JP6786730B2 - サブナノメートルレベルの光ベースの基板洗浄機構 - Google Patents
サブナノメートルレベルの光ベースの基板洗浄機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6786730B2 JP6786730B2 JP2019554554A JP2019554554A JP6786730B2 JP 6786730 B2 JP6786730 B2 JP 6786730B2 JP 2019554554 A JP2019554554 A JP 2019554554A JP 2019554554 A JP2019554554 A JP 2019554554A JP 6786730 B2 JP6786730 B2 JP 6786730B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- light source
- cleaning
- chamber
- shield
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 514
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 198
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims description 124
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 101
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 53
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 31
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims description 28
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 claims description 24
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 20
- 238000009987 spinning Methods 0.000 claims description 7
- 230000006378 damage Effects 0.000 claims description 6
- 239000002957 persistent organic pollutant Substances 0.000 claims description 6
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 172
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 65
- 238000013461 design Methods 0.000 description 42
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 37
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 29
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 description 22
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 22
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 16
- 230000009471 action Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 239000012636 effector Substances 0.000 description 12
- 239000010408 film Substances 0.000 description 12
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 5
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000003491 array Methods 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 4
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 108700028490 CAP protocol 2 Proteins 0.000 description 3
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- -1 aluminum (Al) Chemical class 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004812 Fluorinated ethylene propylene Substances 0.000 description 2
- 229920001774 Perfluoroether Polymers 0.000 description 2
- 125000002777 acetyl group Chemical class [H]C([H])([H])C(*)=O 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 2
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 2
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229920009441 perflouroethylene propylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000001674 Agaricus brunnescens Nutrition 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920004943 Delrin® Polymers 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZPPHXVFMVZRTE-UHFFFAOYSA-N [Kr]F Chemical compound [Kr]F VZPPHXVFMVZRTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N acetaldehyde Diethyl Acetal Natural products CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000007876 drug discovery Methods 0.000 description 1
- 238000005108 dry cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- HQQADJVZYDDRJT-UHFFFAOYSA-N ethene;prop-1-ene Chemical group C=C.CC=C HQQADJVZYDDRJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- QGOSZQZQVQAYFS-UHFFFAOYSA-N krypton difluoride Chemical compound F[Kr]F QGOSZQZQVQAYFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000002547 new drug Substances 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000011146 organic particle Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000002085 persistent effect Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000012163 sequencing technique Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 229920001059 synthetic polymer Polymers 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000012815 thermoplastic material Substances 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02098—Cleaning only involving lasers, e.g. laser ablation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
- H01L21/02046—Dry cleaning only
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/0035—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/0035—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like
- B08B7/0042—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like by laser
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67115—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/6719—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the processing chambers, e.g. modular processing chambers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68728—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a plurality of separate clamping members, e.g. clamping fingers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68764—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a movable susceptor, stage or support, others than those only rotating on their own vertical axis, e.g. susceptors on a rotating caroussel
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Description
本特許出願は、2017年2月6日に出願した「SUBSTRATE CLEANING AND DRYING MECHANISM」という名称の米国仮出願第62/455,425号、および2017年6月12日に出願した「NANOMETER-LEVEL LASER-BASED SUBSTRATE CLEANING MECHANISM」という名称の米国仮出願第62/518,311号の優先権を主張するものであり、その開示は、全体として参照により本明細書にそれぞれ組み込まれる。
テムにそれらを搬送することによって除去する。実施形態では、プロセスチャンバは、例えば、Oリングまたはラビリンスシールの複数のアレイを用いてシールされる。
次に図8を参照すると、フィンガアーム121とフィンガエンドキャップ123の組み合わせについての分離図800が示されている。基板洗浄機構に使用される基板の形状に応じて、たった1つのフィンガ/エンドキャップの組み合わせは、搭載および取出しの動作を促進するために基板から離れるように移動可能であることが必要である。例えば、円形基板(例えば、半導体ウェハ)の保持および締め付けに使用されるフィンガアーム121とフィンガエンドキャップ123の組み合わせの実施形態では、約120度で互いに離間した各フィンガを用いて基板を保持する3つのフィンガが存在する。この例では、(ロボット(図示せず)のエンドエフェクタの様々な組み合わせに対応するために2つ以上のフィンガが移動可能であり得るが)フィンガアーム121とフィンガエンドキャップ123の組み合わせのたった1つが、移動可能であることを必要とする。
図11は、図1の基板洗浄チャンバ100の代替のチャンバ設計1100を示す。図11は、以下に説明されるように、サイド排出チャンバ設計とみなされ得る。図11は、本実施形態では、マスター側1110およびスレーブ側1120(図12参照)を含むように示されている。図1に関して上述されたように、一実施形態では、チャンバ1100のスレーブ側1120は、フィンガアーム121とフィンガエンドキャップ123の組み合わせへの基板の取り付けおよび除去を促進するために、固定されたチャンバ1100のマスター側1110から離れるように移動する。流体機械的概念の多くは、図1のチャンバと同様であり得るが、代替のチャンバ設計1100は、図1のチャンバの任意選択の回転式シールドと比べて逆傾斜をそれぞれ有する左側フィン1101および右側フィン1103を有することに頼る。
流体力学(CFD)解析
基板洗浄チャンバ内のガスおよび廃液の流れをより効率的に向けようとして、チャンバの多数の物理的配置および寸法が、例えば、有限要素および有限容積解析を用いる計算流体力学(CFD)解析を用いてシミュレーションを行うことで配置および寸法の組み合わせの各々の多数の反復を用いて検討された。最初に、シミュレーションが、2次元モデルを用いて行われ、後で3次元(3D)モデルの使用に拡張され、さらに後で、3Dのシミュレーションを行うとともに第4の次元、時間を加える(それによって、流量、圧力、速度、Q条件、および当業者に知られている関心の他の流体パラメータに役立つために、時間に正確なアニメーションを作り出す)。各反復についての配置および次元の変更には、チャンバの直径の変更、チャンバの壁間の距離の変更(およびしたがって、基板からチャンバ壁までの距離の変更)、ガス流量、ガス流方向、および様々な排出経路の配置の変更が含まれた。さらなる詳細は、チャンバの様々な設計に加えられた。しかしながら、以下の説明は、関心の基板についての形状および寸法の特定のセットについてのさらなるCFDモデリング、シミュレーション、および解析について考えられる要因を当業者が理解することを可能にする。
図27Aは、(本明細書中で単に「レーザ」とも呼ばれる)レーザまたは光源、およびレーザまたは光源を基板2707へ向けるための関連した光学系の列2700の例示的な実施形態を示す。レーザおよび関連した光学系の列2700は、レーザまたはUV源2701と、任意選択のビーム形成および/またはコリメーション光学系2703と、任意選択のビーム拡大光学系2705と、レーザ/光源電源と、任意選択の光学コントローラユニット2713とを備えて示されている。これらの各構成要素は、様々な形態をとることができ、さもなければ当業者に知られている。
E=hc/λ (1)
ただし、Eはジュール単位のエネルギーであり、λはnm単位の波長であり、hはプランク定数(6.626×10−34J・s)であり、cは光の速さ(3.00×108m/s)である。
101 第1の回転式シールド、第1のシールド、回転式シールド、シールド
103 第2の回転式シールド、第2のシールド、回転式シールド、シールド
103A 第2の回転式シールド
103B 第2の回転式シールド
105 第1のモータ
107 第2のモータ
109 アクチュエータ機構
111 第1の側のガス入口
113 第2の側のガス入口
115 レーザ
117 レーザ
119 基板
120 動作位置
121 フィンガアーム
123 フィンガエンドキャップ、フィンガキャップ
125 開口部
127 第1の側の液体供給ライン
129 第2の側の液体供給ライン
140 搭載位置
200 外側チャンバ、チャンバ
201 外側チャンバ
203 第1のサーボ機構
205 第2のサーボ機構
207 貯槽
209 ガスポンプ
211 ポンプ制御機構
213 排出チャネル
215 第1の側のガス分散機構、ガス分散機構
217 第2の側のガス分散機構、ガス分散機構
219 レーザビーム、レーザ
303 軸受
305 ガスマニホールド
401 300mmウェハ、ウェハ
403 シールドマニホールド間隙
405 シールド開口部
409 距離
411 軸中心線
500 3次元チャンバ、チャンバ
501 第1のフィルタユニット、フィルタユニット
503 第2のフィルタユニット、フィルタユニット
505 直線トラック
507 排出ポート、ガス排出ポート
509 基板存在センサ
510 第1の部分
530 第2の部分
600 内部
601 タービンブレード機構
700 プロセスレシピ
800 分離図
801 通常動作位置
803 第1の別の位置、別の位置
805 カムハウジング
807 移動可能なフィンガ
901 プッシャ
903 カムフォロア
905 カムフォロア面
907 カム戻しフィンガ
909 カム戻しばね
911 下側カム面構造
913 アパーチャ
915 枢支点
917 第2の別の位置
1001 アクチュエータ機構
1003 小さいばね
1031 ドレンエリア
1100 チャンバ、代替のチャンバ設計
1101 左側フィン、フィン
1103 右側フィン、フィン
1105 支持構造
1107 軸中心線
1109 エリア
1110 マスター側
1111 ガス分散デバイス
1113 多孔性エリア
1115 排出エリア
1119 多孔性エリア
1120 スレーブ側
1121 ガス入口チャネル
1123 中心線位置
1205 直線トラック
1207 ガス排出ライン
1209 ガス供給ライン
1300 断面内側チャンバ図、内側チャンバ図
1301 排出エリア
1303 廃液およびガス排出エリア、ガス排出エリア
1305 チャンバ内側コアエリア
1307 空気ナイフ分離エリア
1500 寸法
1601 排出チャネル
1700 計算図表
2403 フィルタ処理済み空気
2405 下側部分
2501 タービンディスク
2503 タービンフィン
2505 開口部
2551 切断ツール
2700 光学系の列
2701 レーザまたはUV源
2703 ビーム形成および/またはコリメーション光学系
2705 ビーム拡大光学系
2707 基板
2709 コーン
2711 ライン
2713 レーザ/光源電源および光学コントローラ
2715 ガス流
2751 長い螺旋
Claims (25)
- 基板洗浄機器であって、
基板を保持して様々な速さで回転させるように構成された基板ホルダと、
前記基板洗浄機器の動作中に前記基板ホルダを少なくとも部分的に囲むように構成された内側シールドおよび外側シールドであって、前記内側シールドおよび前記外側シールドの各々は、他方のシールドから回転速さおよび方向のうちの少なくとも一方で互いに独立して動作するように構成されている、内側シールドおよび外側シールドと、
正面側光源および背面側光源であって、前記正面側光源および前記背面側光源の各々は、前記基板の少なくとも1つの面から粒子および有機汚染物質を除去するために、少なくとも1つの波長の光を前記基板の前記少なくとも1つの面へ発して当てるように構成され、前記正面側光源および前記背面側光源の各々は、前記基板から前記粒子および前記有機汚染物質を除去するとともに前記基板のいかなる表面にも損傷を引き起こさないように前記基板のために選択されたエネルギーレベルを有する、正面側光源および背面側光源と、
を備える機器。 - 洗浄プロセス中に作り出されるプロセス廃液を収容する外側チャンバをさらに備える、請求項1に記載の機器。
- 前記外側チャンバは、洗浄プロセス中に大気圧で動作するように構成されている、請求項2に記載の機器。
- 前記外側チャンバは、洗浄プロセス中に真空で動作するように構成されている、請求項2に記載の機器。
- 前記正面側光源および前記背面側光源の各々は、レーザを備える、請求項1に記載の機器。
- 前記正面側光源および前記背面側光源の各々は、エキシマランプを備える、請求項1に記載の機器。
- 前記基板の両面とともに前記基板の縁をほぼ同時に洗浄するように構成されている、請求項1に記載の機器。
- 前記正面側光源および前記背面側光源は、光源のアレイをそれぞれ備える、請求項1に記載の機器。
- 前記正面側光源および前記背面側光源は、前記基板の表面全体に光を同時に照射するように構成される複数の光源をそれぞれ含む、請求項1に記載の機器。
- 前記基板ホルダが、前記基板を垂直に保持するように構成され、
前記内側シールドおよび前記外側シールドは、垂直に動作するように構成されている、請求項1に記載の機器。 - 洗浄動作によって作り出される廃液を除去するために、前記基板洗浄機器内で回転するように構成される少なくとも1つのタービンディスクをさらに備え、前記少なくとも1つのタービンディスクが、複数の離間したフィンを有し、前記フィンの各々が、前記タービンディスクの周辺内で前記タービンディスクの前記周辺の近くに前記タービンディスクを貫いて形成された開口部によって隣り合うフィンから分離され、前記廃液が、前記基板と、前記基板を囲む前記内側シールドと前記外側シールドとの間の空間と、の両方から離れるように前記開口部を通り排除される、請求項1に記載の機器。
- 前記正面側光源および前記背面側光源は、前記基板の面の位置から離れるように約12mmから約75mmまでの範囲内にそれぞれ位置する、請求項1に記載の機器。
- 前記正面側光源および前記背面側光源は、前記基板の面の位置から離れるように約25mmから約100mmまでの範囲内にそれぞれ位置する、請求項1に記載の機器。
- 基板を保持して様々な速さで回転させるように構成された基板ホルダと、
正面側レーザおよび背面側レーザであって、前記正面側レーザおよび前記背面側レーザの各々が、前記基板のそれぞれの側および前記基板の縁をほぼ同時に洗浄するように構成され、前記正面側レーザおよび前記背面側レーザの各々は、前記基板を洗浄するとともに前記基板のいかなる表面にも損傷を引き起こさない、前記基板のためのエネルギーレベルを有する、正面側レーザおよび背面側レーザと、
前記基板ホルダに結合されるとともに洗浄動作中に作り出された廃液を除去するように構成された少なくとも1つのタービンディスクであって、前記少なくとも1つのタービンディスクが、複数の離間したフィンを有し、前記フィンの各々が、前記タービンディスクの周辺内で前記タービンディスクの前記周辺の近くに形成された前記タービンディスクを貫いて開口部によって隣り合うフィンから分離され、前記廃液が、前記基板と、前記基板を囲む前記内側シールドと前記外側シールドとの間の空間と、の両方から離れるように前記開口部を通り排除される、タービンディスクと、
を備える基板洗浄機器。 - 前記正面側レーザおよび前記背面側レーザは、前記基板の少なくとも半径を横切る光のビームを形成するようにそれぞれ構成される、請求項14に記載の基板洗浄機器。
- 前記正面側レーザおよび前記背面側レーザは、前記基板に対する光のスポットを形成するようにそれぞれ構成され、前記正面側レーザおよび前記背面側レーザは、前記基板が回転する間に、前記基板の側方にかつ前記基板にほぼ平行に移動するようにさらに構成され、それにより、前記光のスポットが、前記光のスポットが前記基板を横切って走査されるときにアルキメデスの螺旋を形成する、請求項14に記載の基板洗浄機器。
- 前記正面側レーザおよび前記背面側レーザのための波長の範囲は、172nmから348nmまでである、請求項14に記載の基板洗浄機器。
- 前記正面側レーザおよび前記背面側レーザのための波長の範囲は、150nmから190nmまでである、請求項14に記載の基板洗浄機器。
- 前記正面側レーザおよび前記背面側レーザのうちの少なくとも一方は、連続ビームとして前記基板上に投射されるように構成されている、請求項14に記載の基板洗浄機器。
- 前記正面側レーザおよび前記背面側レーザのうちの少なくとも一方は、パルスビームとして前記基板上に投射されるように構成されている、請求項14に記載の基板洗浄機器。
- 基板洗浄機構内の基板を洗浄する方法であって、
前記基板洗浄機構内に基板を取り付けるステップと、
前記基板を第1の回転速度で回転させるステップと、
前記基板を洗浄するとともに前記基板のいかなる表面にも損傷を引き起こさないように1つまたは複数の光源のためのエネルギーレベルを選択するステップと、
少なくとも正面側光源および背面側光源によって前記1つまたは複数の光源を前記基板の第1の面、第2の面、および縁に当てて前記基板から粒子および有機汚染物質を除去するステップと、
を含む方法。 - 前記正面側光源および前記背面側光源の各々によって付与される光子エネルギーレベルを事前決定することによって前記エネルギーレベルを選択するステップをさらに含む、請求項21に記載の方法。
- 前記基板洗浄機構を真空までポンプするステップをさらに含む、請求項21に記載の方法。
- 前記正面側光源および前記背面側光源のうちの少なくとも一方を前記基板の側方にかつ前記基板にほぼ平行に移動させるステップと、
前記基板の回転を継続するステップと.
をさらに含む、請求項21に記載の方法。 - 前記基板ホルダを囲む第1の回転式シールドを第1のシールド回転速度でスピンさせるステップと、
前記基板ホルダを囲む第2の回転式シールドを第2のシールド回転速度でスピンさせるステップと、
をさらに含む、請求項21に記載の方法
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762455425P | 2017-02-06 | 2017-02-06 | |
US62/455,425 | 2017-02-06 | ||
US201762518311P | 2017-06-12 | 2017-06-12 | |
US62/518,311 | 2017-06-12 | ||
PCT/US2018/016860 WO2018145001A1 (en) | 2017-02-06 | 2018-02-05 | Subnanometer-level light-based substrate cleaning mechanism |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020505783A JP2020505783A (ja) | 2020-02-20 |
JP6786730B2 true JP6786730B2 (ja) | 2020-11-18 |
Family
ID=63040158
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019554554A Active JP6786730B2 (ja) | 2017-02-06 | 2018-02-05 | サブナノメートルレベルの光ベースの基板洗浄機構 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11069521B2 (ja) |
EP (1) | EP3577682A4 (ja) |
JP (1) | JP6786730B2 (ja) |
KR (1) | KR102226084B1 (ja) |
CN (1) | CN110603629B (ja) |
SG (1) | SG11201906905XA (ja) |
TW (1) | TWI760430B (ja) |
WO (1) | WO2018145001A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG11201906903PA (en) | 2017-02-06 | 2019-08-27 | Planar Semiconductor Inc | Sub-nanometer-level substrate cleaning mechanism |
TWI770115B (zh) | 2017-02-06 | 2022-07-11 | 新加坡商平面半導體公司 | 加工汙水之去除 |
CN110603629B (zh) | 2017-02-06 | 2022-04-29 | 平面半导体公司 | 亚纳米级光基基板清洁机构 |
KR102379215B1 (ko) * | 2017-10-31 | 2022-03-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 레이저 장치 |
KR20200127078A (ko) * | 2019-04-30 | 2020-11-10 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 방법, 기판 처리 장치 및 기판 처리 설비 |
CN111640692B (zh) * | 2020-04-26 | 2023-10-10 | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 | 一种晶圆的清洗辅助装置及清洗装置 |
US12068184B2 (en) * | 2021-04-22 | 2024-08-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company., Ltd. | Calibration pod for robotic wafer carrier handling and calibration performed using same |
USD1037522S1 (en) | 2022-11-30 | 2024-07-30 | Eaton Intelligent Power Limited | Floodlight |
Family Cites Families (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3849906A (en) * | 1973-11-07 | 1974-11-26 | Ibm | Rotary fluid applicator |
US5531857A (en) * | 1988-07-08 | 1996-07-02 | Cauldron Limited Partnership | Removal of surface contaminants by irradiation from a high energy source |
JPH04119524A (ja) | 1990-09-10 | 1992-04-21 | Fuji Electric Co Ltd | 回転表面処理装置 |
JPH07192996A (ja) | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 紫外線照射装置 |
JPH1064864A (ja) | 1996-08-21 | 1998-03-06 | Nikon Corp | 洗浄装置 |
JP3924828B2 (ja) | 1996-12-26 | 2007-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | 結晶性半導体膜の製造方法、および薄膜トランジスタの製造方法 |
JPH10189499A (ja) * | 1996-12-27 | 1998-07-21 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH10242098A (ja) * | 1997-03-03 | 1998-09-11 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | ウエハ清浄化装置及びウエハ清浄化方法 |
JPH1126410A (ja) | 1997-06-30 | 1999-01-29 | Nikon Corp | 洗浄装置 |
JP2000124181A (ja) | 1998-10-13 | 2000-04-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
US6516816B1 (en) | 1999-04-08 | 2003-02-11 | Applied Materials, Inc. | Spin-rinse-dryer |
JP2001113163A (ja) * | 1999-10-20 | 2001-04-24 | Hoya Schott Kk | 紫外光照射装置及び方法 |
JP3620016B2 (ja) | 1999-10-25 | 2005-02-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
US6225235B1 (en) | 2000-02-18 | 2001-05-01 | Horst Kunze-Concewitz | Method and device for cleaning and etching individual wafers using wet chemistry |
KR100348701B1 (ko) * | 2001-12-07 | 2002-08-13 | 주식회사 아이엠티 | 건식 표면 클리닝 장치 |
KR100457053B1 (ko) * | 2002-07-30 | 2004-11-10 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 세정 장치 |
JPWO2004061926A1 (ja) | 2003-01-06 | 2006-05-18 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法及び製造装置 |
US20050170653A1 (en) * | 2003-01-06 | 2005-08-04 | Fujitsu Limited | Semiconductor manufacturing method and apparatus |
US20040224508A1 (en) | 2003-05-06 | 2004-11-11 | Applied Materials Israel Ltd | Apparatus and method for cleaning a substrate using a homogenized and non-polarized radiation beam |
US20050026455A1 (en) | 2003-05-30 | 2005-02-03 | Satomi Hamada | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
EP3098835B1 (en) * | 2004-06-21 | 2017-07-26 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method and device manufacturing method |
JP2006066501A (ja) | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | スピン洗浄乾燥装置及びスピン洗浄乾燥方法 |
US10179351B2 (en) | 2005-02-07 | 2019-01-15 | Planar Semiconductor, Inc. | Method and apparatus for cleaning flat objects with pulsed liquid jet |
US20090075060A1 (en) | 2005-02-16 | 2009-03-19 | Miller James R | Adsorptive coating formulation |
TW200807520A (en) | 2006-03-24 | 2008-02-01 | Applied Materials Inc | Methods and apparatus for cleaning a substrate |
KR100749543B1 (ko) | 2006-03-28 | 2007-08-14 | 세메스 주식회사 | 기판 세정 장치 및 그 세정 방법 |
TWI378502B (en) | 2006-06-12 | 2012-12-01 | Semes Co Ltd | Method and apparatus for cleaning substrates |
KR100787996B1 (ko) | 2006-06-16 | 2007-12-21 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 상기 장치로부터 처리액을 회수하는방법 |
KR100757848B1 (ko) | 2006-06-16 | 2007-09-11 | 세메스 주식회사 | 매엽식 기판 처리 장치 |
US9418831B2 (en) | 2007-07-30 | 2016-08-16 | Planar Semiconductor, Inc. | Method for precision cleaning and drying flat objects |
US7993464B2 (en) * | 2007-08-09 | 2011-08-09 | Rave, Llc | Apparatus and method for indirect surface cleaning |
JP2009147061A (ja) | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Realize Advanced Technology Ltd | 基板処理方法 |
CN101540268B (zh) | 2008-03-20 | 2012-12-05 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 用于清洗半导体晶片的方法和装置 |
JP5151629B2 (ja) | 2008-04-03 | 2013-02-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄方法、基板洗浄装置、現像方法、現像装置及び記憶媒体 |
US20110083696A1 (en) * | 2009-10-08 | 2011-04-14 | Nuventys Inc. | Laser Induced Shockwave Surface Cleaning |
US20110147350A1 (en) | 2010-12-03 | 2011-06-23 | Uvtech Systems Inc. | Modular apparatus for wafer edge processing |
US9638179B2 (en) | 2012-12-04 | 2017-05-02 | General Electric Company | Hydraulic control system for a reverse osmosis hydraulic pump |
WO2014201097A1 (en) | 2013-06-12 | 2014-12-18 | Firth Rixson Limited | Cooling systems for heat-treated parts and methods of use |
JP6234736B2 (ja) | 2013-08-30 | 2017-11-22 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | スピン処理装置 |
JP6341035B2 (ja) | 2014-09-25 | 2018-06-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理方法、基板液処理装置、及び記憶媒体 |
CN110603629B (zh) | 2017-02-06 | 2022-04-29 | 平面半导体公司 | 亚纳米级光基基板清洁机构 |
TWI770115B (zh) | 2017-02-06 | 2022-07-11 | 新加坡商平面半導體公司 | 加工汙水之去除 |
SG11201906903PA (en) | 2017-02-06 | 2019-08-27 | Planar Semiconductor Inc | Sub-nanometer-level substrate cleaning mechanism |
-
2018
- 2018-02-05 CN CN201880023871.1A patent/CN110603629B/zh active Active
- 2018-02-05 WO PCT/US2018/016860 patent/WO2018145001A1/en active Application Filing
- 2018-02-05 SG SG11201906905XA patent/SG11201906905XA/en unknown
- 2018-02-05 JP JP2019554554A patent/JP6786730B2/ja active Active
- 2018-02-05 US US16/478,432 patent/US11069521B2/en active Active
- 2018-02-05 KR KR1020197026025A patent/KR102226084B1/ko active IP Right Grant
- 2018-02-05 TW TW107104053A patent/TWI760430B/zh active
- 2018-02-05 EP EP18748631.1A patent/EP3577682A4/en not_active Withdrawn
-
2021
- 2021-06-17 US US17/350,869 patent/US11830726B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11069521B2 (en) | 2021-07-20 |
US11830726B2 (en) | 2023-11-28 |
EP3577682A1 (en) | 2019-12-11 |
EP3577682A4 (en) | 2020-11-25 |
KR20200011928A (ko) | 2020-02-04 |
CN110603629A (zh) | 2019-12-20 |
SG11201906905XA (en) | 2019-08-27 |
CN110603629B (zh) | 2022-04-29 |
US20200219722A1 (en) | 2020-07-09 |
KR102226084B1 (ko) | 2021-03-09 |
TWI760430B (zh) | 2022-04-11 |
US20210313173A1 (en) | 2021-10-07 |
JP2020505783A (ja) | 2020-02-20 |
TW201843762A (zh) | 2018-12-16 |
WO2018145001A1 (en) | 2018-08-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6786730B2 (ja) | サブナノメートルレベルの光ベースの基板洗浄機構 | |
JP6786732B2 (ja) | サブナノメートルレベルの基板洗浄機構 | |
JP6961015B2 (ja) | プロセス廃液の除去 | |
JP5694118B2 (ja) | 液処理装置および液処理方法 | |
JP2005294835A (ja) | 基板とメニスカスとの境界面およびその取り扱い方法 | |
JP5518756B2 (ja) | 液処理装置 | |
JP5734409B2 (ja) | 処理ツールにおける粒子数減少のための空気流管理システム及び空気流管理システムを提供する方法 | |
JP2008226991A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2013004662A (ja) | 液処理装置および液処理方法 | |
JP4781253B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
KR20220069187A (ko) | 지지 유닛 및 기판 처리 장치 | |
KR20140046719A (ko) | 레이저 가공장치 | |
JP5248633B2 (ja) | 液処理装置および液処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A529 | Written submission of copy of amendment under article 34 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A529 Effective date: 20191001 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191001 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20191001 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20200123 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200217 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20200515 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200817 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200831 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20200929 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201028 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6786730 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |