DE2442309A1 - Vorrichtung zum trocknen von kleinen gegenstaenden - Google Patents
Vorrichtung zum trocknen von kleinen gegenstaendenInfo
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Description
Aktenzeichen der Anmelderin:
Fl 973 004
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Anlegen eines Strömungsmediums an ein Werkstück und insbesondere auf eine Vorrichtung zum Trocknen
von kleinen Gegenständen.
Trockenvorrichtungen für kleine Werkstücke, die mit einem Strömungsmedium
arbeiten, sind seit langer Zeit bekannt und reichen von der einfachsten Ausführungsform
mit Anlegen von heißer Luft oder heißem Stickstoff an das Werkstück, abhängig vom Oberflächenüberzug des Werkstücks oder dessen Zusammensetzung
bis zu sehr komplizierten Anordnungen zum Aufbringen eines Mediums zum Trocknen des Werkstücks.
Die Aufgabe der Erfindung wird darin gesehen, eine neuartige Vorrichtung zum
Aufbringen eines Strömungsmittels auf ein Werkstück zu schaffen, bei welcher
die Oberfläche des Werkstücks gleichförmig mit dem Strömungsmittel behandelt wird. Vorzugsweise soll dabei die Strömung zum Trocknen des Werkstückes
unter einem schiefen Winkel auf dessen Oberfläche auftreffen. Insbesondere soll sich die Erfindung zum Trocknen von Halbleiterplättchen eignen, mit welcher
es möglich ist, auf der Oberfläche des Plättchens anhaftende Flüssigkeiten wirkungsvoll
und rascher dadurch zu entfernen, daß die zum Trocknen dienende
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Strömung schräg auf die Oberfläche des Plättchens gerichtet wird. Vor allen Dingen
soll die neuartige Vorrichtung zum Trocknen von Gegenständen in der Weise aufgebaut sein, daß sie sowohl in senkrechter als auch in waagrechter Lage
betrieben werden kann, so daß jede beliebige Anordnung des zu trocknenden Werkstücks möglich ist. Dabei ist die neuartige Vorrichtung so ausgestaltet, daß
sie in doppelter Ausführung spiegelbildlich aufgebaut und so zusammengefügt werden kann, daß man die zum Trocknen zuzuführende Strömung des Mediums
auf beiden Seiten des Werkstücks zugleich zuführen kann.
Die Erfindung wird nunmehr anhand eines Ausführungsbeispiels in Verbindung
mit den beigefügten Zeichnungen näher beschrieben. Die unter Schutz zu stellenden
Merkmale sind den ebenfalls beigefügten Patentansprüchen im einzelnen zu entnehmen.
In den Zeichnungen zeigt:
Fig. 1 eine Teil-Schnittansicht einer gemäß der Erfindung auf
gebauten Vorrichtung und
Fig. 2 eine Teilschnittansicht längs der Linie 2-2 in Fig. 1.
In Fig. 1 ist eine Vorrichtung 10 zum Aufbringen eines Strömungsmediums, wie
z.B. Luft oder Stickstoff , auf ein Werkstück dargestellt. Diese Vorrichtung besteht
aus einer Kammer 11 mit einer zum Einbringen des Werkstücks dienenden Eingangsöffnung
12 an einem Ende und einer Auslaßöffnung 13 für das Strömungsmedium
am anderen Ende. Eine Dreipunkt-Haltevorrichtung 14 dient zum Halten
eines Werkstücks 15, in diesem Fall eines Siliciumplättchens innerhalb der Kammer
11.
Die Konstruktion ist dabei so gewählt, daß die Strömung des Strömungsmittels
unter einem schiefen Winkel auf mindestens einer Oberfläche des Werkstücks 15
auftrifft. Zu diesem Zweck ist, wie am besten aus Fig. 1 zu erkennen, eine Scheibe
16 mit einer ersten Hauptfläche 16A und einer damit gekoppelten zweiten Hauptfläche
16B vorgesehen, die für eine Rotation auf einer Achse 17 angeordnet und befestigt sind. Die erste Hauptoberfläche 16A der Scheibe 16 enthält eine Anzahl
unter einem Winkel angeordneter Schlitze oder öffnungen 17', die über Kanäle
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18 mit einer in der Mitte in der Achse angeordneten Bohrung 19 verbunden sind.
Die Achse 17 ist in der Seitenwand eines Gehäuses 20 innerhalb eines Gleitlagers
21 drehbar gelagert. Über entsprechende Leitungsanschlüsse 22 wird ein Strömungsmedium,
wie z.B. Luft oder Stickstoff zugeführt, das über eine Anschlußleitung
23 in einem Anschlußgehäuse 24 zugeführt wird.
Die Kupplung des Anschlußkanals 23 mit der Bohrung 19 ermöglicht es, daß
ein geringer Teil des Strömungsmediums austreten und über einen Ablauf 25 in dem Gehäuseansatz 24 ausströmen kann.
Um ein Besprühen und Durchwirbeln des durch die Schlitze 17'in der Scheibe
16 in Richtung auf das Werkstück austretenden Strömungsmediums zu erzielen, ist die Scheibe 16 drehbar gemacht. Zu diesem Zweck ist die Umfangskante 16C
der Scheibe 16 mit auf Abstand stehenden Kerben oder Zacken 26 versehen, die
mit einer Düse 27 im Gehäuse 20 ausgerichtet sind, so daß ein Strömungsmedium aus einer zweiten Strömungsquelle auf den Kerben oder Zacken auftreffen kann
und damit eine Rotation der Scheibe 16 bewirkt. Somit sind die Zacken oder
Kerben eigentlich kleine Blätter eines Turbinenrades, die die notwendige Rotation
der Scheibe bewirken. Diese Konstruktion gestattet es außerdem, die Scheibe in der Kammer ohne komplizierte Dichtungen nach Art eines Labyrinthrings
vorzusehen und gestattet ein Austreten des Strömungsmediums nach dessen Auftreffen auf den Kerben oder Zacken um den Umfang des Rades 16 herum in
die Kammer hinein.
Will man in der Praxis das Strömungsmedium auf beiden Seiten des Werkstückes
15 zuführen, dann kann man eine identisch aufgebaute Vorrichtung mit einer
Scheibe 30 auf der gegenüberliegenden Seite des. Werkstückes anbringen, wobei diese Scheibe 30 eine rückwärtige Hauptfläche mit Kerben 31 aufweist, die dazu
dienen, das Rad in Rotation zu versetzen, während gleichzeitig eine Strömungsflüssigkeit oder ein Strömungsmedium gegen die rückseitige Oberfläche des
Werkstückes 15 gerichtet wird. In diesem Zusammenhang kann es erwünscht
sein, eine gegensinnige Rotation der beiden Scheiben und/oder einen unterschiedlichen
Strömungsdruck des auf gegenüberliegenden Seiten des Werkstükkes
zugeführten Strömungsmediums vorzusehen.
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Weiterhin kann es erwünscht sein, eine Druckdifferenz zwischen der Einlaßöffnung
12 und der Auslaßöffnung 13 vorzusehen, so daß sich in der Kammer 11 eine
natürliche Strömung des Strömungsmediums ausbildet.
Fernerhin kann es erwünscht sein, unter bestimmten Umständen das Gehäuse in
einer horizontalen Ebene anstatt der vertikalen Ebene wie in Fig. 1 anzuordnen. In diesem Fall kann die Halterung 14 für das Werkstück mehrere verschiedene
Formen annehmen, die jedoch für das richtige Arbeiten der Vorrichtung nicht kritisch sind.
Wird die Vorrichtung in einer horizontalen Ebene betrieben, dann kann die Strömung
des Strömungsmittels die Lagerung des Werstückes noch unterstützen, so daß nur Mittel erforderlich sind, die ein versehentliches Verschieben des Werkstücks
längs der Achse der Kammer 11 verhindern.
Wie beispielsweise aus Fig. 2 zu ersehen, kann die Halterung für die Siliciumplättchen
aus einem Paar Arme 14A und 14B bestehen, die in ihrer Schließstellung
das Plättchen 15 an seinem Umfang, in diesem Fall an drei Punkten, umgreifen.
In Betrieb wird durch die Rotation einer oder mehrerer Scheiben, wenn die
Vorrichtung zum Trocknen benutzt wird, ein rasches und gleichmäßiges Trocknen der Oberfläche eines Werkstückes, wie z.B. eines Halbleiterplättchens erreicht, da
bei Anlegen einer Strömungsmittelquelle das Strömungsmittel unter einem spitzen Winkel zur Oberfläche gegen das Werkstück gerichtet ist, so daß eventuell auf
der Oberfläche des Werkstücks vorhandene Flüssigkeit entfernt wird.
Mit der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung läßt sich also ein Werkstück
gleichförmig und rasch mit einem Strömungsmittel bearbeiten und damit trocknen.
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Claims (6)
1. Vorrichtung zum Aufbringen eines Strömungsmediums auf ein Werkstück,
gekennzeichnet durch eine in einer Kammer (10) drehbar angeordnete
Scheibe (16), durch eine Befestigungsvorrichtung (14) für ein Werkstück
(15) sowie Mittel (17>, 19, 22, 23) zur Erzielung einer schräg auf dem
Werkstück auftreffenden Flüssigkeitsströmung und weiteren Mitteln (26, 27, 31) für eine Rotation der Scheibe (16) .
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Scheibe
eine Anzahl schräger Schlitze (17 ) aufweist, die die Flüssigkeitsströmung unter einem schiefen Winkel auf das Werkstück lenken.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß in der
Scheibe mit den Schlitzen (17') verbundene Kanäle (18) und damit verbundene Leitungen (19, 23, 22) vorgesehen sind, die der Zufuhr des Strömungsmittels
an die Schlitze dienen.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Scheibe
(16) an ihrem Rand mit einer Anzahl von Zacken (26, 31) versehen ist,
die unter dem Einfluß eines Strömungsmittels der Rotation der Scheibe
dienen.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf jeder
Seite des Werkstückes (15) und seiner Halterung (14) je eine Scheibe
(17, 30) drehbar angeordnet ist und daß auch die zweite Scheibe entsprechende Schlitze (17^) aufweist, durch die ein Strömungsmittel unter
einem schiefen Winkel auf die Oberfläche des Werkstückes (15) leitbar ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß auch die
zweite Scheibe mit einer Anzahl von am Umfang angeordneten Zacken (31) versehen ist, die unter dem Einfluß eines Strömungsmittels eine Rotation
der Scheibe zu bewirken vermögen.
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Fl 973 004 ■■'■■·
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