JPS6319506A - 滴下液滴の検出方法 - Google Patents

滴下液滴の検出方法

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JPS6319506A
JPS6319506A JP61165111A JP16511186A JPS6319506A JP S6319506 A JPS6319506 A JP S6319506A JP 61165111 A JP61165111 A JP 61165111A JP 16511186 A JP16511186 A JP 16511186A JP S6319506 A JPS6319506 A JP S6319506A
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    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
    • G01N15/02Investigating particle size or size distribution
    • G01N15/0205Investigating particle size or size distribution by optical means, e.g. by light scattering, diffraction, holography or imaging
    • G01N15/0227Investigating particle size or size distribution by optical means, e.g. by light scattering, diffraction, holography or imaging using imaging, e.g. a projected image of suspension; using holography
    • GPHYSICS
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    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は、一般的には滴下する液滴の大きさを遠隔で
測定する方法に関し、特に、人が直接近づくことができ
ない例えば放射線環境下での液体の漏洩を連続的に遠隔
検出してその漏洩最を精度よく測定するために好ましく
使用できる、滴下液滴の検出方法に関するものでおる。
〈従来の技術〉 落下する物体によって光源からの光が遮られたときにで
きる物体の影を検出し、その物体の大きざを遠隔的に測
定する方法は従来から知られている。
かような従来方法の一例を第6図を参照してさらに説明
すると、光源1から出た光が固体比像素子(CCD)ラ
インセンサのごとき一次元光センサ3により常に受光さ
れている状態にあるとき、検出対象である落下物体2が
光源1と一次元光センサ3との間を横切って落下すると
光が遮られることになる。このときの光の強さを一次元
光センサ3で信号として検出したグラフが第7図であり
、暗部の幅から物体の大きざを測定することができる。
〈発明が解決しようとする問題点〉 しかしながら、上記した従来方法を用いて、滴下液滴の
ごとき透明な物体を検出しようとする場合には、第8図
に示したように、透明物体中を透過する光により像の中
心部分にも輝点ができてしまうため信号が部分され、そ
の結果1個の物体を2個に検出する危険が生ずる。また
、光源1からの光は平行光でないため、光が物体を廻り
込んで一次元光センサ3に達するため、物体の彰となる
暗部の境界が不明確になることがあった。さらに、−次
元光センサ3は光源1からの光を常に受光し、物体によ
り生ずる影を検出するものであるから、明るい光の中で
暗い部分を検出することになる。従って、光センサ3か
ら常に信号が出ている状態がバックグラウンドとなるた
めに、バックグラウンド・ノイズが大きくなるという欠
点もある。
そこでこの発明は、上述したごとき従来技術の欠点を解
消し、滴下液滴のごとき透明な物体の大きざを遠隔的に
かつ連続的に精度よく計測することができる方法を提供
することを目的としてなされたものである。
く問題点を解決するための手段〉 この発明においては平行光源を用い、この光源から出た
平行光を滴下液滴に入射する。入射光は液滴により散乱
されるが、この散乱光は、液滴表面で反射される反射光
と、液滴内に透過し屈折したのち再度液滴表面より射出
される透過屈折光とからなる。従って、ある角度(散乱
角)θからこの液滴を見ると、液滴上に反射光と透過屈
折光による2つの輝点が見える。この発明においては、
液滴からのこれら反射光と透過屈折光とを光学結像系に
よって一次元光センサ上に結合させ、反射光と透過屈折
光とにより像中に形成される2つの輝点間の距離を計測
し、この距離と光学結像系の倍率とによって液滴の径を
検出するのである。
以下に図面を参照してこの発明を詳述する。
第1図〜第5図はこの発明の方法の原・理を説明するも
のであって、第1図における平行光源11から出たスリ
ット状の平行光が検出対象である透明な滴下液滴12に
1つの平面内で入射すると、滴下液滴の形状は真球で近
似できるので、入射光の一部は液滴表面で反射された反
射光となるとともに、一部は液滴内に透過し屈折したの
ち再度液滴表面から射出される透過屈折光となって散乱
する。この反射光と透過屈折光を、平行光と同じ平面内
で平行光の進行方向に対して角度θ(散乱角)だけ回転
した方向からみると、第2図のように液滴12内に2つ
の輝点、すなわち反射光による輝点Aと透過屈折光によ
る輝点Bをみることができる。・この発明においては、
実際の液滴内の輝点を観察する代りに、散乱角θ方向に
伝播される光をレンズ等の光学結像系14を介して一次
元光センサ13上に結像させ(第3図)、この像におけ
る2つの輝点a、bを一次元光センサ13からの信号と
して得ることができる(第4図)。
具体的に、入射光が液滴によってどのような角度で散乱
され、−次元光センサ方向へどのように伝播されるかを
示したものが第5図である。
この図をもとにして、平行光のうち角度θの方向に散乱
される光線の満足する幾何光学的条件を説明する。先ず
、散乱される光のうちの反射光については、液滴12表
面に引かれた垂線に対して入射光と反射光のなす角は等
しいので、これをθ1とすると、散乱角θとの関係は式
(1)%式% 一方、透過屈折光については、液滴12表面に引かれた
垂線に対して入射光と屈折光のなす角をそれぞれθ2.
φとすれば式(2)が成り立つ。
θ2=(θ+2φ)/2    ・・・(2)ここで、
液滴の屈折率をnとすると、屈折の法則により式(3)
が成り立つ。
この液滴12を一次元センサ13の方向より見れば、式
(1)を満足する角度θ1および式(′2Jと(3)を
満足する角度θ2に対応した2つの輝点A。
Bが液滴上に見えることになり(第2図)、−次元光セ
ンサ13上には光学結像系14により液滴12の像が倍
率mで結像されることになる(第3図)。実際の一次元
光センサ13により(qられる信号く第4図)からは、
液滴の直径そのものは知ることはできず、−次元光セン
サ上の2つの輝点a、b間の距離r1+r2がわかるだ
けである。
なお、平行光のうちの他の光線についても、当然液滴表
面で反射または透過屈折するが、これらの散乱光は上述
した幾何光学的条件を満たさないため、角度θ以外の方
向に散乱してしまうので一次元光センサ13には到達し
ない。
上記した関係を用いて実際の液滴の径を求めるには次の
ようにする。液滴12の実際の半径をR1θ方向からみ
たときの液滴の中心から反射光および透過屈折光までの
距離をそれぞれR1およびR2としく第2図および第5
図)、一方、−次元光センサ13上の像における前記各
距離に対応する距離をそれぞれr、rlおよびr2とす
れば mR=r :mR1=r1  :mR2=r2−(4)
となる。
また、rlおよびr2とrとの関係は r 1 = r S!nθ1  : r2 =rS!n
θ2  ・(5)従って式<1)、 (2)より散乱角
θについての01と02を求めておけば、式(6)より
rが求まり、式(4)の第1式によって実際の液滴の半
径Rは次式により算出できる。
かくして求めた液滴の半径から、真球とみなしうる液滴
の体積を算出し、これに滴下数を掛けることにより滴下
口を求めることができる。
第1図においては、液滴からの散乱光を直接受けること
ができる位置に一次元光センサ13を設置したが、散乱
光を鏡により一旦反射し、この反射された散乱光を一次
元光センサで受けるようにすることもでき、このように
すれば−次元光センサの設置位置の制約を低減すること
ができる。また、第1図においてはスリット状の平行光
を光源11から出しているが、スリット状でない平行光
を用いることもできる。この場合には、−次元光センサ
13の前にビームスリットを設置し、このスリットを透
過したスリット状の散乱光が一次元光センサに入るよう
にすればよい。−次元光センサ13に入る散乱光をスリ
ット状とすることによって、スリット状としない場合に
比べて一次元光センサによる検出ノイズが減少できシャ
ープな出力波形を得ろことができる。
〈発明の効果〉 以上の説明かられかるようにこの発明によれば、)高下
液滴のごとき透明な物体に平行光を入射させたときにこ
の物体から散乱される反射光と透過屈折光とを一次元光
センサ上に結像させて検出することによって、透明な滴
下液滴の大きさを遠隔的かつ連続的に精度よく計測する
ことができる。また、同時に液滴の滴下数も測定できる
から、液滴の大きざと滴下数から滴下口を求めることが
可能となる。
またこの発明においては、所定の散乱角で液滴から散乱
された光のみを一次元光セン→ノーで検出すればよいた
め、液滴への入射光が直接入射しないような位置に一次
元光センサを設置することができる。従って、散乱光を
検出したとぎのみセンサから信号が出ることになり、前
述した従来技術のように明るい光の中で暗い部分を検出
する方法と比べて、パックグラウ〉′ド・ノイズを著し
く小さくすることができ、その結果容易にかつ精度よく
光量検出ができるとい°う刊点もある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の方法を実施するための基本的な装置
構成を示す説明図、第2図は実際の液滴と2つの輝点と
を示す説明図、第3図は光学結像系により1qられる液
滴と2つの輝点の像を示す説明図、第4図は第3図の像
から一次元光センサにより1qられる信号のグラフ、第
5図は液滴により平行光が散乱される際の幾何光学的条
件を示す説明図、第6図は従来の方法を実施するための
装置構成を示す説明図、第7図は第6図の従来方法で不
透明物体を検出する際の一次元光センリにより得られる
信号のグラフ、および第8図は第6図の従来方法で透明
物体を検出する際に一次元光センサにより1σられる信
号のグラフである。 11・・・平行光源、12・・・滴下液滴、13・・・
−次元光センサ、14・・・光学結像系、A、B・・・
液滴中の輝点、a、b・・・像中の輝点。 111図 第42!I 膿方旬 三分 第6図 回 第7図       第8図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、滴下液滴に対して平行光を入射し、所定の散乱角で
    該液滴から散乱された反射光と透過屈折光とからなる散
    乱光を光学結像系により一次元光センサ上に結像させ、
    該反射光と透過屈折光とにより像中に形成される2つの
    輝点間の距離と該光学結像系の倍率から該液滴の径を検
    出することを特徴とする滴下液滴の検出方法。 2、平行光をスリット状として液滴に入射する特許請求
    の範囲第1項記載の方法。 3、散乱光をビームスリットを通して一次元光センサ上
    に結像させる特許請求の範囲第1項記載の方法。 4、散乱光を直接光学結像系により一次元光センサ上に
    結合させる特許請求の範囲第1項記載の方法。 5、散乱光を鏡で反射させたのちに光学結像系により一
    次元光センサ上に結像させる特許請求の範囲第1項記載
    の方法。
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