DE3002575A1 - Einrichtung zur automatischen beschickung von massenspektrometern mit proben - Google Patents
Einrichtung zur automatischen beschickung von massenspektrometern mit probenInfo
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Description
"β "re men
PATENTANWÄLTE DIPL.-ING. HANS MEISSNER DIPL.-1NG. ERICH BOLTE
Anmelder; D 2800 Bremen
Sievogtstraße 21 Varian MA T GmbH Bundesrepublik Deutschland
2800 Bremen 10 Telegramme: PATMEIS BREMEN
L _, Datum 27. Dezember 1979
Einrichtung zur automatischen Beschickung von , Massenspektrometern mit Proben.
Beschreibung:
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur automatisch
steuerbaren Beschickung eines Massenspektrometers od. dgl. durch Einführen einer zu analysierenden Substanz in eine
Ionis ie rungs kammer oder einen sonstigen unter Hochvakuum
stehenden Raum, wobei die Substanz mit einem Probenträger an einer durch ein Antriebsaggregat bewegbaren Schubstange
Aufnahme findet, die mit dem Probenträger in die Ionisierungskammer einführbar ist.
Die Einführung von zu untersuchenden Substanzen in die
Ionis ie rungs kammer eines Massenspektrometers oder eines vergleichbaren Analysengerätes ist unter anderem deshalb
schwierig, weil die Ionisierungskammer unter Hochvakuum
Eingesandte Modelle werden nach 2 Monaten, falls nicht zurückgefordert, vernichtet. Mündliche Abreden, Insbesondere durch Fernsprecher, bedürfen ichrlltllcher
Bestätigung. — Die In Rechnung gestellten Kosten sind mit Rechnungidatum ohne Abzug ItIIIIg. — Bei verspäteter Zahlung werden Bankzlnsen berechnet.
Gerichtsstand und ErlUllungsort Bremen. Bremer Bank, Bremen, Nr. 2 310 028 Die Sparkasse In Bremen, Nr. 104 5855 ■ Postscheckkonto: Hamburg 33»52-202
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steht, während die Substanz außerhalb der Ionisierungskammer
unter Atmosphärendruck auf einen Probenträger aufgebracht und sodann mit diesem in die Ionis ie rungs kammer eingeführt
werden muß. Dabei findet vielfach eine Schubstange Verwendung, an deren freiem Ende der Probenträger angebracht
ist.
Zur Einführung der Schubstange bzw. des den Probenträger aufnehmenden Endbereichs in die Ionis ie rungs kammer ist es
bereits bekannt, dieser eine Vakuumschleuse und eine Stopfbuchsendichtung mit zur Ionisierungskammer steigenden
Vakuumstufen vorzuschalten (Zeitschrift für Instrumentenkunde, 68. Jg., Mai I960, Seite 97 ff.).
Die vorliegende Erfindung befaßt sich ebenfalls mit dem Thema der Einführung von Substanzen in eine unter Hochvakuum stehende
Kammer. Darüber hinaus ist es ein Anliegen der Erfindung, alle Vorgänge im Zusammenhang mit der Beschickung
eines Massenspektrometers od„ dgl. mit zu analysierenden
Substanzen zu mechanisieren und zu automatisieren.
Durch die DE-OS 25 48 891 ist bereits ein automatischer Probenwechsler
für Massenspektrometer bekannt, bei dem die zu untersuchenden Substanzen bzw. Probenträger mit denselben
in einer Mehrzahl an einem Magazin Aufnahme finden. Dieses ist vor einer Eintritts Öffnung der Schubstange in den
Vakuumbereich quer zur Bewegungsrichtung der Schubstange hin- und hergehend verschiebbar,
Die Schubstange selbst ist Teil einer komplexen Vorschub- und Abdichtungsmechanik. Ein Schleusenwagen wird motorisch
an eine dem Massenspektrometer bzw. der Eingangs-
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seite zur Ionenquelle zugeordnete Stützplatte herangefahren, die mit einer O-Ring-Dichtung versehen ist. An dieser kommt
eine Stopfbuchse des Schleusenwagens dichtend zur Anlage. Danach wird ein Hauptventil zur Ionenquelle, also zur Vakuumkammer,
geöffnet, so daß die in der Stopfbuchse gelagerte Schubstange bis in die Vakuumkammer vorfahren kann.
Die vorstehende bekannte Einrichtung für eine automatisierte Beschickung von Massenspektrometern erfordert, daß zwei
Organe, nämlich die Schubstange und der Schleusenwagen, zur Durchführung einer Beschickung bewegt werden. Des weiteren
ist nachteilig, daß die Stopfbuchse für den Durchtritt der Schubstange
starken Verschleißbeanspruchungen und plastischen Verformungen unterworfen ist. Dadurch vermindert sich die Zuverlässigkeit
dieser Einrichtung im Dauerbetrieb.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung der eingangs genannten Art vorzuschlagen, die eine zuverlässige
Abdichtung des Hochvakuumbereichs auch bei Dauerbetrieb der Einrichtung gewährleistet.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist die erfindungsgemäße Einrichtung
dadurch gekennzeichnet, daß die Schubstange in einem ortsfesten Führungsgestell gelagert und durch taktweisen Vorschub
dem Magazin zustellbar, sodann mit der Substanz bzw. dem Probenträger durch die Stopfbuchsendichtung hindurch bis
vor ein Hochvakuumventil bewegbar ist, welches nach Evakuierung der Stopfbuchsendichtung bis auf das Vakuum der Vakuumkammer
zum Vorschub der Schubstange bis in diese geöffnet wird.
Bei der erfindungsgemäßen Einrichtung ist die Schubstange in einem einfachen, ortsfest angeordneten Führungsgestell gela-
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gert, nämlich beispielsweise auf lediglich zwei im Abstand voneinander
angeordneten Führungsstangen. Die axiale Bewegung der Schubstange in beiden Richtungen erfolgt durch einen Motor
über einen Spindeltrieb. In einem der Vakuumkammer mit der Ionenquelle vorgeordneten Einführungskanal wird eine evakuierbare
Stopfbuchse mit vorzugsweise drei Vakuumkammern gebildet, die abgestuft bis auf das Vakuum der Vakuumkammer evakuierbar
sind.
Die mehr-, insbesondere dreistufige Stopfbuchse ermöglicht bei entsprechender Abstimmung von Dichtungsbohrung und Schubstangendurchmesser
eine problemlose Einführung der Schubstange durch die Stopfbuchse hindurch, derart, daß in diesem Bereich
praktisch keine Reibung stattfindet. Entsprechend geringe Kraft ist für den Transport der Schubstange aufzuwenden.
In besonderer Weise ist auch das Magazin zur Aufnahme der Substanzen bzw. von Probenträgern ausgebildet. Längs des Umfangs
einer ortsfest, drehbar gelagerten Scheibe sind die Probenträger der Schubstange entgegengerichtet angeordnet. Durch
Drehung des Magazins werden die Probenträger nacheinander in Aufnahmepositiqn gehrac.ht, Eine Ausnehmung in döm Scheibenförmigen
Magazin gewährleistet bei entsprechender Relativstellung desselben den Durchtritt der Schubstange.
Ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Einrichtung sowie deren Funktionsweise werden nachfolgend anhand der
Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig, 1 eine Einrichtung zur automatisierbaren Einführung
von Substanzen mit einer Schubstange in den Hoch-
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Vakuumbereich eines Massenspektrometer im Grundriß bzw. Horizontalschnitt,
Fig. 2 die Einrichtung gemäß Fig. 1 in gleicher Dar-
stellung nach Aufnahme eines Probenträgers von
einem Magazin,
Fig. 3 die Einrichtung gemäß Fig. 1 und 2 vor Eintritt
einer Schubstange in den Hochvakuumbereich eines Massenspektrometer,
Fig. 4 die Position bei in den Hochvakuumbereich ein
tretender Schubstange,
Fig. 5 eine Seitenansicht der Vorrichtung bzw. einen
Ve rt ikals c hnitt,
Fig. 6 ein Probenmagazin als Einzelheit der Einrichtung in Draufsicht,
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Fig. 7 a
bis
Fig. 7 d Einzelheiten im Bereich des Probenmagazins über die Halterung sowie Entnahme eines Probenträgers.
Das in den Zeichnungen dargestellte Ausführungsbeispiel einer Einrichtung für die automatisierbare Handhabung von zu analysierenden
Substanzen ist hier einem Massenspektrometer zugeordnet, von dem als betroffene Einzelheit eine Ionisierungskammer
10 schematisch dargestellt ist. In dieser befindet sich eine - ebenfalls vereinfacht wiedergegebene - Ionenquelle
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Die im einzelnen noch zu beschreibende Einrichtung ist auch für andere Analysengeräte geeignet, soweit der mit einer
Substanz zu beschickende Bereich - wie hier die lonisierungskammer
- unter Hochvakuum steht.
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Die vorliegende Einrichtung bildet eine konstruktive Einheit,
die als solche an das Massenspektrometer, nämlich an die Eingangsseite der Ionisie rungs kammer 10, angebaut ist.
Die zu untersuchenden (flüssigen oder festen) Substanzen finden jeweils Aufnahme in einem Probenträger 12. Dieser kann
in verschiedener Weise ausgebildet sein, z. B. als einseitig offenes Rohrstück bzw. als Stift mit einer einseitig angeordneten
Axialbohrung. In dieser findet die betreffende Substanz
15" Aufnahme. Alternativ kann die Substanz an einer Drahtschleife
oder anderen Probenträgern Aufnahme finden.
Eine größere Anzahl von jeweils mit einer Substanz versehenen
Probenträgern 12 findet Aufnahme in bzw. an einem Probenmagazin 13. Dieses ist bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel
als Scheibe bzw. Rad ausgebildet und mit einer zentrischen Antriebswelle 14 drehbar gelagert. Der (taktweise) Drehantrieb
des Probenmagazins 13 erfolgt durch einen auf die Antriebswelle 14 wirkenden Magazinmotor 15, der Drehschaltun-
gen des Probenmagazins 13 nach einem vorgegebenen, einstellbaren Programm durchführt.
Eine größere Anzahl von Probenträgern 12 ist benachbart zum (kreisförmigen) Außenumfang des Probenmagazins 13 lösbar
angebracht. Die Probenträger 12 sind im vorliegenden Fall so angeordnet, daß sie achsparallel gerichtet sind und auf der von
der lonisierungskammer 10 abgekehrten Seite aus dem Proben-
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- ίο -
magazin 13 herausragen. Einzelheiten einer Halterung 16 für die Probenträger 12 sind in den Fig. 7a bis 7d gezeigt.
Die Probenträger 12 werden nach einem selbsttätig ablaufenden
Programm durch eine Schubstange 17 von dem Probenmagazin 13 übernommen und in die Ionisierungskammer
10 eingeführt. In dieser erfolgt die Ionisierung in bekannter, geeigneter Weise, z. B. auch unter Verdampfung der Substanz.
Die Schubstange 17 ist zur Durchführung der Übernahme- und Transportbewegungen in einem Führungs gestell 18 gelagert,
das als Bestandteil der Einrichtung mit dieser verbunden ist. Die Schubstange 17 führt ausschließlich Axialbewegungen
in beiden Richtungen durch. Sie ist zu diesem Zweck durch eine Kugelumlaufspindel 19 antreibbar, die wiederum
durch einen durch Programm steuerbaren Motor 20 angetrieben wird. Zur Durchführung von präzisen linearen Bewegungen
ist die Schubstange 17 mit einem quergerichteten Steg verbunden, der mit seitlichen Lagern 22 (Kugelumlaufbuchsen)
auf parallel zur Schubstange 17 angeordneten Führungs stangen 23 verschiebbar abgestützt ist.
Das vom Motor 20 abliegende, vordere Ende der Schubstangs 17 ist mit einer Kupplung 24 für die zeitweilige Aufnahme eines
Probenträgers 12 versehen. Dieser Endbereich der Schubstange 17 tritt in Ausgangsstellung in ein Magazingehäuse 25 ein, welches
das Probenmagazin 13 allseitig umgibt. Im Eintrittsbereich der Schubstange 17 bildet das Magazingehäuse 25 ein
Lager 26 für die Schubstange 17.
Das Magazingehäuse 25 und das Probenmagazin 13 sind (achsparallel)
versetzt zur Bewegungsbahn der Schubstange 17 ange-
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ordnet, derart,, daß jeweils ein am Außenumfang des Probenmagazins
13 angeordneter Probenträger 12 in der Längsachse der Schubstange 17- zur Übernahme durch diese bereitgehalten
wird (Fig. 1).
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Nach Übernahme eines Probenträgers 12 durch die Schubstange 17 wird das Probenmagazin 13 aus der Bewegungsbahn der Schubstange 17 bewegt. Im vorliegenden Fall ist das
Probenmagazin 13 mit einer zum Außenumfang hin offenen Ausnehmung 27 versehen (Fig. 6), die in den Bereich der
Schubstange 17 gefahren wird,, damit diese in Axialrichtung
an dem Probenmagazin 13 vorbeibewegt werden kann.
An das Magazingehäuse 25 schließt ein Eintritts kanal 28 an,
durch den die Schubstange 17 mit einem Teilbereich hindurchgeführt wird. Innerhalb dieses Eintrittskanals 28 sind besondere
Abdichtungsmaßnahmen vorgesehen. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist hier eine dreistufige Stopfbuchse
29 eingebaut, die die Schubstange 17 dichtend umschließt (Fig. 3 und 4). Die Stopfbuchse 29 ist hier mit drei Vakuumkammern
30, 31, 32 ausgerüstet,, die mit unterschiedlichem
Vakuum beaufschlagt werden, derart,, daß das Vakuum vom
Bereich des Atmosphärendrucks (Magazingehäuse) bis zum Hochvakuumbereich (Ionisie rungs kammer) stufenweise aufgebaut
wird. Den Vakuumkammern 30, 31S 32 sind zu diesem Zweck Vakuumpumpen (nicht dargestellt) zugeordnet, die über
Saugleitungen 33, jeweils mit programmgesteuerten Magnetventilen 34, an die Vakuumkammern 30, 31 „ 32 angeschlossen
sind.
Innerhalb des Eintrittskanals 28 schließt an die Stopfbuchse
29 eine Ventilkammer 35 mit einem Hochvakuumventil 36 an.
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Dieses sperrt den ständig unter Hochvakuum stehenden Bereich, nämlich die Ionisie rungs kammer 10 und einen anschließenden
Abschnitt des Eintrittskanals 28 gegenüber dem Atmosphärendruck-Bereich ab. Nach Einführung der Schubstange
17 bis in die Position gemäß Fig. 3 und Evakuieren der Vakuumkammern 30, 31, 32 wird das Hochvakuumventil
36 geöffnet, so daß die Schubstange 17 bis in den Bereich der Ionisierungskammer 10 bewegt werden kann.
Das Hochvakuumventil 36 ist bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
(siehe insbes. Fig. 5) seitlich an die· Ventilkammer 35 angebaut. Ein dichtendes Absperrorgan 37 erhält
in Schließstellung (z. B. Fig. 5) Anlage an einem zugekehrten Flansch 38 des Eintrittskanals 28 und sperrt diesen dadurch
ab. Das Hochvakuumventil 36 bzw. dessen Absperrorgan 37 sind hier pneumatisch beaufschlagt durch eine
Pneumatikeinheit 39. Zur Freigabe des Eintrittskanals 28 wird das Absperrorgan 37 aus dem Durchgang für die Schubstange
17 zurückgezogen (Fig. 4).
Die vorzugsweise programmierte und dadurch in ihrem Ablauf automatisierte Funktionsweise der insoweit beschriebenen
Vorrichtung ist wie folgt:
Die Schubstange 17 wird aus einer zurückgezogenen Ausgangsstellung
- etwa entsprechend Fig. 2 - durch Vorschubantrieb bis an das Probenmagazin 13 herangefahren. Durch diese Zustellbewegung
wird ein Probenträger 12 durch die Kupplung am Vorderende der Schubstange 17 übernommen. Diese wird
sodann etwa in die Ausgangsstellung zurückgezogen, nämlich in die Position gemäß Fig. 2. Hier erfolgt eine Überprüfung
auf Vorhandensein eines Probenträgers 12 an der Schubstange
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- 13 17 durch eine lichtoptische Prüfvorrichtung 40.
Das Probenmagazin 13 wird währenddessen weiterbewegt, derart, daß die Ausnehmung 27 in den Durchgangsbereich
der Schubstange 17 gelangt. Diese kann jetzt vorgeschoben werden über das Probenmagazin 13 hinaus, nämlich bis in
die Stellung gemäß Fig. 3. Die Stopfbuchse 29 ist dabei zunächst drucklos. Das Hochvakuumventil 36 bleibt noch geschlossen.
Die Schubstange 17 wird vor diesem Hochvakuumventil 36, jedoch vollständig innerhalb der Stopfbuchse 29
liegend, angehalten. Es werden nun die Ventükammern 35 evakuiert, derart, daß sich in diesen Bereichen ein vom
Atmosphärendruckbereich zum Hochvakuumventil 36 ansteigendes Vakuum aufbaut. In der Ventilkammer 32 wird das
in der lonisierungskammer 10 herrschende Hochvakuum erzeugt.
Wenn dieses erreicht ist, wird das Hochvakuumventil 36 geöffnet bzw. aus dem Durchgangsbereich der Schubstange
herausbewegt. Diese kann nun durch weitere Vorschubbewegung bis in die Ionisierungskammer 10 vordringen. Hier wird
sodann in üblicher Weise die zu untersuchende Substanz behandelt
und ionisiert,
Danach wird die Schubstange 17 in analoger Weise, nämlich bei umgekehrter Reihenfolge der Bewegungs- und Funktionsabläufe, in die Ausgangsstellung zurückgezogen, wobei in einer
Zwischenposition der "verbrauchte" Probenträger 12 wieder in das Probenmagazin 13 eingesetzt wird. Auch danach erfolgt eine
Kontrolle auf Vorhandensein des Probenträgers 12 durch die Prüfvorrichtung 40, bevor die Schubstange 17 einem weiteren
Probenträger 12 zugeführt wird.
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Die Halterungen 16 für die Probenträger 12 am Probenmagazin 13 können in verschiedener Weise ausgebildet
sein. Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel handelt es sich um eine mechanische Lösung mit pneumatischer Betätigung.
Die länglichen Probenträger 12 werden durch Festklemmen im Bereich eines am Außenumfang des Probenmagazins 13
angeordneten Bundes 41 fixiert. Die in Axialrichtung weisenden Probenträger 12 sind mit einem Ende in einer Bohrung
42 des Probenmagazins 13 gelagert und hier durch ein quer bewegbares, in die Bohrung 42 eintretendes Klemmstück
43 fixiert. Dieses wiederum ist mit einem in Radialrichtung weisenden und bewegbaren Betätigungsstift 44 verbunden,
der im Bereich des Außenumfangs des Probenmagazins 13 aus diesem mit einem Ende he raus ragt. Gegen die
Belastung einer Druckfeder 45 ist der Betätigungsstift 44 in Radialrichtung (bezogen auf das kreisförmige Probenmagazin
13) bewegbar, wodurch das Klemmstück 43 außer Klemmstellung
gebracht wird.
Für die vorstehende Beaufschlagung des Betätigungs Stiftes ist eine hier ortsfest am Magazingehäuse 25 angeordnete Entriegelungsvorrichtung
46 vorgesehen. Diese besteht aus einem pneumatisch betätigten Druckstift 47, der gegen den Betätigungsstift
44 ausgefahren wird und diesen dadurch in Radialrichtung verschiebt. Der Probenträger 12 wird dadurch aus
der Klemmstellung freigegeben (Fig. 7c).
In der vorgenannten Stellung wird der Probenträger 12 mit einem von der Substanz abliegenden Teilbereich in der Kuppr
lung 24 aufgenommen. Durch Zurückziehen der Schubstange
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bei gelöster Halterung 16 kann der Probenträger 12 aus der Bohrung 42 herausgezogen werden.
Die Kupplung 24 ist im vorliegenden Fall ebenfalls mit einer
axialen Bohrung versehen, in der der Probenträger 12 durch Klemmwirkung, nämlich durch eine Feder 48, gehalten ist.
Die Bohrung 42 mit der zu analysierenden Substanz befindet sich hier außerhalb des Bereichs der Kupplung 24.
Die Rückgabe des "verbrauchten" Probenträgers 12 an das
Probenmagazin 13 vollzieht sich in umgekehrter Reihenfolge. Der Probenträger 12 wird in der Position gemäß Fig. 7c in
die Bohrung 42 eingefahren. Durch Zurückziehen des Druckstiftes 47 gelangt sodann das Klemmstück 43 in Klemmstellung
am Probenträger 12 und fixiert diesen in der Bohrung Die Haltekraft ist dabei größer als die der Feder 48, so daß
beim Zurückziehen der Schubstange 17 der Probenträger 12 im Probenmagazin 13 gehalten wird.
Die Kupplung 24 der Schubstange 17 kann weiterhin so ausgebildet
werden, daß eine steuerbare Beheizung desselben und damit eine Verdampfung der Substanz erfolgen kann.
Das Probenmagazin 13 ist auf der zur Antriebswelle 14 gegenüberliegenden
Seite mit einem axial verschiebbaren Gegenlager 49 gehalten, das über einen aus dem Magazingehäuse 25 herausragenden
Handgriff 50 axial verschoben, nämlich zurückgezogen werden kann. Dadurch ist es möglich, das Probenmagazin
13 zur Beschickung oder sonstigen Bearbeitung von der Antriebswelle 14 ab- und aus dem Magazingehäuse 25 herauszunehmen.
Letzteres ist zu diesem Zweck mit einem im oberen Bereich gebildeten Deckel 51 versehen.
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In das Magazingehäuse 25 ist ein Schutzgas einführbar über einen Gasanschluß 52.
Meissner & Bolte Patentanwälte
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Claims (8)
1. Einrichtung zur automatisch steuerbaren Beschickung eines Massenspektrometer od. dgl. durch Einführen einer zu analysierenden Substanz in eine lonisierungskammer
oder einen sonstigen unter Hochvakuum stehenden Raum, wobei die Substanz mit einem Probenträger an einer
motorisch angetriebenen Schubstange Aufnahme findet, die mit dem von einem Magazin übernommenen Probenträger in
die Ionisierungskammer einführbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Schubstange (17) in einem ortsfesten Führungsgestell (18) gelagert und durch taktweisen Vorschub dem
Probenmagazin (13) zustellbar und sodann mit der Substanz bzw. dem Probenträger (12) durch einen mit Stopfbuchsen
Eingesandt· Modelle werden noch 2 Monaten, falls nicht zurückgefordert, vernichtet. Mündllcho Abradon, Insbesondere durch Fornoprochor, bodUrfon odirlftllchor
Bestätigung. — Die In Rechnung gestellten Kosten »Ind mit RechnungsdefüBT ohne Abzug ISIIIg. — Bsi verspäteter Zahlung werden Bankzins« berodinst.
Gerichtsstand und Erfüllungsort Bremen. Bremer Bank, Bremen, Nr. 2 310 028 0Ie Sparkasse In Bremen, Nr. 1045855 ■ PostochocÄkonto: Hamburg 33952-202
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(29) versehenen Eintrittskanal (28) hindurch bis vor ein Hochvakuumventil (36) bewegbar ist, welches nach
Evakuieren der Stopfbuchse (29) für den Vorschub der Schubstange (17) bis in die Ionisierungskammer (10) geöffnet
wird.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Probenmagazin (13) eine quer zur Bewegungsrichtung
der Schubstange (17) ortsfest, drehbar gelagerte Scheibe ist, an der die Probenträger (12) auf
der der Schubstange (17) zugekehrten Seite benachbart zum Umfang derselben angeordnet sind und die wenigstens eine
Ausnehmung (27) für den Durchtritt der Schubstange (17) aufweist.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die länglichen Probenträger (12) in
Axialrichtung des Probenmagazins (13) weisend jeweils in einer individuell betätigbaren Halterung (16) durch Festklemmen
Aufnahme finden.
4. Einrichtung nach Anspruch 3 sowie einem der weiteren Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Probenträger
(12) jeweils in einer Aufnahme- und Rückgabestellung des Probenmagazins (13) durch eine Entriegelungsvorrichtung (46) zur Abgabe an die Schubstange (17) bzw.
zur Übernahme von dieser aus der Halterung (16) lösbar sind.
5„ Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß die Stopfbuchse (29) innerhalb eines Eintrittskanals (28) für die Schubstange (17) mit mehreren,
insbesondere drei Vakuumkammern (30, 31, 32) ausge-
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stattet ist, die nach Eintritt der Schubstange (17) mit abgestuftem
Vakuum beaufschlagbar sind, derart, daß eine der Ionisierungskammer (10) zugekehrte Vakuumkammer
(32) unter Hochvakuum steht«
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6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß im Eintritts kanal (28) im Bereich
zwischen der Stopfbuchse (29) und der Ionisierungskammer (10) in einer Ventilkammer (35) ein Hochvakuum-
ventil (36) angeordnet ist, das nach Evakuieren der Vakuumkammern
(30, 31, 32) geöffnet wird.
7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß an der Eingangsseite des Eintrittskanals
(28) ein Magazingehäuse (25) zur Aufnahme des Probenmagazins (13) anschließt, welches auf der zum Eintrittskanal
(28) gegenüberliegenden Seite ein Lager (26) für die Schubstange (17) aufweist.
8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Magazingehäuse (25) mit einem Deckel (51)
für die Entnahme des Probenmagazins (13) versehen ist.
Meissner & Bolte Patentanwälte
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| DE3002575A DE3002575C2 (de) | 1980-01-25 | 1980-01-25 | Einrichtung zum automatisch steuerbaren Probentransport in einen unter Hochvakuum stehenden Raum eines Analysengerätes |
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