DE2151812B2 - Vorrichtung zum Einsetzen und Herausnehmen einer Objektpatrone in bzw. aus dem Objekttisch eines elektronenoptischen Systems, insbesondere eines Elektronenmikroskopes - Google Patents

Vorrichtung zum Einsetzen und Herausnehmen einer Objektpatrone in bzw. aus dem Objekttisch eines elektronenoptischen Systems, insbesondere eines Elektronenmikroskopes

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DE2151812B2 DE19712151812 DE2151812A DE2151812B2 DE 2151812 B2 DE2151812 B2 DE 2151812B2 DE 19712151812 DE19712151812 DE 19712151812 DE 2151812 A DE2151812 A DE 2151812A DE 2151812 B2 DE2151812 B2 DE 2151812B2
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    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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