DE3630014A1 - Tuerverschlussvorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein vollständig eingekapseltes Niederdruck-Türschließgerät, welches Behandlungsröhren abdichtet, in denen Siliziumwafer aufgeheizt und verschiedenen chemischen Prozessen unterzogen werden.

Die Herstellung von Mikrochips im Dampfabscheidungs­ verfahren (CVD) erfordert die Aufrechterhaltung konstanter, geregelter Umgebungsbedingungen. In diesem Zusammenhang ist es wesentlich, daß die Behand­ lungsröhre absolut sauber gehalten wird. Um dies zu er­ reichen, wird die Röhre innen gesäubert und dann evaku­ iert. Danach werden die Siliziumwafer auf einem Träger oder "Schiff" angeordnet. Die Schiffe selbst werden dann auf einer Art Gerät befestigt und dann mit dem Gerät in die Behandlungsröhre eingeschoben. Dieses Gerät nennt man üblicherweise Schaufel ("Paddel"). Die Schaufeln halten und tragen die Wafer während sie innerhalb der evakuierten Bearbeitungsröhre behandelt werden. Während der Behandlung muß in der Röhre eine entsprechende Atmosphäre geschaffen werden, was dadurch geschieht, daß die Röhre zunächst vollständig evakuiert wird. Dann werden bestimmte ge­ wünschte Gase eingelassen. Dabei kommt es darauf an, si­ cherzustellen, daß Sauerstoff oder andere nicht gewünschte Gase auf jeden Fall nicht in die Röhre eindringen können. Wenn solche ungewünschten Gase während der Behandlung in die Röhre eindringen würden, würde das die Behandlung un­ möglich machen und die Wafer zerstören.

Im gegenwärtigen Stand der Technik werden die Behandlungs­ röhren um den Bereich herum abgedichtet, in dem die Schau­ fel eingeschoben wird. Zur Abdichtung ist in erster Linie eine Vorrichtung vorgesehen, deren Abmessungen der Vor­ richtung der Behandlungsröhre entspricht, um diese von außen abzudichten. Die Schaufel wird durch diese Vorrich­ tung hindurch geschoben. Die Schwierigkeit liegt jedoch darin, eine wirksame Dichtung um den Griffstiel der Schau­ fel zu erzeugen. Herkömmliche Verfahren verwenden hierzu O-Ring-Dichtungen, die gegen den Griffstiel der Schaufel gedrückt werden. Die Dichtungen werden mit der Vorrichtung verbunden, die die Behandlungsröhre selbst abdichtet. Auf diese Weise wird die Behandlungsröhre vakuumdicht abge­ dichtet. Mit dieser Art der herkömmlichen Abdichtung bzw. von herkömmlichen Türschließgeräten gehen verschiedene Probleme einher.

Das erste Problem liegt in der starken Hitze, die über die Schaufel während der Behandlung an den Griff der Schaufel weitergegeben wird, was dazu führt, daß die O-Ringe oft überhitzen und daher undicht werden. Wenn der O-Ring eines Schaufelgriffs einmal angebrannt ist, kann nicht mehr sichergestellt werden, daß das Vakuum aufrechterhalten werden kann. Dies führt dazu, daß die teuren Wafer unabän­ derlich unbrauchbar werden. Die Behandlungstemperaturen können zwischen 600 und 800°C innerhalb der Behandlungs­ röhre liegen und entsprechend hohe Temperaturen werden eben auch auf den Schaufelgriff übertragen.

Ein weiterer Nachteil dieser bekannten O-Ring-Druck­ dichtungen um den Schaufelgriff liegt darin, daß man diese Art der Dichtung nicht für rechteckige Schaufel­ griffe verwenden kann, die es auch in beträchtlicher Anzahl gibt. Schließlich liegt ein weiterer Nachteil auch darin, daß durch den Wärmeverlust über die Schaufeln die Wirksamkeit des Behandlungssystems kleiner ist, als es wäre, wenn diese Verluste über die Schaufeln nicht statt­ finden würden.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen verbesserten Türschließmechanismus und auch ein Verfahren zur Erzeugung einer positiven Dichtung um die Schaufel­ griffe herum vorzuschlagen, wobei Beschädigungen von O-Ring-Druckdichtungen aufgrund von auf sie übertragener Hitze vermieden werden.

Diese Aufgabe wird mit einer Vorrichtung bzw. einem Verfahren mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche gelöst.

Mit diesen Merkmalen schafft die Erfindung einen Niederdruck-Türverschluß mit einem abgedichteten Schaufel­ aufnahmeelement, in welches der Schaufelgriff eingeschoben wird. Eine flexible Verbindung ist mit ihrem einen Ende an einem äußeren Ring des abgeschlossenen Schaufel­ aufnahmeelementes und mit ihrem anderen Ende an einer Schließtür befestigt. Das abgedichtete Schaufelauf­ nahmeelement erstreckt sich durch die Aufnahmetür hin­ durch, so daß das Schaufelende, welches das Schiff trägt und die Wafer in die Behandlungsröhre sich hinein er­ strecken. Des weiteren ist ein Abstandsstück vorgesehen, welches über das Ende des abgedichteten Schaufelauf­ nahmeelementes zwischen dem offenen Ende des Schaufel­ aufnahmeelementes und der Schließtür ab der Stelle ihres Zusammentreffens aufgleitet. Diesem Abstandsstück kommen zwei Funktionen zu. Zum einen wird durch das Ab­ standsstück der Bewegungsweg des abgedichteten Schaufelaufnahmeelementes so begrenzt, daß die flexible Verbindung nicht überbeansprucht wird. Zum zweiten schafft dieses Abstandsstück die Möglichkeit, eine Feststell­ schraube anzuordnen, die sich durch das Abstandsstück hin­ durch und in einen offenen Schlitz am Ende des abgedichte­ ten Schaufelaufnahmeelements erstreckt und dann in Halte­ kontakt mit der Schaufel selbst eingeschraubt werden kann. Auf diese Art und Weise kann die Schaufel innerhalb des Schaufelaufnahmeelements festgehalten werden. In der Nähe des abgeschlossenen Endes des Schaufelaufnahmeelementes sind zwei Markierungen auf zwei und auf zehn Uhr ange­ bracht. Diese Markierungen sorgen für einen Verschlußef­ fekt am äußeren Ende des Schaufelgriffs, wenn dieser in dem abgedichteten Schaufelaufnahmeelement angeordnet ist, so daß die Schaufel sich nicht bewegt oder in dem Auf­ nahmeelement hin- und hergleitet. Wenn die verwendete Schaufel rund ist, muß das röhrenförmige abgedichtete Schaufelaufnahmeelement des Anmelders nicht abgeändert werden. Wenn aber ein rechteckig geformter Schaufelgriff oder ein Griff irgendeiner anderen Form verwendet wird, ist ein Adapter vorgesehen, der sich nahezu über die Länge des abgedichteten Schaufelaufnahmeelements erstreckt. Die­ ser Adapter besitzt einen etwas kleineren Durchmesser und kann daher einfach in das abgedichtete Schaufelaufnahme­ element eingeschoben werden. Darüber hinaus weist der Adapter eine Adapterstange auf, die in dem Adapter ange­ ordnet ist und für rechteckige Griffe das Röhreninnere so "rechteckig" macht, daß der rechteckige Schaufelgriff fest und sicher ins Innere der Röhre hineinpaßt. Wenn der rechteckförmige Schaufelgriff an dem Adapter befestigt ist, wird der Adapter in das abgedichtete Schaufelauf­ nahmeelement eingeschoben und mit Hilfe von Festhalte­ schrauben festgehalten. Auf diese Art und Weise wird ein vollständig eingekapseltes Türverschließgerät geschaffen, wobei an keiner Stelle eine Berührung zwischen Schaufel und Dichtungen stattfindet.

Weitere Merkmale, Vorteile und Eigenschaften der Erfindung werden im folgenden anhand des in der Zeichnung darge­ stellten Ausführungsbeispiels erläutert und beschrieben.

Fig. 1 zeigt in einer Explosionsdarstellung ein bevor­ zugtes Ausführungsbeispiel eines erfindungsge­ mäßen vollständig eingekapselten Türverschließ­ gerätes;

Fig. 2 ist eine Teilschnitt-Seitenansicht der Vor­ richtung, die die Schaufel und das beladene Schiff zeigt;

Fig. 3 ist eine Schnittansicht entlang der Linie II - II der Fig. 2;

Fig. 4 ist eine Seitenansicht der Vorrichtung mit zwei eingezeichneten Strichlinien, die die überlegenen Fähigkeiten der Vorrichtung in Hinblick auf die Biegefähigkeit zeigen;

Fig. 5 ist eine Teilschnittansicht von oben auf das abgeschlossene Schaufelaufnahmegerät und zeigt auch eine Ansicht vom offenen Ende her des Schaufelaufnahmeelements und

Fig. 6 ist eine Teilschnittansicht der Adapterröhre für einen anders als rund geformten Schaufel­ griff und sie zeigt ebenfalls eine Ansicht auf den Adapter in einem Querschnitt einer Adapter­ stange für quadratische Schaufelgriffe, wobei ein solcher Schaufelgriff in der Röhre angeord­ net ist.

Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nun unter Bezug auf die Fig. 1 bis 6 beschrieben. In Figur 1 ist die Vorrichtung insgesamt mit 10 bezeichnet und in einer Explosionsdarstellung gezeigt. Es ist das abgedich­ tete Schaufelaufnahmeelement 12 mit einem geschlossenen Ende 14 und einem offenen Ende 16 zu erkennen. Des weite­ ren ist ein Schlitz 18 und eine Anschlagplatte 20 gezeigt. Der Schlitz 18 ermöglicht es, eine Festhalteschraube zum Fixieren eines Schaufelgriffs, der in das abgeschlossene Schaufelaufnahmeelement 12 hineingeschoben ist, anzuord­ nen. Die Anschlagplatte ist durch Schweißen oder andere herkömmliche Mittel fest mit dem abgedichteten Schaufel­ aufnahmeelement 12 verbunden, und dient so als Befesti­ gungssockel für einen Faltenbalg-Verbindungsabschnitt 24. In der Anschlagplatte 20 sind mehrere Bohrungen oder Schrauböffnungen 21 vorgesehen, über die der Faltenbalg­ abschnitt 24 mit Hilfe von Schrauben 31 befestigt werden kann. Die Markierungen 22 halten eine in das abgedichtete Schaufelaufnahmeelement 20 eingeschobene Schaufel gegen Gleitbewegungen fest und verhindern, daß die Schaufel nach dem Einsetzen sich verdrehen kann.

Das Ende 26 des Faltenbalgs ist so ausgebildet, daß es über das offene Ende 16 des abgedichteten Schaufelauf­ nahmeelements 12 gegen eine entfernbar eingesetzte Dich­ tung 28 anliegt. Wenn dieses Faltenbalgende 26 und die Ab­ dichtung 28 aufgeschoben sind, werden mehrere ebenfalls wegnehmbare Befestigungsklammern 29 angeordnet, die den Kragen des Faltenbalgendes 26 übergreifen und so das Fal­ tenbalgende fest gegen die Anschlagplatte 20 pressen, so daß eine vollständige, leckagedichte Abdichtung erfolgt.

Abnehmbare, aufschiebbare Dichtungen 28 sind im Stand der Technik bekannt. Das gegenüberliegende Ende 30 des Falten­ balgabschnitts 24 gleitet ebenfalls über das offene Ende 16 des Aufnahmeelements 12. Wenn das Aufnahmeelement 12 durch die Schaufelöffnung 39 in der Verschlußtür 32 hin­ durchgeschoben wird, kommt der ebenfalls entfernbar aufge­ schobene Abdichtring 34 zwischen dem Ende 30 des Falten­ balgs 24 und der Verschlußtür 32 zu liegen und wird mit mehreren ebenfalls abnehmbaren Halteklammern 36 befestigt. Wenn die Befestigungsklammern 36 angeordnet sind, umgreift das T-förmige Ende der Befestigungsklammern 36 von hinten den Kragen am Ende 30 des Faltenbalgs 24, so daß eine vollständige ebenfalls dichte Abdichtung geschaffen wird. In der Verschlußtür 32 sind mehrere Gegenstücke oder Schraubbohrungen 33 vorgesehen, über die die Befestigungs­ klammern 36 und deren Schrauben 35 befestigt werden kön­ nen. Eine Druckdichtung 37, die nicht gezeigt ist, liegt auf der der Behandlungsröhre zugeordneten Seite der Ver­ schließtür 32. Die Behandlungsröhre ist ebenfalls nicht gezeigt. Die einschiebbaren, entfernbaren Dichtringe 34 und 37 sind herkömmlicher Art.

In der Fig. 1 ist ebenfalls ein Abstandstück 38 gezeigt. Das Abstandsstück 38 wird über das offene Ende 16 des Auf­ nahmeelements 12 fest aufgeschoben, wenn dieses durch die Schaufelschleuse 39 in der Verschließtür 32 hindurchge­ schoben wird. Das Abstandselement 38 erstreckt sich eben­ falls durch die Verschließtür 32 hindurch in den flexiblen Faltenbalg 24 über ein kurzes Stück hinein. Das Abstands­ element verhindert eine Bewegung des Aufnahmeelements 12, so daß der Faltenbalg 24 niemals überdehnt werden kann. Darüber hinaus dient das Abstandselement 38 zur Befesti­ gung von Feststellschrauben 40, die in Schrauböffnungen 42 im Abstandselement 38 so angeordnet sind, daß die Fest­ stellschrauben 40 hindurchgeschraubt werden können und auch durch einen Schlitz 18 in dem Element 12, so daß die Schrauben in Kontakt mit einer eingeschobenen Schaufel kommen. Diese Schrauben verhindern dann eine Bewegung der Schaufel. Zwei entgegengesetzt angeordnete Feststell­ schrauben 44 liegen auf sich gegenüber liegenden Seiten des Abstandselementes 38 und halten das Abstandselement 38 in festem Kontakt mit dem Aufnahmeelement 12. Gezeigt ist allerdings nur eine Feststellschraube 44 in Fig. 1.

In Fig. 1 ist auch der zylindrische Adapter 46 gezeigt, der an beiden Enden offen ist. Der Adapter 46 ist mit ei­ nem rechteckigen Adapterstab 48 versehen, der in dem Adap­ ter 46 in einer noch mehr im Detail anhand von Fig. 6 be­ schriebenen Art und Weise befestigt ist. Wenn der Adapter­ stab 48 befestigt ist, wird der zunächst runde Innenraum des Adapters rechteckförmig. Mit Hilfe von Feststell­ schrauben kann dann ein quadratischer Schaufelgriff einge­ schoben und in dem Adapter 46 festgehalten werden. Der Adapter 46 kann vollständig in das Aufnahmeelement 12 ein­ geschoben werden, wie wenn die verwendete Schaufel rund wäre. Der Schlitz 50 ist mit dem Schlitz 18 ausgerichtet, so daß die Festhalteschraube 40 für die Schaufel auch den quadratischen Schaufelgriff erreichen und fest an Ort und Stelle halten kann. Mit mehreren entsprechend geformten Adapterstangen 48 kann nahezu jede beliebige Schaufelform entsprechend adaptiert werden. Des weiteren sind Aufnahme­ elemente oder Öffnungen 60 für die Adapterstangen gezeigt, über die entfernbare Befestigungselemente 62 zur Befesti­ gung des Adapterstabes 48 im Adapter 46 gehalten werden können. Die Schaufelbefestigungselemente oder Öffnungen 64 dienen dazu, die Befestigungselemente 66 zum Festhalten der Schaufel 58 im Adapter 46 aufzunehmen.

Im folgenden wird auf Fig. 2 Bezug genommen, in der die Vorrichtung 10 in einer teilweise geschnittenen Seitenan­ sicht gezeigt ist. Die Schaufel 52 trägt ein Schiff 54 mit dem Wafern 56. Die Schaufel 52 ist mit Hilfe der Fest­ stellschrauben 40 im Abstandselement 38 an Ort und Stelle festgehalten, wobei der Schaufelgriff 52 vollständig in­ nerhalb des Schaufelaufnahmeelementes 12 abgedichtet ein­ geschlossen ist. Von der Seite sind die Verschließtür 32 mit den Befestigungsklammern 36 gezeigt, die das Ende 30 des Faltenbalgabschnitts 24 fest gegen den Dichtring 34 pressen, so daß eine luftdichte Abdichtung erzeugt wird. Des weiteren sind die entfernbaren Befestigungsklammern 29 zu erkennen, die das andere Ende 26 des Faltenbalgs dicht gegen die Ringdichtungen 28 und gegen die Anschlagplatte 20 pressen, so daß auch auf dieser Seite ein luftdichter leckagefreier Verschluß entsteht.

Fig. 3 zeigt einen Querschnitt durch die Vorrichtung 10. Der Adapter 46 ist in dem Aufnahmeelement 12 angeordnet, wobei auch die Adapterstange 48 zu erkennen ist. Die Fig. 4 zeigt in einer Seitenansicht die Fig. 10 anhand der ge­ strichelt gezeichneten Linien 32 A und 32 B, wobei in über­ triebener Weise die möglichen Bewegungen der Verschlußtür 32 aufgrund der flexiblen Faltenbalgverbindung 24 darge­ stellt sind. Weil sich die Verschlußtür 32 wie dargestellt bewegen kann, können alle eventuellen Falschausrichtungen gegenüber der Wafer-Behandlungsröhre, die nicht darge­ stellt ist, ausgeglichen und abgestimmt werden, wobei ein dichter Abschluß erhalten bleibt, ohne daß an der Behand­ lungsröhre selbst ein Eingriff erforderlich ist.

Fig. 5 zeigt in einer Draufsicht auf das abgedichtete Schaufelaufnahmeelement 12 die beiden Markierungen 22 in der Nähe des abgeschlossenen Endes 14 sowie die Anschlag­ platte 20 und den Schlitz 18. Außerdem ist das Aufnahme­ element 12 in einer Draufsicht auf das offene Ende 16 ge­ zeigt, wobei man den Schlitz 18, die Markierungen 22 und die Anschlagplatte 20 erkennt.

Fig. 6 zeigt den Adapter 46 in einer schematischen Sei­ tenansicht. Mit unterbrochenen Linien ist der Adapterstab 48 eingezeichnet. Außerdem ist in einer Draufsicht auf ein Ende des Adapters 46 der Adapterstab 48 in seiner befe­ stigten Position zu erkennen, so daß im Inneren des Adap­ ters 46 eine rechteckförmige Oberfläche entsteht, so daß ein rechteckiger Schaufelgriff 58, der im Querschnitt ge­ zeigt ist, mit Hilfe der Feststellschrauben 66, die eben­ falls nicht gezeigt sind, festgehalten werden kann.

Im Betrieb kann dann, wie das in Fig. 2 gezeigt ist, ein normaler runder Schaufelgriff 52 in das vollständig einge­ kapselte, dichte Schaufelaufnahmeelement 12 eingeschoben werden. Die Schaufel 52 wird mit Hilfe der Markierungen 22 und der Schaufelfeststellschraube 40 fixiert. Die Aufnahme für die Feststellschraube 40 wird von dem Abstandselement 38 gebildet, die ebenfalls den Bewegungsspielraum der Schaufel 52 und des abgedichteten Schaufelaufnahmeelements 12 begrenzt, wenn sich dieses durch die Verschließtür 32 hindurch erstreckt. Da die Verschlußtür 32 eine Bewegung in einem 360°-Bereich aufgrund des beweglichen Falten­ balgabschnitts 24 durchführen kann, wird eine vollstän­ dige, luftdichte Abdichtung sichergestellt, wenn die Ver­ schlußtür gegen die Behandlungsröhre gepreßt wird, unab­ hängig von der Lage der Behandlungsröhre. Diese Dichtung wird noch weiter dadurch unterstützt, daß der Faltenbalg 24 beim Zusammenpressen die Preßkraft auf die Verschlußtür 32 fortsetzt und damit auch auf die Behandlungsröhre. Da die Verschlußtüre 32 mit Hilfe der Dichtringe 34 und 28 gasdicht abgeschlossen ist, kann kein Gas in die Behand­ lungsröhre an diesen Stellen eintreten oder auch die Be­ handlungsröhre verlassen. Es soll hier angemerkt werden, daß weder die Gasringdichtungen 28, 34 oder die Gasring­ dichtungen 37 an der Verbindungsstelle der Verschlußtür 32 mit der Behandlungsröhre in direktem Kontakt mit der Schaufel 52 kommen. Statt dessen wird die Schaufel 52 an Ort und Stelle in dem Schaufelaufnahmeelement 12 gehalten, welches am Ende 16 offen, aber am anderen Ende 14 voll­ ständig abgedichtet ist. Wenn daher einmal die dichte Ver­ bindung zwischen der Verschlußtür 32 und der Behandlungs­ röhre hergestellt ist, ist die gesamte Vorrichtung voll­ ständig gegen jede Leckage in oder aus der Behandlungs­ röhre heraus gesichert. Als weiterer Vorteil ergibt sich, daß eine Luftisolierung auftritt, weil die Schaufel 52 in dem abgeschlossenen Schaufelaufnahmeelement 12 vollständig eingeschlossen ist, so daß Wärmeverluste über den Schau­ felgriff 52 vom Inneren der Behandlungsröhre äußerst ge­ ring sind oder sogar vollständig vermieden werden. Die Herabsetzung der Leckage verbessert die gesamten Herstel­ lungsbedingungen und setzt die Kosten herab, während gleichzeitig die Bearbeitung in einer teilchenfreien Atmo­ sphäre durchgeführt werden kann.

Wenn ein quadratischer Schaufelgriff 58 (Fig. 6) verwen­ det wird, wird die Schaufel 58 in den Adapter 46 einge­ schoben. Der Adapter 46 weist eine Adapterstange 48 auf, die innerhalb des Adapters angeordnet wird und die den Innenraum quadratisch macht, so daß ein quadratischer Schaufelgriff 58 dort befestigt werden kann. Weil der Schlitz 50 gegenüber dem Schlitz 18 in dem abgedichteten Schaufelaufnahmeelement 12 ausgerichtet ist, kann die Schraube 40 auch eine quadratisch geformte Schaufel an Ort und Stelle halten. Der Adapter 46 gleitet vollständig in das Aufnahmeelement 12 ein, wobei der Rest der Vorrichtung unverändert bleibt. In jedem Fall wird kein O-Ring benö­ tigt, der gegen den Schaufelgriff zu pressen wäre. Tat­ sächlich ist durch die einheitliche Konstruktion der Vor­ richtung dann, wenn die Verschlußtür 32 einmal an Ort und Stelle angeordnet ist, vollständig gewährleistet, daß die vakuumdichte Abdichtung erhalten bleibt, weil keine Dich­ tung mit dem Griff in Berührung ist. Weiterhin ist es auf­ grund des Adapters möglich, anders geformte Schaufeln, beispielsweise rechteckige, achteckige oder ähnliche, ebenfalls unterzubringen. Die vollständige Einkapselung bleibt von der Form der Schaufel daher unbeeinträchtigt. Da darüber hinaus die Vorrichtung aufgrund des Adapters in einfacher Weise auf verschiedene Schaufeltypen abgestimmt werden kann, können solche verschiedenen Schaufeln schnell und einfach, ohne daß dadurch das gesamte Verschlußsystem abmontiert werden muß, befestigt werden. Auf diese Art und Weise schafft die Erfindung einen verbesserten Türver­ schlußmechanismus, der einfach gehandhabt werden kann, der einfach auf verschiedene Schaufeltypen abgestimmt werden kann, wobei in jedem Fall eine vollständige Einkapselung des Schaufelgriffs stattfindet, so daß immer eine leckage­ dichte Behandlung stattfinden kann. Dies führt darüber hinaus zu dem zusätzlichen Vorteil einer luftisolierenden Schranke, so daß Abstrahlungsverluste über die Schaufel vermieden werden und daher der Wirkungsgrad bei der Be­ handlung verbessert wird. Schließlich führt die vollstän­ dig einkapselnde Türverschlußvorrichtung zu dem wichtigen Vorteil, daß Dichtungen vermieden werden können, die un­ mittelbar mit den Schaufelgriffen, die sehr heiß sind, in Verbindung stehen, was bei bisher bekannten Vorrichtungen zu Abdichtfehlern und daher zum Verlust kontrollierter Herstellungsbedingungen geführt hat.

Die Erfindung wurde zwar vorstehend in bezug auf ein be­ vorzugtes Ausführungsbeispiel beschrieben, es ist aber klar, daß die Erfindung nicht auf das dargestellte Ausfüh­ rungsbeispiel beschränkt ist, vielmehr sollen alle Ausfüh­ rungsbeispiele umfaßt werden, die im Schutzbereich der An­ sprüche liegen.

Claims (9)

1. Türverschlußvorrichtung (10), die vollständig verkapselt ist,
gekennzeichnet durch
eine Verschlußtür (32);
eine flexible Faltenbalgverbindung (24), die an der Verschlußtür (32) befestigt ist und
ein abgedichtetes Schaufelaufnahmeelement (12), das fest an der flexiblen Verbindung (24) angebracht ist, mit einem verschlossenen Ende (14) und einem offenen Ende (16), wel­ ches sich durch die Verschlußtür (32) hindurch erstreckt, so daß eine Waferschaufel (52) in dem abgedichteten Schau­ felaufnahmeelement (12) gehalten ist, wenn sie in eine Be­ handlungsröhre eingeschoben wird.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschlußtür (32) weiterhin umfaßt:
eine Grundplatte (32);
eine zusammendrückbare Dichtung (37), die abnehmbar auf einer Seite der Grundplatte (32) angeordnet ist;
eine Schaufelöffnung (39) in der Platte (32); und
mehrere Befestigungsaufnahmeelemente (33), die die Schaufelöffnung (39) auf der Seite der Grundplatte (32) umgeben, die der zusammendrückbaren Dichtung (37) gegenüberliegt.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschlußtür (32) kreisförmig ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die flexible Faltenbalgverbindung (24) umfaßt:
ein Ende (30), welches so ausgebildet ist, daß es über eine entfernbare, einsetzbare Gasringdichtung (34) um die Schaufelöffnung (39) herum angeordnet werden und dort ab­ dichten kann, wobei dieses Ende (30) mit Hilfe mehrerer Befestigungselemente (36) mit den Befestigungsaufnah­ meelementen (33) auf der Grundplatte (32) befestigt werden kann;
einen Balgabschnitt (24 A), der eine flexible Bewegung in jeder Richtung zuläßt und der ebenfalls zusammendrückbar ist und
ein weiteres Ende (26), welches so ausgestaltet ist, daß es fest an dem abgedichteten Schaufelaufnahmeelement (12) befestigt werden kann.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das offene Ende (16) des abgedichteten Schaufelaufnahme­ elementes (12) so ausgebildet ist, daß es durch die Schaufelöffnung (39) mit einem Schlitz (18), der am äu­ ßersten Endbereich des offenen Endes (16) eingeschnitten ist, hindurchgeschoben werden kann und daß das abgedich­ tete Schaufelaufnahmeelement (12) weiterhin umfaßt:
einen länglichen, umschließenden Abschnitt (12 A) mit dem geschlossenen Ende (14), wobei in dem Abschnitt eine Wa­ ferschaufel (52) angeordnet werden kann;
eine Anschlagplatte (20) mit mehreren Befestigungsauf­ nahmeelementen (21), die außerhalb des länglichen um­ schließenden Bereichs (12 A) angeordnet sind und über die das eine Ende (26) der beweglichen Faltenbalgverbindung (24) in Verbindung steht mit einer entfernbar aufgescho­ benen abdichtenden Ringdichtung (28), und zwar mit Hilfe von mehreren Befestigungselementen (29); und
ein Paar gegenseitig positionierten Anschlagmarkierungen (22), die in der Nähe des geschlossenen Endes (14) des länglichen, einkapselnden Abschnitts (12) angeordnet sind, um eine Verdrehung des Waferschaufelgriffs (52) zu ver­ hindern, wenn dieser darin angeordnet ist.

6. Gerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß weiterhin ein Abstandsstück (38) vorgesehen ist, welches passend zu dem offenen Ende (16) des abgedichteten Schau­ felaufnahmeelementes (12) ausgebildet und über dieses auf­ geschoben werden kann und welches auf dem abgedichteten Schaufelaufnahmeelement (12) mit mehreren abnehmbaren Be­ festigungselementen (44) gehalten wird und welches weiter­ hin eine Öffnung (42) aufweist, die mit dem Schlitz (18), der in dem äußersten Teil des offenen Endes (16) an dem abgedichteten Schaufelaufnahmeelement (12) ausgebildet ist, ausgerichtet ist, so daß ein Schaufelfesthalteelement (40) hindurchgeführt werden kann.

7. Gerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß ein Adapter (46) vorgesehen ist, der umfaßt:
eine längliche Röhre (26), die passend zu dem abgedich­ teten Schaufelaufnahmeelement (12) ausgebildet ist, die an beiden Enden offen ist und die passend in den Innenraum des abgedichteten Schaufelaufnahmeelementes (12) einge­ schoben werden kann;
einen Schlitz (50), der an einem Ende des Adapters (46) ausgebildet ist und der mit dem Schlitz (18) in dem ab­ gedichteten Schaufelaufnahmeelement (12) so ausgerichtet ist, daß das Schaufelfesthalteelement (40) hindurchgeführt werden kann;
einen Adapterstab (48), der fest mit der Innenseite der Adapterröhre (46) so befestigt werden kann, daß die ein­ geschobene Schaufel (52, 58) gegen eine Drehbewegung ge­ sichert ist; und
mehrere Öffnungen (64) in der Adapterröhre (46) durch die Adapterstange (48) hindurch, so daß die Schaufel (52, 58) fest mit entfernbaren Befestigungselementen (66) befestigt werden kann.

8. Vollständig einkapselnde Türverschlußvorrichtung, gekennzeichnet durch eine abdichtende Türgrundplatte (32);
eine zusammendrückbare Dichtung (37), die abnehmbar auf einer Seite der dichtenden Türverschlußgrundplatte (32) befestigt ist;
eine Schaufelöffnung (39) in der abdichtenden Türgrund­ platte (32);
mehrere Befestigungsaufnahmeelemente (33), die die Schau­ felöffnung (39) auf einer Seite der dichtenden Türgrund­ platte (32) umgeben, welche der zusammendrückbaren Dich­ tung (37) gegenüberliegt;
ein Ende (30) einer beweglichen Balgverbindung (24), die so ausgebildet ist, daß sie mit Hilfe eines entfernbaren einsetzbaren Dichtringes (34) die Schaufelöffnung (39) um­ gibt und abdichtet, wobei dieses Ende (30) mit Hilfe von mehreren Befestigungselementen (36) mit den Befestigungs­ aufnahmeelementen (33) auf der abdichtenden Türgrundplatte (32) an Ort und Stelle gehalten wird;
einen Balgabschnitt (24 A) der flexiblen Balgverbindung (24), der ein Verbiegen in jede Richtung ermöglicht und auch zusammendrückbar ist;
ein weiteres Ende (26) der beweglichen Balgverbindung (24), welches so ausgebildet ist, daß es fest mit dem ab­ gedichteten Schaufelaufnahmeelement (12) verbunden werden kann;
ein abgedichtetes Schaufelaufnahmeelement (12) mit einem offenen Ende, welches so ausgebildet ist, daß es durch die Schaufelöffnung (39) mit einem Schlitz (18) hindurchge­ steckt werden kann, der am äußersten Ende des offenen Endes (16) ausgeschnitten ist;
einen länglichen umkapselnden Abschnitt (12 A) des abge­ dichteten Schaufelaufnahmeelementes (12) mit einem ge­ schlossenen Ende (14), wobei in diesem Abschnitt (12 A) eine Schaufel (52, 58) aufgenommen werden kann;
eine Anschlagplatte (21), die auf der Außenseite des läng­ lichen einkapselnden Abschnitts (12 A) des abgedichteten Schaufelaufnahmeelementes (12) angeordnet ist und mit dem ein Ende (26) der beweglichen Balgverbindung (24) über eine entfernbare einschiebbare Gasringdichtung (28) mit Hilfe mehrerer Befestigungselemente (29) befestigt werden kann;
ein beabstandetes Anschlagmarkierungspaar (22), welches in der Nähe des geschlossenen Endes (14) des länglichen ein­ kapselnden Abschnitts (12 A) ausgebildet ist und welches eine dort aufgenommene Schaufel (52, 58) gegen ein Verdre­ hen sichert;
einen Aufnahmeabstandshalter (38), der abgestimmt auf das offene Ende (16) des abgedichteten Schaufelaufnahmeele­ ments (12) ausgebildet ist und über dieses Ende aufgescho­ ben werden kann und der an Ort und Stelle über dem abge­ dichteten Schaufelaufnahmeelement (12) mit Hilfe mehrerer entfernbarer Befestigungselemente (44) gehalten werden kann und der weiterhin eine Öffnung (42) aufweist, die mit dem Schlitz (18), der in dem äußersten Teil des offenen Endes (16) des abgedichteten Schaufelaufnahmeelements (12) ausgerichtet ist, so daß ein Schaufelfesthalteelement (40) hindurchgeschoben werden kann;
eine längliche Adapterröhre (46), deren Form auf das abge­ dichtete Schaufelaufnahmeelement (12) abgestimmt ist, die an beiden Enden offen ist und die innerhalb des abgedich­ teten Schaufelaufnahmeelements (12) fest angeordnet werden kann;
ein Schlitz (50), der an einem Ende der Adapterröhre (46) ausgeschnitten ist, derart daß er mit dem Schlitz (18) in dem abgedichteten Schaufelaufnahmeelement (12) ausgerich­ tet ist, so daß das Schaufelfesthalteelement (40) hin­ durchgesteckt werden kann;
eine Adapterstange (48), die innerhalb der Adapterröhre (46) befestigt ist, so daß eine Schaufel (52, 58), die dort eingeschoben wird, gegen Verdrehen gesichert ist; und
mehrere Öffnungen (64), die in der Adapterröhre durch die Adapterstange (46) hindurchgehen, so daß die Schaufel (52, 58) fest an Ort und Stelle mit Hilfe entfernbarer Befesti­ gungselemente (66) befestigt werden kann.

9. Verfahren zur Erzeugung eines vollständig abdichtenden Türverschlusses (10), dadurch gekennzeichnet, daß zunächst eine Schaufelöffnung (39) in einer abdichtenden Tür (32) ausgebildet wird,
daß dann eine abnehmbar aufgesetzte Dichtung (34) um die abdichtende Tür (32) aufgesetzt wird,
daß dann ein Ende (30) einer flexiblen Balgverbindung (24) mit Hilfe mehrerer Befestigungselemente (36) an der dich­ tenden Tür (32) derart befestigt ist, daß dabei die auf­ gesetzte Dichtung (34) gegen die abdichtende Tür (32) ge­ preßt wird, so daß eine luftdichte Abdichtung erzielt wird;
daß dann das gegenüberliegende Ende (26) der flexiblen Balgverbindung (24) mit einem äußeren Befestigungselement (20) auf einem abgedichteten Schaufelaufnahmeelement (12) angebracht wird, nachdem eine entfernbar aufgeschobene Dichtung (28) angeordnet worden ist, wobei dann dieses gegenüberliegende Ende (26) der flexiblen Verbindung (24) mit dem Befestigungselement (20) so verbunden wird, daß ein luftdichter Sitz erzeugt wird;
daß dann ein offenes Ende (16) in dem abgedichteten Schau­ felaufnahmeelement (12) vorgesehen wird, welches sich durch die Schaufelöffnung (39) hindurch erstreckt und wel­ ches mit einem Schlitz (18) versehen ist, so daß eine Halteeinrichtung (40) durch den Schlitz (18) hindurchge­ schoben wird, um so die Schaufel (52, 58) fest an Ort und Stelle zu halten;
daß dann ein vollständig abgedichtetes Ende (14) des ab­ gedichteten Schaufelaufnahmeelementes (12) erzeugt wird, so daß kein Gas aus dem abgedichteten Schaufelaufnahme­ element (12) austreten oder in dieses Element eintreten kann, nachdem die Dichtungstür (32) an einer Behandlungs­ röhre angeordnet worden ist;
daß zwei gegeneinander angeordnete Anschlagmarkierungen (22) in der Nähe des vollständig abgedichteten Endes (14) des abgedichteten Schaufelaufnahmeelementes (12) so an­ gebracht werden, daß ein Schaufelgriff (52, 58) gegen Verdrehen gesichert ist;
daß ein Abstandsstück (38) über das offene Ende (16) des abgedichteten Schaufelaufnahmeelementes (12) geschoben wird, um die Bewegung des abgedichteten Schaufelaufnahme­ elements (12) zu begrenzen und um eine Unterlage zur Aufnahme des Befestigungselements (40) zu bilden, welches dazu verwendet wird, die Schaufel (52, 58) zu fixieren;
daß ein Adapter (46) vorgesehen wird, welcher an beiden Enden offen ist und der innerhalb des abgedichteten Schaufelaufnahmeelements (12) passend aufgenommen wird und der einen Schlitz (50) an einem Ende aufweist, welcher zu dem Schlitz (18) in dem abgedichteten Schaufelaufnahmeele­ ment (12) ausgerichtet ist, so daß das Befestigungselement (40), das zum Festhalten der Schaufel (52, 58) dient, hin­ durchtreten kann und
daß eine Adapterstange (48) vorgesehen wird, die innerhalb des Adapters (46) befestigt ist und welche den Innenraum des Adapters so abändert, daß Schaufelgriffe (52, 58) ver­ schiedener Formen, die damit übereinstimmen, formschlüssig befestigt werden können und daß mehrere entfernbare Be­ festigungselemente (66) vorgesehen werden.