DE2304974A1 - Induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen von halbleiterstaeben - Google Patents

Induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen von halbleiterstaeben

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DE2304974A1 DE19732304974 DE2304974A DE2304974A1 DE 2304974 A1 DE2304974 A1 DE 2304974A1 DE 19732304974 DE19732304974 DE 19732304974 DE 2304974 A DE2304974 A DE 2304974A DE 2304974 A1 DE2304974 A1 DE 2304974A1
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Description

SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT München 2, -1.FEB. 1973 Berlin und München Witteisbacherplatz 2
VPA 73/1021
Indulctionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstäben
Zusatz zu P 21 60 694.0; = YPA 71/1193
Die vorliegende Patentanmeldung betrifft eine Induktions- : heizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Stäben aus Halbleitermaterial, welche zerlegbar aufgebaut ist und mindestens zwei Bauteile aufweist, die durch Schraubverbindungen und für die Kühlung vorgesehene Abdichtungen miteinander verbunden sind, nach Patent ............ (P 21 60 694.0; YPA 71/1193).
Mittels einer solchen Induktionsheizspule ist es möglich, Halbleiterstäbe mit größerem Durchmesser als dem Innendurchmesser der Spule durch das tiegelfreie Zonenschmelzen herzustellen, ohne daß die Spule nach Beendigung des Schmelzzonendurchgangs "ausgefädelt1' oder der Halbleiterstab auseinandergezogen oder gebrochen werden muß. Dies ist insbesondere wichtig bei der Herstellung versetzungsfreier Siliciumeinkristalle, bei der oft mehrere Schmelzzonendurchgänge erforderlich sind.
Die Erfindung stellt eine v/eitere Verbesserung der eingangs erwähnten Induktionsheizspule dar und ist dadurch gekennzeichnet, daß die Spule aus einer ein- oder mehrwindigen Anordnung mit einem nach der Spulenmitte hin verlaufenden, für die Kühlung vorgesehenen ringförmigen, aus zwei Hälften bestehenden Inneneinsatz aufgebaut ist, wobei die eine Hälfte des Inneneinsatzes mit der ein- oder mehrwindigen Anordnung der Spule fest verbunden ist und die Trennflächen der Inneneins atzhälft en senkrecht zur Spulenebene liegen.
VPa 9/110/2094 Edt/Hob - 2 -
409832/0934
In einer Weiterbildung des Erfindungsgedankens ist vorgesehen, an den Trennflächen der Inneneinsatzhälften Stege aus leitendem Material zur Verbindung der beiden Hälften anzubringen. Gemäß einem besonders günstigen Ausführungsbeispiel nach der Lehre der Erfindung bestehen diese Verbindungsstege aus versilbertem Messing und sind durch Hartlöten an den Inneneinsatzhälften befestigt.
Diese Induktionsheizspule hat gegenüber der in der Hauptpatentanmeldung beschriebenen Induktionsheizspule den Vorteil, daß sie leichter herzustellen und zu montieren ist. Für die Herstellung von Siliciumeinkristallstäben durch das tiegelfreie Zonenschmelzverfahren ist sie auch im Dauerbetrieb sehr gut geeignet.
Nähere Einzelheiten der Erfindung sind den in der Zeichnung befindlichen Figuren 1 und 2 zu entnehmen.
Figur 1 zeigt in Draufsicht eine aus den zwei Teilen 1 und 2 bestehende Induktionsheizspule. Zum Teil 1 gehört, wie aus Figur 1 zu ersehen ist, die ringförmige Inneneinsatzhälfte 3 mit den sie umgebenden Windungen 4 und 5 sowie der Stromzuführung 6. Teil 2 enthält die ringförmige Inneneinsatzhälfte 7 und die Stromzuführung 8. Zur Verbindung der beiden die}beispielsweise aus Silber bestehenden Spule bildenden Teile 1 und 2 sind an der jeweiligen Trennfläche und 10 der Inneneinsatzhälften 3 und 7 Stege in Form von Verbindungsflanschen 11 und 12 angelötet, welche beim Zusammenbau der Spule in Kontakt gebracht und durch eine Schraubverbindung miteinander verbunden werden. Dabei liegt die Trennfuge zwischen den beiden Inneneinsatzhälften 3 und 7 senkrecht zur Spulenebene. Die Montage der Spule um den bereits in Halterungen eingespannten Halbleiterstab ist sehr einfach, da die Inneneinsatzhälfte 2 lediglich.mittels der Schrauben 17, welche oben und unten durch die in den
VPA 9/110/2094 - 3 -
409832/0934
Flanschen 11 und 12 befindlichen Löcher 13 und 14 hindurchgeführt sind, mit der die Spulenwindungen 4 und 5 enthaltenden Inneneinsatzhälfte 1 verbunden wird.
Figur 2 zeigt einen vergrößerten Ausschnitt der Verbindungsstelle an den beiden Inneneinsatzhälften. Dabei ist der für den Kühlwasserdurchfluß der Spule vorgesehene Kanal mit 15 und die Gummidichtung mit 16 bezeichnet. Ansonsten gelten die gleichen Bezugszeichen wie in Figur 1.
4 Patentansprüche
2 Figuren
VPA 9/110/2094 409832/0934 -4-

Claims (4)

1.) Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Stäben aus Halbleitermaterial, welche zerlegbar aufgebaut ist und mindestens zwei Bauteile aufweist, die durch Schraubverbindungen und für die Kühlung vorgesehene Abdichtungen miteinander verbunden sind,
nach Patent (P 21 60 694.0; VPA 71/1193),
dadurch gekennzeichnet, daß die Spule aus einer ein- oder mehrwindigen Anordnung mit einem nach der Spulenmitte hin verlaufenden, für die Kühlung vorgesehenen ringförmigen, aus zwei Hälften bestehenden Inneneinsatz aufgebaut ist, wobei die eine Hälfte des Inneneinsatzes mit der ein- oder mehrwindigen Anordnung der Spule fest verbunden ist und die Trennflächen der Inneneinsatzhälften senkrecht zur Spulenebene liegen.
2.) Induktionsheizspule nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an den Trennflächen der Inneneinsafczhälften Stege aus leitendem Material zur Verbindung der beiden Hälften vorgesehen sind.
3.) Induktionsheizspule nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennze ichnet , daß die Verbindungsstege aus versilbertem Messing bestehen und durch Hartlöten an den Inneneinsatzhälften befestigt sind.
4.) Induktionsheizspule nach Anspruch 1 bis 3> dadurch gekennzeichnet , daß die Spule aus Kupfer und/oder Silber besteht.
VPA 9/110/2094
409832/093
DE19732304974 1972-11-24 1973-02-01 Wassergekühlte Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Stäben aus Halbleitermaterial Expired DE2304974C3 (de)

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US435837A US3886509A (en) 1972-11-24 1974-01-23 Adjustable induction coil for zone melting of semiconductor rods
IT1980074A IT1046553B (it) 1973-02-01 1974-01-25 Bobina di riscaltamento a inbuzione per la fusione a zona senza crogiuo lo di bacchette semiconduttrici
JP1263874A JPS5510117B2 (de) 1973-02-01 1974-01-30
FR7403198A FR2216747B2 (de) 1973-02-01 1974-01-31
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2938793A1 (de) * 1979-09-25 1981-04-16 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen

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FR2654583B1 (fr) * 1989-11-22 1992-09-11 Expanchimie Procede d'extraction du cholesterol contenu dans une matiere grasse d'origine animale.

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FR2216747A2 (de) 1974-08-30
BE810520R (fr) 1974-05-29
IT1046553B (it) 1980-07-31
GB1427372A (en) 1976-03-10
FR2216747B2 (de) 1980-07-18
DE2304974C3 (de) 1980-07-10
DE2304974B2 (de) 1979-10-11
JPS5510117B2 (de) 1980-03-13

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