CN108398104B - 可降低随机误差的光电动态角度测量装置及其方法 - Google Patents

可降低随机误差的光电动态角度测量装置及其方法 Download PDF

Info

Publication number
CN108398104B
CN108398104B CN201810101416.0A CN201810101416A CN108398104B CN 108398104 B CN108398104 B CN 108398104B CN 201810101416 A CN201810101416 A CN 201810101416A CN 108398104 B CN108398104 B CN 108398104B
Authority
CN
China
Prior art keywords
ccd camera
laser
light spot
telescope
processor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201810101416.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108398104A (zh
Inventor
李国平
张惠
张勇
李烨平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nanjing Institute of Astronomical Optics and Technology NIAOT of CAS
Original Assignee
Nanjing Institute of Astronomical Optics and Technology NIAOT of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nanjing Institute of Astronomical Optics and Technology NIAOT of CAS filed Critical Nanjing Institute of Astronomical Optics and Technology NIAOT of CAS
Priority to CN201810101416.0A priority Critical patent/CN108398104B/zh
Publication of CN108398104A publication Critical patent/CN108398104A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108398104B publication Critical patent/CN108398104B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

可降低随机误差的光电动态角度测量装置及其工作方法,角锥棱镜和平面反射镜共同安装在待检测面上且角锥棱镜的端面法线和平面反射镜的法线不平行,特征是望远镜、分光棱镜、CCD相机和激光器同时安装在基准平面上;激光器和CCD相机关于分光棱镜共轭;激光器和CCD相机与处理器相连,通过处理器调整激光器和CCD相机的触发时间。本发明参考光斑所经过的光程和目标光斑所经过的光程相同,两光斑中心作差,可大大降低误差,角锥棱镜内部三次反射反射镜一次反射,可保证相机上成像方向相同,减少的转像的装置,并可消除光源不对称带来的误差,进而提高精度,减少了传统方法的不足;本发明可广泛用于需要进行高精度动态角度测量的地方。

Description

可降低随机误差的光电动态角度测量装置及其方法
技术领域
一种可降低随机误差的光电动态角度测量装置,属于光电检测技术领域中的一种对角度进行检测的设备。本发明还涉及这种测量装置的工作方法。
背景技术
光电动态角度测量方法是一种对动态角度、角速度进行精细测量的方法,广泛应用于航空航天、国防军工、工业生产等领域。在进行光电动态角度测量时,特别是用于户外测量时,由于受到温度、湿度、气流、CCD相机暗电流等随机因素的影响,会使最终的测量精度受到影响。为了能得更高的精度,在进行动态角度、角速度测量时需要降低随机误差的影响。
在已有的技术中,与本发明最为接近的已有技术是:常规的光电动态角度测量方法,如图1所示,包括待检测面1-1,平面反射镜1-2,基准平面1-3,望远镜1-4,分光棱镜1-5,CCD相机1-6,点光源1-7,计算1-8。该检测方法的点光源1-7一般采用LED或是卤光灯,目标光斑的参考中心为CCD相机1-6的中心或是点光源1-7处的‘十字’线,点光源1-7的触发和CCD相机的曝光没有内在联系。
已有的光电用度测量方法存在随机误差大,环境适应性不好,无法满足高极高精度使用要求。
为了克服已有技术存在的缺点,需要设计一种新的可以降低随机误差的光电动态角度测量方法。
发明内容
本发明的目的是提供一种可降低随机误差的光电动态角度测量装置,以及这种测量装置的工作方法,该设备与方法要解决的技术问题是:降低随机误差的影响,提高角度测量精度。
解决技术问题的总体方案是:一种可降低随机误差的光电动态角度测量装置,角锥棱镜和平面反射镜共同安装在待检测面上,且角锥棱镜的端面法线和平面反射镜的法线不平行,其特征在于,望远镜、分光棱镜,CCD相机和激光器同时安装在基准平面上;所述激光器和CCD相机关于分光棱镜共轭;平面反射镜不与望远镜的光轴相交,安装在望远镜光轴的一侧;角锥棱镜的光轴与望远镜的光轴平行,且位于望远镜光轴的另一侧;所述激光器和CCD相机与处理器相连,通过处理器调整激光器和CCD相机的触发时间。
由于采用激光作为光源,可以有效减少外部杂散光对系统的污染。
由于采用激光作为光源,可以大大增加待检测面与检测系统之间的距离,提高检测系统的应用范围。可以保证角锥棱镜和平面反射镜在CCD相机上所成的像方向相同。可以保证待检平面绕望远镜的中心轴线旋转时,仍然可以检测这个旋转角度。
完成上述第二个发明任务的技术方案是,上述可降低随机误差的光电动态角度测量装置的工作方法,其特征在于,步骤如下,
处理器触发激光器;
激光器发出光束同时,给CCD相机一个触发信号,让其开始工作;
激光器发出的光束经望远镜准直扩束后照射在角锥棱镜和平面反射镜上;
角锥棱镜反射回来的光线由望远镜,成像在CCD相机上,记为参考光斑,并将此光斑中心设定成参考零点;
平面反射镜反射回来的光线由望远镜成像在CCD相机上,记为目标光斑;
处理器采集光斑图像,求取目标光斑和参考光斑中心,然后用目标光斑中心减去参考光斑中心,求出目标光斑相对变化量;
然后反算出待检测面的角度实时变化量;
激光光源,可以有效减少外部杂散光对系统成像的污染,而且可以大大增大待检测面与检测系统之间的距离,提高检测系统应用范围。
由于角锥棱镜内部的光线经过三次反射,反射镜经过一次反射,那么可以保证在CCD上所成的光标方向是一致的,进而减少了另外的转像装置,精减了系统,这样可以消除由于光源的不对称所带来的误差。
平面反射镜位于望远镜光轴的单独一边,即望远镜不与光轴相交,那么即使是待检平面绕光轴旋转时,仍然可以检测到角度变化,增大了测角的维度。
最终的处理结果实时显示在显示器上面。
优化方案中增加有以下步骤:
需要时,处理器调整激光器和CCD相机的触发时间。
本发明采用激光作为光源照亮角锥棱镜和平面反射镜,角锥棱镜的反射光线成的像作为参考光斑,平面反射镜反射的光线成的像作为目标光斑,CCD相机接收光斑,处理器采集图像并把两光斑中心作差,降低随机误差,最终结果在显示器显示。
本发明的详细内容如图2所示,该角度测量方法由待检测面1,角锥棱镜2,平面反射镜3,基准平面4,望远镜5,分光棱镜6,CCD相机7,激光器8,处理器9,显示器10组成。
角锥棱镜2和平面反射镜3共同安装在待检测面1上,且角锥棱镜2的端面法线和平面反射镜的法线不平行;望远镜5、分光棱镜6,CCD相机7和激光器同时安装在基准平面上;激光器8和CCD相机7关于分光棱镜6共轭;激光器8和CCD相机7与处理器9相连,通过处理9调整激光器8和CCD相机7的触发时间。
工作原理说明:激光光源8发出的光束经望远镜5准直扩束后照射在角锥棱镜2和平面反射3上,激光光源8发出光束同时,给CCD相机一个触发信号,让其开始工作。经角锥棱镜2反射回来的光线再由望远镜5后,成像在CCD相机7上,记为参考光斑,并将此光斑中心设定成参考零点。平面反射镜3反射回来的光线由望远镜5成像在CCD相机上,记为目标光斑。处理器9采集光斑图像,求取目标光斑和参考光斑中心,然后用目标光斑中心减去参考光斑中心,求出目标光斑相对变化量,然后反算出待检测面的角度时时变化量。最终的处理结果时时的显示在显示器10上面。
本发明的积极效果:
1、由于参考光斑所经过的光程和目标光斑所经过的光程相同,两光斑中心作差,可以大大降低由于环境随机变化而带来的误差;
2、角锥棱镜内部经过三次反射,反射镜经过一次反射,这样可以保证相机上所成的像方向相同,这样一来减少的转像的装置,二来可以消除由于光源不对称带来的误差,进而提高精度;
3、待检平面绕望远镜光轴旋转时,仍然可以检测出此旋转角度;本发明可广泛用于需要进行高精度动态角度测量的地方。
附图说明
图1是已有的常规动态角度测量方法示意图;
图2是本发明的结构方法图。
具体实施方式
实施例1,可降低随机误差的光电动态角度测量装置,按图2搭建测量装置;点亮激光光源8,遮住平面反射镜3,这时在CCD相机7上会成角锥棱镜2的反射光线的像,调节沿光轴方向调节激光光源8和CCD相机7,使得CCD相机7上的像清晰精细,以达到激光光源8和CCD相机7关于分光棱镜6共轭,且同时位于望远镜的焦平面上;除去平面反射镜3的遮挡,调整其法线方向,使其法线方向与角锥棱镜端面法线方向成一个合适的角度,即保证平面反射镜3和角锥棱镜2的反射光线在CCD相机上所成的像之间有一定的距离;通过激光光源8的触发和CCD相机的曝光采用同一时钟控制;对于采集到的每一幅图像中都包含着两个光斑,通过处理器9把这两个光斑中心作差,求解出平面镜3反射光斑的偏移量,进面反推出待检测面1相对于基准面4的角度变化量;最终的目标光斑的偏移和待检测面1的相对角度变化都通过显示器10来进行时时显示。

Claims (3)

1.一种可降低随机误差的光电动态角度测量装置,角锥棱镜和平面反射镜共同安装在待检测面上,且角锥棱镜的端面法线和平面反射镜的法线不平行,其特征在于,望远镜、分光棱镜,CCD相机和激光器同时安装在基准平面上;所述激光器和CCD相机关于分光棱镜共轭;平面反射镜不与望远镜的光轴相交,安装在望远镜光轴的一侧;角锥棱镜的光轴与望远镜的光轴平行,且位于望远镜光轴的另一侧;所述激光器和CCD相机与处理器相连,通过处理器调整激光器和CCD相机的触发时间。
2.根据权利要求1所述的可降低随机误差的光电动态角度测量装置的工作方法,其特征在于,步骤如下,
处理器触发激光器;
激光器发出光束同时,给CCD相机一个触发信号,让其开始工作;
激光器发出的光束经望远镜准直扩束后照射在角锥棱镜和平面反射镜上;
角锥棱镜反射回来的光线由望远镜成像在CCD相机上,记为参考光斑,并将此光斑中心设定成参考零点;
平面反射镜反射回来的光线由望远镜成像在CCD相机上,记为目标光斑;
处理器采集光斑图像,求取目标光斑和参考光斑中心,然后用目标光斑中心减去参考光斑中心,求出目标光斑相对变化量;
然后反算出待检测面的角度实时变化量;
最终的处理结果实时显示在显示器上面。
3.根据权利要求2所述的可降低随机误差的光电动态角度测量装置的工作方法,其特征在于,加有以下步骤:处理器调整激光器和CCD相机的触发时间。
CN201810101416.0A 2018-02-01 2018-02-01 可降低随机误差的光电动态角度测量装置及其方法 Active CN108398104B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810101416.0A CN108398104B (zh) 2018-02-01 2018-02-01 可降低随机误差的光电动态角度测量装置及其方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810101416.0A CN108398104B (zh) 2018-02-01 2018-02-01 可降低随机误差的光电动态角度测量装置及其方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108398104A CN108398104A (zh) 2018-08-14
CN108398104B true CN108398104B (zh) 2019-12-10

Family

ID=63095835

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810101416.0A Active CN108398104B (zh) 2018-02-01 2018-02-01 可降低随机误差的光电动态角度测量装置及其方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108398104B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109764952B (zh) * 2019-01-24 2021-10-08 甘特科技(北京)有限公司 一种轴抖动检测、转速测量方法
CN109884771B (zh) * 2019-04-18 2024-02-13 珠海博明视觉科技有限公司 一种反射面45度角精确调节装置及其调节方法
CN115437100A (zh) * 2022-07-26 2022-12-06 中国工程物理研究院应用电子学研究所 一种激光采样后向反射器、调整系统及调整方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3459287B2 (ja) * 1994-01-07 2003-10-20 株式会社ソキア 不要光を除去して三次元座標を測定する三次元座標測定方法及び三次元座標測定装置
JP2003021508A (ja) * 2001-07-06 2003-01-24 Nec Corp ローリング角度測定装置
CN2515653Y (zh) * 2001-07-11 2002-10-09 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 远离物体微位移测量装置
JP3751928B2 (ja) * 2002-10-16 2006-03-08 石川県 レーザ干渉計、及びそれを用いた測定装置
CN1177195C (zh) * 2003-03-05 2004-11-24 北方交通大学 一种激光多自由度测量系统与方法
CN1219230C (zh) * 2003-08-22 2005-09-14 中国科学院上海光学精密机械研究所 高精度单f-p板角位移测量仪
CN100395520C (zh) * 2004-12-23 2008-06-18 西安华腾光电有限责任公司 高精度光电三维倾角测量方法及其测量仪
CN1322308C (zh) * 2005-04-21 2007-06-20 中国科学院上海光学精密机械研究所 微小转角干涉测量装置
CN100412502C (zh) * 2006-07-20 2008-08-20 清华大学 扩束的强光折叠回馈位移测量系统
CN200972385Y (zh) * 2006-11-24 2007-11-07 浙江理工大学 基于法拉第旋光效应的位移和角度同时测量的干涉系统
CN101846506B (zh) * 2010-05-07 2012-01-11 浙江大学 基于共路平行光线的滚转角测量方法
CN102176088B (zh) * 2011-01-19 2012-08-22 哈尔滨工业大学 偏振光角锥靶标共光路补偿的二维光电自准直方法与装置
CN102176086B (zh) * 2011-01-19 2012-07-04 哈尔滨工业大学 偏振光平面镜参考共光路补偿的二维光电自准直方法与装置
CN102564354A (zh) * 2011-12-28 2012-07-11 哈尔滨工业大学 基于慢光材料的双频激光干涉仪的角度测量装置及测量方法
CN103630108B (zh) * 2013-12-06 2016-06-01 中国人民解放军国防科学技术大学 一种三维小角度测量装置及其用于动态测量三维角度变化量的方法
CN103884491B (zh) * 2014-03-10 2016-08-17 北京理工大学 一种扫描相机摆镜二维动态角测量校准方法与装置
CN104613900B (zh) * 2014-12-05 2017-08-22 郑州轻工业学院 一种全光路光漂补偿的高精度滚转角测量方法与装置
CN106767656B (zh) * 2017-02-22 2019-02-05 西安交通大学 一种滚转角测量系统的高精度标定装置及标定方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN108398104A (zh) 2018-08-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6862097B2 (en) Three-dimensional shape measuring method, and three-dimensional shape measuring apparatus
CN108398104B (zh) 可降低随机误差的光电动态角度测量装置及其方法
CN109580177B (zh) 机载三光轴一致性测试组件、系统及测试方法
CN111458108B (zh) 一种发射接收光轴平行度测量装置及测量方法
CN102087483B (zh) 一种用于投影光刻中焦面检测的光学系统
CN102980534B (zh) 一种隐蔽转轴与端面垂直度的非接触测量方法及系统
US10989524B2 (en) Asymmetric optical interference measurement method and apparatus
CN103615971A (zh) 用于检测圆柱体外表面的光学干涉仪
CN103615972A (zh) 用于检测空心圆柱内表面的光学干涉仪
CN1858632A (zh) 干涉仪精确确定光学系统聚焦面的方法和装置
CN110470608A (zh) 一种利用偏振成像测定物体光滑度的方法及装置
CN108318887B (zh) 激光辅助双目测距系统
CN110017796B (zh) 一种高精度齿轮齿面光学测量方法
CN104316022A (zh) 改进的紧凑型精密激光三角测距仪
TWI658289B (zh) 調焦調平裝置
CN114111570B (zh) 一种基于二维自准直仪的图像定位计算方法和装置
JPS6319506A (ja) 滴下液滴の検出方法
CN214224008U (zh) 一种测量范围可调的3d结构光传感器
RU98596U1 (ru) Двухканальный цифровой автоколлиматор
RU2384812C1 (ru) Автоколлиматор для измерения угла скручивания
KR102254322B1 (ko) 광 간섭 시스템
CN200959050Y (zh) 干涉仪精确确定光学系统聚焦面的装置
CN111220094B (zh) 一种基于光电自准直仪的三维姿态测量方法
RU97835U1 (ru) Цифровой автоколлиматор
RU161643U1 (ru) Автоколлимационная центрировочная труба

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant