DE2117365A1 - Integrierte Schaltung und Verfahren zu ihrer Herstellung - Google Patents

Integrierte Schaltung und Verfahren zu ihrer Herstellung

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DE2117365A1
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insulating layer
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tungsten
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Pending
Application number
DE19712117365
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German (de)
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Inventor
William Ernest Scotia; Brown Dale Marius Schenectady; N.Y. Engeler (V.StA.)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
General Electric Co
Original Assignee
General Electric Co
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    • H10W70/60—
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    • H10W72/30—
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