DE1789151C3

DE1789151C3 - Vakuumschleuse für Massenspektrometer

Info

Publication number: DE1789151C3
Application number: DE19641789151
Authority: DE
Inventors: Curt Dr. 2820 Platjenwerbe Brunnee; Guenter 2871 Varrel Kappus
Original assignee: Varian Mat GmbH
Current assignee: Varian Mat GmbH
Priority date: 1964-07-30
Filing date: 1964-07-30
Publication date: 1975-06-05
Also published as: DE1789151B2; DE1789151A1

Description

Der Erfinder hat sich die Aufgabe gestellt, eine 60 Das Magazin 11 ist mit dem Stempel 14 lösbar

Vakuumschleuse zu schaffen, mit welcher die Unter- verbunden, so daß es nach öffnen des Deckels 13

suchung einer Probenreihe in einem Massenspektro- ausgewechselt bzw. herausgenommen und neu gefüllt

meter schnell und ohne wiederholtes Belüften und werden kann.

Wiederauspumpen der Schleusenkammer erfolgen Der Stempel 14 ist in einem Gehäusehals 20 unkann. 65 drehbar aber verschiebbar geführt. Der Schaft 15 ist Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß dadurch gelöst nach außen geführt und kann dort z. B. mit Hilfe worden, daß ein den Probeneinführkanal kreuzender einer Mutter verstellt werden, die auf einem Gewin-Querkanal für ein darin verschiebbares Probenmaga- dehals des Gehäuses sitzt und drehbar aher unver-

schiebbar am Schaft 15 angreift. Der vakuumdichte Verschluß der Diirchführungsöffnung für den Schaft 15 geschieht durch einen Balg 21, der den Schaft 15 umschließt und dessen Enden fest mit dem Stempel 14 bzw. dem Gehäusehals 20 verbunden sind.

Die Schubstange 16 ist von einem Gehäusehals 22 aus nicht magnetischem Material vakuumdicht umschlossen und wird durch einen axial verstellbaren Magneten 24 mitgenommen, der auf ein am Schubstangenende angebrachtes Eisenstück 16 a einwirkt.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

ι 2 zin vorgesehen und daß der Proben'.räger zui ÜberPatentansprüche: nähme jeweils einer Probe aus dem Magazin ausge- bildet ist. Dabei kann ein Ende des Querkanals als

1. Vakuumschleuse für Massenspektrometer Schleusenkammer zur Aufnahme des ganzen Magamit einem Probeneinführkanal und einem schub- 5 zins eingerichtet und mit einer mittels eines Deckels stangenförmigen Probenträger, dadurch ge- vakuumdicht verschließbaren Öffnung zum Laden kennzeichnet, daß ein den Probeneinführ- und Entladen des Magazins versehen sein.

kanal (9) kreuzender Querkanal (10) für ein Die Erfindung wird an einem Ausfuhrungsbeispiel

darin verschiebbares Probenmagazin (11) vorge- erläutert. Die Abbildung zeigt eine Vakuumschleuse

sehen und daß der Probenträger (16) zur Über- to für Massenspektrometer in einem Querschnitt,

nähme jeweils einer Probe (8) aus dem Magazin In der Vakuumkammer 1 des Massenspektrome-

ausgebildet ist. ters ist eine Ionisierungseinrichtung 2 angebracht, in

2. Vakuumschleuse nach Anspruch 1, dadurch der durch Elektronenbeschuß im Bereich eines Elekgekennzeichnet, daß ein Ende des Querkanals tronenbündels/1 innerhalb einer Ionisierungskam-(10) als Vorratskammer (10 a) zur Aufnahme des 15 mer3 die in Dampfform in die Kammer gelangende, ganzen Magazins (11) eingerichtet und mit einer zu untersuchende Probe ionisiert wird. Die gebildemittels eines Deckels (13) vakuumdicht ver- ten Ionen werden auf an sich bekannte Weise aus der schiießbaren Öffnung zum Laden und Entladen Ionisierungskammer3 durch elektrische Felder senkdes Magazins (11) versehen ist. recht zur Zeichenebene, z. B. nach vorn, herausgezo-

3. Vakuumschleuse nach Anspruch 2, dadurch 20 gen, so daß sie in den Analysator des Massenspekgekennzeichnet, daß die Vorratskammer (10 a) trometers eintreten können.

durch einen Ventilstempel (14) gegen den Ein- Zur Verdampfung der zu untersuchenden Probe

führkanal (9) vakuumdicht verschließbar ist. wird diese in einen Verdampfungsofen 4 eingebracht.

4. Vakuumschleuse nach einem der An- Zur Einführung der Probe 8 ist dit Heizkammer 4 λ sprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der 25 des Cfens an einen Einführkanal 9 angeschlossen, Probenträger (16) als Stößel mit Haftmagnet (17) der von einem Querkanal 10 mit einem darin verfür den aus ferromagnetischem Material beste- schiebbaren Magazin 11 für eine Reihe von Proben 8 henden Probcnhalter (Tiegel) ausgebildet ist. in getrennten Tiegeln gekreuzt wird.

5. Vakuumschleuse nach einem der An- Die rechte Seite des Querkanais 10 ist als Vorratssprüche 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß 30 kammer 10 α zur Aufnahme des ganzen Magazins 11 zur Bewegung des Probenmagazins (11) sowie eingerichtet und mit einem vakuumdicht verschließzur Abdichtung bzw. Öffnung der Vorratskam- baren Deckel 13 versehen.

mer (10 a) zum Einführkanal (9) hin der Ventil- Das Magazin mit den Proben kann durch einen

stempel (14) als Magazinträger ausgebildet ist. Stempel 14 mit Schaft 15 so quer zum Einführka-

35 nal 9 verschoben werden, daß jeweils eine der Proben 8 in den Bereich einer Schubstange 16 zum Herausschieben dieser Probe aus dem Magazin in den

Verdampfungsofen 4 gelangt. Die Schubstange 16

hält den aus dem Magazin 11 herausgeschobenen

40 Tiegel magnetisch fest. Zu diesem Zweck sind am Boden der Tiegel Haftmagneten 17 befestigt. Während der massenspektrometrischen Messung bleibt

Die bekannten Vakuumschleusen für Massenspek- die Schubstange 16 in der vorgeschobenen Stellung tromeler sind so ausgebildet, daß mit ihnen jeweils und nimmt dann den Tiegel wieder bis ins Magazin nur eine ausgebrauchte gegen eine neue Probe ausge- 45 mit, wo er durch Anschlag am Boden seiner Fassung wechselt werden kann, ohne die Analysatorkammer 11a zurückgehalten und dadurch von der weiter zudes Massenspektrometers beim Probenwechsel belüf- rückgehenden Schubstange 16 wieder gelöst wird, die ten und wieder auspumpen zu müssen. Dies hat den nach entsprechender Verschiebung des Magazins Nachteil, daß sich bei Reihenuntersuchungen um- einen anderen Tiegel aus dem Magazin in den Verständliche und zeitraubende Arbeiten für den Pro- 50 dampfungsofen bringen kann.

benwechsel ergeben und daß die Schleusenkammer Der Stempel 14 schließt die Vorratskammer 10 a bei jedem Probenwechesl von neuem belüftet und vakuumdicht gegen den Einführkanal 9 ab. Es ist dawieder ausgepumpt werden muß. her möglich, die Vorratskammer zum Zwecke des Die Erfindung geht aus von einer Vakuumschleuse Magazinwechsels zu belüften, ohne daß das Vakuum für Massenspektrometer mit einem Probeneinführka- 55 im Einführkanal 9 und im Verdampfungsofen 4 benal und einem schubstangenförmigen Probenträger; cinträchtigt wird. Zur Wiederevakuierung der Voreine derartige Vakuumschleuse ist aus der »Zeit- latskammer 10 a kann an diese über ein Ventil 18 schrift für Instrumentenkunde« 68 (1960), S. 97 bis eine Vor- bzw. Hochvakuumpumpe 19 angeschlossen bekannt. werden.