DE3002575C2 - Einrichtung zum automatisch steuerbaren Probentransport in einen unter Hochvakuum stehenden Raum eines Analysengerätes - Google Patents

Description

a) das Kslirungsgestell (18) der Schubstange (17) ortsfest gelagert ist,

b) der Eintrittskanal (28) mehrere in Vorschubrichtung der Schubstange (17) hintereinander angeordnete Stopfbuchsen (29) und Vakuumkammern (30,31,32) aufweist, die nach Eintritt der Schubstange (17) mit abgestuftem Vakuum beaufschlagbar sind, derart, daß die dem unter Hochvakuum stehenden Raum (10) zugewandte Vakuumkammer (32) unter Hochvakuum steht, und

c) das Proh/f.nmagazin (13) eine um eine ortsfeste Drehachse drehbare Scheibe ist, an der, benachbart zu ihrem Umlang, die Probenträger (12) auf der der Scnubstan.se (17) zugekehrten Seite angeordnet sind und Je wenigstens eine Ausnehmung (27) für den Durchtritt der Schubstange (17) aufweist.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Probenträger (12) jeweils in einer Aufnahme- und Rückgabestellung des Probenmagazins (13) durch eine Entriegelungsvorrichtung (4ft) zur Abgabe an die Schubstange (17) oder zur Übernahme von dieser aus einer Halterung (16) lösbar sind.

3. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß an der Seite des Eintrittskanals (28), an der die Schubstange (17) in den Eintrittskanal (28) eintritt, ein Magazingehäuse (25) zur Aufnahme des Probenmagazins (13) anschließt, welches auf der dem Eintrittskanal (28) gegenüberliegenden Seite ein Lager (26) für die Schubstange (27) aufweist.

4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Magazingehäuse (25) mit einem Deckel (51) für die Entnahme des Probenmagazins (13) versehen ist.

60

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum automatisch steuerbaren Probentransport in einen unter Hochvakuum stehenden Raum eines Analysengerätes, mit einer in einem Führungsgestell gelagerten Schubstange, einem quer zur Bewegungsrichtung der Schubstange bewegbar angeordneten Probenmaga^in, wobei die Schubstange jeweils einen Probenträger von dem Magazin übernehmen kann, mit einem gegenüber dem das Magazin aufnehmenden Raum abdichtbaren und evakuierbaren Eintrittskanal, an dessen dem unter Hochvakuum stehenden Raum zugewandten Ende ein Hochvakuumventil angeordnet ist, das nach Evakuieren des Eintrittskanales zum Durchtritt der Schubstange mit dem Probenträger geöffnet werden kann.

Eine derartige Einrichtung ist aus der DE-OS 25 48 891 bekannt Dcrt ist eine Einrichtung zum automatischen Beschicken einer Ionisierungskammer beschrieben, die wie folgt aufgebaut ist: Eine Schubstange ist über einen Motor gegenüber einem Schleusenwagen verschiebbar, wobei dieser Schleusenwagen seinerseits über einen weiteren Motor ebenfalls in Richtung i-uf die Ionenquelle zu bzw. von ihr weg verschiebbar ist In der zurückgezogenen Stellung des Schleusenwagens kann ein Probenmagazin in einen Raum zwischen den Schleusenwagen und einer Wand, die einen Einlaßkanal zu der Ionisierungskammer aufweist, durch geradlinige, translatorische Bewegung eingeführt werden. Die Schubstange wird dann so weit in Richtung auf das Probenmagazin vorgeschoben, daß sie von doit einen Probenträger entnehmen kann. Sodann wird das Probenmagazin herausgezogen und der Schleusenwagen wird über den weiteren Motor in Richtung auf die erwähnte Wand verschoben, und zwar so lange, bis die Stirnseite einer Stopfbuchse gegen einen O-Ring, der den erwähnten Einlaßkanal umgibt, anliegt Hierdurch ist der Einlaßkanal gegenüber dem Raum abgedichtet, der zuvor das Probenmagezin enthielt. Sodann wird durch Einschalten des ersten Motors die Schubstange mit dem Probenträger vorgeschoben, bis sie in den »Einlaßkanal« eintritt Dieser wird dann evakuiert, worauf ein Hauptventil geöffnet und dann die Schubstange weiter vorgeschoben wird, bis sie in die Ionisierungskammer gelangt ist

Diese Einrichtung weist verschiedene Nachteile auf: Zum einen muß der Schleusenwagen verschoben werden, was einen beträchtlichen Abwand an Lagerungen und einen eigenen Motor bedingt Weiterhin erfolgt eine einwandfreie Dichtung an dem O-Ring nur dann, wenn der Schleusenwagen mit ausreichender Kraft hiergegengedrückt wird. Dies bringt wiederum eine Beanspruchung des O-Ringes mit sich, was zu dessen Verschleiß führt und somit dazu, daß nach längerer Betriebsdauer eine einwandfreie Vakuumdichtung nicht mehr aufrechterhalten werden kann. Auch ist der Einlaßkanal gegenüber der Innenseite des Schleusenwagens lediglich durch die Stopfbuchse abgedichtet. Dies bedeutet wiederum, daß diese Stopfbuchse eng an den Außenumfang der Schubstange anliegen muß, um eine einwandfreie Dichtung zu erzielen. Dies hat zur Folge, daß erhebliche Kräfte für den Vorschub der Schubstange aufgebracht werden müssen, woraus dann eine Abnutzung dieser rein mechanischen Stopfbuchse resultiert.

Auch ist es nachteilig, daß das Probenmagazin bei jedem Probenwechsel vollständig ein- und ausgefahren werden muß. Schließlich erfordern die Steuerungen der Antriebe für den Schleusenwagen, die Schubstange und das Probenmagazin einen verhältnismäßig großen Aufwand, da die einzelnen Bewegungen von drei Antrieben genau aufeinander abgestimmt werden müssen.

Die US-PS 26 18 750 zeigt eine Beschickungsvorrichtung für einen unter Hochvakuum stehenden Analysenraum, bei dem eine die Probe tragende Schubstange durch einen Kanal hindurchgeschoben wird, der zwei

hintereinandergeschaltete Absperrventile enthält, wobei die bei geöffneten Ventilen zwischen Ventilsitz und Ventilküken gebildeten Räume unter Vakuum setzbar sind. Das hintere Ende des Einlaßkanales mündet in eine Kammer und trägt dort eine Gewindestopfbuchse. Zum Probenwechsel wird die Schubstange vollständig aus der gesamten Einrichtung herausgezogen und anschließend wieder neu eingeführt. Berücksichtigt man, daß die Gewindestopfbuchse dort eine übliche mechanische Stopfbuchse ist deren Wirkung darauf beruht, daß die "· Packung der Stopfbuchse möglichst eng an der Schubstange anliegt, so ist es nur mit großen Schwierigkeiten möglich, die eine Probe haltende Spitze der Schubstange einwandfrei in die Stopfbuchse einzuführen, ohne daß die Stopfbuchsenpackung hierdurch beschädigt wird. Auch hier treten für eine einwandfreie Dichtung an dieser Stopfbuchse erhebliche Reibungskräfte auf, was relativ große Vorschubkräfte für die Schubstange bedingt und zusätzlich einen großen Verschleiß, so daß eine sichere Abdichtung bei *> Dauerbetrieb nicht gewährleistet ist.

Die DE-AS 12 99 448 zeigt einen Probenwechsler mit einer Scheibe, auf der spiralförmig Löcher angebracht sind, welche Probenträger aufnehmen können.

Ausgehend von dem eingangs genannten Stand der 2i Technik ist es Aufgabe der Erfindung, die bekannte Einrichtung dahingehend zu verbessern, daß bei einfachem Aufbau und einfacher Handhabung eine zuverlässige Abdichtung des Hochvakuumbereiches auch bei Dauerbetrieb gewährleistet ist J<>

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß

a) das Führungsgestell der Schubstange ortsfest gelagert ist, J5

b) der Eintrittskanal mehrere in Vorschubrichtung der Schubstange hintereinander angeordnete Stopfbuchsen und Vakuumkammern aufweist, die nach Eintritt der Schubstange mit abgestuftem Vakuum beaufschlagbar sind, derart, daß die dem unter Hochvakuum stehenden Raum zugewandte Vakuumkammer unter Hochvakuum steht, und

c) das Probenmagazin eine um eine ortsfeste Drehachse drehbare Scheibe ist, an der, benachbart zu ihrem Umfang, die Probenträger auf der der Schubstange zugekehrten Seite angeordnet sind und die wenigstens eine Ausnehmung für den Durchtritt der Schubstange aufweist.

Durch die ortsfeste Lagerung der Schubstange wird der Aufwand an Lagerung reduziert und die Verwendung eines zusätzlichen Motors vermieden. Hierdurch bedingt wird auch eine vollständig vom gattungsbildenden Stand der Technik verschiedene Abdichtung des Einlaßkanals verwendet, die aus mehreren in Vorschubrichtung der Schubstange hintereinander angeordneten Stopfbuchsen und Vakuumkammern besteht, die nach Eintritt der Schubstange mit abgestuftem Vakuum beaufschlagt werden können, derart, daß die dem unter Hochvakuum stehenden Raum zugewandte Vakuumkammer unter Hochvakuum steht.

Die Stopfbuchsen können dann einfache, an den Außendurchmesser der Schubstange angepaßte Öffnungen sein, die sogar ein geringfügiges Spiel zulassen, da die zwischengeschalteten Vakuumkammern in der Lage sind, eventuell eingedrungene Gase abzufordern, so daß letztlich die am nächsten zum Hochvakuumraum liegende Vakuumkammer bereits das Hochvakuum führt Durch diese Anordnung wird auch erreicht daß vergleichsweise geringe Vorschubkräfte für die Schubstange aufgebracht werden müssen, da diese praktisch reibungsfrei in den Stopfbuchsen läuft Hierdurch wird auch ein möglicher Verschleiß der Stopfbuchsen verringert wodurch selbst bei Dauerbetrieb die einwandfreie Vakuumabdichtung gewährleistet ist Mit dem obigen Merkmal c) wird in Kombination mit den anderen Merkmalen erreicht daß das Probenmägazin ständig an seiner Stelle innerhalb der Einrichtung bleiben kann und nicht wie bei dem gattungsbildenden Stand der Technik zu Zwecken der dortigen Abdichtung entfernt werden muß. Hierdurch wird auch die einfache Handhabbarkeit gefördert und der konstruktive Aufbau verringert

Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.

Ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Einrichtung sowie deren Funktionsweise werden nachfolgend anhand der Zeichnungen ni.ser erläutert Es zeigt

F i g. 1 eine Einrichtung zur automatisierbaren Einführung von Substanzen mit einer Schubstange in den Hochvakuumbereich eines Massenspektrometer im Grundriß bzw. Horizontalschnitt

F i g. 2 die Einrichtung gemäß F i g. 1 in gleicher Darstellung nach Aufnahme eines Probenträgers von einem Magazin,

Fig.3 die Einrichtung gemäß Fig. 1 und 2 vor Eintritt einer Schubstange in den Hochvakuumbereich eines Massenspektrometer,

Fig.4 die Position bei in den Hochvakuumbereich eintretender Schubstange,

F i g. 5 eine Seitenansicht der Vorrichtung bzw. einen Vertikalschnitt

F i g. 6 ein Probenmagazin als Einzelheit der Einrichtung in Draufsicht,

F i g. 7a bis 7d Einzelheiten im Bereich des Probtnmagazins über die Halterung sowie Entnahme eines Probenträgers.

DuS in den Zeichnungen dargestellte Ausführungsbeispiel einer Einrichtung für die automatisierbare Handhabung von zu analysierenden Substanzen ist hier einem Massenspektrometer zugeordnet, von dem als betroffene Einzelheit eine Ionisierungskammer 10 schematisch dargestellt ist. In dieser befindet sich eine — ebenfalls vereinfacht wiedergegebene — Ionenquelle 11.

Die im einzelnen noch zu beschreibende Einrichtung ist auch für andere Asialysengeräte geeignet, soweit der mit einer Substanz zu beschickende Bereich — wie hier die Ionisierungskammer - - unier Hochvakuum steht.

Die ,erliegende Einrichtung bildet eine konstruktive Einheit, die als solche an das Massenspektrometer, nämlich an die Eingungsseite der Ionisierung !kammer 10, angebaut ist

Die zu untersuchenden (flüssigen oder festen) Substanzen finden jeweils Aufnahme in einem Probenträger 12. Dieser kann in verschiedener Weise ausgebildet sein, z.B. als einseitig offenes Rohrstück bzw. als Stift mit einer einseitig angeordneten Axialbohrung. In dieser findet die betreffende Substanz Aufnahme. Alternativ kann die Substanz an einer Drahtschleife oder anderen Probenträgern Aufnahme finden.

Eine größere Anzahl von jeweils mit einer Substanz versehenen Probenträgern 12 findet Aufnahme in bzw. an einem Probenmaeazin 13. Dieses ist bei dem

gezeigten Ausführungsbeispiel als Scheibe bzw. Rad ausgebildet und mit einer zentrischen Antriebswelle 14 drehbar gelagert. Der (taktweise) Drehantrieb des Probenmagazins 13 erfolgt durch einen auf die Antriebswelle 14 wirkenden Magazinmotor 15, der Drehschaltungen des Probenmagazins 13 nach einem vorgegebenen, einstellbaren Programm durchführt.

Eine größere Anzahl von Probenträgern 12 ist benachbart zum (kreisförmigen) Außenumfang des Probenmagazins 13 lösbar angebracht. Die Probenträger 12 sind im vorliegenden Fall so angeordnet, daß sie achsparallel gerichtet sind und auf der von der lonisierungskammer 10 abgekehrten Seite aus dem Probenmagazin 13 herausragen. Einzelheiten einer Halterung 16 für die Probenträger 12 sind in den Fig. 7a bis 7d gezeigt.

Die Probenträger 12 werden nach einem selbsttätig ablaufenden Programm durch eine Schubstange 17 von dem Probenmagazin 13 übernommen und in die Ionisierungskammer 10 eingeführt. In dieser erfolgt die Ionisierung in bekannter, geeigneter Weise, z. B. auch unter Verdampfung der Substanz.

Die Schubstange 17 ist zur Durchführung der Übernahme- und Transportbewegungen in einem Führungsgestell 18 gelagert, das als Bestandteil der « Einrichtung mit dieser verbunden ist. Die Schubstange 17 führt ausschließlich Axialbewegungen in beiden Richtungen durch. Sie ist zu diesem Zweck durch eine Kugelumlaufspindel 19 antreibbar, die wiederum durch einen durch Programm steuerbaren Motor 20 angetrie- -W ben wird. Zur Durchführung von präzisen liniearen Bewegungen ist die Schubstange 17 mit einem quergerichteten Steg 21 verbunden, der mit seitlichen Lagern 22 (Kugelumlaufbuchsen) auf parallel zur Schubstange 17 angeordneten Führungsstangen 23 verschiebbar abgestützt ist.

Das vom Motor 20 abliegende, vordere Ende der Schubstange 17 ist mit einer Kupplung 24 für die zeitweilige Aufnahme eines Probenträgers 12 versehen. Dieser Endbereich der Schubstange 17 tritt in w Ausgangsstellung in ein Magazingehäuse 25 ein, welches das Probenmagazin 13 allseitig umgibt Im Eintrittsbereich der Schubstange 17 bildet das Magazingehäuse 25 ein Lager 26 für die Schubstange 17.

Das Magazingehäuse 25 und das Probenmagazin 13 sind (achsparallel) versetzt zur Bewegungsbahn der Schubstange 17 angeordnet, derart, daß jeweils ein am Außenumfang des Probenmagazins 13 angeordneter Probenträger 12 in der Längsachse der Schubstange 17 zur Übernahme durch diese bereitgehalten wird (Fig. I)...

Nach Übernahme eines Probenträgers 12 durch die Schubstange 17 wird das Probenmagazin 13 aus der Bewegungsbahn der Schubstange 17 bewegt Im vorliegenden FaM ist das Probenmagazin 13 mit einer zum Außenumfang hin offenen Ausnehmung 27 versehen (F i g. 6), die in den Bereich der Schubstange 17 gefahren wird, damit diese in Axialrichtung an dem Probenmagazin 13 vorbeibewegt werden kann.

An das Magaziegehäuse 25 schließt ein Eintrittskanal 28 an, durch di;n die Schubstange 17 mit einem Teilbereich hindurchgeführt wird. Innerhalb dieses Eintriltskanals 28 sind besondere Abdichtungsmaßnahmen vorgesehen. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist hier eine dreistufige Stopfbuchse 29 eingebaut, die die Schubstange 17 dichtend umschließt (Fig.3 und 4). Die Stopfbuchse 29 ist hier mit drei Vakuumkammern 30, 31, 32 ausgerüstet die mit unterschiedlichem Vakuum beaufschlagt werden, derart, daß das Vakuum vom Bereich des Atmosphärendrucks (Magazingehäuse) bis zum Hochvakuumbereich (lonisierungskammer) stufenweise aufgebaut wird. Den Vakuumkammern 30, 31, 32 sind zu diesem Zweck Vakuumpumpen (nicht dargestellt) zugeordnet, die über Saugleitungen 33, jeweils mit programmgesteuerten Magnetventilen 34, an die Vakuumkammern 30, 31, 32 angeschlossen sind.

Innerhalb des Eintrittskanals 28 schließt an die Stopfbuchse 29 eine Ventilkammer 35 mit einem Hochvakuumventil 36 an. Dieses sperrt den ständig unter Hochvakuum stehenden Bereich, nämlich die lonisierungskammer 10 und einen anschließenden Abschnitt des Eintrittskanals 28 gegenüber, dem Atmosphärendruck-Bereich ab. Nach Einführung der Schubstange 17 bis in die Position gemäß Fig.3 und Evakuieren der Vakuumkammern 30, 31, 32 wird das Hcchvskuumvcnti! 36 geöffnet, so daß die Schubstange 17 bis in den Bereich der lonisierungskammer 10 bewegt werden kann.

Das Hochvakuumventil 36 ist bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel (siehe insbes. F i g. 5) seitlich an die Ventilkammer 35 angebaut. Ein dichtendes Absperrorgan 37 erhält in Schließstellung (z. B. F i g. 5) Anlage an einem zugekehrten Flansch 38 des Eintrittskanals 28 und sperrt diesen dadurch ab. Das Hochvakuumventil 36 bzw. dessen Absperrorgan 37 sind hier pneumatisch beaufschlagt durch eine Pneumatikeinheit 39. Zur Freigabe des Eintrittskanals 28 wird das Absperrorgan 37 aus dem Durchgang für die Schubstange 17 zurückgezogen (F i g. 4).

Die vorzugsweise programmierte und dadurch in ihrem Ablauf automatisierte Funktionsweise der insoweit beschriebenen Vorrichtung ist wie folgt:

Die Schubstange 17 wird aus einer zurückgezogenen Ausgangsstellung — etwa entsprechend F i g. 2 — durch Vorschubantrieb bis an das Probenmagazin 13 herangefahren. Durch diese Zustellbewegung wird ein Probenträger 12 durch die Kupplung 24 am Vorderende der Schubstange 17 übernommen. Diese wird sodann etwa in die Ausgangsstellung zurückgezogen, nämlich in die Position gemäß Fig.2. Hier erfolgt eine Überprüfung auf Vorhandensein eines Probenträgers 12 an der Schubstange 17 durch eine lichtoptische Prüfvorrichtung 40.

Das Probenmagazin 13 wird währenddessen weiterbewegt, derart daß die Ausnehmung 27 in den Durchgangsbereich der Schubstange 17 gelangt. Diese kann jetzt vorgeschoben werden über das Probenmagazin 13 hinaus, nämlich bis in die Stellung gemäß Γ ig.3. Die Stopfbuchse 29 ist dabei zunächst drucklos. Das Hochvakuumventil 36 bleibt noch geschlossen. Die Schubstange 17 wird vor diesem Hochvakuumventil 36, jedoch vollständig innerhalb der Stopfbuchse 29 liegend, angehalten. Es werden nun die Ventilkammern 35 evakuiert derart, daß sich in diesen Bereichen ein vom Atmosphärendruckbereich zum Hochvakuumventil 36 ansteigendes Vakuum aufbaut In der Ventilkammer 32 wird das in der lonisierungskammer 10 herrschende Hochvakuum erzeugt

Wenn dieses erreicht ist wird das Hochvakuumventil 36 geöffnet bzw. aus dem Durchgangsbereich der Schubstange 17 herausbewegt Diese kann nun durch weitere Vorschubbewegung bis in die lonisierungskammer 10 vordringen. Hier wird sodann in üblicher Weise die zu untersuchende Substanz behandelt und ionisiert

Danach wird die Schubstange 17 in analoger Weise,

nämlich bei umgekehrter Reihenfolge der Bewegungsund Funktionsabläufe, in die Ausgangsstellung zurückgezogen, wobei in einer Zwischenposition der »verbrauchte« Probenträger 12 wieder in das Probenmagazin 13 eingesetzt wird. Auch danach erfolgt eine Kontrolle auf Vorhandensein des Probenträgers 12 durch ,i.e Prüfvorrichtung 40, bevor die Schubstange 17 einem weiteren Probenträger 12 zugeführt wird.

Die Halterungen 16 für die Probenträger J 2 am Probenmagazin 13 können in verschiedener Weise ausgebildet sein. Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel handelt es sich um eine mechanische Lösung mit pneumatischer Betätigung.

Die länglichen Probenträger 12 werden durch Festklemmen im Bereich eines am Außenumfang des Probenmagazins 13 angeordneten Bundes 41 fixiert. Die in Axialrichtung weisenden Probenträger 12 sind mit einem Ende in einer Bohrung 42 des ProbcfiffiägaziiiS 13 gelagert und hier durch ein quer bewegbares, in die Bohrung 42 eintretendes Klemmstück 43 fixiert Dieses wiederum ist mit einem in Radialrichtung weisenden und bewegbaren Betätigungsstift 44 verbunden, der im Bereich des Außenumfangs des Probenmagazins 13 aus diesem mit einem Ende herausragL Gegen die Belastung einer Druckfeder 45 ist der Betätigungsstift 44 in Radialrichtung (bezogen auf das kreisförmige Probenmagazin 13) bewegbar, wodurch das Klemmstück 43 außer Klemmstellung gebracht wird.

Für die vorstehende Beaufschlagung des Betätigungsstiftes 44 ist eine hier ortsfest am Magazingehäuse 25 angeordnete Entriegelungsvorrichtung 46 vorgesehen. Diese besteht aus einem pneumatisch betätigten Druckstift 47, der gegen den Betätigungsstift 44 ausgefahren wird und diesen dadurch in Radialrichtung verschiebt. Der Probenträger 12 wird dadurch aus der Klemmstellung freigegeben (F i g- 7cl

In der vorgenannten Stellung wird der Probenträger 12 mit einem von der Substanz abliegenden Teilbereich in der Kupplung 24 aufgenommen. Durch Zurückziehen der Schubstange 17 bei gelöster Halterung 16 kann der Probenträger 12 aus der Bohrung 42 herausgezogen werden.

Die Kupplung 24 ist im vorliegenden Fall ebenfalls mit einer axialen Bohrung versehen, in der der Probenträger 12 durch Klemmwirkung, nämlich durch eine Feder 48, gehalten ist. Die Bohrung 42 mit der zu analysierenden Substanz befindet sich hier außerhalb

ίο des Bereichs der Kupplung 24.

Die Rückgabe des »verbrauchten« Probenträgers 12 an das Probenmagazin 13 vollzieht sich in umgekehrter Reihenfolge. Der Probenträger 12 wird in der Position gemäß F i g. 7c in die Bohrung 42 eingefahren. Durch Zurückziehen des Druckstiftes 47 gelangt sodann das Klemmstück 43 in Klemmstellung am Probenträger 12 und fixiert diesen in der Bohrung 42. Die Haltekraft ist dabei größer als die der Feder 48, so daß beim Zurückziehen del Schubstange 17 der Probenträger 12 im Probenmagazin 13 gehalten wird.

Die Kupplung 24 der Schubstange 17 kann weiterhin so ausgebildet werden, daß eine steuerbare Beheizung desselben und damit eine Verdampfung der Substanz erfolgen kann.

Das Probenmagazin 13 ist auf der zur Antriebswelle 14 gegenüberliegenden Seite mit einem axial verschiebbaren Gegenlager 49 gehalten, das über einen aus dem Magazingehäuse 25 herausragenden Handgriff 50 axial verschoben, nämlich zurückgezogen werden kann.

Dadurch ist es möglich, das Probenmagazin 13 zur Beschickung oder sonstigen Bearbeitung von der Antriebswelle 14 ab- und aus dem Magazingehäusc 25 herauszunehmen. Letzteres ist zu diesem Zweck mit einem im oberen Bereich gebildeten Deckel 51 versehen.

In das Magazingehäuse 25 ist ein Schutzgas einführbar über einen Gasanschluß 52.

Hierzu 8 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

Patentansprüche:

1. Einrichtung zum automatisch steuerbaren Probeniransport in einen unter Hochvakuum stehenden Raum eines Analysengerätes, mit einer in einem Führungsgestell gelagerten Schubstange, einem quer zur Bewegungsrichtung der Schubstange bewegbar angeordneten Probenmagazin, wobei die Schubstange jeweils einen Probenträger von dem Magazin übernehmen kann, mit einem gegenüber dem das Magazin aufnehmenden Raum abdichtbaren und evakuierbaren Eintrittskanal, an dessen dem unter Hochvakuum stehenden Raum zugewandten Ende ein Hochvakuumventil angeordnet ist, das nach Evakuieren des Eintrittskanales zum Durchtritt der Schubstange mit dem Probenträger geöffnet werden kann, dadurch gekennzeichnet, daß