DE2841030A1 - Schleuse - Google Patents

Schleuse

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DE2841030A1
DE2841030A1 DE19782841030 DE2841030A DE2841030A1 DE 2841030 A1 DE2841030 A1 DE 2841030A1 DE 19782841030 DE19782841030 DE 19782841030 DE 2841030 A DE2841030 A DE 2841030A DE 2841030 A1 DE2841030 A1 DE 2841030A1
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Herbert Sitta
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GSI Gesellschaft fuer Schwerionenforschung mbH
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GSI Gesellschaft fuer Schwerionenforschung mbH
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/18Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Description

  • Schleuse
  • Beschreibung: Die Erfindung betrifft eine'Schleuse zum Einbringen von Proben aus der Atmosphäre in einen Vakuumraum, z.B. zur Bestrahlung in dem Strahl eines Schwerionenbeschleunigers, mit einem Drehkörper, der mehrere Aufnahmepositionen zur Halterung der Proben aufweist zum Transport der Proben von einerl3elade- æt.iner Entladeposition wobei die im Drehkörper aufgenommenen Proben zwischen diesen Positionen mindestens einem Behandlungsschritt unterzogen werden.
  • Bei vielen Experimenten besteht das Problem, eine Probe von der Atmosphäre in eine Vakuumkammer einzubringen. Die Arbeitsweise herkömmlicher Schleusen ist wie folgt: Mit einem Schieber wird die Vakuumkammer von einer Schleuse getrennt. Die Schleuse wird geöffnet und die Probe in eine Verschiebevorrichtung in die Schleuse eingelegt. Dann wird die Schleuse geschlossen, abgepumpt, der Schieber zur Vakuumkammer geöffnet und jetzt erst kann die Probe über eine gasdichte Stange in die Vakuumkammer geschoben werden. Weiterhin sind aus der Technik Schleusvorrichtungen bekannt, die sich eines Drehkörpers bedienen, in welchem magazinartig Halterungen vorhanden sind.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, nun eine Schleuse der eingangs beschriebenen Art zu schaffen, bei welcher der Zeitaufwand für einen Probenwechsel möglichst gering ist und die die nötige Abdichtung aufweist, die zum Einbringen an bewegten Teilen in Hochvakuumanlagen nötig ist.
  • ZurLösung dieser Aufgabenstellung bei einer Schleuse der eingangs'genannten Art schlägt die vorliegende Erfindung vor, daß der Drehkörper aus einer Kugel besteht und die Wand des den Strahl enthaltenden Gehäuses t>is zur Strahlachse kalottenförmig aufgeschnitten ten ist, daß die Kugel in der Kalotte gelegen und um eine Achse parallel zur Strahlachse drehbar ist, wobei am Uifang der Kugel auf einem Kreis senkrecht zu ihrer Drehachse Schlitze zur Aufnahmeder Proben eingebracht sind,und daß in der Wandung des kalottenförmigen Ausschnittes Radialdichtringe zur Abdichtung des Spaltes zwischen Kugel und Gehäuse angebracht sind. Dabei ist es von besonderem Vorteil, daß zwei Radialdichtringe vorgesehen sind, die von der Seite her gesehen, parallel zur Drehachse der Kugel angeordnet sind und daß das Zwischen stück des Ringspaltes im Bereich zwischen den beiden Dichtringen an eine Absaugleitung angeschlossen ist, die unter Vorvakuumdruck steht.
  • Bei einer Schleuse dieser vt,rgeschLagenen Bauart bestimmt lediglich die Bestrahlungszeit einer Probe die Zeit für den Wechsel. Das bedeutet einen großen Durchsatz an Proben und dadurch eine sehr gute Ausnützung der zur Verfügung stehenden Strahlzeit.
  • Weitere Einzelheiten der vorliegenden Erfindung werden im folgenden anhand der Figuren 1 und 2 näher erläutert. Es zeigen die Figur 1 einen schematischen Seitenschnitt durch die erfindungsgemäße Schleuse und die Figur 2 einen schematischen Höhenschnitt derselben.
  • Wie aus beiden Figuren hervorgeht, besteht das Hauptele- -ment der Schleuse aus der Kugel 1, die um die Achse 2 drehbar ist, wobei der Antrieb zum Drehen nicht näher dargestellt ist. Dieser Antrieb liegt außerhalb des eigentlichen Vakuumraumes und ist nicht Gegenstand der vorliegendne Erfindung. Mit Hilfe der Schleuse sollen nun Proben 3 aus der Atmosphäre 4 in eine Bestrahlungsposition transportiert werden, in weicher eine Bestrahlung durch cinc.n,im Vakuumraum 5 verlaufenden, hochenergetischen Schwcrionnstrahl 6 durchgeführt werden kann. Der Vakuumraum 5 ist durch das Gehäuse 7 von der Atmosphäre getrennt. Das Gehäuse 7 ist nun so ausgeschnitten, daß sich ein kugelkalotten förmiger Ausschnitt 8 bildet, der den Vakuqmraum 5 anschneidet bzw. die Strahlachse 6 überdeckt. In diesem Ausschnitt 8 liegt nun die Kugel 1 bzw. genauer greift ein Teil der Kugel 1 ein. Da die Kugel 1 um die Achse 2 drehbar ist, welche parallel zur Außenwand 9 des Gehäuses 7 und parallel zur Strahlachse 6 gelegen ist, kann durch Drehen der Kugel 1 ihre Oberfläche bzw. ein Teil ihres Volumens vom Außenraum 4 in das Vakuumsystem 5 bzw. den Strahl 6 hin- und zurückgedreht werden.
  • Zur Abdichtung des Spaltes 9 zwischen der kugel 1 und dem Gehäuse 7, durch welchen Luft von der Atmosphäre 4 in den Vakuumraum 5 strömen kann, sind in d Gehäuse 7 zwei Radialdichtringe lo und 11 so eingelassen, daß ihre Dichtlippen 12 und 13 auf die Oberfläche 14 der Kugel 1 so zu liegen kommen, daß unter Aufrechterhaltung der Drehbarkeit der Kugel 1 um die Achse 2 eine weitgehende Abdichtung des Spaltes9 erfolgt.
  • Die Dichtringe lo und 11 liegen dabei - von der Seite gesehen im wesentlichen parallel zu der Drehachse 2r so daß die auf einem Umfangskreis der Kugel 1 senkrecht zu deren Drehachse 2 angeordneten Probehalteschlitze 15 unter den Dichtlippen 12 und 13 von der Atmosphäre in den Vakuumraum 5 gedreht werden können. Der Übergang in den Vakuumraum 5 erfolgt dabei stufenweise, denn der Zwischenraum 16 zwischen den beiden Dichtringen lo und 11 ist mit einer unter Vorvakuum stehenden Absaugeleitung 19 verbunden, um bereits die über die Dichtlippen 12 einströmende Luft abzusaugen. Damit diese Absaugung auch das Luftrestvolumen in den Schlitzen 15 sowie der in den Schlitz 15 einbringbaren Proben 3 erfassen kann, ist die Kugel 1 quer zu den Schlitzen 15 mit Bohrungen 17 versehen, die beim Drehen in Pfeilrichtung 18 zunächst vor die Absaugeleitung 19 zu liegen kommen und in der Bestrahlungsposition 20 iii Strahl b ulne einwandfreie Absaugung durch das iauptvökuuin er1flöglichen.
  • Das Einbringen der Proben 3 in die Schlitze 15 erfolgt mittels der schematisch dargestellten Aufnahmeeinrichtung 20, das Entfernen daraus mittels er Ausbringvorrichtung 21.
  • Die Proben 3 in den Schlitzen 15 werden in Pfeilrichtung 18 jeweils um 60 Grad Schritte weitergefördert, ihre einzelnen Positionen sind in der Figur 1 mit a bis e gekennzeichnet.
  • Die Arbeitsweise der neuen Schleuse ist nun wie folgt: Durch die Aufnahmerichtung 20, z.B. in Form eines Magazines fällt die erste Probe in den ersten bereitstehenden Aufnahmeschitz 15 der Kugel 1 (a).
  • Erster Takt: Die Kugel 1 dreht sich um 60 Grad, jetzt fällt die zweite Probe in den zweiten Schlitz, die erste befindet sich in der Position b beim Vorvakuumabpumpen.
  • Zweiter Takt: Nach einer weiteren Umdrehung um 60 Grad fällt eine dritte Probe in den dritten Schlitz, die zweite befindet sich jetzt in Position b beim Vorvakuumpumpen und die erste Probe wird bestrahlt (Pos. c).
  • Dritter Takt: Nach einer weiteren Umdrehung um 60 Grad fällt eine vierte Probe in den vierten Schlitz, die dritte befindet sich jetzt in Pos. b beim Vorvakuumpumpen, die zweite beim Bestrahlen in Pos. c und die erste in Pos. d.
  • Vierter Takt: Nach einer weiteren Umdrehung um 60 Grad fällt eine fünfte Probe in den fünften Schlitz, die vierte befindet sich jetzt in Pos. b beim Vorvakuumpumpen, die dritte wird bestrahlt in Pos. c, die zweite befindet sich in Pos. b und die erste Probe wird wieder ausgeworfen in Pos. e.
  • Ab jetzt wird bei jeder weiteren Umdrehung um 6c Grad gleichzeitig eine F>robe aufgenommen, eine Probe vorvakuumgepumpt@ eine bestrahlt und eine wieder ausgeworfen. Dadurch können alle vier ArbeiLs<jänge in einer Zeiteinheit erfolgen.
  • Leerseite

Claims (3)

  1. Patentansprüche: Schleuse zum Einbringen von Proben aus der Atmosphäre in einen Vakuumraum, z.B. zur Bestrahlung in dem Strahl eines Schwerionenbeschleunigers mit einem Drehkörper, der mehrere Aufnahmepositionen zur Halterung der Proben aufweist zum Transport der Proben von einer Belade- zu einer Entladeposition, wobei die im Drehkörper aufgenommenen Proben zwischen diesen Positionen mindestens einem Behandlungsschritt unterzogen werden, dadurch gekennzeichnet, daß der Drehkörper aus einer Kugel (1) besteht und die Wand (7) des den Strahl enthaltenden Gehäuses I->is zur Strahlachse (6) kalottenförmig aufgeschnitten ist, daß die Kugel (l)in der Calotto (8) gelegen ist und um eine Achse (2) parallel zur Strahlachse (6) drehbar ist, wobei am Umfang der Kugel (1) auf einem Kreis senkrecht zu ihrer Drehachse (2) Schlitze (15) zur Aufnahme der Proben (3) angebracht sind und daß in die Wandung des kalottenförmigen Ausschnittes (9) Radialdichtringe (lo,ll) zur Abdichtung des Spaltes (9) zwischen Kugel (1) und Gehäuse (7) angebracht sind.
  2. 2. Schleuse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Radialdichtringe (lo,ll) vorgesehen sind, die, von der Seite gesehen, parallel zur Drehachse (2) der Kugel (1) angeordnet sind.
  3. 3. Schleuse nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Zwischenstück (16) des Ringspaltes (9) im Bereich zwischen den beiden Dichtringen (lo,ll) an eine Absaugleitung (19) angeschlossen ist, die unter Vorvakuumdruck steht.
DE19782841030 1978-09-21 1978-09-21 Schleuse Granted DE2841030A1 (de)

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DE2841030A1 true DE2841030A1 (de) 1980-04-03
DE2841030C2 DE2841030C2 (de) 1987-04-09

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1000562B (de) * 1954-12-04 1957-01-10 Friedrich Endter Dr Ing Zum Ein- und Ausschleusen und zum Transport von Gegenstaenden in einem Vakuumraum dienende Vorrichtung

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1000562B (de) * 1954-12-04 1957-01-10 Friedrich Endter Dr Ing Zum Ein- und Ausschleusen und zum Transport von Gegenstaenden in einem Vakuumraum dienende Vorrichtung

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DE2841030C2 (de) 1987-04-09

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