JPH01145515A - 光センサ - Google Patents
光センサInfo
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- JPH01145515A JPH01145515A JP63218610A JP21861088A JPH01145515A JP H01145515 A JPH01145515 A JP H01145515A JP 63218610 A JP63218610 A JP 63218610A JP 21861088 A JP21861088 A JP 21861088A JP H01145515 A JPH01145515 A JP H01145515A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/46—Indirect determination of position data
- G01S17/48—Active triangulation systems, i.e. using the transmission and reflection of electromagnetic waves other than radio waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/04—Systems determining the presence of a target
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4811—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements common to transmitter and receiver
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、光源と、その軸に沿って光を放射する光伝搬
系とを有する光伝搬装置と、該光伝搬装置に沿ってその
両側に配される二つの受光系とを備える光センサに関し
、特に、各受光系が、該伝搬系の軸を有する一平面にお
いて該軸に対称的な受光軸に沿って検出されるべき物体
から逆に散乱された光を受ける対物レンズを備え、該番
受光系が、二つの検出領域を有する一つの感光要素を備
え、一つの該検出領域は検知範囲から主として光を受け
る一方で、他の該検出領域は光センサの観察の場の背景
範囲から主として光を受け、かつ、物体を認識するのに
使用される出力信号が、該検知範囲に関する検出領域か
らの信号と、背景範囲に関する検出領域からの信号を加
法的に重ね合わせた信号と、二つの合計された信号の差
の形成とによって得られる光センサに関する。
系とを有する光伝搬装置と、該光伝搬装置に沿ってその
両側に配される二つの受光系とを備える光センサに関し
、特に、各受光系が、該伝搬系の軸を有する一平面にお
いて該軸に対称的な受光軸に沿って検出されるべき物体
から逆に散乱された光を受ける対物レンズを備え、該番
受光系が、二つの検出領域を有する一つの感光要素を備
え、一つの該検出領域は検知範囲から主として光を受け
る一方で、他の該検出領域は光センサの観察の場の背景
範囲から主として光を受け、かつ、物体を認識するのに
使用される出力信号が、該検知範囲に関する検出領域か
らの信号と、背景範囲に関する検出領域からの信号を加
法的に重ね合わせた信号と、二つの合計された信号の差
の形成とによって得られる光センサに関する。
〈従来の技術）
この種の光センサは、実際上周知である。西独グイゼン
ホフェン市ＳＯＳレライズ社（ＳＤＳ −Ｒｅ１ａｉｓ
ＡＧＩの小冊子「ナショナルＭＱ三光線センサ、二世枚
の光電センサ（Ｎａｔｉｏｎａｌ ＭＱ−Ｄｒｅｉｓｔ
ｒａｈｌ−３ｃｈａｌｔｅｒ、Ｆｏｔｏｅｌｅｋｔｒｉ
ｓｃｈｅ ５ｃｈａｌｔｅｒ ｄｅｒ ２Ｇｅｎｅｒａ
ｔｉｏｎｌ Ｊを参照されてもよい。この光センサでは
、検出領域は、光センサのハウジング内で互いに著しく
広い間隔を採りながら収容された光検出器により構成さ
れ、そのために空間が無駄になっている。また、信号の
評価は、純粋な電子信号による加法演算、加算された信
号の対数増幅、および次の差の形成によって行なわれる
。得られる差信号は、走査距離を調節するために変更可
能な所定の基準レベルを有する距離測定値と比較される
。この装置の欠点は、電子的なレベル変動が測定結果を
歪曲し得ることである。従って、所望の測定精度を保証
するためには、比較的高価で複雑な電子式点検系統が必
要となる。
ホフェン市ＳＯＳレライズ社（ＳＤＳ −Ｒｅ１ａｉｓ
ＡＧＩの小冊子「ナショナルＭＱ三光線センサ、二世枚
の光電センサ（Ｎａｔｉｏｎａｌ ＭＱ−Ｄｒｅｉｓｔ
ｒａｈｌ−３ｃｈａｌｔｅｒ、Ｆｏｔｏｅｌｅｋｔｒｉ
ｓｃｈｅ ５ｃｈａｌｔｅｒ ｄｅｒ ２Ｇｅｎｅｒａ
ｔｉｏｎｌ Ｊを参照されてもよい。この光センサでは
、検出領域は、光センサのハウジング内で互いに著しく
広い間隔を採りながら収容された光検出器により構成さ
れ、そのために空間が無駄になっている。また、信号の
評価は、純粋な電子信号による加法演算、加算された信
号の対数増幅、および次の差の形成によって行なわれる
。得られる差信号は、走査距離を調節するために変更可
能な所定の基準レベルを有する距離測定値と比較される
。この装置の欠点は、電子的なレベル変動が測定結果を
歪曲し得ることである。従って、所望の測定精度を保証
するためには、比較的高価で複雑な電子式点検系統が必
要となる。
光学的距離測定装置は、カメラの焦点合わせに使用され
るものとして、米国特許筒４，４６９．９３９号に記載
されている。二つの受光系は、二位置感応光検出器へ三
角測量原理によって物体の像を形成し、二つの受光系の
平衡は、光検出器への物体の像を心出しＳて焦点を合わ
すために二つの受光系に関する屋根型鏡の変位によって
行なわれる。物体への距離は、屋根望鏡の変位の量から
得られる。
るものとして、米国特許筒４，４６９．９３９号に記載
されている。二つの受光系は、二位置感応光検出器へ三
角測量原理によって物体の像を形成し、二つの受光系の
平衡は、光検出器への物体の像を心出しＳて焦点を合わ
すために二つの受光系に関する屋根型鏡の変位によって
行なわれる。物体への距離は、屋根望鏡の変位の量から
得られる。
〈発明の要約）
本発明の基礎をなす目的は、特に不均等な反射特性を有
する物体とか、伝搬光線に部分的にのみ当たる物体でも
、それらの良好な識別を得るのを可能にすると共に、背
景の良好な混合除去機能を得、また、調節可能な構成要
素を最少限の数に抑えても、十分な距離選択性を保証し
得るのみならず、光学的および電子的に複雑でなく、コ
ンパクトな構造を使用しても、大きい調節範囲内で走査
距離を正確に設定して変更可能なような光センサを提供
することにある。
する物体とか、伝搬光線に部分的にのみ当たる物体でも
、それらの良好な識別を得るのを可能にすると共に、背
景の良好な混合除去機能を得、また、調節可能な構成要
素を最少限の数に抑えても、十分な距離選択性を保証し
得るのみならず、光学的および電子的に複雑でなく、コ
ンパクトな構造を使用しても、大きい調節範囲内で走査
距離を正確に設定して変更可能なような光センサを提供
することにある。
この目的を満足させるため、本発明は、感光要素が、背
景範囲に関する中心検出領域を有する三つの光電検出領
域を備え、二つの対物レンズによって受ける光が、二つ
の固定的に配置された偏向鏡および該鏡の間に配置され
た屋根望鏡によって信号加算演算のために中心検出領域
へ送られ、屋根望鏡が、夫々の対物レンズの中心を通過
する中心光線によって定められる受光軸の間の角度を調
節するため、光伝搬軸に沿って、また三つの検出領域の
間の夫々の分８ｆ線に沿って、または屋根望鏡および偏
向鏡によって生ずる虚像に沿って調節可能な構成を提供
する。
景範囲に関する中心検出領域を有する三つの光電検出領
域を備え、二つの対物レンズによって受ける光が、二つ
の固定的に配置された偏向鏡および該鏡の間に配置され
た屋根望鏡によって信号加算演算のために中心検出領域
へ送られ、屋根望鏡が、夫々の対物レンズの中心を通過
する中心光線によって定められる受光軸の間の角度を調
節するため、光伝搬軸に沿って、また三つの検出領域の
間の夫々の分８ｆ線に沿って、または屋根望鏡および偏
向鏡によって生ずる虚像に沿って調節可能な構成を提供
する。
本発明によって提供される共通検出領域では、二つの受
光系によって受取られる光束の加法的な重ね合わせが光
学路によっても行なわれる。この様にして、光検出器お
よび電子的信号の追加が節減され、構造の簡単化が達成
される。別の利点は、総ての光検出器が互いに接近しな
がら相互に沿って空間的に配置されることにある。これ
により、これ等の光検出器は、単一のキャリア基板上に
構築可能であり、これは、製造の技術的観点から利点を
もたらす、同様に、電子式評価回路への光検出器の結合
も特に簡単になる。また、好適な光線の誘導により、本
発明の光センサはコンパクトな構造とし得る。
光系によって受取られる光束の加法的な重ね合わせが光
学路によっても行なわれる。この様にして、光検出器お
よび電子的信号の追加が節減され、構造の簡単化が達成
される。別の利点は、総ての光検出器が互いに接近しな
がら相互に沿って空間的に配置されることにある。これ
により、これ等の光検出器は、単一のキャリア基板上に
構築可能であり、これは、製造の技術的観点から利点を
もたらす、同様に、電子式評価回路への光検出器の結合
も特に簡単になる。また、好適な光線の誘導により、本
発明の光センサはコンパクトな構造とし得る。
好適な実施例では、検出領域は、二つの受光系統の共通
光検出器を意味する中心光検出器を有する一列の三つの
光検出器によって実現される。中心光検出器は、光セン
サの背景範囲に関連する。
光検出器を意味する中心光検出器を有する一列の三つの
光検出器によって実現される。中心光検出器は、光セン
サの背景範囲に関連する。
出力信号は、外側光検出器の信号の加算計と中心光検出
器の信号との間の差の形成によって得られる。
器の信号との間の差の形成によって得られる。
本発明の光センサの光学反射系は、光検出器位置の前方
に位置しその半分の側部の各々が受光系の一つに属する
屋根型境を有している。屋根望鏡は９０°の頂角を有し
てもよい、該鏡は、光検出器への方向または反対の方向
へ光伝搬軸に平行にその位置を調節可能である。この様
にして、角度を簡単に変更すると、所望の走査距離を調
節できる。
に位置しその半分の側部の各々が受光系の一つに属する
屋根型境を有している。屋根望鏡は９０°の頂角を有し
てもよい、該鏡は、光検出器への方向または反対の方向
へ光伝搬軸に平行にその位置を調節可能である。この様
にして、角度を簡単に変更すると、所望の走査距離を調
節できる。
光伝搬装置および受光系の光電子工学構成要素は、固定
されたまきであり、これは、光センサの設置の調節およ
び干渉抑制に関し、かなりな利点を生む。
されたまきであり、これは、光センサの設置の調節およ
び干渉抑制に関し、かなりな利点を生む。
ハウジングに対して固定される対物レンズは、各受光系
に属し、ハウジングに同様に固定され、好ましくは平面
鏡である偏向鏡は、調節可能な屋根望鏡に向かって光を
反射する。受光軸は、対物レンズの頂点および三つの光
検出器の間の分ｗ線の一つの中心点を通過する。屋根望
鏡を調節すると、固定された偏向鏡への上記受光軸に乗
った光線の当たる点が変位し、これにより、固定された
対物レンズによっても受光軸に関する角度を変更し得る
。
に属し、ハウジングに同様に固定され、好ましくは平面
鏡である偏向鏡は、調節可能な屋根望鏡に向かって光を
反射する。受光軸は、対物レンズの頂点および三つの光
検出器の間の分ｗ線の一つの中心点を通過する。屋根望
鏡を調節すると、固定された偏向鏡への上記受光軸に乗
った光線の当たる点が変位し、これにより、固定された
対物レンズによっても受光軸に関する角度を変更し得る
。
別の実施例では、位置選択式の光検出器、特に光ダイオ
ード・アレイを光センサの感光要素として用いる。従っ
て、光センサは、限定された走査距離を有する装置から
距離センサ、即ち、距離測定装置に発展されることもで
きる。
ード・アレイを光センサの感光要素として用いる。従っ
て、光センサは、限定された走査距離を有する装置から
距離センサ、即ち、距離測定装置に発展されることもで
きる。
く実 施 例〉
光センサは、光源１０と、仮想線で示される光センサ・
ハウジング１１の前側の光出口開口部から出る光を平行
光線にする光伝搬系１２とを有している。光伝搬装置１
０．１２の光軸は、ｘｏで示される。
ハウジング１１の前側の光出口開口部から出る光を平行
光線にする光伝搬系１２とを有している。光伝搬装置１
０．１２の光軸は、ｘｏで示される。
軸Ｘ。は、二つの受光系の二つの光軸Ｘ、、 Ｘ、に共
通点Ｐで交差する。各受光系には、光伝搬系１２の一側
部と、光伝搬系１２の他の側部とにおいて、光センサ・
ハウジング１１の前側に配置される夫々の受光、対物レ
ンズ１４と、光センサ・ハウジング１１の内部で対物レ
ンズ１４の背後に装着される夫々の平面偏向鏡２２が含
まれている。屋根型鏡１８と、感光要素１６は、これら
二つの受光系に関連して設けられている。受光軸Ｘ＋、
Ｌは、光センサの主軸を示す伝搬光軸Ｘ０と同一平面
内にある。この平面は、図面紙面と同一である。更に、
受光軸は、同一ではあるが反対の方向に、夫々角度αを
伝搬光軸との間でなしている。光軸ｘｏ、 ｘｌ、 Ｘ
−の交差点は、光センサの走査限界ＴＷ、即わち、走査
範囲Ｔと背景範囲Ｈとの間の境界を示す、走査範囲内を
伝搬する光線中に入る物体は、光センサで応答せねばな
らず、一方、背景範囲Ｈ内に位置する物体は、検出して
はならない。
通点Ｐで交差する。各受光系には、光伝搬系１２の一側
部と、光伝搬系１２の他の側部とにおいて、光センサ・
ハウジング１１の前側に配置される夫々の受光、対物レ
ンズ１４と、光センサ・ハウジング１１の内部で対物レ
ンズ１４の背後に装着される夫々の平面偏向鏡２２が含
まれている。屋根型鏡１８と、感光要素１６は、これら
二つの受光系に関連して設けられている。受光軸Ｘ＋、
Ｌは、光センサの主軸を示す伝搬光軸Ｘ０と同一平面
内にある。この平面は、図面紙面と同一である。更に、
受光軸は、同一ではあるが反対の方向に、夫々角度αを
伝搬光軸との間でなしている。光軸ｘｏ、 ｘｌ、 Ｘ
−の交差点は、光センサの走査限界ＴＷ、即わち、走査
範囲Ｔと背景範囲Ｈとの間の境界を示す、走査範囲内を
伝搬する光線中に入る物体は、光センサで応答せねばな
らず、一方、背景範囲Ｈ内に位置する物体は、検出して
はならない。
感光要素１６は、光伝搬装置１０．１１の背後で伝搬光
軸ｘ０に対し、線対称な位置に設けられる。感光要素１
６は、平坦であって、伝搬光軸Ｘ。に対し、はぼ垂直な
平面内に配される。更に、感光要素１６は、光伝搬装置
１０．１１から入射する直接光線に対しては遮蔽される
。感光要素１６は、−列に並び、互いには電気的に分離
された三つの検出領域を有している。中心検出領域Ｅ、
には、伝搬光軸Ｘ。が通っており、この軸を含む平面内
で反対方向へ同一寸法だけ、光軸Ｘ０から延びている。
軸ｘ０に対し、線対称な位置に設けられる。感光要素１
６は、平坦であって、伝搬光軸Ｘ。に対し、はぼ垂直な
平面内に配される。更に、感光要素１６は、光伝搬装置
１０．１１から入射する直接光線に対しては遮蔽される
。感光要素１６は、−列に並び、互いには電気的に分離
された三つの検出領域を有している。中心検出領域Ｅ、
には、伝搬光軸Ｘ。が通っており、この軸を含む平面内
で反対方向へ同一寸法だけ、光軸Ｘ０から延びている。
二つの検出領域Ｅ１． 、 Ｅ２アは、中心検出領域に
隣接して設けられる。二等辺直角三角形の断面を有する
屋根型鏡１８は、屋根の棟１８°が感光要素１６に対向
して伝搬光軸Ｘ。上に位置し、底面１８°゛が伝搬光軸
Ｘ。に対して垂直になるような態様で、感光要素１６と
伝搬光軸Ｘ。上の光源ｌＯとの間に配置される。屋根型
鏡１８は、走査限界ＴＷを調節するため、ハウジングに
固定される感光要素１６に対し、伝搬光軸Ｘ０に沿い、
矢印２０の方向に変位可能となっていてもよい。
隣接して設けられる。二等辺直角三角形の断面を有する
屋根型鏡１８は、屋根の棟１８°が感光要素１６に対向
して伝搬光軸Ｘ。上に位置し、底面１８°゛が伝搬光軸
Ｘ。に対して垂直になるような態様で、感光要素１６と
伝搬光軸Ｘ。上の光源ｌＯとの間に配置される。屋根型
鏡１８は、走査限界ＴＷを調節するため、ハウジングに
固定される感光要素１６に対し、伝搬光軸Ｘ０に沿い、
矢印２０の方向に変位可能となっていてもよい。
偏向鏡は、光軸平面内における夫々の受光軸Ｘ、、 Ｘ
ｏ上にあり、屋根型鏡１８の両側においてハウジング内
に固定されている。偏向鏡は、光軸ｘ０に向け、該軸ｘ
０にほぼ垂直な方向へ受取った光を投射する。また、総
ての構成要素は、図面紙面に対して垂直方向にも延びて
いる。
ｏ上にあり、屋根型鏡１８の両側においてハウジング内
に固定されている。偏向鏡は、光軸ｘ０に向け、該軸ｘ
０にほぼ垂直な方向へ受取った光を投射する。また、総
ての構成要素は、図面紙面に対して垂直方向にも延びて
いる。
受光軸Ｘ、、 Ｘ、は、対応する対物レンズ１４の中心
を通って偏向鏡２２および屋根型鏡１８での偏向後、関
連する検出領域Ｅｏ、 Ｅｌア、Ｅ、、Ｅ２．の間の夫
々の分離線に相当する中心光軸となる。双方向矢印２０
に沿い、屋根型鏡１８を移動、調節すると、偏向鏡への
この中心光軸に沿う光線の入射点が変位し、これにより
、光軸Ｘｏ、Ｌ、 Ｘｏ、 Ｘｔの間の夫々の角度αが
変えられて、走査限界ＴＷも変えられる。各偏向鏡２２
は、本１発明によ・り屋根型鏡１８の調節の範囲に相当
する長手方向の長さを持たねばならない。
を通って偏向鏡２２および屋根型鏡１８での偏向後、関
連する検出領域Ｅｏ、 Ｅｌア、Ｅ、、Ｅ２．の間の夫
々の分離線に相当する中心光軸となる。双方向矢印２０
に沿い、屋根型鏡１８を移動、調節すると、偏向鏡への
この中心光軸に沿う光線の入射点が変位し、これにより
、光軸Ｘｏ、Ｌ、 Ｘｏ、 Ｘｔの間の夫々の角度αが
変えられて、走査限界ＴＷも変えられる。各偏向鏡２２
は、本１発明によ・り屋根型鏡１８の調節の範囲に相当
する長手方向の長さを持たねばならない。
感光要素１６の検出領域Ｅ１Ｔ、 ＥＨ，Ｅ２Ｔの配置
および細分割に関しては、外側検出領域Ｅｂ、、Ｅ２．
．、が夫々の受光系を経て走査範囲Ｔからの光を主とし
て受取る一方で、中心検出領域Ｅｏは、二つの受光系を
経て光センサの観察の場の背景範囲Ｈからの光を主とし
て受取る様になるべく考慮する。これは、なかんずく、
受光軸り、Ｌの一つに一致する光線が中心検出領域Ｅｏ
と外側検出領域Ｅ１．． Ｅ２Ｔとの間の分ｉ（ｉ ４
ｍ上に正確に乗るようにすることで成し得る。更に、図
面は、矢印Ｙによって示される物体により、光センサの
観察の場の背景範囲Ｈにおいて光軸Ｘ。上に乗る物体Ｇ
を例として示す。
および細分割に関しては、外側検出領域Ｅｂ、、Ｅ２．
．、が夫々の受光系を経て走査範囲Ｔからの光を主とし
て受取る一方で、中心検出領域Ｅｏは、二つの受光系を
経て光センサの観察の場の背景範囲Ｈからの光を主とし
て受取る様になるべく考慮する。これは、なかんずく、
受光軸り、Ｌの一つに一致する光線が中心検出領域Ｅｏ
と外側検出領域Ｅ１．． Ｅ２Ｔとの間の分ｉ（ｉ ４
ｍ上に正確に乗るようにすることで成し得る。更に、図
面は、矢印Ｙによって示される物体により、光センサの
観察の場の背景範囲Ｈにおいて光軸Ｘ。上に乗る物体Ｇ
を例として示す。
矢印ＹＡは、残りの表面よりも強く反射する物体Ｇの表
面領域を示す。物体Ｇの二つの重なった像は、二つの受
光系および屋根型鏡を経て感光要素１６へ投射され、こ
れは、ハツチングを施した光線路によって示されている
。これ等の像の中心点と、伝搬光軸Ｘ。に対して同一距
離に対称的に位置している。双方の像は、背景範囲Ｈに
関する共通検出領域ＥＨ上で重力方向の中心に表れてい
る。これに対し、検地範囲Ｔ内に存在する物体は、走査
範囲Ｔに関連する検出領域Ｅｌｆ、Ｅ２アの重力方向の
中心を照らすことはない（図示せず）。
面領域を示す。物体Ｇの二つの重なった像は、二つの受
光系および屋根型鏡を経て感光要素１６へ投射され、こ
れは、ハツチングを施した光線路によって示されている
。これ等の像の中心点と、伝搬光軸Ｘ。に対して同一距
離に対称的に位置している。双方の像は、背景範囲Ｈに
関する共通検出領域ＥＨ上で重力方向の中心に表れてい
る。これに対し、検地範囲Ｔ内に存在する物体は、走査
範囲Ｔに関連する検出領域Ｅｌｆ、Ｅ２アの重力方向の
中心を照らすことはない（図示せず）。
感光要素１６へ対物レンズ１４によって投射される物体
Ｇの像Ｇ゛は、上側偏向鏡２２により、視覚的に再現さ
れる。全く同様に、下側受光系によって形成される像は
虚像Ｇ” と成る。
Ｇの像Ｇ゛は、上側偏向鏡２２により、視覚的に再現さ
れる。全く同様に、下側受光系によって形成される像は
虚像Ｇ” と成る。
像Ｇ’、 Ｇ” 、特にＹ’ ＋ｕ 、Ｙ’Ａ ＋２１
およびＹｏ”＋２１ 。
およびＹｏ”＋２１ 。
Ｙ”Ａ＋ｚ＋ の位置により、検出領域Ｅ１アが配され
る伝搬光軸Ｘ。の−側の像位置は、検出領域Ｅ２Ｔが配
される伝搬光軸ｘ０の他側の像位置と完全に逆になる。
る伝搬光軸Ｘ。の−側の像位置は、検出領域Ｅ２Ｔが配
される伝搬光軸ｘ０の他側の像位置と完全に逆になる。
従って、物体Ｇの領域ＹＡの反射が強まれば、走査範囲
Ｔに関連する検出領域Ｅ１アヘ第一受光系を介して与え
られる光量は増し、逆に、背景範囲Ｈに関連する共通検
出領域Ｅ、は、第二受光系を介し、背景光量の増大を受
ける。
Ｔに関連する検出領域Ｅ１アヘ第一受光系を介して与え
られる光量は増し、逆に、背景範囲Ｈに関連する共通検
出領域Ｅ、は、第二受光系を介し、背景光量の増大を受
ける。
物体の認識に使用可能な出力信号を得るため、検出領域
Ｅ：＋、Ｅ１ア、Ｅ２アは、電子式処理回路１３に夫々
結合され、回路１３は、走査範囲に関する検出領域Ｅ１
Ｔ、 Ｅ２Ｔの出力信号の加算信号を形成すると共に、
これ等の加算信号と背景範囲Ｈに関する共通検出領域Ｅ
ｏの出力信号との差を形成し、このとき、背景範囲Ｈか
ら来る光束の合成は、光学路によって行なわれる。電子
式処理回路１３において実施される演算操作は次の式に
従う。
Ｅ：＋、Ｅ１ア、Ｅ２アは、電子式処理回路１３に夫々
結合され、回路１３は、走査範囲に関する検出領域Ｅ１
Ｔ、 Ｅ２Ｔの出力信号の加算信号を形成すると共に、
これ等の加算信号と背景範囲Ｈに関する共通検出領域Ｅ
ｏの出力信号との差を形成し、このとき、背景範囲Ｈか
ら来る光束の合成は、光学路によって行なわれる。電子
式処理回路１３において実施される演算操作は次の式に
従う。
％式％（）
Ｓ＋ｔ ：検出領域Ｅｌｔの電気的出力信号Ｓ２Ｔ ：
検出領域Ｅ２Ｔの電気的出力信号ＳＨ１検出領域Ｅｏの
電気的出力信号 背景範囲Ｈに関する出力信号の電子的加算は、光学路に
よって既に行なわれているため、必要ではない、受光光
学系の対応する配置により一１検知範囲Ｔに関連する加
算信号または光学装置（図示せず）による双方の加算信
号を得ることも可能である。
検出領域Ｅ２Ｔの電気的出力信号ＳＨ１検出領域Ｅｏの
電気的出力信号 背景範囲Ｈに関する出力信号の電子的加算は、光学路に
よって既に行なわれているため、必要ではない、受光光
学系の対応する配置により一１検知範囲Ｔに関連する加
算信号または光学装置（図示せず）による双方の加算信
号を得ることも可能である。
検出される物体の不均等な反射特性によってもたらされ
る受取られた光束の均等性の欠如は、出力信号では補償
される６図示の実施例では、−層高い光束は、走査範囲
に関する検出領域Ｅｌ？へ物体の一層強く反射する部分
Ｙ１から第一受光系を介して当り、これは、走査範囲Ｔ
内に位置する物体の印象をそれ自体で与え得る。しかし
、出力信号を得るための差の形成の際に誤差が正確に削
除される様に、第二光線においては逆の像位置によって
背景範囲に関する共通検出領域Ｅ８へ投射される。
る受取られた光束の均等性の欠如は、出力信号では補償
される６図示の実施例では、−層高い光束は、走査範囲
に関する検出領域Ｅｌ？へ物体の一層強く反射する部分
Ｙ１から第一受光系を介して当り、これは、走査範囲Ｔ
内に位置する物体の印象をそれ自体で与え得る。しかし
、出力信号を得るための差の形成の際に誤差が正確に削
除される様に、第二光線においては逆の像位置によって
背景範囲に関する共通検出領域Ｅ８へ投射される。
照明の不均等性や、伝搬光線中に、物体の一部しか入ら
なかった場合の誤差も、また同様に補償される。従って
、本発明による光センサは、非常に良好な物体識別能と
、背景の混合除去機能を有している。本光センサの出力
信号は、正確に所定の走査距離ＴＷにおいて鮮明に限定
される零通路を有し、走査される物体の光学的不均等性
および照明の不均等性には正に無関係である。
なかった場合の誤差も、また同様に補償される。従って
、本発明による光センサは、非常に良好な物体識別能と
、背景の混合除去機能を有している。本光センサの出力
信号は、正確に所定の走査距離ＴＷにおいて鮮明に限定
される零通路を有し、走査される物体の光学的不均等性
および照明の不均等性には正に無関係である。
上述の補償原理は、走査範囲Ｔおよび背景範囲Ｈに関連
する感光要素１６の検出領域Ｅ１．． ＥＨ，Ｅ２Ｔの
間の分離線と、受光系統の対物レンズ１４の頂点とによ
って限定され光学主軸ｘ０に対称的な二つの受光軸Ｘ、
、 Ｘ、を必要とする。空間的にコンパクトな構造を得
るには、受光軸ＸＩ、’Ｘ２は、出来るだけ接近してい
なければならない。
する感光要素１６の検出領域Ｅ１．． ＥＨ，Ｅ２Ｔの
間の分離線と、受光系統の対物レンズ１４の頂点とによ
って限定され光学主軸ｘ０に対称的な二つの受光軸Ｘ、
、 Ｘ、を必要とする。空間的にコンパクトな構造を得
るには、受光軸ＸＩ、’Ｘ２は、出来るだけ接近してい
なければならない。
検知距離Ｔｗを調節するためには、屋根型鏡１８の位置
を主系統軸ｘ０に沿って調節可能であるが、これは、虚
像または検出領域Ｅ１．Ｔ、 ＥＨ，Ｅ２ｔの位置の変
化を招く。投射される中間像の位置は、屋根型鏡１８を
調節した量だけ変化する。屋根型鏡１８による走査距離
ＴＷの調節は、受動的光学要素のみが移動されるが、光
伝搬装置１０．１２および受光系の光電子工学構成要素
は空間的に固定したま＼にし得る利点を有している。別
の利点は、すべての感光要素が空間的に接近しているこ
と、また、検出領域が三つで済むことである。
を主系統軸ｘ０に沿って調節可能であるが、これは、虚
像または検出領域Ｅ１．Ｔ、 ＥＨ，Ｅ２ｔの位置の変
化を招く。投射される中間像の位置は、屋根型鏡１８を
調節した量だけ変化する。屋根型鏡１８による走査距離
ＴＷの調節は、受動的光学要素のみが移動されるが、光
伝搬装置１０．１２および受光系の光電子工学構成要素
は空間的に固定したま＼にし得る利点を有している。別
の利点は、すべての感光要素が空間的に接近しているこ
と、また、検出領域が三つで済むことである。
図示していないが、本発明光センサの他の実施 ・例と
しては、空間的に離散配置された光検出器、特に光ダイ
オード・アレイを感光要素１６の代わりに使用すること
ができる。これは、限定された検知距離を有する光セン
サから距離センサ、即ち距離測定装置へ本装置を発展さ
せる可能性を与える。センサによって検知される物体の
距離は、二つの受光系によって投射される伝搬された光
点の後方の像の間隔によって定められる。
しては、空間的に離散配置された光検出器、特に光ダイ
オード・アレイを感光要素１６の代わりに使用すること
ができる。これは、限定された検知距離を有する光セン
サから距離センサ、即ち距離測定装置へ本装置を発展さ
せる可能性を与える。センサによって検知される物体の
距離は、二つの受光系によって投射される伝搬された光
点の後方の像の間隔によって定められる。
こうした装置系の利点は、測定が光点の寸法、光点の均
等性、および検知される物体の反射挙動に殆ど影響され
ないことにある。従って、三角測量の原理による他の方
法とは対照的に、測定精度は、光点の寸法または光点の
強さの分布によっては制限されないもの＼、光ダイオー
ド・アレイのラスク間隔によっては制限される。これは
、二つの一致する像が評価のために与えられたとき、光
グイオード・アレイの絵素のみが例えば測定に使用され
ると、これ等がそれぞれの像内で強さの最大を呈するか
らである。
等性、および検知される物体の反射挙動に殆ど影響され
ないことにある。従って、三角測量の原理による他の方
法とは対照的に、測定精度は、光点の寸法または光点の
強さの分布によっては制限されないもの＼、光ダイオー
ド・アレイのラスク間隔によっては制限される。これは
、二つの一致する像が評価のために与えられたとき、光
グイオード・アレイの絵素のみが例えば測定に使用され
ると、これ等がそれぞれの像内で強さの最大を呈するか
らである。
別の利点は、光ダイオード・アレイにおける光点寸法に
対し、測定結果は殆ど無関係ということにある。従って
、光源として光または赤外放射線を伝搬する発光ダイオ
ード（ＬＥＤ、 ＩＲＥＤ）を使用しても、他の方法で
はレーザ光源によってのみ達成可能な分解能と測定範囲
を得られる可能性もある。受取られる光線路の焦点深さ
は、測定結果に僅かな影響しか与えず、従って、大きな
走査範囲が達成可能なことも分かっている。三角測量法
に即し、唯一の光伝搬受光チャンネルを有する通常の光
学距離センサに比較しても、比較可能な測定範囲と、比
較可能な分解能においては、光学構成要素の像形成特性
に望まれる要件は緩くて良い。
対し、測定結果は殆ど無関係ということにある。従って
、光源として光または赤外放射線を伝搬する発光ダイオ
ード（ＬＥＤ、 ＩＲＥＤ）を使用しても、他の方法で
はレーザ光源によってのみ達成可能な分解能と測定範囲
を得られる可能性もある。受取られる光線路の焦点深さ
は、測定結果に僅かな影響しか与えず、従って、大きな
走査範囲が達成可能なことも分かっている。三角測量法
に即し、唯一の光伝搬受光チャンネルを有する通常の光
学距離センサに比較しても、比較可能な測定範囲と、比
較可能な分解能においては、光学構成要素の像形成特性
に望まれる要件は緩くて良い。
添付の図面は本発明光センサの一実施例の概略構成図で
ある。 図中、Ｈは背景範囲、ｘｏは伝搬光軸、Ｘ、、 Ｘ２は
受光軸、Ｅ、は中心検出領域、Ｅ１Ｔ、Ｅ２Ｔは外側検
出領域、１３は電子式処理回路、１４は受光対物レンズ
、１８は屋根型鏡、１８°は棟、２２は平面偏向鏡、α
は角度を示す。
ある。 図中、Ｈは背景範囲、ｘｏは伝搬光軸、Ｘ、、 Ｘ２は
受光軸、Ｅ、は中心検出領域、Ｅ１Ｔ、Ｅ２Ｔは外側検
出領域、１３は電子式処理回路、１４は受光対物レンズ
、１８は屋根型鏡、１８°は棟、２２は平面偏向鏡、α
は角度を示す。
Claims (7)
- （１）光源と、その軸に沿って光を放射する光伝搬系と
を有する光伝搬装置と、該光伝搬装置に沿って該光伝搬
装置の両側に設けられる二つの受光系とを備え、該各受
光系が、前記光伝搬系の軸を含む一平面内において該軸
に対称的な各受光軸に沿い、検出されるべき物体から逆
に散乱された光を受ける対物レンズを有し、該各受光系
が、二つの検出領域を持つ一つの感光要素を有し、一つ
の該検出領域が、主として検知範囲から光を受取り、 他の該検出領域が、光センサの観察の場の背景範囲から
主として光を受取り、前記物体を認識するのに使用され
る出力信号が、前記検知範囲に関連する検出領域からの
信号と、前記背景範囲に関連する検出領域からの信号の
加算と、二つの加算信号の差の形成とによって得られる
光センサにおいて、前記感光要素が、前記背景範囲（Ｈ
）に関連する中心検出領域（Ｅ＿Ｈ）を含む三つの光電
検出領域（Ｅ１＿Ｔ、Ｅ＿Ｈ、Ｅ２＿Ｔ）を有し、二つ
の前記対物レンズ（１４）によって受取られる光が、固
定されて配置された二つの偏向鏡（２２）と、該鏡の間
に配置された屋根型鏡（１８）とによって加算的な重ね
合わせのために該中心検出領域へ送られ、該屋根型鏡（
１８）が、夫々の該対物レンズ（１４）の中心を通過す
る中心光線によって定められた前記受光軸（Ｘ＿１、Ｘ
＿２）の間の角度を調節するため、前記光伝搬（Ｘ＿０
）と、三つの前記検出領域（Ｅ１＿Ｔ、Ｅ＿Ｈ、Ｅ２＿
Ｔ）の間の夫々の分離線とに沿って調節可能になってい
ることを特徴とする光センサ。 - （２）特許請求の範囲第１項に記載の光センサにおいて
、前記屋根型鏡（１８）の屋根の棟（１８′）が、前記
光伝搬軸（Ｘ＿０）上にあって、前記中心検出領域（Ｅ
＿Ｈ）に向って配されていることを特徴とする光センサ
。 - （３）特許請求の範囲第１項または第２項に記載の光セ
ンサにおいて、前記屋根の棟の角度が、前記光伝搬軸（
Ｘ＿０）によって二等分されることを特徴とする光セン
サ。 - （４）特許請求の範囲第１項から第３項のいづれか１つ
の項に記載の光センサにおいて、前記屋根型鏡１８が、
９０°の頂角を有することを特徴とする光センサ。 - （５）特許請求の範囲第１項から第４項のいづれか１つ
の項に記載の光センサにおいて、前記三つの光電検出領
域（Ｅ１＿Ｔ、Ｅ＿Ｈ、Ｅ２＿Ｔ）が、双方の前記受光
系に関する前記中心検出領域（Ｅ＿Ｈ）を有した列状に
配されることを特徴とする光センサ。 - （６）特許請求の範囲第１項から第５項のいづれか１つ
の項に記載の光センサにおいて、電子式評価回路（１３
）が、前記外側検出領域（Ｅ１＿Ｔ、Ｅ２＿Ｔ）からの
信号の加算結果から前記中心検出領域（Ｅ＿Ｈ）の信号
を引く差の形成によって出力信号を形成することを特徴
とする光センサ。 - （７）特許請求の範囲第１項から第６項のいづれか１つ
の項に記載の光センサにおいて、前記光伝搬軸（Ｘ＿０
）と前記受光系の一つの軸および他の軸との間の角度（
α）が、前記屋根型鏡（１８）の中央位置に対して約２
°乃至４５°、好ましくは２°乃至１０°になることを
特徴とする光センサ。 ８）特許請求の範囲第１項から第７項のいづれか１つの
項に記載の光センサにおいて、前記角度（α）が、前記
屋根型鏡（１８）の変位によって１°乃至１５°、好ま
しくは１°乃至５°に変更可能であることを特徴とする
光センサ。 ９）特許請求の範囲第１項に記載の光センサにおいて、
位置選択式の光検出器、特に光ダイオード・アレイが感
光要素として設けられ、 前記二つの受光系統から該感光要素へ逆に投射された光
像の間隔が、前記光センサから前記物体までの距離を計
るために測定されることを特徴とする光センサ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3729334.6 | 1987-09-02 | ||
| DE19873729334 DE3729334A1 (de) | 1987-09-02 | 1987-09-02 | Lichttaster |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01145515A true JPH01145515A (ja) | 1989-06-07 |
| JPH0762614B2 JPH0762614B2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=6335074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63218610A Expired - Lifetime JPH0762614B2 (ja) | 1987-09-02 | 1988-09-02 | 光センサ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4899041A (ja) |
| EP (1) | EP0307714B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0762614B2 (ja) |
| DE (2) | DE3729334A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0413917A (ja) * | 1990-05-08 | 1992-01-17 | Hamamatsu Photonics Kk | 距離検出器 |
Families Citing this family (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL8902314A (nl) * | 1989-09-15 | 1991-04-02 | Michiel Kassies | Werkwijze en inrichting voor het detecteren van een voorwerp. |
| DE4032361A1 (de) * | 1990-10-12 | 1992-04-16 | Dirk Prof Dr Ing Jansen | Distanzmesskopf fuer drehmaschinen |
| DE4040225C2 (de) * | 1990-12-15 | 1994-01-05 | Leuze Electronic Gmbh & Co | Reflexions-Lichttaster |
| FI87696C (fi) * | 1991-09-30 | 1993-02-10 | Valtion Teknillinen | Foerfarande i en med optisk princip fungerande ankomstkoppling |
| FI914598A (fi) * | 1991-09-30 | 1993-03-31 | Valtion Teknillinen | Foerfarande i en med optisk princip fungerande ankomstkoppling |
| US5245177A (en) * | 1991-10-24 | 1993-09-14 | Schiller Norman H | Electro-optical system for detecting the presence of an object within a predetermined detection system |
| IL100657A0 (en) * | 1992-01-14 | 1992-09-06 | Ziv Soferman | Multifocal optical apparatus |
| DE4311691C2 (de) * | 1993-04-08 | 1996-07-04 | Sick Erwin Gmbh | Verfahren zum Justieren eines Lichtabstandstasters und Lichtabstandstaster |
| DE4312186C2 (de) * | 1993-04-14 | 1995-04-06 | Sick Optik Elektronik Erwin | Verfahren und Vorrichtungen zur Feststellung von in einem Überwachungsbereich vorhandenen Gegenständen und/oder zur Feststellung deren Position |
| US5446281A (en) * | 1994-03-24 | 1995-08-29 | Eaton Corporation | Optical sensor with movable refraction element to adjust sensor range |
| DE4419032A1 (de) * | 1994-05-31 | 1996-01-25 | Sick Optik Elektronik Erwin | Lichttaster mit Hintergrundausblendung, realisiert nach dem Quotientenverfahren |
| US5850282A (en) * | 1995-10-11 | 1998-12-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Distance measuring device |
| US5870178A (en) * | 1996-02-20 | 1999-02-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Distance measuring apparatus |
| DE19644565A1 (de) * | 1996-10-26 | 1998-04-30 | Teves Gmbh Alfred | Sich bewegende Objekte, feststellende Überwachungseinrichtung, insbesondere für Kraftfahrzeuge |
| US6181474B1 (en) | 1999-03-22 | 2001-01-30 | Kovex Corporation | Scanning confocal microscope with objective lens position tracking |
| US6400460B1 (en) * | 2000-04-10 | 2002-06-04 | Honeywell International Inc. | Multifunction optical sensor with variable detection threshold and noise suppression |
| DE10055689B4 (de) * | 2000-11-06 | 2010-09-16 | Pepperl & Fuchs-Visolux Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines optischen Triangulationslichtgitters |
| US6611318B2 (en) | 2001-03-23 | 2003-08-26 | Automatic Timing & Controls, Inc. | Adjustable mirror for collimated beam laser sensor |
| JP2004071366A (ja) | 2002-08-07 | 2004-03-04 | Omron Corp | 光電センサ |
| EP1496335A3 (de) * | 2003-07-11 | 2005-04-06 | Leuze electronic GmbH + Co KG | Optoelektronische Vorrichtung |
| DE102004012220B4 (de) | 2004-03-12 | 2018-05-03 | Sick Ag | Optoelektronischer Sensor |
| CN101382664B (zh) * | 2008-10-23 | 2010-06-16 | 高秀敏 | 一种偏振态非均匀分布光束产生方法及其装置 |
| US20100277711A1 (en) * | 2009-05-04 | 2010-11-04 | Capella Microsystems, Corp. | Optical quantized distance measuring apparatus and method thereof |
| DE102010022273A1 (de) | 2010-05-31 | 2011-12-01 | Sick Ag | Optoelektronischer Sensor zur Detektion von Objektkanten |
| EP2434311B1 (de) | 2010-09-27 | 2014-07-16 | Sick Ag | Verfahren zur optischen Überwachung eines Überwachungsbereiches und Reflexions-Lichttaster |
| EP2676154A1 (en) * | 2011-02-15 | 2013-12-25 | Datalogic IP TECH S.r.l. | Method and device for detecting an object with background suppression |
| DE102013205801B4 (de) | 2013-04-02 | 2016-11-10 | Sick Ag | Triangulationslichttaster |
| EP2801786B1 (de) | 2013-05-08 | 2019-01-02 | Sick AG | Optoelektronischer Sensor und Verfahren zur Erkennung von Objektkanten |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2235356B1 (ja) * | 1973-06-29 | 1976-04-30 | Sfim | |
| JPS5385452A (en) * | 1977-01-06 | 1978-07-27 | Canon Inc | Range finder |
| JPS54126023A (en) * | 1978-03-23 | 1979-09-29 | Canon Inc | Optical device |
| DE2818942C2 (de) * | 1978-04-28 | 1986-03-27 | Zellweger Uster Ag, Uster | Verfahren zur Raumüberwachung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| US4375332A (en) * | 1979-09-21 | 1983-03-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Anti-ghost device for optical distance measuring system |
| US4391513A (en) * | 1979-12-25 | 1983-07-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Range finding optical mechanism |
| JPS5793208A (en) * | 1980-12-01 | 1982-06-10 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Optical system of distance measuring apparatus |
| DD244835A1 (de) * | 1985-12-24 | 1987-04-15 | Zeiss Jena Veb Carl | Anordnung zur optischen signaluebertragung und -verteilung |
| DE3613088A1 (de) * | 1986-04-18 | 1987-10-22 | Diehl Gmbh & Co | Einrichtung zur erhoehung der querschnittsleistungsdichte eines laserstrahl |
| JPS63235909A (ja) * | 1987-03-24 | 1988-09-30 | Fuji Photo Optical Co Ltd | アクテイブ型オ−トフオ−カス機構 |
-
1987
- 1987-09-02 DE DE19873729334 patent/DE3729334A1/de active Granted
-
1988
- 1988-08-30 EP EP88114135A patent/EP0307714B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-08-30 DE DE8888114135T patent/DE3877472D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-09-02 JP JP63218610A patent/JPH0762614B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1988-09-02 US US07/239,732 patent/US4899041A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0413917A (ja) * | 1990-05-08 | 1992-01-17 | Hamamatsu Photonics Kk | 距離検出器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4899041A (en) | 1990-02-06 |
| DE3877472D1 (de) | 1993-02-25 |
| JPH0762614B2 (ja) | 1995-07-05 |
| EP0307714A1 (de) | 1989-03-22 |
| DE3729334A1 (de) | 1989-03-16 |
| DE3729334C2 (ja) | 1989-07-27 |
| EP0307714B1 (de) | 1993-01-13 |
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