DE2151812C3 - - Google Patents

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DE2151812C3 DE19712151812 DE2151812A DE2151812C3 DE 2151812 C3 DE2151812 C3 DE 2151812C3 DE 19712151812 DE19712151812 DE 19712151812 DE 2151812 A DE2151812 A DE 2151812A DE 2151812 C3 DE2151812 C3 DE 2151812C3
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Jirzi Dipl.-Ing. Bruenn Petr (Tschechoslowakei)
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/023—Means for mechanically adjusting components not otherwise provided for

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
DE19712151812 1971-02-25 1971-10-18 Vorrichtung zum Einsetzen und Herausnehmen einer Objektpatrone in bzw. aus dem Objekttisch eines elektronenoptischen Systems, insbesondere eines Elektronenmikroskopes Granted DE2151812B2 (de)

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CS140971 1971-02-25

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Publication Number Publication Date
DE2151812A1 DE2151812A1 (de) 1972-08-31
DE2151812B2 DE2151812B2 (de) 1973-12-06
DE2151812C3 true DE2151812C3 (enExample) 1974-07-04

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Publication number Publication date
FR2127515A5 (enExample) 1972-10-13
DE2151812B2 (de) 1973-12-06
GB1336060A (en) 1973-11-07
DE2151812A1 (de) 1972-08-31

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