DE2304974B2 - Wassergekühlte Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Stäben aus Halbleitermaterial - Google Patents

Wassergekühlte Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Stäben aus Halbleitermaterial

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DE2304974B2
DE2304974B2 DE19732304974 DE2304974A DE2304974B2 DE 2304974 B2 DE2304974 B2 DE 2304974B2 DE 19732304974 DE19732304974 DE 19732304974 DE 2304974 A DE2304974 A DE 2304974A DE 2304974 B2 DE2304974 B2 DE 2304974B2
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induction heating
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    • H05B6/02—Induction heating
    • H05B6/36—Coil arrangements
    • H05B6/42—Cooling of coils
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
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    • C30B13/20—Heating of the molten zone by induction, e.g. hot wire technique

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Description

Gegenstand der Palentanmeldung P 2IbO 694.0 ist eine wassergekühlte Induktionsheizspule zum tiegelfrcien Zonenschmelzen von Stäben aus Halbleitermaterial, die mindestens zwei durch Schraubenverbindungen miteinander verbundene Bauteile aufweist, die u. a. eiti- oder mehrwindig ausgebildet ist und /wei Innenteile aufweist, die mit dem inneren Windlingsteil in Kontakt stehen.
Mittels einer solchen liKkiktionhei/.spule ist es möglich, Halblcilerstäbe mil größerem Durchmesser als dem Innendurchmesser der Spule durch das tiegelfreie Zonenschmelzen herzustellen, ohne daß die Spule nach Beendigung des Schmclzzoncndiirchgungs »atisgefüdelt« oder der llalbleileistab auseinander;:e/ogen oder gebrochen Bar I EM/04.12.78 weiden muß. Dies ist insbesondere wichtig bei der Herstellung verselzungsfieier Siliciumeinkrislalle, bei der oft mehrere Schmelzzonendurchgänge erforderlich sind.
Die Erfindung stellt eine weitere Verbesserung der eingangs erwähnten Induktionshci/.spiilc dar Lind ist dadurch gekennzeichnet, daß die eine Hälfte ties Induktionsteils mit der Spule fest verbunden isi und die Trennflächen der Innenteilhälften senkrecht zur Spulenebene liegen.
In einer Weiterbildung des Erfindungsgedankens ist vorgesehen, an den Trennllächen der Innenteilhälften r> Stege aus leitendem Material zur Verbindung eier beiden Hälften anzubringen. Gemäß einem besonderen günstigen Ausführungsbeispiel nach der Lehre der Erfindung bestehen diese Verbindungsstege aus versilbertem Messing und sind durch Hartlöten an den
κι Inneneinsatzhälften befestigt.
Zweckmäßigerweise besteht die Spule aus Kupfer und/oder Silber.
Diese Induktionsheizspule hat gegenüber der in der Hauptpatentanmeldung beschriebenen Induktionsheiz-
n spule den Vorteil, daß sie leichter herzustellen und zu montieren ist. Für die Herstellung von Siliciumeinkrisiallstäben durch das tiegclfrcie Zonenschmelzverfahren ist es auch im Dauerbetrieb sehr gut geeignet.
Nähere Einzelheiten der Erfindung sind den in der Zeichnung befindlichen F i g. 1 und 2 zu entnehmen.
F i g. 1 zeigt in Draufsicht eine aus den zwei Teilen 1 und 2 bestehende Induktionsheizspule. Zum Teil 1 gehör», wie aus Fig.! zu ersehen ist, die ringförmige Innenteilhälfte 3 mit den sie umgegebenden Windungen
_"■> 4 und 5 sowie der Stromzuführung 6. Teil 2 enthält die ringförmige Innenteilhälfte 7 und die Stromzuführung 8. Zur Verbindung der beiden Teile 1 und 2 sind an der jeweiligen Trennflächc 9 und 10 der Innenteilhälften 3 und 7 Stege in Form von Verbindungsflanschen 11 und
«ι 12 angelötet, welche beim Zusammenbau der Spule in Kontakt gebracht und durch eine Schraubenverbindung miteinander verbunden werden. Dabei liegt die Trennfuge zwischen den beiden Innenteilhälften 3 und 7 senkrecht zur Spulebcnc. Die Montage der Spule um
ν-, den bereits in Halterungen eingespannten Halbleitersiab ist sehr einfach, da die Innenteilhälfte 2 lediglich mittels der Schrauben 17, welche oben und unten durch die in den Flanschen 11 und 12 befindlichen Löcher 13 und 14 hindurchgeführt sind, mit der die Spulcnwindun-
4(i gen 4 und 5 enthaltenden Innenteilhälfte 1 verbunden wird.
F i g. 2 zeigt einen vergrößerten Ausschnitt der Verbindungsstelle an den beiden Inncnteilhälfien. Dabei ist der für den Kühlwasserdurchfluß der Spule
r> vorgesehene Kanal mit 15 und die Gummidichtung mit 16 bezeichnet. Ansonsten gelten die gleichen Be/.ugs/.eichen wie in Fig. I.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

Patentansprüche:
1. Wassergekühlte Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Stäben aus Halbleitermaterial, die mindestens zwei durch Schraubverbindungen miteinander verbundene Bauteile aufweist, ein- oder mehrwindig ausgebildet isi und zwei Inntenteile aufweist, die mit dem inneren Windungsteil in Kontakt stehen, nach Patentanmeldung P 21 60 694.0-43, dadurch gekennzeichnet, daß die eine Hälfte des Innenieils mit der Spule fest verbunden ist und die Trennflächcn der Innenteilhälften senkrecht zur Spulebene liegen.
2. Induktionsheizspule nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an den Trennflächen der innenteilhälften Stege aus leitendem Material zur Verbindung der beiden Hälften vorgesehen sind.
3. Induktionsheizspule nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungssiege aus versilbertem Messing bestehen und durch Hartlöten an den Inneneinsatzhälften befestigt sind.
DE19732304974 1972-11-24 1973-02-01 Wassergekühlte Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Stäben aus Halbleitermaterial Expired DE2304974C3 (de)

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GB4743073A GB1427372A (en) 1973-02-01 1973-10-11 Induction heating coils
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IT1980074A IT1046553B (it) 1973-02-01 1974-01-25 Bobina di riscaltamento a inbuzione per la fusione a zona senza crogiuo lo di bacchette semiconduttrici
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BE (1) BE810520R (de)
DE (1) DE2304974C3 (de)
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GB (1) GB1427372A (de)
IT (1) IT1046553B (de)

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DE2938793A1 (de) * 1979-09-25 1981-04-16 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen
JPH0363294U (de) * 1988-11-17 1991-06-20
FR2654583B1 (fr) * 1989-11-22 1992-09-11 Expanchimie Procede d'extraction du cholesterol contenu dans une matiere grasse d'origine animale.

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FR2216747A2 (de) 1974-08-30
DE2304974A1 (de) 1974-08-08
GB1427372A (en) 1976-03-10
JPS49111243A (de) 1974-10-23
IT1046553B (it) 1980-07-31
BE810520R (fr) 1974-05-29
JPS5510117B2 (de) 1980-03-13
FR2216747B2 (de) 1980-07-18

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