DE2304974C3 - Wassergekühlte Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Stäben aus Halbleitermaterial - Google Patents
Wassergekühlte Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Stäben aus HalbleitermaterialInfo
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- DE2304974C3 DE2304974C3 DE19732304974 DE2304974A DE2304974C3 DE 2304974 C3 DE2304974 C3 DE 2304974C3 DE 19732304974 DE19732304974 DE 19732304974 DE 2304974 A DE2304974 A DE 2304974A DE 2304974 C3 DE2304974 C3 DE 2304974C3
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/02—Induction heating
- H05B6/36—Coil arrangements
- H05B6/42—Cooling of coils
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
- C30B13/16—Heating of the molten zone
- C30B13/20—Heating of the molten zone by induction, e.g. hot wire technique
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Description
Gegenstand der Patentanmeldung P 21 60 694.0 ist eine wassergekühlte Induktionsheizspule zum tiegelfreien
Zonenschmelzen von Stäben aus Halbleitermaterial, die mindestens zwei durch Schraubenverbindungen
miteinander verbundene Bauteile aufweist, die u. a. ein- oder mehrwind.o ausgebildet ist und zwei Innenteile
aufweist, die mit dem inneren Wandungsteil in Kontakt
stehen.
Mittels einer solchen Induktr-nheizspule ist es
möglich, Halbleitcrstäbe mit größerem Durchmesser als dem Innendurchmesser der Spule durch das tiegelfreie
Zonenschmelzen herzustellen, ohne daß die Spule nach Beendigung des Schmelzzonendurchgangs »ausgefädelt«
oder der Halbleiterstab auscinanderge/ogen oder gebrochen Bar 1 EM/04.12.78 werden muß. Dies ist
insbesondere wichtig bei der Herstellung versetzungsfreier Siliciumcinkristalle, bei der oft mehrere Schmelz
zonendurchgänge erforderlich sind.
Die Erfindung stellt eine weitere Verbesserung der eingangs erwähnten Induklionsheizspule dar und ist
dadurch gekennzeichnet, daß die eine Hälfte des Induktionsteils mit der Spule fest verbunden ist und die
Trennflächen der Innenteilhälften senkrecht zur Spulenebene liegen.
In einer Weiterbildung des Erfindungsgedankens ist vorgesehen, an den Trennflächen der Innenteilhälften
Stege aus leitendem Material zur Verbindung der beiden Hälften anzubringen. Gemäß einem besonderen
günstigen Ausführungsbeispiel nach der Lehre der Erfindung bestehen diese Verbindungsstege aus versilbertem
Messing und sind durch Hartlöten an den
ίο lnneneinsatzhäiften befestigt
Zweckmäßigerweise besteht die Spule aus Kupfer und/oder Silber.
Diese Induktionsheizspule hat gegenüber der in der Hauptpatentanmeldung beschriebenen Induktionsheiztpule
den Vorteil, daß sie leichter herzustellen und zu montieren ist. Für die Herstellung von Siliciumeinkristallstäben
durch das tiegelfreie Zonenschmelzverfahren ist es auch im Dauerbetrieb sehr gut geeignet.
Nähere Einzelheiten der Erfindung sind den in der Zeichnung befindlichen F i g. 1 und 2 zu entnehmen.
Fig.! zeigt in Draufsicht eine aus den zwei Teilen ί
und 2 bestehende Induktionsheizspule. Zum Teil 1 gehört, wie aus Fig. 1 zu ersehen ist, die ringförmige
Innenteilhälfte 3 mit den sie umgegebenden Windungen
4 und 5 sowie der Stromzuführung 6. Teil 2 enthält die ringförmige Innenteilhälfte 7 und die Stromzuführung 8.
Zur Verbindung der beiden Teile I und 2 sind an der jeweiligen Trennfläche 9 und 10 der Innenteilhälften 3
und 7 Stege in Form von Verbindungsflanschen 11 und
jo 12 angelötet, welche beim Zusammenbau der Spule in
Kontakt gebracht und durch eine Schraubenverbindung miteinander verbunden werden. Dabei liegt die
Trennfuge zwischen den beiden Innenteilhälften 3 und 7 senkrecht zur Spulebene. Die Montage der Spule um
den bereits in Halterungen eingespannten Halbleiterstab ist sehr einfach, da die Innenteilhälfte 2 lediglich
mittels der Schrauben 17, welche oben und unten durch die in den Flanschen 11 und 12 befindlichen Löcher 13
und i4 hindurchgeführl sind, mit der Jie Spulenwindungen
4 und 5 enthaltenden Innenteilhälfte 1 verbunden wird.
Fig. 2 zeigt einen vergrößerten Ausschnitt der Verbindungsstelle an den beiden Innenteilhälften. Dabei
ist der für den Kühlwasserdurchfluß der Spule vorgesehene Kanal mit 15 und die Gummidichtung mit
16 bezeichnet. Ansonsten gelten die gleichen Bezugszeichen wie in F i g. 1.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (3)
1. Wassergekühlte Induktionsheizspule zum tiegelfreien
Zonenschmelzen von Stäben aus Halbleitermaterial, die mindestens zwei durch Schraubverbindungen
miteinander verbundene Bauteile aufweist, ein- oder mehrwindig ausgebildet ist und
zwei Inntenteile aufweist, die mit dem inneren Windungsteil in Kontakt stehen, nach Patentanmeldung
P 21 60 694.0-43, dadurch gekennzeichnet,
daß die eine Hälfte des Innenteils mit der Spule fest verbunden ist und die Trennflächen
der Innenteilhälften senkrecht zur Spulebene liegen.
2. Induktionsheizspule nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an den Trennflächen der
Innenteilhälften Stege aus leitendem Material zur Verbindung der beiden Hälften vorgesehen sind.
3. Induktionsheizspule nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsstege
aus versilbertem Messing bestehen und durch Hartlöten an den lnneneinsatzhäiften befestigt sind.
Priority Applications (7)
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|---|---|---|---|
| DE19732304974 DE2304974C3 (de) | 1973-02-01 | 1973-02-01 | Wassergekühlte Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Stäben aus Halbleitermaterial |
| GB4743073A GB1427372A (en) | 1973-02-01 | 1973-10-11 | Induction heating coils |
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| IT1980074A IT1046553B (it) | 1973-02-01 | 1974-01-25 | Bobina di riscaltamento a inbuzione per la fusione a zona senza crogiuo lo di bacchette semiconduttrici |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (3)
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Family
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Family Applications (1)
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Families Citing this family (3)
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|---|---|---|---|---|
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| FR2654583B1 (fr) * | 1989-11-22 | 1992-09-11 | Expanchimie | Procede d'extraction du cholesterol contenu dans une matiere grasse d'origine animale. |
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1973
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1974
- 1974-01-25 IT IT1980074A patent/IT1046553B/it active
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- 1974-02-01 BE BE140477A patent/BE810520R/xx active
Also Published As
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| BE810520R (fr) | 1974-05-29 |
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| JPS49111243A (de) | 1974-10-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
| 8320 | Willingness to grant licences declared (paragraph 23) |