DE3630014C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine abgedichtete Paddel-Durchführung durch die Tür einer Siliziumwafer-Behandlungsröhre mit einer flexiblen Faltenbalgverbindung, die an der Tür befestigt ist.

Die Herstellung von Mikrochips in Dampfabscheidungsverfahren (CVD) fordert die Aufrechterhaltung kontanter, geregelter Umgebungsbedingungen. In diesem Zusammenhang ist es wesentlich, daß die Behandlungsröhre absolut sauber gehalten wird. Um dies zu erreichen, wird die Röhre innen gesäubert und dann evakuiert. Danach werden die Siliziumwafer auf einem Träger oder "Schiff" angeordnet. Die Schiffe selbst werden dann auf einem Gerät befestigt und dann mt dem Gerät in die Behandlungsröhre eingeschoben. Dieses Gerät nennt man üblicherweise Paddel. Die Paddel halten und tragen die Wafer während sie innerhalb der evakuierten Bearbeitungsröhre behandelt werden. Während der Behandlung muß in der Röhre eine entsprechende Atmosphäre geschaffen werden, was dadurch geschieht, daß die Röhre zunächst vollständig evakuiert wird. Dann werden bestimmte gewünschte Gase eingelassen. Dabei kommt es darauf an, sicherzustellen, daß Sauerstoff oder andere nicht gewünschte Gase keinesfalls in die Röhre eindringen können. Wenn solche ungewünschten Gase während der Behandlung in die Röhre eindringen würden, würde das die Behandlung unmöglich machen und die Wafer zerstören.

Im gegenwärtigen Stand der Technik werden die Behandlungsröhren um den Bereich herum abgedichtet, in dem das Paddel eingeschoben wird. Zur Abdichtung ist in erster Linie eine Vorrichtung vorgesehen, deren Abmessungen der Vorrichtung der Behandlungsröhre entspricht, um diese von außen abzudichten. Das Paddel wird durch diese Vorrichtung hindurchgeschoben. Die Schwierigkeit liegt jedoch darin, eine wirksame Dichtung um den Griffstiel des Paddels zu erzeugen. Herkömmliche Verfahren verwenden hierzu O-Ringdichtungen, die gegen den Griffstiel des Paddels gedrückt werden. Die Dichtungen werden mit der Vorrichtung verbunden, die die Behandlungsröhre selbst abdichtet. Aus der US-PS 44 87 161 ist eine Durchführung bekannt, bei der die die Behandlungsröhre abdichtende Vorrichtung mit dem Griffstiel über einen an seinen Enden jeweils durch einen O-Ring gegen die Vorrichtung bzw. den Griffstiel abgedichteten Faltenbalg verbunden ist. Auf diese Weise wird die Behandlungsröhre vakuumdicht abgedichtet. Mit dieser Art der herkömmlichen Abdichtungen gehen verschiedene Probleme einher.

Das erste Problem liegt in der starken Hitze, die über das Paddel während der Behandlung an den Griff des Paddels weitergegeben wird, was dazu führt, daß die O-Ringe oft überhitzen und daher undicht werden. Wenn der O-Ring eines Paddelgriffs einmal angebrannt ist, kann nicht mehr sichergestellt werden, daß das Vakuum aufrechterhalten werden kann. Dies führt dazu, daß die teuren Wafer unabänderlich unbrauchbar werden. Die Behandlungstemperaturen können zwischen 600 und 800°C innerhalb der Behandlungsröhre liegen und entsprechend hohe Temperaturen werden eben auch auf den Paddelgriff übertragen.

Ein weiterer Nachteil dieser bekannten O-Ringdruckdichtungen um den Paddelgriff liegt darin, daß man diese Art der Dichtung nicht für rechteckige Paddelgriffe verwenden kann, die es auch in beträchtlicher Anzahl gibt. Schließlich liegt ein weiterer Nachteil auch darin, daß durch den Wärmeverlust über das Paddel die Wirksamkeit des Behandlungssystems verringert ist.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine verbesserte Abdichtung um die Paddel­ griffe herum in der Tür einer Siliziumwafer-Behandlungsröhre vorzuschlagen, wobei Beschädigungen von O-Ring-Druckdichtungen aufgrund von auf sie übertragener Hitze vermieden werden.

Diese Aufgabe wird mit einer Vorrichtung bzw. einem Verfahren mit den Merkmalen der Ansprüche 1 bzw. 8 gelöst.

Mit diesen Merkmalen schafft die Erfindung eine Paddel-Durchführung mit einerm abgedichteten Paddel­ aufnahmeelement, in welches der Paddelgriff eingeschoben wird. Eine flexible Faltenbalgverbindung ist mit ihrem einen Ende an einem äußeren Ring des abgeschlossenen Paddel­ aufnahmeelementes und mit ihrem anderen Ende an einer Schließtür befestigt. Das abgedichtete Paddelauf­ nahmeelement erstreckt sich durch die Aufnahmetür hin­ durch, so daß das Paddelende, welches die Wafer auf Schiffen trägt, in die Behandlungsröhre sich hinein er­ streckt. Des weiteren ist ein Abstandsstück vorgesehen, welches über das Ende des abgedichteten Paddelauf­ nahmeelementes zwischen dem offenen Ende des Paddel­ aufnahmeelementes und der Schließtür ab der Stelle ihres Zusammentreffens aufgleitet. Diesem Abstandsstück kommen zwei Funktionen zu. Zum einen wird durch das Ab­ standsstück der Bewegungsweg des abgedichteten Paddelaufnahmeelementes so begrenzt, daß die flexible Verbindung nicht überbeansprucht wird. Zum zweiten schafft dieses Abstandsstück die Möglichkeit, eine Feststell­ schraube anzuordnen, die sich durch das Abstandsstück hin­ durch und in einen offenen Schlitz am Ende des abgedichte­ ten Paddelaufnahmeelements erstreckt und dann in Halte­ kontakt mit dem Paddel selbst eingeschraubt weden kann. Auf diese Art und Weise kann das Paddel innerhalb des Paddelaufnahmeelements festgehalten werden. In der Nähe des abgeschlossenen Endes des Paddelaufnahmeelementes sind zwei Markierungen "auf zwei und auf zehn Uhr" ange­ bracht. Diese Markierungen sorgen für einen Verschlußef­ fekt am äußeren Ende des Schaufelgriffs, wenn dieser in dem abgedichteten Paddelaufnahmeelement angeordnet ist, so daß das Paddel sich nicht bewegt oder in dem Auf­ nahmeelement hin- und hergleitet. Wenn das verwendete Paddel rund ist, muß das röhrenförmige abgedichtete Paddelaufnahmeelement des Anmelders nicht abgeändert werden. Wenn aber ein rechteckig geformter Paddelgriff oder ein Griff irgendeiner anderen Form verwendet wird, ist ein Adapter vorgesehen, der sich nahezu über die Länge des abgedichteten Paddelaufnahmeelements erstreckt. Die­ ser Adapter besitzt einen etwas kleineren Durchmesser und kann daher einfach in das abgedichtete Paddelaufnahme­ element eingeschoben werden. Darüber hinaus weist der Adapter eine Adapterstange auf, die in dem Adapter ange­ ordnet ist und für rechteckige Griffe das Röhreninnere so "rechteckig" macht, daß der rechteckige Paddelgriff fest und sicher ins Innere der Röhre hineinpaßt. Wenn der rechteckförmige Paddelgriff an dem Adapter befestigt ist, wird der Adapter in das abgedichtete Paddelauf­ nahmeelement eingeschoben und mit Hilfe von Festhalte­ schrauben festgehalten. Auf diese Art und Weise wird eine vollständig eingekapselte Paddel-Durchführung geschaffen, wobei an keiner Stelle eine Berührung zwischen Paddel und Dichtungen stattfindet.

Weitere Merkmale, Vorteile und Eigenschaften der Erfindung werden im folgenden anhand des in der Zeichnung darge­ stellten Ausführungsbeispiels erläutert und beschrieben.

Fig. 1 zeigt in einer Einzelteil-Darstellung ein bevor­ zugtes Ausführungsbeispiel einer erfindungsge­ mäßen vollständig eingekapselten Paddel-Durchführung;

Fig. 2 ist eine Teilschnitt-Seitenansicht der Vor­ richtung, die das Paddel und die beladenen Schiffe zeigt;

Fig. 3 ist eine Schnittansicht entlang der Linie II-II der Fig. 2;

Fig. 4 ist eine Seitenansicht der Vorrichtung mit zwei eingezeichneten Strichlinien, die die überlegenen Fähigkeiten der Vorrichtung im Hinblick auf die Biegefähigkeit zeigen;

Fig. 5 ist eine Teilschnittansicht von oben auf das angeschlossene Paddelaufnahmegerät und

Fig. 5A eine Ansicht vom offenen Ende her des Paddelaufnahmeelements;

Fig. 6 ist eine Teilschnittansicht der Adapterröhre für einen anders als rund geformten Paddel­ griff und

Fig. 6A zeigt eine Ansicht auf den Adpater in einem Querschnitt einer Adapter­ stange für quadratische Paddelgriffe, wobei ein solcher Paddelgriff in der Röhre angeord­ net ist.

Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nun unter Bezug auf die Fig. 1 bis 6 beschrieben.

In Fig. 1 ist die Vorrichtung insgesamt mit 10 bezeichnet und in einer Einzelteildarstellung gezeigt. Es ist das abgedich­ tete Paddelaufnahmeelement 12 mit einem geschlossenen Ende 14 und einem offenen Ende 16 zu erkennen. Des weite­ ren ist ein Schlitz 18 und eine Anschlagplatte 20 gezeigt. Der Schlitz 18 ermöglicht es, eine Feststellschraube 40 zum Fixieren eines Paddelgriffs, der in das abgeschlossene Paddelaufnahmeelement 12 hineingeschoben ist, anzuord­ nen. Die Anschlagplatte ist durch Schweißen oder andere herkömmliche Mittel fest mit dem abgedichteten Paddel­ aufnahmeelement 12 verbunden, und dient so als Befesti­ gungssockel für eine Faltenbalgverbindung 24. In der Anschlagplatte 20 sind mehrere Gewinde­ bohrungen 21 vorgesehen, über die die Faltenbalgverbindung 24 mit Hilfe von Schrauben 31 befestigt werden kann. Die Anschlagnasen oder Markierungen 22 halten ein in das abgedichtete Paddelaufnahmeelement 12 eingeschobenes Paddel gegen Gleitbewegungen fest und verhindern, daß das Paddel nach dem Einsetzen sich verdrehen kann.

Das Ende 26 des Faltenbalgs ist so ausgebildet, daß es über das offene Ende 16 des abgedichteten Paddelauf­ nahmeelements 12 gegen eine entfernbar eingesetzte Dich­ tung 28 anliegt. Wenn dieses Faltenbalgende 26 und die Dichtung 28 aufgeschoben sind, werden mehrere ebenfalls wegnehmbare Befestigungsklammern 29 angeordnet, die den Kragen des Faltenbalges 26 übergreifen und so das Fal­ tenbalgende fest gegen die Anschlagplatte 20 pressen, so daß eine vollständige, leckagedichte Abdichtung erfolgt.

Abnehmbare, aufschiebbare Dichtungen 28 sind im Stand der Technik bekannt. Das gegenüberliegende Ende 30 der Falten­ balgverbindung 24 gleitet ebenfalls über das offene Ende 16 des Aufnahmeelements 12. Wenn das Aufnahmeelement 12 durch die Paddelöffnung 39 in der Verschlußtür 32 hin­ durchgeschoben wird, kommt der ebenfalls auswechselbar aufge­ schobene Dichtring 34 zwischen dem Ende 30 des Falten­ balgs 24 und der Verschlußtür 32 zu liegen und wird mit mehreren ebenfalls abnehmbaren Halteklammern 36 befestigt. Wenn die Klammern 36 angeordnet sind, umgreift das hakenförmige Ende der Klammern 36 von hinten den Kragen des Faltenbalgendes 30, so daß eine vollständige ebenfalls dichte Abdichtung geschaffen wird. In der Verschlußtür 32 sind mehrere Gewindebohrungen 33 vorgesehen, über die die Befestigungs­ klammern 36 und deren Schrauben 35 befestigt werden kön­ nen. Eine zusammendrückbare Dichtung 37, die in Fig. 3 gezeigt ist, liegt auf der der Behandlungsröhre zugeordneten Seite der Ver­ schlußtür 32. Die Behandlungsröhre ist nicht gezeigt. Die einschiebbaren, auswechselbaren Dichtringe 28, 34 und 37 sind herkömmlicher Art.

In der Fig. 1 ist ebenfalls ein Abstandstück 38 gezeigt. Das Abstandsstück 38 wird über das offene Ende 16 des Auf­ nahmeelements 12 fest aufgeschoben, wenn dieses durch die Paddelöffnung 39 in der Verschlußtür 32 hindurchge­ schoben ist. Das Abstandselement 38 erstreckt sich eben­ falls durch die Verschlußtür 32 hindurch in den flexiblen Faltenbalg 24 über ein kurzes Stück hinein. Das Abstands­ element verhindert eine Bewegung des Aufnahmeelements 12, so daß der Faltenbalg 24 niemals überdehnt werden kann. Darüber hinaus dient das Abstandselement 38 zur Befesti­ gung von Feststellschrauben 40, die in Gewindebohrungen 42 im Abstandselement 38 so angeordnet sind, daß die Fest­ stellschrauben 40 hierdurch und auch durch den Schlitz 18 in dem Element 12 hindurchgeschraubt werden können, so daß die Schrauben in Kontakt mit einem eingeschobenen Paddel kommen. Diese Schrauben verhindern dann eine Bewegung des Paddels. Zwei entgegengesetzt angeordnete Feststell­ schrauben 44 liegen auf sich gegenüberliegenden Seiten des Abstandstückes 38 und halten das Abstandsstück 38 in festem Kontakt mit dem Aufnahmeelement 12. Gezeigt ist allerdings nur eine Feststellschraube 44 in den Fig. 1 bis 4.

In Fig. 1 ist auch ein zylindrischer Adapter 46 gezeigt, der an beiden Enden offen ist. Der Adapter ist mit einem rechteckigen Adapterstab 48 versehen, der in dem Adapter 46 in einer noch mehr im Detail anhand von Fig. 6 beschriebenen Art und Weise befestigt ist. Wenn der Adapterstab 48 befestigt ist, wird der im Querschnitt zunächst runde Innenraum des Adapters rechteckförmig. Mit Hilfe von Feststellschrauben kann dann ein quadratischer Paddelgriff in dem Adapter 46 festgehalten werden. Der Adapter 46 kann vollständig in das Aufnahmeelement 12 eingeschoben werden, als wäre der verwendete Paddelgriff rund. Der Schlitz 50 ist mit dem Schlitz 18 ausgerichtet, so daß die Feststellschraube 40 für das Paddel auch den quadratischen Paddelgriff erreichen und fest an Ort und Stelle halten kann. Mit mehreren entsprechend geformten Adapterstäben 48 kann nahezu jede beliebige Paddelform entsprechend adaptiert werden. Des weiteren sind im Adapter 46 Öffnungen 64 und Gewindebohrungen 64′ im Adapterstab 48 gezeigt, in denen Schrauben 66 zur Befestigung des Adapterstabes 48 im Adapter gehalten werden können. Die Öffnungen 60 im Adapter 46 und die Gewindebohrungen 60′ im Adapterstab 48 dienen dazu, die Befestigungselemente 62 zum Festhalten des Paddelgriffs 58 im Adapter 46 aufzunehmen (vergleiche auch Fig. 3).

Im folgenden wird auf Fig. 2 Bezug genommen, in der die Vorrichtung 10 in einer teilweise geschnittenen Seitenansicht gezeigt ist. Das Paddel mit dem Paddelgriff 51 trägt ein Schiff 54 mit den Wafern 56. Der Paddelgriff 52 ist mit Hilfe der Feststellschraube 40 im Abstandsstück 38 an Ort und Stelle festgehalten, wobei der Paddelgriff 52 vollständig in­ nerhalb des Padelaufnahmeelementes 12 abgedichtet ein­ geschlossen ist. Von der Seite sind die Verschlußtür 32 mit den Befestigungsklammern 36 gezeigt, die das Ende 30 der Faltenbalgverbindung 24 fest gegen den Dichtring 34 pressen, so daß eine luftdichte Abdichtung erzeugt wird. Des weiteren sind die entfernbaren Befestigungsklammern 29 zu erkennen, die das andere Ende 26 des Faltenbalgs dicht gegen die Ringdichtung 28 und gegen die Anschlagplatte 20 pressen, so daß auch auf dieser Seite ein luftdichter leckagefreier Verschluß entsteht.

Fig. 3 zeigt einen Querschnitt durch die Vorrichtung 10. Der Adapter 46 ist in dem Aufnahmeelement 12 angeordnet, wobei auch der Adapterstab 48 zu erkennen ist.

Die Fig. 4 zeigt in einer Seitenansicht die Vorrichtung 10 anhand der ge­ strichelt gezeichneten Linien 32 A und 32 B, wobei in über­ triebener Weise die möglichen Bewegungen der Verschlußtür 32 aufgrund der flexiblen Faltenbalgverbindung 24 darge­ stellt sind. Weil sich die Verschlußtür 32 wie dargestellt bewegen kann, können alle eventuellen Falschausrichtungen gegenüber der Wafer-Behandlungsröhre, die nicht darge­ stellt ist, ausgeglichen und abgestimmt werden, wobei ein dichter Abschluß erhalten bleibt, ohne daß an der Behand­ lungsröhre selbst ein Eingriff erforderlich ist.

Fig. 5 zeigt in einer Draufsicht auf das abgedichtete Paddelaufnahmeelement 12 die beiden Anschlagnasen 22 in der Nähe des abgeschlossenen Endes 14 sowie die Anschlag­ platte 20 und den Schlitz 18. Außerdem ist in Fig. 5A das Aufnahme­ element 12 in einer Draufsicht auf das offene Ende 16 ge­ zeigt, wobei man den Schlitz 18, die Anschlagnasen 22 und die Anschlagplatte 20 erkennt.

Fig. 6 zeigt den Adapter 46 in einer schematischen Sei­ tenansicht. Mit unterbrochenen Linien ist der Adapterstab 48 eingezeichnet. Außerdem ist gemäß Fig. 6A in einer Draufsicht auf ein Ende des Adapters 46 der Adapterstab 48 in seiner befe­ stigten Position zu erkennen, so daß im Inneren des Adap­ ters 46 eine ebene Anlagefläche für einen rechteckigen Paddelgriff 58 entsteht, der mit Hilfe der Feststellschrauben 62, die in Fig. 3 gezeigt sind, festgehalten werden kann.

Im Betrieb kann dann, wie das in Fig. 2 gezeigt ist, ein normaler runder Paddelgriff 52 in das vollständig einge­ kapselte, dichte Paddelaufnahmeelement 12 eingeschoben werden. Das Paddel mit dem Griff 52 wird mit Hilfe der Anschlagnasen 22 und der Feststellschraube 40 fixiert. Die Aufnahme für die Feststellschraube 40 wird von dem Abstandsstück 38 gebildet, die ebenfalls den Bewegungsspielraum des Paddels 52 und des abgedichteten Paddelaufnahmeelements 12 begrenzt, wenn sich dieses durch die Verschlußtür 32 hindurch erstreckt. Da die Verschlußtür 32 eine Bewegung in einem 360°-Bereich aufgrund der beweglichen Falten­ balgverbindung 24 durchführen kann, wird eine vollstän­ dige, luftdichte Abdichtung sichergestellt, wenn die Ver­ schlußtür gegen die Behandlungsröhre gepreßt wird, unab­ hängig von der Lage der Behandlungsröhre. Diese Dichtung wird noch weiter dadurch unterstützt, daß der Faltenbalg 24, wenn er zusammgenpreßt wird, eine Preßkraft auf die Verschlußtür 32 überträgt. Da die Verschlußtüre 32 mit Hilfe der Dichtringe 34 und 28 gasdicht abgeschlossen ist, kann kein Gas in die Behand­ lungsröhre an diesen Stellen eintreten oder auch die Be­ handlungsröhre verlassen. Es soll hier angemerkt werden, daß weder die Gasringdichtungen 28, 34 oder die Gasring­ dichtungen 37 an der Verbindungsstelle der Verschlußtür 32 mit der Behandlungsröhre in direktem Kontakt mit dem Paddel 52 kommen. Statt dessen wird das Paddel 52 an Ort und Stelle in dem Paddelaufnahmeelement 12 gehalten, welches am Ende 16 offen, aber am anderen Ende 14 voll­ ständig abgedichtet ist. Wenn daher einmal die dichte Ver­ bindung zwischen der Verschlußtür 32 und der Behandlungs­ röhre hergestellt ist, ist die gesamte Vorrichtung voll­ ständig gegen jede Leckage in oder aus der Behandlungs­ röhre heraus gesichert. Als weiterer Vorteil ergibt sich, daß eine Luftisolierung auftritt, weil das Paddel 52 in dem abgeschlossenen Paddelaufnahmeelement 12 vollständig eingeschlossen ist, so daß Wärmeverluste über den Paddelgriff 58 vom Inneren der Behandlungsröhre äußerst ge­ ring sind oder sogar vollständig vermieden werden. Die Herabsetzung der Leckage verbessert die gesamten Herstel­ lungsbedingungen und setzt die Kosten herab, während gleichzeitig die Bearbeitung unter Vakuumbedingungen durchgeführt werden kann.

Wenn ein quadratischer Paddelgriff 58 (Fig. 6) verwen­ det wird, wird das Paddel 52 in den Adapter 46 mit dem Adapterstab 48 einge­ schoben. Weil der Schlitz 50 gegenüber dem Schlitz 18 in dem abgedichteten Paddelaufnahmeelement 12 ausgerichtet ist, kann die Schraube 40 auch ein quadratisch geformtes Paddel an Ort und Stelle halten. Der Adapter 46 gleitet vollständig in das Aufnahmeelement 12 ein, wobei der Rest der Vorrichtung unverändert bleibt.

In jedem Fall wird kein O-Ring benö­ tigt, der gegen den Paddelgriff zu pressen wäre. Tat­ sächlich ist durch die einheitliche Konstruktion der Vor­ richtung dann, wenn die Verschlußtür 32 einmal an Ort und Stelle angeordnet ist, vollständig gewährleistet, daß die vakuumdichte Abdichtung erhalten bleibt, weil keine Dich­ tung mit dem Griff in Berührung ist. Weiterhin ist es auf­ grund des Adapters möglich, anders geformte Paddel beispielsweise recheckige, achteckige oder ähnliche, ebenfalls unterzubringen. Die vollständige Einkapselung bleibt von der Form der Paddel daher unbeeinträchtigt. Da darüber hinaus die Vorrichtung aufgrund des Adapters in einfacher Weise auf verschiedene Paddeltypen abestimmt werden kann, können solche verschiedenen Paddel schnell und einfach befestigt werden, ohne daß dadurch das gesamte Verschlußsystem abmontiert werden muß. Auf diese Art und Weise schafft die Erfindung eine verbesserte Tür­ durchführung, die einfach gehandhabt und einfach auf verschiedene Paddeltypen abgestimmt werden kann, wobei in jedem Fall eine vollständige Einkapselung des Paddelgriffs stattfindet, so daß immer eine vakuum­ dichte Behandlung stattfinden kann. Dies führt darüber hinaus zu dem zusätzlichen Vorteil einer luftisolierenden Schranke, so daß Abstrahlungsverluste über das Paddel vermieden werden und daher der Wirkungsgrad bei der Be­ handlung verbessert wird. Schließlich führt die vollstän­ dig einkapselnde Paddel-Durchführung zu dem wichtigen Vorteil, daß Dichtungen vermieden werden können, die un­ mittelbar mit den heißen Paddelgriffen in Verbindung stehen, was bei bisher bekannten Vorrichtungen zu Abdichtfehlern und daher zum Verlust kontrollierter Herstellungsbedingungen geführt hat.

Claims (8)

1. Abgedichtete Paddel-Durchführung durch die Tür einer Siliziumwafer-Behandlungsröhre mit einer flexiblen Faltenbalgverbindung (24), die an der Tür (32) befestigt ist, dadurch gekennzeichnet, daß ein abgedichtetes Paddelaufnahmeelement (12), das fest an der flexiblen Faltenbalgverbindung (24) angebracht ist, ein verschlossenes Ende (14) und ein offenes Ende (16) aufweist, wobei

• - das offene Ende (16) sich durch eine Öffnung (39) in der Tür (32) hindurch erstreckt, und
• - das Paddelaufnahmeelement (12) so ausgebildet ist, daß darin der Griff (58) eines in die Behandlungsröhre hineinreichenden Waferpaddels (52) fixierbar ist.

2. Durchführung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Tür (32) umfaßt

• - eine Grundplatte (32);
• - eine zusammendrückbare Dichtung (37), die abnehmbar auf einer Seite der Grundplatte (32) angeordnet ist; und
• - mehrere Gewindebohrungen (33), die auf der anderen Seite der Grundplatte (32) die Öffnung (39) umgeben.

3. Durchführung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundplatte (32) kreisförmig ist.

4. Durchführung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die flexible Faltenbalgverbindung (24) umfaßt

• - ein Ende (30), welches so ausgebildet ist, daß es mittels eines auswechselbaren Dichtrings (34) die Öffnung (39) in der Grundplatte (32) abdichten kann, wobei dieses Ende (30) mit Hilfe mehrerer in die Gewindebohrung (33) eingreifende Befestigungselemente (36) unter Zwischenfügung des Dichtringes (34) auf der Grundplatte (32) befestigt werden kann;
• - einen zusammendrückbaren Balgabschnitt, der eine flexible Bewegung in jeder Richtung zuläßt; und
• - ein weiteres Ende (26), welches so ausgestattet ist, daß es fest an dem Paddelaufnahmeelement (12) abdichtend befestigt werden kann.

5. Durchführung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,

• - daß das offene Ende (16) des Paddelaufnehmeelementes (12) in seinem äußersten Endbereich mit einem Schlitz (18) versehen ist, und
• - daß das Paddelaufnahmeelement (12) umfaßt:
• - einen länglichen, insbesondere rohrförmigen Abschnitt mit einem geschlossenen Ende (14) zur Aufnahme des Griffes (58) des Waferpaddels (52);
• - eine Anschlagplatte (20) mit mehreren Gewindebohrungen (21), wobei die Anschlagplatte (20) mit dem länglichen Abschnitt ringförmig umgebend fest verbunden ist, und unter Zwischenfügung einer auswechselbaren Ringdichtung (28) mit Hilfe mehrerer Befestigungselemente (29) mit dem Ende (26) der beweglichen Faltenbalgverbindung (24) abdichtend in Verbindung steht; und
• - ein Paar beabstandet angebrachter Anschlagnasen (22), die in der Nähe des geschlossenen Endes (14) des länglichen Abschnittes derart angeordnet sind, daß eine Verdrehung des eingeschobenen Waferpaddelgriffs (58) verhindert wird.

6. Durchführung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß weiterhin ein Abstandsstück (38) vorgesehen ist, welches

• - passend über das offene Ende (16) des abgedichteten Paddelaufnahmeelements (12) aufgeschoben werden kann,
• - auf dem Paddelaufnahmeelement (12) mit mehreren Schrauben (44) gehalten wird, und
• - eine Gewindebohrung (42) aufweist, die mit dem Schlitz (18), der in dem offenen Ende (16) des Paddelaufnahmeelements (12) ausgebildet ist, so ausgerichtet ist, daß eine Feststellschraube (40) hindurchgeführt werden kann.

7. Durchführung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß ein Adapter (46) vorgesehen ist, der umfaßt:

• - eine längliche, auf die Form des Paddelaufnahmeelements (12) abgestimmte Röhre (46), die an beiden Enden offen ist und die passend in den Innenraum des Paddelaufnahmeelements (12) eingeschoben werden kann,
• - einen Schlitz (50), der an einem Ende des Adapters (46) ausgebildet ist und der mit dem Schlitz (18) in dem Paddelaufnahmeelement (12) so ausgerichtet ist, daß die Feststellschraube (40) hindurch geführt werden kann;
• - einen Adapterstab (48), der fest mit der Innenseite der Adapterröhre (46) so befestigt werden kann, daß der eingeschobene Paddelgriff (52, 58), gegen eine Drehbewegung gesichert ist; und
• - mehrere durch die Adapterröhre (46) und den Adapterstab (48) durchreichende Öffnungen (60, 60′) zur Befestigung des Paddelgriffs (58) mittels Schrauben (62).

8. Verfahren zum Abdichten einer Paddeldurchführung durch die Tür einer Siliziumwafer-Behandlungsröhre nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß

• a) um die Öffnung (39) in der abzudichtenden Tür (32) eine auswechselbare Dichtung (34) aufgesetzt wird;
• b) daß dann ein Ende (30) einer flexiblen Faltenbalgverbindung (24) mit Hilfe mehrerer Befestigungselemente (36) an der Tür (32) mittels der Dichtung (34) abdichtend angepreßt wird;
• c) daß dann das gegenüberliegende Ende (26) der Faltenbalgverbindung (24) mit der um das Paddelaufnahmeelement fest verbundenen Anschlagplatte (20) verbunden wird, nachdem eine auswechselbare Dichtung (28) dazwischen abdichtend angeordnet worden ist;
• d) daß ein Abstandsstück (38) über das offene Ende (16) des abgedichteten Paddelaufnahmeelements (12) schoben wird;
• e) daß eine der jeweiligen Form des Paddelgriffs (52, 58) angepaßte Adapterstange (48) innerhalb des Adapters (46) befestigt wird;
• f) daß der Paddelgriff (52, 58) mittels entfernbarer Befestigungselemente (62) im Adapter (46) formschlüssig befestigt wird;
• g) daß der Adapter (46) zusammen mit dem Paddel (53, 58) zwischen den Markierungsnasen (22) des am Ende befindlichen Paddelaufnahmeelements (12) in dieses verdrehfest eingeführt wird und mit dem Schlitz (18) des Aufnahmeelementes (12) so ausgerichtet wird, daß die Halteschraube (40), die zum Festhalten des Paddelgriffs (52, 58) dient, hindurchgeführt werden kann;
• h) daß der Adapter (46) zusammen mit dem Paddel (52, 58) mit der Feststellschraube (40) fixiert wird.