscheidungsbad
eingelegt, wonach die Temperatur mil fortschreitender Abscheidungsreaktion auf 12° C abgesenkt
wurde. Nach einer Gesamtreaktionszeit von 5 mir hörte die Gasentwicklung im wesentlichen auf. Da:
nickelüberzogene Wolfram wurde untersucht und es wurde festgestellt, daß es einen gleichmäßigen glänzenden
Nickelüberzug besaß. Das nickelüberzogene Wolf ram wurde anschließend während etwa 20 min bei einei
Stromstärke von 3 A zum Zwecke des Aufbaus einei dickeren Nickelschicht galvanisiert.
Die Reihenfolge der Zugabe der Lösungen und die Konzentrationen der Metallionen des abzuscheidender
Metalls sind im einzelnen nicht kritisch und können zui Steuerung der Geschwindigkeit des Reaktionsablauf!
variiert werden. Vorzugsweise werden gesättigte
jo Lösungen der Metallionen des gewünschten Überzugs·
metalls verwendet und das zu überziehende Substrat metall wird in eine kombinierte oxydierende Lösung
und Metallionenlösung oder zuerst in die oxydierend« Lösung eingelegt, bevor die Zugabe der die Metallioner
r, enthaltenden Lösung erfolgt. Diese Reihenfolge dei
Lösungszugabe und die Konzentration der Lösung ermöglichen die Aktivierung der Oberfläche de:
Substratmetalls zur Bildung von Peroxiden auf dei Substratoberfläche zur sofortigen Reaktion mit der di<
Metallionen enthaltenden Abscheidungslösung. Außer dem wird zweckmäßig die Abscheidungslösung star!
bewegt, während die Abscheidungsreaktion stattfindet was die Erfindung insbesondere für Pump- un<
Umwälzabscheidungsverfahren zur Beschichtung gro
•Γ) ßer Metallteile geeignet macht Zur Entfernung etw;
zurückgebliebener Metallperoxide ist eine Wärmebe handlung nach der Abscheidungsreaktion möglich.
Claims (9)
- Patentansprüche:1 Verfahren zur stromlosen Metallabscheidung auf Molybdän oder Wolfram als Substratmetall, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:a) Oxidation von auf der Oberfläche des Substratmetalls befindlichen Oxiden zu entsprechenden Metallperoxiden undb) Reduktion einer Metallabscheidungslösung mit ι ο den genannten Metallperoxiden zu Lösungsionen zwecks Anlagerung einer metallischen Schutzschicht auf dem Substratmetall.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Oxidationsschritt mit Hilfe von Wasserstoffperoxid ausgeführt wird und daß in der Metallabscheidungslösung Metallionen der Gruppe Nickel, Chrom, Kobalt, Rhodium oder Kombinationen eingesetzt werden.
- 3. Verfahren nach einem der Ansprüche ] und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Oxidationsschritt folgende Einzelschritte umfaßt:al) Entfernung von Oberflächenverunreinigungendes Substratmetalls,
a2) Hydratisierung der Substratoberfläche in Was-ser und
a3) Oxidation des hydratisierten Substratmetalls in einer Wasserstoffperoxidlösung zur Bildung von Metallperoxiden. - 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, jo dadurch gekennzeichnet, daß in der reduzierbaren Abscheidungslösung eine Metallsalzlösung von Nickelsulfai, Chromsäure, Kobaltsulfat oder Rhodiumsulfat oder Gemischen davon eingesetzt wird.
- 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur der Abscheidungslösung während der Metallabscheidung in einem Bereich von 00C bis 6O0C gehalten wird.
- 6. Verfahren nach einem der Ansprüche I bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Abscheidungslösung während der Anlagerung der metallischen Schutzschicht auf dem Substratmetall bewegt wird.
- 7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mittels einer Wärmebehandlung eine Legierung des Substratmetalls mit dem Abscheidungsmetall herbeigeführt wird.
- 8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Wärmebehandlung in einer reduzierenden Atmosphäre durchgeführt wird.
- 9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß eine Wasserstoffatmosphäre eingesetzt wird.
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