DE2835711C2 - - Google Patents
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L1/00—Enclosures; Chambers
- B01L1/02—Air-pressure chambers; Air-locks therefor
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K5/00—Irradiation devices
- G21K5/04—Irradiation devices with beam-forming means
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Einschleusen von
Proben in ein nach außen dicht abgeschlossenes System, z. B.
von Bestrahlungsproben in das Vakuumsystem eines Schwerionen
beschleunigers, bestehend aus einem Gehäuse mit mindestens
einer Zuführöffnung, durch welche die Proben in das Gehäuse
nach dem Prinzip der Vakuumstangen-Durchführung einbringbar
sind.
Die Anwendung solcher Probenschleusen beschränkt sich natür
lich nicht allein auf die Vakuumtechnik, sondern bezieht sich
ebenso auf andere Anwendungsfälle wie z. B. flüssigen oder gas
förmigen Medien, in welche Proben geschleust werden sollen.
Bei Probenschleusen ist ein wesentliches technisches Problem, die
Leckrate bei möglichst schnellen Schleuszyklen gering zu hal
ten.
Bisher wurde das Problem im allgemeinen nach dem Prinzip von
Schleusenkammern gelöst, die in bekannter Weise evakuiert, be
lüftet und in welche die Proben in Kammer zu Kammer gereicht
werden mußten. Dieses Prinzip arbeitet zeitaufwendig und ist
in der Realisierung kostspielig, arbeitet jedoch ohne Leckrate.
Es ist eine Schleuse bekannt, bei welcher die Bestrahlungsproben
mit Hilfe einer Vakuumstangen-Duchführung von der Atmosphäre
in den Vakuumraum gebracht werden. Die Stange muß im Durchmesser
größer als die Bestrahlungsproben sein und hat zur Aufnahme der
Proben senkrecht zur Stangenachse einen Durchbruch. Beim Ein
schleusen würde ein geringes Luftvolumen in das Vakuumsystem
gelangen, weswegen bei jedem Schleusvorgang die Proben solange
in einer Wartestellung verharren müssen, bis dieses Volumen
durch eine separate Pumpe auf Vorvakuumdruck evakuiert ist.
Das Luftvolumen kann bei langsamer, kontinuierlicher
Hubbewegung der Stange evakuiert werden, was jedoch keinen Zeit
gewinn erbringt. Nachteilig ist bei diesem Schleusenprinzip, daß
der Ladevorgang der Atmosphäre mit einer neuen Probe erst er
folgen kann, wenn die bestrahlte Probe entnommen ist. Bei die
ser Vorrichtung muß eine gewisse Leckrate in Kauf genommen wer
den.
Eine weitere Probenschleuse ist bekannt, bei welcher eine ro
tierende Scheibe die Funktion der Vakuumstangen-Einführung über
nimmt. Auf einem Lochkreis der Scheibe sind mehrere Bohrungen
angeordnet, die zur Aufnahme der Bestrahlungsproben dienen. Die
Scheibe rotiert zwischen zwei eng an ihren Planflächen anlie
genden Flanschen, und das Luftvolumen über der Probe kann während
des Transports von der Luft - zur Vakuumseite abgepumpt werden.
Im Vergleich zu der Vakuumstangen-Einführung, erfolgt hierbei
der Transport der Bestrahlungsprobe auf einer Kreisbahn und nicht
gradlinig. Nachteilig ist bei dieser Schleusenart, daß jeweils
ein Arbeitstakt zum Herausschleusen der Probe benötigt wird und
währenddessen keine Probe bestrahlt werden kann.
Aus der DE-AS 12 87 828 ist eine Einrichtung zur Entnahme von
Proben aus Flüssigkeiten bekannt, bei welcher die einzelnen
Proben eng hintereinander angeordnet sind. Im Träger für die
Proben ist ein um eine zweite, nicht mit der ersten zusammen
fallenden Achse drehbarer und zu dieser zweiten Achse längs
verschiebbarer Werkzeughalter gelagert, der mehrere in gleichem
Abstand von der zweiten Achse und parallel zu dieser angeord
nete Werkzeuge trägt, die an die von in Klemmhaltern gehaltenen
Enden von Hohlnadeln gebildeten Anschlußstellen heranführbar
sind. Diese Einrichtung ist jedoch infolge ihrer relativen Kom
pliziertheit für die Anforderungen eines Vakuumsystemes wenig
geeignet.
Weiterhin sind Einrichtungen bekannt, bei welchen sich Proben in
Form von dünnen Bändern auf- und abspulen lassen, wobei diesel
ben direkt durch einen Spalt in der Wand des Rezipienten ge
schleust wird. Durch die Spaltabdichtung muß bei diesen Anlagen
jedoch eine gewisse Leckrate in Kauf genommen werden.
Die vorliegende Erfindung hat nun die Aufgabe, bei einer Vor
richtung der eingangs beschriebenen Art, die im Vakuum liegen
den Bewegungsmechanismen einzusparen, einen kontinuierlichen,
sowie auch diskontinuierlichen Schleusvorgang für Bestrahlungs
proben zu ermöglichen, um so die Bestrahlungszeit voll ausnutzen
zu können. Der Zeitverlust aus dem reinen Schleusvorgang soll
somit so gering wie möglich sein.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird diese Aufgabe bei einer
Vorrichtung der eingangs beschriebenen Art dadurch gelöst, daß
die Proben bzw. ihre Rahmen durch enges Hintereinanderliegen in
einem, die Zuführung bildenden Schleusenkanal selbst die Vaku
umstange bilden und der Schleusenkanal durch die Vielzahl der
Proben gegen die Atmosphäre hin abgedichtet ist. Dabei sind die
Proben in den Kanal an einer Bestrahlungsposition kontinuier
lich oder diskontinuierlich nacheinander vorbeiführbar.
Die Erfindung schlägt weiterhin vor, daß die Rahmen der Proben
an ihrer Oberseite Nasen und an ihrer Unterseite in der Form den
Nasen entsprechende Nuten aufweisen und daß am Eingang und am
Ausgang des Kanales jeweils ein Probenmagazin angeordnet ist, aus
bzw. in welche die Proben direkt in den Kanal einschiebbar sind.
Ein weiterer besonderer Erfindungsgedanke besteht darin, daß die
Vorschubbewegung der Magazine, z. B. mittels eines Hebels syn
chronisierbar sind.
Die Erfindung schlägt weiterhin in besonders vorteilhafter Weise
vor, daß der Schleusenkanal in Längsrichtung senkrecht zur Achse
des Strahles geteilt ist, wobei der Ringspalt um die Proben im
Kanal durch Verschieben der Kanalhälften gegeneinander einstell
bar ist. Letztlich gibt die Erfindung an, daß die Wand des Schleu
senkanales doppelwandig ausgebildet und die die Probe aufnehmende
innere Wand perforiert ist und der Zwischenraum zwischen den Wän
den als Absaugkanal zur Aufrechterhaltung eines Vakuums im Ring
spalt dient.
Der wesentliche Vorteil und das Neue an der Erfindung besteht da
rin, daß durch das Hintereinandersetzen im Gegensatz zum Stapeln
der Bestrahlungsproben ein kontinuierliches Vorbeischieben an der
Bestrahlungsposition ermöglicht wird. Die hintereinander ge
setzten Proben bilden, vakuumtechnisch gesehen, eine massive Stange,
die durch den engen Spalt oder durch Dichtungen relativ einfach
und gut abgedichtet werden kann. Durch die Nasenführung kann die
gesamte Probenoberfläche für die Bestrahlung ausgenützt werden.
Dünne und empfindliche Folien, die als Bestrahlungsproben in Rähm
chen gehaltert sind, können mit dem beschriebenen Schleusenprin
zip sanft durchgeschleust werden, weil außer den Magazinantrie
ben für die Bestrahlungsposition keine zusätzlichen Mechanismen
im Vakuum erforderlich sind und eine kontinuierliche Bestrahlung
möglich ist. Das Prinzip ermöglicht die volle Ausnutzung der Be
strahlungszeit, die Variation der Proben bezüglich ihrer Dicke
und ihres Materials und eine einfache und billige Bauweise. Wei
tere Vorteile bestehen vor allem darin, daß die Proben während
des Schleusens ihre Bewegungsrichtung zum Zwecke der Probenbehandlung
und der Positionierung nicht ändern, daß die Proben mit Hilfe der
benachbarten Proben durch die Nasen während des Durchgangs an der
Behandlungsposition fixiert sind und keine Führung benötigen.
Letztlich besteht ein Vorteil der Erfindung darin, daß das Proben
paket an beiden Enden gleichmäßig, z. B. durch den atmosphärischen
Druck beaufschlagt ist und dadurch in sich zusammenhält.
Weitere Einzelheiten der Erfindung werden im folgenden anhand der
Fig. 1 bis 5 näher erläutert.
Fig. 1 zeigt in einer perspektivischen Seitenansicht das
Schema einer solchen Vorrichtung,
Fig. 2 und 3 Schnitte durch den Probenkanal
und
Fig. 4 und 5 besondere Details am Probenkanal selbst.
Das Schleusengehäuse gemäß den Fig. 1 bis 3 besteht im wesent
lichen aus einem Kanal 2, der vorzugsweise einen rechteckigen
Querschnitt aufweist und durch den die Bestrahlungsrahmen 1 ge
schleust werden. Beim Schleusen liegen die Bestrahlungsrahmen 1
stirnseitig eng aneinander und bilden mit der Kanalwand einen
engen Ringspalt 3, durch den die Atmosphäre 4 mit dem Vakuum
raum 5 verbunden ist. Die Leckrate ist um so geringer, je kleiner
dieser Spalt 3 technisch realisiert und je länger der Kanal 2 aus
geführt wird. Die Leckrate kann durch differentielles Bepumpen des
Kanales 2 bzw. des Ringspaltes 3 verringert werden. Hierzu werden
die Kanalwände mit Taschen oder Nuten 6 versehen, die in gleich
mäßiges und rasches Evakuieren des Ringspaltes 3 ermöglichen. Sind
noch geringere Leckraten erforderlich, sind im Inneren des Kanales 2
mehrere dargestellte Dichtringe vorzusehen. Wenn die eigentlichen
Bestrahlungsproben 10 weder die Kanalwände noch die Dichtringe be
rühren sollten, müssen die Bestrahlungsrahmen 1 in Form rechtecki
ger Plättchen oder Rähmchen ausgebildet sein, in die die eigentli
chen dünneren Bestrahlungsproben 10 eingespannt sind. Dies hat den
Vorteil, daß für Bestrahlungsproben 10 unterschiedlicher Dicke
die gleiche Schleuse verwendet werden kann und auch sehr dünne
Proben bestrahlt werden können.
In der Mitte des Kanales 2 in Höhe des Strahles 7 befindet sich
die Bestrahlungsposition 8, in der die Proben 1, 10 beim diskonti
nuierlichen Probentransport während der Bestrahlungsdauer ver
harren oder an der die Proben 1, 10 kontinuierlich vorbeige
schoben werden. An das Gehäuse 2 ist das Strahlrohr 9 angesetzt,
welches mittels der Flanschen 11 in eine entsprechende Ausspa
rung des den Strahl 7 führenden, nicht dargestellten Vakuumssystems
eingesetzt ist. Der freie Durchgang 12 des Strahlrohres 9 kann so
groß sein, daß die gesamte Oberfläche der Probe 10 bestrahlt wer
den kann. Für diesen Fall wird die Führung der Rahmen 1 durch
Nasen 12 der Rahmenoberseite 14, die in Nuten 13 an der Rahmenun
terseite 15 beim Aneinanderliegen der Rahmen 1 mit ihren Seiten
14 und 15 bewerkstelligt, wobei die Form der Nasen der Nuten
entspricht. Dies ist wichtig, da das Strahlführungsrohr 9 im Be
reich der Bestrahlungsposition 8 das die Rahmen 1 führende Gehäuse
2 unterbrechen kann. Damit kann die Schleuse auch für Strahl
rohre verwendet werden, die einen größeren Durchmesser als die
größte Proben- bzw. Rahmenabmessung aufweisen.
Die Bestrahlungsproben 10 in ihrem Rahmen 1 werden nun kontinuier
lich oder diskontinuierlich durch den Kanal 2 vom Eingang 16 zum
Ausgang 17 geschleust, indem sie mittels des Hebels 18 bzw. der
Kraft 19 weitertransportiert werden. Die Zufuhr bzw. Abfuhr der
Rahmen 1 erfolgt mittels der unter Atmospährendruck stehenden
Magazine 20 und 21, wobei die Rahmen 1 durch die Kraft 19 aus den
Magazinen 20 direkt in den Kanal 2 und am Ausgang 17 wieder direkt
aus diesem Kanal 2 in das Magazin 21 gedrückt werden. Die Synchro
nisation der beiden gegenläufig in Richtung der Pfeile 24 und 25
arbeitenden Magazine 20 und 21 um jeweils einen Schritt, der der
Breite des Rahmens 1 entspricht, erfolgt mittels des Drehhebels 22,
der um einen Drehpunkt 23 hin- und herdrehbar ist. Die Absaugung
des Kanales 2 zur Aufrechterhaltung eines Vakuums in demselben er
folgt mittels der Absaugöffnung 26 und 27.
Oberhalb des Schleusenkanales 2 ist das Getriebe 28 für den Hebel
18 angeordnet, der den eigentlichen Probenwechsel durch die Kraft
19 bewirkt.
Der Schleusenkanal 2 ist in Längsrichtung etwa entlang der Linie
29 (s. Fig. 2) senkrecht zur Achse des Strahles 7 geteilt. Da
durch kann der Ringspalt 3 durch gegenseitiges Justieren der
Schleusenkanalhälften 30 und 31 (s. Fig. 4) einstellbar gemacht
werden. Die Einstellung erfolgt mittels der Justierschrauben 32
und der gummielastischen Längsflanken 33, durch welche sich mittels
Drehen der Schrauben 32 die Kanalhälften 30 und 31 gegeneinander
verstellen lassen, so daß sich der Spalt 3 ändern läßt.
Gemäß der Fig. 5 kann der Schleusenkanal auch doppelwandig ausge
führt sein. Er besteht dann aus der inneren Kanalwand 34 und der
äußeren Kanalwand 35, wobei die innere Wand 34 um den Ringspalt 3
im Bereich der Rahmen 1 mittels Bohrungen 36 perforiert ist. Die
Absaugung erfolgt nun über den Stutzen 38 und den Raum 37 zwischen
innerer Wand 34 und äußerer Wand 35 in Richtung der Pfeile 39.
Auch hier ist eine Justierung des Spaltes 3 mittels Justierschrauben
40 und elastischen Zwischenstücken 41 durch Gegeneinanderschieben
der Kanalhälften 42 und 43 möglich.
Claims (8)
1. Vorrichtung zum Einschleusen von Proben in ein nach außen
dicht abgeschlossenes System, z. B. von Bestrahlungsproben
in das Vakuumsystem eines Schwerionenbeschleunigers, be
stehend aus einem Gehäuse mit mindestens einer Zuführöffnung,
durch welche die Proben in das Gehäuse nach dem Prinzip der
Vakuumstangen-Durchführung einbringbar sind, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Proben (10) bzw. ihre Rahmen (1) durch enges
Hintereinanliegen in einem, die Zuführung bildenden Schleu
senkanal (2) selbst die Vakuumstange bilden und der Schleusen
kanal (2) durch die Vielzahl der Proben (1, 10) gegen die At
mosphäre (4) abgedichtet ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Proben (1, 10) in dem Kanal (2) an einer Bestrahlungsposition
(8) kontinuierlich oder diskontinuierlich nacheinander vorbei
führbar sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Rahmen (1) der Proben (10) an ihrer Oberseite (14) Nasen
(12) und an ihrer Unterseite (15) in der Form den Nasen (12)
entsprechenden Nuten (13) aufweist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß
am Eingang (16) und am Ausgang (17) des Kanales (2) jeweils
ein Probenmagazin (20, 21) angeordnet ist, aus, bzw. in welche
die Proben (1, 10) schiebbar sind.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die
Vorschubbewegung der Magazine (20, 21), z. B. mittels eines
Hebels (22) synchronisierbar sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß
der Schleusenkanal (2) in Längsrichtung senkrecht zur Achse
des Strahles (7) geteilt ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der
Ringspalt (3) um die Proben (1, 10) im Kanal (2) durch Verschie
ben der Kanalhälften (30, 31) gegeneinander einstellbar ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß
die Wand des Schleusenkanales (2) doppelwandig ausgebildet ist
und die die Proben (1, 10) aufnehmende innere Wand (34) perfo
riert ist und der Zwischenraum (37) zwischen den Wänden (34, 35)
als Absaugkanal zur Aufrechterhaltung eines Vakuums im Ring
spalt (3) dient.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19782835711 DE2835711A1 (de) | 1978-08-16 | 1978-08-16 | Vorrichtung zum einschleusen von proben in ein nach aussen dicht abgeschlossenes system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19782835711 DE2835711A1 (de) | 1978-08-16 | 1978-08-16 | Vorrichtung zum einschleusen von proben in ein nach aussen dicht abgeschlossenes system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2835711A1 DE2835711A1 (de) | 1980-02-28 |
DE2835711C2 true DE2835711C2 (de) | 1992-04-16 |
Family
ID=6047068
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19782835711 Granted DE2835711A1 (de) | 1978-08-16 | 1978-08-16 | Vorrichtung zum einschleusen von proben in ein nach aussen dicht abgeschlossenes system |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2835711A1 (de) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1287828B (de) * | 1964-04-20 | |||
DE1282411B (de) * | 1964-12-28 | 1968-11-07 | Hermsdorf Keramik Veb | Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung und Bearbeitung von Bauelementen der Elektronik unter Vakuum, insbesondere zum Aufdampfen von Schichten |
-
1978
- 1978-08-16 DE DE19782835711 patent/DE2835711A1/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2835711A1 (de) | 1980-02-28 |
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8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8363 | Opposition against the patent | ||
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