DE2548891A1 - Automatischer probenwechsler fuer massenspektrometer - Google Patents
Automatischer probenwechsler fuer massenspektrometerInfo
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Description
Zentralbereich Patente. Marken und Lizenzen
509 Leverkusen. Bayerwerk
2 8. OKT. 1975
Ki/eb
Automatischer Probenwechsler für Massenspektrometer
Die Erfindung betrifft einen automatischen Probenwechsler für Massenspektrometer mit einer Verdampfungseinrichtung für feste
und flüssige Proben. Der Probenwechsler sorgt dafür, daß nacheinander bis zu 30 Probentiegel in die Halterung einer Schubstange
eingesetzt und wieder entfernt werden. Die zu verdampfende Probe wird mit der Schubstange durch eine Hochvakuumschleuse
in das Massenspektrometer eingefahren.
Die Massenspektrometrie ist innerhalb der letzten Jahre zum Routinewerkzeug des organischen Chemikers geworden. Ein Hauptanwendungsgebiet
ist dabei die Strukturaufklärung organischer
Verbindungen. Die dazu notwendigen Massenspektrometer sind sehr teure Geräte und erfordern auch laufend hohe Betriebskosten.
Es besteht daher der Wunsch, derart teure Geräte unter Zuhilfenahme von Datenverarbeitungsanlagen im automatischen
Betrieb langer als acht Stunden täglich zu nutzen. Es sind Massenspektrometer im Handel (z.B. Typ CH 5 der Firma Varian MAT),
die im Prinzip für diese Aufgabe geeignet sind. Bei diesem Massenspektrometertyp erfolgt die Probeneingabe mit Hilfe einer
heiz- und kühlbaren Schubstange, die durch eine Hochvakuumschleuse in die Ionenquelle des Massenspektrometers eingeführt
wird. Die zu verdampfende Probe befindet sich in einem Tiegel, der am vorderen Ende der Schubstange angeordnet ist. Der Verdampfung
svor gang im Massenspektrometer wird so geregelt, daß
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der in der Ionenquelle erzeugte Totalionenstrom zeitlich konstant ist. Diese Regelung ist eine unabdingbare Voraussetzung für
automatisch arbeitende Massenspektrometer.
Ein wesentlicher Nachteil dieser Massenspektrometer besteht darin, daß die Probentiegel manuell in die Schubstange eingesetzt
werden müssen. Dadurch verbietet sich aber ein vollautomatischer Betrieb.
Die Erfindung hat sich nun zum Ziel gesetzt, einen automatischen Probenwechsler für Massenspektrometer der eingangs beschriebenen
Art zu entwickeln, um vollautomatische Analysen bei gleichzeitiger Verwendung von Datenverarbeitungsanlagen zu ermöglichen.
Dabei werden im einzelnen folgende Anforderungen gestellt:
a) Die Betriebssicherheit muß so hoch sein, daß das Massenspektrometer
auch nachts ohne Beaufsichtigung durchlaufen kann,
b) der Probenwechsler muß so aufgebaut sein, daß er ohne allzu großen Aufwand an den Probeneingabeteil eines
Massenspektrometers angebaut werden kann.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst,
a) daß die Schubstange des Probenwechslers einschließlich ihrem Antrieb auf einem parallel zur Schubstange laufenden
Schleusenwagen montiert ist, der einen separaten Antrieb besitzt und an seiner dem Massenspektrometer
zugewandten Stirnseite eine Stopfbuchse zur vakuumdichten Durchführung der Schubstange aufweist,
b) daß an der Rückwand der Hochvakuumschleuse eine O-Ring-Dichtung
angebracht ist, die bei eingefahrenem Schleusenwagen den zwischen der Schleusenrückwand und der Stirnseite
des Schleusenwagens verbleibenden Raum im Bereich der Schubstange abdichtet und
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c) daß zwischen der Stirnseite des Schleusenwagens und der Rückwand der Hochvakuumschleuse ein senkrecht zur Schubstange
verschiebbares Probenmagazin eingebaut ist, aus dem die Probentiegel mittels einer am Schubstangenende
angebrachten Halterung wahlweise entnommen werden können.
Vorteilhaft sind Schubstange und Schleusenwagen auf gemeinsamen Führungsstangen gelagert.
Eine Weiterentwicklung der Erfindung besteht darin, daß das Probenmagazin mit einer Gabel zum Entfernen der Tiegel aus der
Probenhalterung versehen ist und die Tiegel eine der Gabelöffnung entsprechende Ringnut aufweisen.
Eine weitere Verbesserung besteht darin, daß das Probenmagazin von einer Abdeckhaube umschlossen wird und unter Schutzgas
steht. Auf diese Weise sind die Proben vor Feuchtigkeit und Zersetzung geschützt.
Als Antriebe für das Probenmagazin und auch für die Schubstange haben sich Schrittmotoren bewährt. Damit kann eine sehr exakte
Positionierung erreicht werden.
Die erfindungsgemäße Probenwechsler-Konstruktion gewährleistet
die erforderliche hohe Präzision bei der Probeneingabe in das Massenspektrometer. Andererseits erlaubt der kompakte Aufbau
verhältnismäßig leicht den Anbau an bereits vorhandene Massenspektrometer. Ein wichtiger Vorteil ist ferner darin zu sehen,
daß der Anbau des Probenwechslers keine Probleme hinsichtlich der Hochvakuumabdichtung mit sich bringt.
Mit dem neuen Probenwechsler konnten zum ersten Mal Routineanalysen
im Nachtbetrieb ohne Anwesenheit von Bedienungspersonal durchgeführt werden.
Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand von Zeichnungen näher erläutert.
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Es zeigen;
Figuren 1a
Figuren 1a
1c die Funktion und den schematischen Aufbau des Probenwechslers,
Figuren 2a - 2c die Übernahme des Probentiegels durch die
Schubstange,
Figuren 3a - 3c das Entfernen des Probentiegels,
Figur 4
Figur 5
den konstruktiven Aufbau des Probenwechslers in Draufsicht (Schleusenwagen und Schubstange)
und
den konstruktiven Aufbau des Probenwechslers in Seitenansicht (Probenmagazin).
Probenwechslermechanik (Prinzip)
Zunächst wird das Prinzip der Probenwechslermechanik anhand der Figuren 1a - 1c erläutert. Der Probenwechsler ist über
ein hochvakuumdichtes Hauptventil 1 an die Ionenquelle 2 eines 90°-Sektorfeld-Massenspektrometers angeflanscht. Die wesentlichen
Elemente des Probenwechslers sind der Schleusenwagen 3, die Schubstange 4 und das Probenmagazin 5. Der Schleusenwagen 3
und die Schubstange 4 sind auf drei Führungsstangen 6 in Richtung der X-Achse verschiebbar gelagert. Die Bewegung erfolgt mittels
der von den Motoren 7 und 8 angetriebenen Spindeln 9 und Für die Funktion des Probenwechslers ist von wesentlicher Bedeutung,
daß Schleusenwagen 3 und Schubstange 4 getrennt steuerbare Antriebe besitzen. Dabei ist der Schubstangenantrieb 8
an der Rückwand des Schleusenwagens 3 montiert. Die Lagerung von Schleusenwagen 3 und Schubstange 4 auf den gemeinsamen
Führungs stangen 6 geschieht mittels der Gleitbuchsen 11 und
An der dem Massenspektrometer zugewandten Stirnseite des Schleusenwagens 3 ist eine Stopfbuchse 13 zur hochvakuumdichten
Durchführung der Schubstange 4 angebracht. Die Tiegelhalterung
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befindet sich am linken Ende der Schubstange 4 (siehe Fig. 2).
Das Probenmagazin kann von unten her in den Raum zwischen der Rückseite der Hochvakuumschleuse 1 und der Stirnseite des
Schleusenwagens 3 eingefahren werden. Zu diesem Zweck ist das Probenmagazin 5 auf senkrecht zur Zeichenebene angeordneten
Führungsstangen 14 in vertikaler Richtung verschiebbar gelagert.
Bei ausgefahrenem Probenmagazin 5 kann der Schleusenwagen 3 so weit in Richtung auf die Hochvakuumschleuse 1 zu gefahren
werden, daß die Stirnseite der Stopfbuchse 13 an der O-Ring-Dichtung
15 anliegt. Dadurch wird der Raum zwischen der Stirnseite der Stopfbuchse 13 innerhalb des 0-Ringes abgedichtet und
kann evakuiert werden. Auf diese Weise wird grundsätzlich vermieden, daß die Hochvakuumschleuse 1 mit der Atmosphäre in
Verbindung steht.
Die Form der Probentiegel 16 und ihre Halterung 17 am Schubstangenende
sind aus den Figuren 2a bis 3c ersichtlich. Sie bestehen aus einem zylindrischen Gefäß mit einem Deckel 18 am
Kopfende. In den Deckel 18 ist eine Ringnut 19 eingefräst. Außerdem befindet sich im Deckel eine zentrale ca. 0,1 mm große
Bohrung zum Verdampfen der Probe. Der Tiegelboden läuft konisch zu. Diese Form erleichtert das Einsetzen in die Tiegelhalterung
17· Mit ihrem Kopfende sind die Tiegel 16 in längs einer Geraden angeordnete Bohrungen in einer Probenmagazinplatte 2o eingesetzt.
Die Probenmagazinplatte ist senkrecht zur Schubstange verschiebbar. Die hierzu erforderliche Mechanik wird weiter
unten beschrieben. Die Tiegelhalterung 17 besteht aus einem Zylinder 21 mit einer Klemmfeder 22.
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Die Figuren 2a bis 2c zeigen die Einzelschritte der Tiegelübernahme.
Zur Übernahme wird der Tiegel 16 mit der X-Achse zur Deckung gebracht ^Fig. 2a). Dann bewegt sich die Schubstange
auf die Magazinplatte 20 zu, klemmt den Tiegel 16 in der Halterung 17 fest (Fig. 2b) und zieht ihn bei der folgenden Rückwärtsbewegung
in die Ausgangsposition aus dem Bohrloch der Magazinplatte 20 heraus (Fig. 2c).
Nach der Verdampfung der Probe im Massenspektrometer muß der Probentiegel 16 aus der Halterung 17 entfernt werden, damit
die Halterung mit dem nächstfolgenden Tiegel beschickt werden kann. Die Entfernung des Probentiegels 16 aus der Halterung
ist sehematisch in den Figuren 3a bis 3c dargestellt. Gemäß
Fig. 3a ist der Tiegel mit der verdampften Probe wieder aus dem Massenspektrometer herausgefahren und befindet sich in der
Position der Magazinplatte 20. In dieser Position wird nun eine an der Magazinplatte 20 angebrachte Haltegabel 23 mit der
Ringnut 19 des Probentiegels 16 in Eingriff gebracht (siehe Fig. 3b). Sodann wird die Schubstange 4 in ihre Ausgangsposition
zurückgefahren. Dadurch wird der Tiegel 16 aus der Tiegelhalterung 17 herausgezogen.und fällt in einen (nicht gezeichneten)
Behälter (s. Fig. 3c).
Der Arbeitsablauf des vollautomatisch arbeitenden Massenspektrometer
s läßt sich an dem nachfolgenden Flußdiagramm verdeutlichen:
!start I
!Einsetzen des Tiegels]
!Einschleusen des Tiegels|
Totalionenstromgeregelte Totalverdampfung Registrierung und Speicherung der Spektren
!Ausschleusen des Tiegels! ' {Tiegel entfernen!
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In der Ausgangsposition gemäß Fig. 1a wird der Probentiegel 16 in der soeben beschriebenen Weise in die Schubstange 4 eingesetzt.
Zu diesem Zweck wird das Probenmagazin 5 von unten nach oben soweit in vertikaler Richtung verschoben bis der Tiegel
mit der gewünschten Probe mit der X-Achse, d.h. mit der Schubstange zusammenfällt. Anschließend wird das Probenmagazin 5
wieder nach unten herausgefahren. Damit ist der Weg für den Schleusenwagen 3 freigegeben (Fig. 1b). Dieser verschließt nun
die Schleuse durch Vorfahren bis zur O-Ring-Dichtung 15. Der verbleibende axiale Raum zwischen der Stopfbuchse 13 und der
Schleusenrückwand wird anschließend mit einer Vorvakuumpumpe evakuiert. Danach kann die Hochvakuumschleuse 1 geöffnet
werden. Hiernach wird der Schubstangenantrieb 8 in Betrieb gesetzt und die Schubstange 4 fährt mit der zu untersuchenden
Probe durch die Hochvakuumschleuse 1 hindurch in die Ionenquelle 2 des Massenspektrometers. Der Probentiegel 16 befindet sich
jetzt in der Meßstellung (siehe Fig. 1c). In dieser Stellung wird die Verdampfungseinrichtung eingeschaltet. Während der
Verdampfungszeit der Probe werden in regelmäßigen Abständen
Massenspektren registriert und gespeichert.
Nach dem Ende der Verdampfung wird der Tiegel 16 wieder aus dem Massenspektrometer ausgeschleust. Dazu fährt die Schubstange
mit dem Tiegel hinter die Hochvakuumschleuse 1 zurück. Sodann wird die Hochvakuumschleuse 1 wieder geschlossen. Danach wird
der Tiegel 16 mittels der am Probenmagazin 5 angebrachten Haltegabel 23 - wie bereits beschrieben - entfernt. Der Schleusenwagen
3 fährt in die Ausgangsposition zurück (siehe Fig.1a).
Konstruktiver Aufbau des Probenwechslers (siehe Fig. 4 und 5)
Der Probenwechsler besteht im wesentlichen aus zwei Teilen, d.i. dem Schleusenwagen 3 mit der Schubstange 4 und der dazugehörigen
Führungsmechanik (siehe Fig. 4) und dem Probenmagazin 5 mit Führungsmechanik (siehe Fig. 5). Der Schleusenwagen 3 ist mittels
der Gleitbuchsen 12 auf den drei parallel zur X-Achse laufenden
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Führungsstangen 6 gelagert. Die Gleitbuchsen 12 sind auf der
Innenseite mit Kugellagern versehen (sogenannte Kugelbuchsen). Dadurch wird eine präzise und leichtgängige Führung erreicht.
Die Führungs stangen 6 sind an einer Grundplatte 24 verschraubt.
Die Stirnseite 25 und die Rückwand 26 des Schleusenwagens 3 werden durch die Verbindungsstangen 27 zusammengehalten. Die
Schubstange 4 ist einerseits in der Führungsplatte 28 und andererseits mit ihrem Antrieb 8 in der Rückwand 26 des Schleusenwagens
3 gelagert. Die Führungsplatte 28 ist wie der Schleusenwagen 3 mittels Kugelbuchsen auf den Führungsstangen 6 gelagert.
Der Antrieb 8 für die Schubstange 4 besteht aus einem Schrittmotor, der eine Schloßmutter antreibt. Durch die Rotation
der Schloßmutter wird die mit der Schubstange 4 verbundene Spindel 10 (siehe Fig. 1a) vorwärts- bzw. rückwärtsbewegt. Der Antrieb
des Schleusenwagens 3 erfolgt über die Spindeln 9, die sich gegenüber den Schloßmuttern 29 drehen. Die Schloßmuttern 29
sind an der Rückwand 26 des Schleusenwagens 3 befestigt. Der Antrieb 7 und die Lagerung für die Spindeln 9 sind auf einer
Grundplatte 30 montiert. Der Antrieb 7 besteht aus einem Gleichstrommotor, der über ein Getriebe 31 und Zahnriemen 32 die
Spindeln 9 antreibt. Die beiden Antriebe 7 und 8 werden getrennt gesteuert. Die Konstruktion der "im Schleusenwagen 3 aufgehängten
Schubstange 4" bedingt, daß die Schubstange 4 zwangsläufig jede Bewegung des Schleusenwagens 3 mitmacht. Umgekehrt bleibt
der Schleusenwagen 3 in Ruhe, wenn die Schubstange durch den Antrieb 8 in Bewegung versetzt wird.
Die Stirnseite 25 des Schleusenwagens 3 ist mit einer Teflonstopfbuchse
13 versehen. Sie dient zur hochvakuumdichten Hindurchführung der Schubstange 4. Bei eingefahrenem Schleusenwagen
(siehe Fig. 1b) liegt die Stirnseite der Stopfbuchse 13 über die O-Ring-Dichtung 15 an der Rückwand der Hochvakuumschleuse
1 an. Der hierdurch eingeschlossene axiale Raum ist mittels einer Vorvakuumpumpe evakuierbar. Eine Sicherheitsschaltung sorgt dafür, daß die Hochvakuumschleuse 1 erst dann
geöffnet werden kann, wenn dieser Raum auf Vorvakuum evakuiert ist. Damit wird verhindert, daß die Hochvakuumschleuse 1 an
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ihrer Einlaßseite mit der Atmosphäre in Verbindung steht.
Die mechanische Verbindung des Probenwechslers mit dem Massenspektrometer
2 wird durch den Flansch 33 erreicht. In diesem Flansch sind auch die Führungsstangen 6 gelagert. Ferner trägt
der Flansch 33 nach unten und oben weisende Haltestangen 34, an denen Basisplatten 35 für das Probenmagazin 5 montiert sind.Das
Probenmagazin 5 ist - wie schon beschrieben - senkrecht zur Schubstange 4 von unten nach oben (d.h. senkrecht zur Zeichenebene)
verschiebbar. Zu diesem Zweck sind Führungsstangen 14 senkrecht zur Schubstange vorgesehen. Das Probenmagazin 5 ist
so angebracht, daß die Probentiegel im Bereich der X-Achse in den unmittelbar an die Hochvakuumschleuse 1 angrenzenden
Raum befördert werden. In diesem Raum erfolgt die Übernahme der Probentiegel durch die am Schubstangenende angebrachte
Tiegelhalterung 17, wie in Fig. 2 beschrieben.
An Hand von Fig. 5 wird die FUhrungsmechanik für das Probenmagazin
5 einschließlich seines Antriebes erläutert. Das ganze System ist über die Haltestangen 34 mit dem Probenwechsler
mechanisch verbunden. Aus Fig. 5 ist auch die relative Lage der drei Führungsstangen 6 für den Schleusenwagen und der
Hochvakuumschleuse 1 ersichtlich. Ähnlich wie der Schleusenwagen 3, besteht auch das Probenmagazin 5 aus einem Wagen 36, der
mittels der Kugelbuchsen 37 verschiebbar auf den Führungsstangen
14 gelagert ist. Auf dem Wagen 36 ist die eigentliche Magazinplatte 20 mit Bohrlöchern 38 befestigt. In die Bohrlöcher 38
sind die Tiegel 16 mit ihrem Kopfende eingesteckt. Die Bohrlöcher 33 sind in vertikaler Richtung untereinander angeordnet. Die
Tiegel 16 in der Magazinplatte 20 sind mit einer Haube 39 abgedeckt. Beim Einfahren in den Probenwechsler wird diese Haube
durch den Bügel 40 zurückgehalten. Die Haube 39 gleitet mit ihren Seitenkanten in den Rillen 41. Die Abdeckung der Magazinplatte
20 ermöglicht eine Spülung der Probentiegel 20 mit Schutzgas. Auf diese Weise wird vermieden, daß die Proben während der Standzeiten
mit der Atmosphäre in Berührung gelangen und eventuell geschädigt werden. Das Schutzgas, z.B. Stickstoff, wird durch
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den Stutzen 42 zugeführt.
Mit der Magazinplatte 20 fest verbunden ist die Haltegabel 23 zum Entfernen der Probentiegel 16 nach dem Meßvorgang (siehe
Beschreibung Fig. 3).
Die Führungsstangen 14 für den Probenwagen 36 sind in zwei
Grundplatten 35 verankert. Der Antrieb erfolgt mit einem Schrittmotor 45 über ein Getriebe 46, das mit der Spindel 47
verbunden ist. Die Spindeldrehung bewirkt eine vertikale Verschiebung der Schloßmutter 48, die ihrerseits mit dem Probenwagen
36 verbunden ist.
Sämtliche Funktionen des Probenwechslers werden von einer numerischen
Steuerung gesteuert und kontrolliert. Diese Steuerung sorgt ebenfalls für das richtige Ineinandergreifen der Funktionen
des Massenspektrometers (Scan und Verdampfung der Probe) und der angeschlossenen Datenverarbeitungsanlage. Die DVA
dient vorwiegend zur Aufnahme und Speicherung der Spektren und zur anschließenden Auswertung der Daten. Selbstverständlich
kann der Probenwechsler auch von Hand betätigt werden. Als Massenspektrometer wurden die Geräte CH 5 und CH 7 der Firma
Varian MAT verwendet. Bei einer typischen Nachtmessung können ca. 30 Proben mit ca. 1000 Spektren gemessen werden, von denen
nach Aufarbeitung etwa 50 Spektren ausgewertet werden. Dies bedeutet eine erhebliche Vergrößerung der Meßkapazität.
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Claims (5)
- Patentansprüche;
j 1.) Automatischer Probenwechsler für Massenspektrometer mit einer— Verdampfungseinrichtung für feste und flüssige Proben, der eine Schubstange aufweist, an deren einem Ende die zu verdampfende Probe in Form eines einsetzbaren Tiegels angeordnet ist und die Schubstange mit dem Probentiegel durch eine Hochvakuumschleuse in das Massenspektrometer einfahrbar ist, dadurch gekennzeichnet,a) daß die Schubstange (4) einschließlich ihrem Antrieb (8) auf einem parallel zur Schubstange laufenden Schleusenwagen (3) montiert ist, der einen separaten Antrieb (7) besitzt und an seiner dem Massenspektrometer (2) zugewandten Stirnseite eine Stopfbuchse (13) zur vakuumdichten Duchführung der Schubstange (4) aufweist,b) daß an der Rückwand der Hochvakuumschleuse (1) eine 0-Ringdichtung (15) angebracht ist, die bei eingefahrenem Schleusenwagen (3) den zwischen der Schleusenrückwand und der Stirnseite des Schleusenwagens (3) verbleibenden Raum im Bereich der Schubstange (4) abdichtet,c) und daß zwischen der Stirnseite des Schleusenwagens undder Rückwand der Hochvakuumschleuse ein senkrecht zur Schubstange (4) verschiebbares Probenmagazin (5) eingebaut ist, aus dem die Probentiegel (16) mittels einer am Schubstangenende angebrachten Halterung (17) wahlweise entnehmbar sind. - 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Schubstange (4) und Schleusenwagen (3) gemeinsame Führungsstangen (6) aufweisen.
- 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Probenmagazin (5) mit einer Gabel (23) zum Entfernen der Tiegel (16) aus der Probenhalterung (17) versehen ist und die Tiegel (16) eine der Gabelöffnung entsprechende Ringnut (19) aufweisen.Le A 16 724 - 11 -7O9818/P5U>^ - ,* =-;!.iJfff? OWQlNAL fNSPECTED
- 4. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Probenmagazin (5) von einer Abdeckhaube (39) umschlossen ist und unter Schutzgas steht.
- 5. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb für das Probenmagazin (5) und/oder für die Schubstange (4) aus einem Schrittmotor besteht.Le A 16 724 - 12 -
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2548891A DE2548891C3 (de) | 1975-10-31 | 1975-10-31 | Probenwechsler für Massenspektrometer |
US05/729,929 US4076982A (en) | 1975-10-31 | 1976-10-06 | Automatic sample-changer for mass spectrometers |
GB44620/76A GB1512747A (en) | 1975-10-31 | 1976-10-27 | Automatic sample-changer for mass spectrometers |
JP51129566A JPS5953661B2 (ja) | 1975-10-31 | 1976-10-29 | 質量分析計のための自動試料交換装置 |
FR7632834A FR2330006A1 (fr) | 1975-10-31 | 1976-10-29 | Passeur d'echantillons automatique pour spectrometre de masse |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2548891A DE2548891C3 (de) | 1975-10-31 | 1975-10-31 | Probenwechsler für Massenspektrometer |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2548891A1 true DE2548891A1 (de) | 1977-05-05 |
DE2548891B2 DE2548891B2 (de) | 1982-09-16 |
DE2548891C3 DE2548891C3 (de) | 1983-04-28 |
Family
ID=5960587
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2548891A Expired DE2548891C3 (de) | 1975-10-31 | 1975-10-31 | Probenwechsler für Massenspektrometer |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4076982A (de) |
JP (1) | JPS5953661B2 (de) |
DE (1) | DE2548891C3 (de) |
FR (1) | FR2330006A1 (de) |
GB (1) | GB1512747A (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3002575A1 (de) * | 1980-01-25 | 1981-07-30 | Varian Mat Gmbh, 2800 Bremen | Einrichtung zur automatischen beschickung von massenspektrometern mit proben |
US4532816A (en) * | 1983-07-25 | 1985-08-06 | The Perkin-Elmer Corporation | Sample vessel |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2532470A1 (fr) * | 1982-08-30 | 1984-03-02 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'ionisation d'un materiau par chauffage a haute temperature |
GB2150290A (en) * | 1983-11-22 | 1985-06-26 | Prutec Ltd | Introduction of samples into a mass spectrometer |
GB2150125A (en) * | 1983-11-22 | 1985-06-26 | Prutec Ltd | Introduction of samples into a mass spectrometer |
GB2150289A (en) * | 1983-11-22 | 1985-06-26 | Prutec Ltd | Introduction of samples into a mass spectrometer |
GB2162207B (en) * | 1984-07-26 | 1989-05-10 | Japan Res Dev Corp | Semiconductor crystal growth apparatus |
FR2585835B1 (fr) * | 1985-07-30 | 1988-07-22 | Univ Pasteur | Dispositif d'introduction directe automatique d'echantillons dans un spectrometre de masse, et procede mis en oeuvre par ce dispositif |
US4879458A (en) * | 1985-08-15 | 1989-11-07 | R. J. Brunfeldt Company, Inc. | Automatic sample system for mass spectrometer |
US5009835A (en) * | 1989-01-25 | 1991-04-23 | Westinghouse Electric Corp. | Nuclear fuel rod helium leak inspection apparatus and method |
US5605798A (en) | 1993-01-07 | 1997-02-25 | Sequenom, Inc. | DNA diagnostic based on mass spectrometry |
USRE39353E1 (en) * | 1994-07-21 | 2006-10-17 | Applera Corporation | Mass spectrometer system and method for matrix-assisted laser desorption measurements |
US5498545A (en) * | 1994-07-21 | 1996-03-12 | Vestal; Marvin L. | Mass spectrometer system and method for matrix-assisted laser desorption measurements |
US6002127A (en) * | 1995-05-19 | 1999-12-14 | Perseptive Biosystems, Inc. | Time-of-flight mass spectrometry analysis of biomolecules |
US5625184A (en) * | 1995-05-19 | 1997-04-29 | Perseptive Biosystems, Inc. | Time-of-flight mass spectrometry analysis of biomolecules |
US5644130A (en) * | 1996-03-20 | 1997-07-01 | National Electrostatics Corp. | Multi-gas cathode ion surge |
DE19628112A1 (de) * | 1996-07-12 | 1998-01-22 | Bruker Franzen Analytik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Einschleusen von Probenträgern in ein Massenspektrometer |
US20030129589A1 (en) * | 1996-11-06 | 2003-07-10 | Hubert Koster | Dna diagnostics based on mass spectrometry |
DK172892B1 (da) * | 1997-10-20 | 1999-09-13 | Hans Degn | Doseringsenhed og metode til kontinuerlig indføring af væskeopløsningsprøver i et system |
US20020009394A1 (en) | 1999-04-02 | 2002-01-24 | Hubert Koster | Automated process line |
US7917301B1 (en) | 2000-09-19 | 2011-03-29 | Sequenom, Inc. | Method and device for identifying a biological sample |
US20030190644A1 (en) * | 1999-10-13 | 2003-10-09 | Andreas Braun | Methods for generating databases and databases for identifying polymorphic genetic markers |
EP1373561B1 (de) * | 2000-06-13 | 2009-02-18 | The Trustees of Boston University | Verwendung von mass-matched nukleotide in der analyse von oligonukleotidmischungen sowie in der hoch-multiplexen nukleinsäuresequenzierung |
US6958214B2 (en) | 2000-07-10 | 2005-10-25 | Sequenom, Inc. | Polymorphic kinase anchor proteins and nucleic acids encoding the same |
US20020155587A1 (en) | 2001-04-20 | 2002-10-24 | Sequenom, Inc. | System and method for testing a biological sample |
JP2005518530A (ja) | 2002-02-26 | 2005-06-23 | サイファージェン バイオシステムズ, インコーポレイテッド | 分析機器への複数のサンプルの移動を自動化するためのデバイスおよび方法 |
US7432342B2 (en) * | 2002-05-03 | 2008-10-07 | Sequenom, Inc. | Kinase anchor protein muteins, peptides thereof and related documents |
US20070141570A1 (en) * | 2003-03-07 | 2007-06-21 | Sequenom, Inc. | Association of polymorphic kinase anchor proteins with cardiac phenotypes and related methods |
US20080083874A1 (en) * | 2006-10-10 | 2008-04-10 | Prest Harry F | Vacuum interface for mass spectrometer |
JP2017102009A (ja) * | 2015-12-01 | 2017-06-08 | 富士電機株式会社 | 捕捉体交換機構および微粒子組成分析装置 |
CN107452593A (zh) * | 2017-09-19 | 2017-12-08 | 珠海美华医疗科技有限公司 | 一种质谱仪的进出样装置及质谱仪 |
CN111883414B (zh) * | 2020-07-15 | 2023-02-10 | 宁波华仪宁创智能科技有限公司 | 更换装置及自动取样系统 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB925473A (en) * | 1960-09-23 | 1963-05-08 | Bendix Corp | Apparatus for introducing samples into a mass spectrometer |
DE1498547A1 (de) * | 1964-07-30 | 1969-05-22 | Varian Mat Gmbh | Vorrichtung zur Stoffuntersuchung durch Verdampfung,Ionisierung und Ionenstrommessung |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3117223A (en) * | 1961-06-09 | 1964-01-07 | Atlas Werke Ag | Sample insertion vacuum lock for a mass spectrometer |
DE1789151C3 (de) * | 1964-07-30 | 1975-06-05 | Varian Mat Gmbh, 2800 Bremen | Vakuumschleuse für Massenspektrometer |
US3590243A (en) * | 1969-06-30 | 1971-06-29 | Avco Corp | Sample insertion vacuum lock and probe assembly for mass spectrometers |
-
1975
- 1975-10-31 DE DE2548891A patent/DE2548891C3/de not_active Expired
-
1976
- 1976-10-06 US US05/729,929 patent/US4076982A/en not_active Expired - Lifetime
- 1976-10-27 GB GB44620/76A patent/GB1512747A/en not_active Expired
- 1976-10-29 FR FR7632834A patent/FR2330006A1/fr active Granted
- 1976-10-29 JP JP51129566A patent/JPS5953661B2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB925473A (en) * | 1960-09-23 | 1963-05-08 | Bendix Corp | Apparatus for introducing samples into a mass spectrometer |
DE1498547A1 (de) * | 1964-07-30 | 1969-05-22 | Varian Mat Gmbh | Vorrichtung zur Stoffuntersuchung durch Verdampfung,Ionisierung und Ionenstrommessung |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3002575A1 (de) * | 1980-01-25 | 1981-07-30 | Varian Mat Gmbh, 2800 Bremen | Einrichtung zur automatischen beschickung von massenspektrometern mit proben |
US4532816A (en) * | 1983-07-25 | 1985-08-06 | The Perkin-Elmer Corporation | Sample vessel |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2330006B1 (de) | 1982-05-14 |
JPS5257883A (en) | 1977-05-12 |
GB1512747A (en) | 1978-06-01 |
US4076982A (en) | 1978-02-28 |
JPS5953661B2 (ja) | 1984-12-26 |
FR2330006A1 (fr) | 1977-05-27 |
DE2548891C3 (de) | 1983-04-28 |
DE2548891B2 (de) | 1982-09-16 |
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