DE2325457B2

DE2325457B2 - Vorrichtung zum Messen der Dicke eines transparenten Objektes

Info

Publication number: DE2325457B2
Application number: DE2325457A
Authority: DE
Inventors: Gabor Ujhelyi Bristol Conn. Kalman (V.St.A.)
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1972-05-22
Filing date: 1973-05-19
Publication date: 1975-01-30
Also published as: JPS4943660A; US3807870A; DE2325457A1; GB1430426A; DE2325457C3; JPS5435503B2

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Massen der Dicke eines transparenten Objekts, wobei ein von einer Strahlungsquelle ausgesandtes Strahlenbündel schräg auf das zu prüfende Objekt gerichtet und das von der vorderen und der hinteren Objektfläche reflektierte Strahlenbündel durch ein statisches optisches Systern, z. B. eine Sammellinse, im Weg der beiden reflektierten Strahlenbündel auf eine Sensorplatte geworfen wird, dl·* quer zu den beiden reflektierenden Strahlenbündel angeordnet ist und eine Gruppe mehrerer in Reihe nebeneinanderliegender strahlungsempfindliche Elemente aufweist.

Bei einer bekannten Vorrichtung dieser Art ist zwischen die Sammellinse und die Gruppe strahlungsempfindlicher Elemente eine Blendeneinrichtung geschaltet, die eine Anzahl von Schlitzpaaren aufweist. Diese Blendeneinrichtung ist als umlaufende Blendenscheibe ausgebildet. Bei der bekannten Vorrichtung wird also ein rotierendes optisches System verwendet, das nicht nur in der Praxis Justierschwierigkeiten mit sich bringt und aufwendig und teuer, sondern auch störanfällig ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die bekannten Vorrichtungen der vorbeschriebenen Art dahingehend zu verbessern, die mechanische Abtastbewegung, die erforderlich ist, um die Trennung der reflektierten Strahlenbündel in ein Zeitintervall umzusetzen, das als Maß für die Dicke des Objektes genommen werden kann, in Fortfall zu bringen.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung erreicht durch stationär im Wege der Strahlenbündel zwischen dem Objekt und der Sensorpiatte liegende optische Elemente, in einer geraden Linie und in gleichen Abständen voneinander auf der Sensorplatte angeordnete, strahlungsempfindliche Elemente, so daß durch Bewegen der Gruppe um¹ des Objektes in relative Stellung zueinander das erste und das zweite Strahlenbündel auf ein beliebiges erstes und ein beliebiges zweites der strahlungsempfindlich»^ Elemente auftritt, durch elektronische Detektoreinrichtungen einschließlich eines Schwellwertdetektors, die, wenn das von einem strah luhgsempfindlichen mit diesen verbundene» Elemen erzeugte elektrische Signal einen Schwellwert über steigt, einen Triggerrlmpuls erzeugen, durch einen der Schwellwertdetektor aufeinanderfolgend und wieder holt mit jedem der strahlungsempfindlichen Element« verbindenden Abtaster, durch eine mit dem Schwell wertdetektor verbundene, bei jeder Abtastung durch den ersten, vom ersten Strahlenbündel erzeugten Trigger-Impuls öffnende und durch den zweiten, vom zweiten Strahlenbündel erzeugten Trigger-Impuls bei jedei Abtastung schließende Torschaltung und durch eine mit der Torschaltung verbundene Meßeinrichtung, die das Zeitintervall zwischen den beiden Trigger-Impulsen als Maß für den Abstand zwischen den beiden reflektierenden Strahlenbündel bzw. die Objektdickc erfaßt

Durch diese Anordnung werden gewissermaßen beide reflektierenden Strahlenbündel »ins Bild gebracht«, d. h. beide auf je einem Element der Gruppe abgebildet. Nun bildet sich allerdings jedes reflektierende Strahlenbündel infolge seiner Breite sowie auch auf Grund von Störungen der Schwingungen des Objektes u. dgl.. nicht nur auf einem einzigen Element, sondern einer Teilgruppe solcher Elemente ab, wobei die mittlere Lage des reflektierenden Strahlenbündels gegenüber den strahlungsempfindlichen Elementen dadurch genau definiert ist, daß das an dieser Stelle befindliche Element am stärksten von allen Elementen der Teilgruppe beaufschlagt wird und folglich auch die größte elektrische Ladung bzw. Spannung bei diesem Element auftritt. Wesentlich ist nun gegenüber den Vorrichtungen zum Stande der Technik, daß es bei dieser Anordnung nicht mehr erforderlich ist, daß erste, von der vorderen Fläche reflektierte Strahlenbünde! auf ein ganz bestimmtes erstes Element zu richten. Das wäre im Prinzip auch bei dieser Anordnung sicherlich ,tiöglich, aber im praktischen Betrieb nicht auf die Dauer einzuhalten, da sich das Objekt oder die Vorrichtung oder beide durch Erschütterungen, Temperaturänderungen od. dgl. geringfügig gegeneinander verschieben können. Das führt bei den bekannten Vorrichtungen dann bereits zu Fehlmessungen oder, will man diese vermeiden, zum Erfordernis einer exakten Nachjustierung. Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung genügt es dagegen, wenn beide reflektierten Strahlenbündel so auf die Gruppe strahlungsempfindlicher Elemente auftreffen, daß die erregten Einzelelemente bzw. die diese umgebenden Teilgruppen innerhalb der Gesamtgruppe liegen. Auf Grund der verschiedenen Ladung bzw. der sich daraus ergebenden verschiedenen elektrischen Spannung gelingt es nun elektronisch leicht, das Mittelelement aus dieser Gruppe abzutrennen. Diese Aufgabe wird von einer angeschlossenen elektronischen Meßeinrichtung gelöst, die auch den Abstand der beiden losgek'jten Zentralelemente voneinander be stimmt.

Über die genannten Merkmale hinausgehende Einzelheiten zur Weiterbildung der Erfindung und Ausbildung der elektronischen Meßvorrichtung und die Abtastung der Elemente durch diese Vorrichtung ergeben sich aus den Unteransprüchen. Ausführungsbetspiele der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind in der Zeichnung dargestellt. In dieser zeigt

F i g. 1 eine schematische Darstellung des ersten Teils des Meßinstrumentes,

F i g. 2 eine schematische Darstellung des zweiten Teils des Meßinstrumentes

F i g. 3 eine schematische Darstellung der Wege der Strahlenbündel des Instrumentes,

Fig.4 eine Einzelheit des ersten Teils des Meßinstrumentes,

Fig.5 eine Ansicht der auf der Sensorplatte angeordneten Gruppe strahlungsempfindlichcr Elemente.

F i g. 6 eine schematische Darstellung einer Alternativausführung des ersten Teils des Meßinstrumentes,

F i g. 7 eine grafische Darstellung von elektronischen Signalen zur Unterstützung der Erläuterung der Funktion des Instrumentes,

F i g. 8 ein Blockschaltbild der elektronischen Meßvorrichtung und

F i g. 9 ein Blockschaltbild einer Variante.

Wird ein Strahlenbündel unter einem spitzen Winkel auf die Fläche einer transparenten Platte geworfen, so reflektiert sowohl die hintere als auch die vordere Fläche einen Teil des Strahlenbündels und demzufolge wird ein doppeltes Abbild des Strahlenbündels reflektiert. Die Verschiebung der beiden Abbilder oder der reflektierten Strahlenbündel ist eine Funktion der Brechungszahl des Werkstoffs, des Einfallwinkels des Strahlenbündels und der Dicke des Werkstoffs. Für einen bestimmten Werkstoff und einen konstanten Einfallwinkel ist der Abstand zwischen den reflektierten Strahlenbündeln proportional zur Dicke des Objekts.

Die in F i g. 1 und 2 schematisch dargestellte Vorrichtung zum Messen der Dicke eines transparenten Objekts umfaßt einen ersten Teil 10, der an ein Objekt 12 angenähert wird, und einen zweiten Teil 14. der zweckmäßigerweise mehrere Meter vom ersten Teil 10 entfernt angeordnet ist. Im zweiten, kastenförmigen Teil 14 ist eine Lichtquelle hoher Intensität angeordnet, deren Strahlen über eine Linse 18 zum Eingangsende eines optischen Faserkabels 20 gerichtet werden, das sich zum ersten, ebenfalls kastenförmigen Teil 10 der Vorrichtung hin erstreckt. Außer dieser Verbindung durch das optische Faserkabel 20 sind beide kastenförmigen Teile 10, 14 durch ein elektrisches Kabel 22 miteinander verbunden.

Der erste Teil 10 umfaßt ein dichtes Gehäuse 24 mit einem Fenster 26 aus transparentem Werkstoff, wie Quarz, vor das ein Objekt 12 gebracht werden kann. Das Objekt 12 ist bei dem in der Zeichnung dargestellten Ausführung^ cispiel die Wand eines Behälters aus transparentem Werkstoff. Das optische Faserkabel 20 endet an einer Seite des Fensters 26 und steht im spitzen Winkel zu diesem. Eine Sammellinse 28 liegt auf der anderen Seite des Fensters 26, so daß ein vom Faserkabel 20 auf das Objekt 12 gerichtetes Strahlenbündel 42, das von der vorderen und der hinteren Fläche des Objekts reflektiert wird, durch diese gebrochen wird. Die reflektierten Strahlenbündel werden durch die Linse 28 auf eine Sensorplatte 30 geworfen, die auf der Oberfläche einer Platte 32 wie gedruckte Schaltungen 34 und 36 angeordnet sind

In F i g. 3,4 und 5 sind die Wege der Strahlenbündel im einzelnen unter Bezugnahme auf die Sensorplatte 30 dargestellt Es ist erwünscht, ein Strahlenbündel mit einem Querschnitt zu erzeugen, der im Vergleich zu seiner Breite lang ist Aus diesem Grunde ist vor dem optischen Faserkabel 20 ein Schirm 38 mit einem Schlitz 40 angeordnet durch den ein Strahlenbündel mit einer Breite von etwa 0,25 mm austritt Das Strahlenbündel 42 wird in einem spitzen Winkel auf das Objekt 12 gerichtet und ein Teil wird von der vorderen Fläche des Objekts als ein reflektiertes Strahlenbündel 44 reflektiert, während ein anderer Teil des Strahlenbündels 42 den Werkstoff des Objekts durchdringt und von dessen hinterer Fläche als reflektiertes Strahlenbündel 46 zurückgestrahlt wird. Aus Deutlichkeitsgründen sind in Fig.3 der Zeichnung die Strahlenbündel nur als Linien dargestellt. Die reflektierten Strahlenbündel 44 und 46 verlaufen im wesentlichen parallel zueinander und in einem Abstand voneinander, der proportional zur Dicke des Objekts 12 ist. Die Linse 28 sammelt die Strahlenbündel 44 und 46 auf eine Gruppe

ίο von strahlungsempfindlichen Elementen 12, die in einer Linie mit gleichen Abständen voneinander auf der Oberfläche der Sensorplatte 12 angeordnet sind. Wie der F i g. 5 zu entnehmen ist, besteht die Gruppe 50 aus einer Vielzahl von strahlungsempfindlichen Elementen

52. die in einer geraden Linie und in engem Abstand voneinander angeordnet sind. Bei dem in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Elemente in Form einer integrierten Schaltung aufgebracht, die 64 strahlungsempfindliche Elemente umfaßt.

die jeweils eine Größe von 0,05 mm im Quadrat besitzen und mit ihren Mitten in einem Abstand von 0,05 mm voneinander entfernt liegen. Aus F i g. 5 ist ersichtlich, daß die Strahlenbündel 44 und 46 eine solche Querschnittsabmessungs haben, daß jedes Strahlenbündel mehr als eines der strahlungsempfindlichen Elemente 52 gleichzeitig trifft.

In F i g. 6 ist eine andere Ausführungsform eines ersten Teils der Vorrichtung veranschaulicht, der besonders zum Messen der Dicke eines Objekts 12' geeignet ist. beispielsweise eines Behälters, der eine gekrümmte Wand hat und weiter von der Scheibe entfernt ist, beispielsweise mehrere Zentimeter. Das optische Faserkabel 20 endet im Gehäuse 24 und das aus diesem austretende Strahlenbündel, wie es durch den Schirm 38 gebildet wird, wird durch eine Linse 62 auf einen mit der Vorderseite reflektierenden Spiegel 64 und von diesem durch das Fenster 26 auf die Oberfläche des Objekts 12' gerichtet. Ein weiterer mit seiner Vorderseite reflektierender Spiegel 66 ist an der gegenüberliegenden

Gehäuseseite vorgesehen, um die von der vorderen und hinteren Fläche des Objekts 12' reflektierten Strahlenbündel zu richten. Die reflektierten Strahlenbündel werden von diesem Spiegel 66 durch eine Sammellinse 68 auf die Oberfläche der Sensorplatte 30 gerichtet.

Die elektronischen Schaltkreise der Vorrichtung werden unter Bezugnahme auf Fig. 7, 8 und 9 beschrieben. Bei dem in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel umfassen die elektronischen Schaltkreise Sensor-Abtastschaltkreise, die Trigger-Spannungen erzeugen, die durch ein Zeitintervall voneinander getrennt sind, das proportional der räumlichen Versetzung der reflektierten Strahlenbündel ist Ferner umfassen die elektronischen Schaltkreise eine Meßeinrichtung, die die zeitlich versetzten Trigger-Spannungen in

elektrische Signale umformt, die eine Größe haben, die der räumlichen Versetzung der Strahlen und damit der Dicke des Werkstoffs entspricht In F i g. 8 der Zeichnung sind die Sensorabtastkreise zusammen mit einer Meßeinrichtung dargestellt In der vorstehend erläuterten von der Sensorplatte getragenen Gruppe 50 ist jedes der strahlungsempfindlichen Elemente 52 durch eine auftreffende Strahlung aufladbar, d h. gibt eine Spannung ab. Diese Wirkung ist in F i g. 7 dargestellt in der die Ladungen der Elemente durch Linien dargestellt sind Wie bereits erläutert, umfaßt die Gruppe 64 Elemente. Jede vertikale Linie 72 in F i g. 7 stellt ein Element dar. Jene Elemente, die von dem reflektierten Strahlenbündel 46 getroffen werden, werden aufgela-

den und erzeugen einen Spannungsimpuls 74. In gleicher Weise bewirkt das reflektierte Strahlenbündel 44 einen Spannungsimpuls 76. Da in den Strahlenbündel 44 und 46 die Intensität der Strahlung nicht gleichmäßig ist, wird ein Spitzenwert in der Mittelachse der Strahlenbündel auftreten, v/ie dies durch die Spannungsimpulse 74 und 76 angedeutet ist.

Ein abtaster, der der Deutlichkeit wegen als getrennter Block im Diagramm in F i g. 8 dargestellt ist, ist in der Praxis in die Schaltung der Gruppe 50 integricrt. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird jedes Element durch den Abtaster 78 getrennt und aufeinanderfolgend geschaltet. In diesem Ausführungsbeispiel umfaßt der Abtaster ein taktgesteuertes Verschiebungsregistcr. Infolgedessen bewirken die Takt- oder Zeitkreise 80 einen Taktimpuls für den Abtaster 78. Der Ausgang des Abtasters ist mit einem Verstärker 82 verbunden, der einen Schaltkreis bildet, der den Spitzenwert jedes einzelnen Impulses feststellt und hält und damit für die Impulsgruppen 74 und 76 eine Treppenform schafft. Die Zeitkreise 80 slehen mit dem Schaltkreis des Verstärkers 82 in Verbindung, um diesen vor dem Schalten des nächsten strahlungsempfindlichen Elements auf Null zurückzustellen. Der Ausgang des Verstärkers 82 ist mit einem Schwellwertdetektor 84 verbundcn. der beim Auftreten einer bestimmten Schwellwcrtgröße 77 während eines Spannungsanstiegs einen Trigger-Impuls erzeugt. Infolgedessen bewirkt jede Impulsg-uppe 74 und 76 in F i g. 7 daß der Schwellwertdetektov 84 jeweils nur eine einzige Trigger-Spannung erzeugt. Der Ausgang des Schwellwertdetektors 84 ist mit einer bistabilen Trigger-Schaltung 86 verbunden, die Schalt-Trigger-Spannungen erzeugt, die den Schwellwert-Trigger-Spanniingen entsprechen. Der Ausgang der bistabilen Trigger-Schaltung 86 ist mit einer Torschaltung 88 verbunden, die während jeder Abtastung beim Auftreten des ersten Schwellwerts geöffnet und beim Auftreten des zweiten Schwellwerts geschlossen wird, wie F i g. 7 zeigt. Die bistabile Trigger-Schaltung 86 und die Torschaltung 88 sind getrennt mit den Takt- und Zeitkreisen 80 verbunden, um die Trigger-Schaltung 86 am Ende jeder Abtastung zurückzustellen und um die Torschaltung 88 am Ende jeder Abtastung zu schließen. Obgleich diese Funktion nicht entscheidend ist. ist sie vorgesehen, um ein zusätzliches Maß an Sicherheit in der Funktion zu schaffen und zwar für den unwahrscheinlichen Fall, daß das Auftreten des zweiten Schwellwerts während einer Abtastung durch den Schwellwertdetektor nicht erfaßt wird.

Die Torschaltung 88 kann als erste Stufe der Meßeinrichtung angesehen werden, die zum Umwandeln der zeitlich versetzten Trigger-Spannungen in eine Analogspannung dient, deren Größe der Dicke des zu messenden Objekts entspricht. Die Spannungsquelle 90, vorzugsweise eine Gleichstromquelle, ist mit dem Eingang der Torschaltung verbunden, deren Ausgang an den Eingang eines Integrators 92 angeschlossen ist. Dieser schafft eine Rampenspannung, die eine Größe hat, die proportional der Zeit ist, während der die Gleichstromquelle 90 Ober die Torschaltung 88 mit dem Integrator 92 verbunden ist. Auf diese Weise gibt der Integrator 92 eine Ausgangsspannung ab, die proportional zum Zeitintervall zwischen den Trigger-Impulsen und damit zur Dicke des Objekts ist. Die Takt- und Zeitkreise 80 stehen auch mit dem Integrator 92 in Vcrbindung, um diesen am Ende jeder Abtatung auf Null zurückzustellen. Der Ausgang des Integrators 92 ist an den Eingang eines Schaltkreises 94 angelegt, der den maximalen Spannungswerl speichert, der vom Integrator während einer Abtastung erreicht wird. Die Takt- und Zeitkreise 80 sind auch mit diesem Schaltkreis verbunden, um unmittelbar vor der nächsten Abtastung dessen Speicherelement zu entladen. Die gespeicherte Spannung des Haltekreiscs 94 wird an den Eingang eines Treibcrverslärkers % angelegt. Als solcher wird ein Verstärker mit hoher Eingangsimpedanz oder ein Pufferverstärker verwendet. Der Treiberverstärker 96 ist vorzugsweise in seinem Verstärkungsfaktor einstellbar, so daß eine Einstellung möglich ist, um eine Ausgangsspannung zur Eichung einer Skalcnanzeige zu erhalten, die der Dicke des gemessenen Objekts entspricht. Der Ausgang dieses Treiberverstärkers ist an eine der Verwendung der Vorrichtung entsprechend gewählte Einrichtung angeschlossen. Bei dem in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel wurden Toleranzkrcise 98 verwendet, um vom Sollwert abweichende Dicken der zu messenden Objekte zu ermitteln Um auf Fehlstücke aufmerksam zu machen, ist an die Toleranzkrcise 98 eine Alarmvorrichtung 100 ange schlossen, die beispielsweise optische oder akustische Signale auslösen kann. Auf diese Weise wird angezeigt wenn die Objektdicke unter oder über dem Sollwert liegt.

In F i g. 9 der Zeichnung ist eine Variante der Meßeinrichtung dargestellt. Diese arbeitet nach der Digitaltechnik, um das Zeitintervall zwischen den Trigger-Ini pulsen in ein elektrisches Signal umzuwandeln, das der Dicke des Objekts entspricht. Ein Taktkreis 102. der Taktimpulse mit der gleichen Zeitfolge wie die Takt und Zeitkreise 80 zur Steuerung des Abtasters erzeugt ist mit der Torschaltung 88 verbunden. Der Ausgang dieser Torschaltung 88 ist an einen Zähler 104 angeschlossen, der eine Anzahl registriert, die der Anzahl von Taktimpulsen entspricht, die während der geöffneten Torschaltung 88 anfallen. Die registrierte Anzah entspricht somit der Anzahl der slrahlungscmpfindli chen Elemente, die zwischen den beiden reflektier'er Strahlenelementcn liegen und entspricht damit der Dik ke des Objekts. Der Ausgang des Zählers kann in digi taler Form vorgesehen sein, beispielsweise in einer ein zigen Anzeige. Im dargestellten Ausführungsbeispie wird der Ausgang des Zählers 104 jedoch an einen Di gital-Analog-Wandler 106 angeschlossen, der eine Ana log-Ausgangsspannung erzeugt, deren Größe der regi strierten Anzahl entspricht, also auch der Dicke de¹ Objekts. Zeitkreise 108 sind mit dem Zähler 104 bzw mit dem Digital-Analog-Wandler 106 verbunden, un nach erfolgter Abtastung für deren Rückstellung zi sorgen. Der Ausgang des Wandlers 106 ist bei diesen Ausführungsbeispiel wieder mit einem Treiberverstär ker % verbunden, der wiederum mit Toleranzkreiser 98 verbunden ist, die ebenfalls mit einer Alarmeinrich tung 100 in Verbindung stehen.

Da die Strahlenbündel 44 und 46 eine Querschnitts abmessung haben, die höher als breiter ist, kann ein« Verlagerung der Strahlen in vertikaler Richtung, wi< dies beim Kippen des zu messenden Objekts eintrete! kann, wird die Messung nicht beeinflußt, solange di< Strahlenbündel noch auf die Gruppe 50 der strahlungs empfindlichen Elemente 52 auftreffen. Im dargestellter Ausführungsbeispiel wird der Abtaster 78 mit eine konstanten Geschwindigkeit von 32 Mikrosekundei pro Element 52 bewegt, also mit 32 Mikrosekunden pn 0,05 mm. Bei 64 strahlungsempfindlichen Elemente! führt der Abtaster 78 somit etwa 500 Abtastungen pn Sekunde aus, was 500 unabhängigen Messungen pn

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künde entspricht. Dadurch ist die erfindungsgemälJe irrichtung in besonderer Weise zur kontinuierlichen »erwachung der Dicke von Werkstücken auf einem aduktionsband geeignet. Darüber hinaus können die msianten der Vorrichtung so gewählt sein, daß das sgangssignal direkt in tausendstel Millimeter angcgt wird.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zum Messen der Dicke eines transparenten Objektes, wobei ein von einer Strahtungsquelle ausgesandtes Strahlenbündel schräg auf das zu prüfende Objekt gerichtet und das von der vorderen und der hinteren Objektoberfläche reflektierte Strahlenbündel durch e?n statisches optisches System, z. B. eine Sammellinse, im Weg der beiden ό reflektierten Strahlenbündel auf eine Sensorplatte geworfen wird, die quer zu den beiden reflektierten Strahlenbündel angeordnet ist und eine Gruppe mehrerer in Reihe nebeneinanderliegender strahlungsempfindliche Element aufweist, gekennzeichnet durch stationär im Wege der Strahlenbündel (44,46) zwischen dem Objekt (12) und der Sensorplatte (30) liegende optische Elemente, in einer geraden Linie und in gleichen Abständen voneinander auf der Sensorplatte angeordnete strahkingsempfindliche Elemente (52), so daß durch Bewegen der Gruppe (50) und des Objektes (12) in relative Stellungen zueinander das erste (44) und «las zweite Strahlenbündel (46) auf ein beliebiges er-Ites und ein beliebiges zweites der strahlungsemp- -25 lindlichen Elemente auftrifft, du-'ch elektronische Detektoreinrichtungen einschließlich eines Schwellwertdetektors (84), die, wenr das von einem strahlungsempfindlichen mit diesem verbundenen Element erzeugte c'sktrische Signal einen Schwellwert (77) übersteigt, einen Trigger-Impuls erzeugen, durch einen den Schwellw.-rtdete'-.tor (84) aufeinanderfolgend und wiederholt mit j~;dem der strahlungsempfindlichen Elemente (Si) verbindenden Abtaster (78), durch eine mit dem Schwellwertdelektor (84) verbundene, bei jeder Abtastung durch den ersten, vom ersten Strahlenbündel (44) erzeugten Trigger-Impuls öffnende und durch den zweiten, Vom zweiten Strahlenbündel (46) erzeugten Trigger-Impuls bei jeder Abtastung schließende Torlchaltung (88) und durch eine mit der Torschaltung (88) verbundene Meßeinrichtung (92, 104), die das Zeitintervall zwischen den beiden Trigger-Impulsen •Is Maß für den Abstand zwischen den beiden rellektierten Strahlenbündeln (44,46) bzw. die Objektdicke erfaßt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine mit der Meßeinrichtung verbundene Toleranzprüfeinrichtung (98) zum Feststellen, ob lieh das elektrische Signal von einem Sollwert um mehr als einen vorbestimmten Betrag unterscheidet.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Abtaster (78) eine elektronische Abtasteinrichtung umfaßt, die die strahlungstmpfindlichen Elemente (52) mit einer vorbestimmten Geschwindigkeit abtastet und daß die Meßeinlichtung eine die während einer einzigen Abtastung zwischen Trigger-Spannungen verstrichene Zeit, die dem Abstand zwischen den Flächen entspricht, bestimmende Zeiteinrichtung (80) umfaßt.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Zeiteinrichtung eine dem Abstand entsprechende Spannung erzeugende Einrichtung umfaßt.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Zeiteinrichtung eine Bezugsspannungsquelle (90), einen Integrator (92) und eine Torschaltung (88) umfaßt, die zwischen die Bezugsspannungsquelle (90) und den Integrator (92) geschaltet ist, mit dem Schwellwertdetektor in Verbindung steht und auf die von diesem erzeugten Trigger-Spannungssignale anspricht, um den Integrator mit der Spannungsquelle zu verbinden bzw. von dieser zu trennen, wobei eine vom Integrator abgegebene Spannung dem besagten Abstand entspricht.

6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Zeiteinrichtung einen Taktimpulsgenerator und einen Zähler sowie eine zwischen den Taktimpulsgenerator und den Zähler geschalteten Torschaltung umfaßt, die mit dem Schwellwertdetektor verbunden ist und auf Trigger-Spannungen so anspricht, daß der Taktimpulsgenerator und der Zähler verbunden bzw. getrennt werden, wobei die vom Zähler registrierte Zählung dem Abstand entspricht.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, gekeiinzeichnet durch einen mit dem Zähler (108) verbundenen Digital-Analog-Wandler (106), der eine dem Abstand entsprechende Spannung erzeugt.

8. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das erste (44) und das zweite Strahlenbündel (46) jeweils auf eine Vielzahl von Elementen nicht gleichförmiger Strahlungsintensität auftreffen, daß der Schwellwertdetektor (84) ein Vorderflanken-Schwellwertdetektor ist, so daß für jedes Strahlenbündel eine Trigger-Spannung erzeugt wird und das Zeitintervall zwischen diesen den Abstand zwischen diesen Punkten repräsentiert.

9. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch eine bistabile Triggerschaltung, die zwischen den Schwellwertdetektor und die Torschaltung geschaltet ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der elektronische Abtaster (78) ein Verschiebungsregister umfaßt, das mit der Zeiteinrichtung verbunden ist und die strahlungsempfindlichen Elemente (52) mit festliegender Geschwindigkeit abtastet.

11. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorplatte (30) in einem ersten Gehäuse (10) angeordnet ist, während die Lichtquelle (16) in einem zweiten Gehäuse (14) angeordnet ist, daß das erste Gehäuse (14) mit einem transparenten Fenster (20) versehen ist und mit diesem gegenüber einem Objekt (12) angeordnet werden kann, daß ein mit der Strahlungsquelle (16) im zweiten Gehäuse (14) optisch gekoppeltes optisches Faserkabel (20) sich in das erste Gehäuse (10) hinein zu einem Punkt erstreckt, derart, daß die von der Strahlungsquelle ausgehende Strahlung in einem spitzen Winkel auf das Objekt zur Erzeugung der reflektierten Strahlungsbündel (44, 46) geworfen wird.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch einen strahlungsundurchlässigen Schirm (38) mit einem Schlitz (40), der innerhalb des ersten Gehäuses (10) gegenüber dem Ende des optischen Faserkabels (20) angeordnet ist, so daß ein Strahlenbündel (42) entsteht, durch das die besagten reflektierten Strahlenbündel (44, 46) gebildet werden, und durch eine im ersten Gehäuse (10) zwischen dem Fenster (26) und der Sensorplatte (30) angeordnete Linse (28).

13. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 12, dadurch

gekennzeichnet, daß eine Zeiteinrichtung der dem Abstand entsprechende Spannung erzeugenden Einrichtung (96) zugeordnet ist, um diese nach jeder Abtastung zurückzustellen, so daß die Wandstärke eines beweglichen Objektes während seiner Voranbewegung gemessen werden kann.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Faserkabel (20) direkt aurch das Fenster (26) auf das Objekt richtet Und daß im ersten Gehäuse zwischen dem Fenster (26) und der Sensorpiatte (30) eine Linse (28) angeordnet ist, durch die die reflektierten Strahlenbündel (44, 46) auf die Gruppe (50) strahlungsempfindlicher Elemente (52) gerichtet wird.

15. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gelennzeichnet, daß eine erste Linse (62) und ein er-Iter Spiegel im ersten Gehäuse (60) zwischen dem optischen Faserkabel (20) und dem Fenster (26) angeordnet sind, so daß ein Strahlenbündel durch das Fenster auf das Objekt gerichtet wird, daß ein zweiter Spiegel (66) im ersten Gehäuse (60) im Wege der reflektierten Strahlenbündel (44, 46) und eine zweite Linse (68) im Gehäuse zwischen dem zweiten Spiegel (66) und der Sensorplatte (30) angeordnet ist.