DE2025128A1

DE2025128A1 - Lochmasken-Farbbildröhre und Verfahren zu deren Herstellung

Info

Publication number: DE2025128A1
Application number: DE19702025128
Authority: DE
Inventors: Asahide Kawasaki; Tanaka Hiroshi Fukaya Saitama; Kiriake Yoshifumi Morioka Iwate; Tsuneta (Japan)
Original assignee: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1969-05-23
Filing date: 1970-05-22
Publication date: 1970-11-26
Also published as: US3652895A

Description

Die Erfindung betrifft Lochmasken-Kathodenstrahl-Farbbildröhren und ein Verfahren zu deren Herstellung, insbesondere eine Lochmaske mit rechteckigen Öffnungen, die derart abgestuft sind, daß sich das Verhältnis der von den Öffnungen eingenommenen Flächen zu der Gesamtfläche der Lochplatte im Inneren und im Randbereich unterscheidet.

Die für Kathodenstrahl-Farbbildröhren verwendeten Lochmasken besitzen gewöhnlich eine Vielzahl von kreisförmigen Öffnungen zum Durchtreten der abtastenden Elektrodenstrahlen. Diese kreisförmigen Öffnungen in der Lochmaskenplatte sind im wesentlichen gleich groß und nach einem vorbestimmten Schema über die gesamte Plattenfläche gleichförmig verteilt.

Bei den Lochmasken der zuvor beschriebenen Art ist das auf dem Schirm entstehende Bild im Randbereich aufgrund des größeren Ablenkungswinkels der Elektronenstrahlen, die den Randbereich der Lochmaske erreichen, Farbverzerrungen unterworfen. Zur Vermeidung solcher Farbverzerrungen sind sogenannte abge-

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stufte Lochmasken entwickelt worden. Ein Beispiel einer solchen abgestuften Lochmaske ist in Fig. 1 der beigefügten Zeichnung dargestellt. Sie besitzt eine Lochplatte 1 mit einer Anzahl abgestufter, kreisförmiger Öffnungen 2, bei denen der Durchmesser mit zunehmendem Abstand von der Plattenmitte abnimmt. Der Abstand der Mittelpunkte zwischen zwei in einer senkrechten oder waagerechten Reihe liegenden Löcher ist konstant, so daß der Abstand zwischen nebeneinander liegenden Öffnungen 2 mit zunehmender Entfernung von der Mitte der Lochplatte größer wird.

Da der Abstand zwischen nebeneinander liegenden Öffnungen in den Randbereichen der Lochplatte zunimmt, ist der Anteil der Elektronen des Strahls, die bei diesen bekannten, abgestuften Lochmasken mit kreisförmigen Öffnungen durchgelassen v/erden, in den Randbereichen geringer als in der Mitte, so daß man kein hoch-r wertiges Farbbild erhalten kann.

Die Erfindung bezweckt daher eine Lochmaske für eine Farbbild-Kathodenstrahlröhre auszubilden, die eine Vergrößerung des Anteiles der Strahlübertragung in den Randbereichen der Lochplatte gestattet und eine Farbabschattung verhindert, so daß ein farbstarkes Fernsehbild entsteht.

V/eiterhin richtet sich die Erfindung auf ein Verfahren zur Herstellung einer entsprechenden Lochmaske.

Das erfindungsgemäße Ziel wird dadurch erreicht, daß rechteckige Öffnungen, die z.B. in Größe und/oder Unterteilung von der . Mitte zum Randbereich der Lochplatte abgestuft sind, in der Lochplatte ausgebildet werden, wobei das Verhältnis der von den Löchern eingenommenen Flächen zu der Gesamtfläche der Lochplatte abgestuft ist. .......

Im folgenden werden beispielsweise Ausführungsformen der Erfindung anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert.

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Flg. 1 ist eine teilweise Draufsicht auf eine Lochmaske herkömmlicher Bauweise;

YzF,· ?- int eine teilweise Draufsicht einer Au3führungsform der erfimliuigsgeinäßen Lochmaske;

Fig. 3 ist eine teilweise schematische Draufsicht auf einen gestreiften Schirm, der "bei der Herstellung der Ausführungsform nach Fig. 2 verwendet wird;

Fig. Ί veransbhaulicht schematisch eine Belichtungsvorrichtung, die hei der Herstellung der Ausführungsform nach Fig. 2 verwendet wird;

Fif;. ^rv ceigt in graphischer Darstellung die Filtercharakteriptik de3 in Fig. 4 gezeigten Streifenfilters;

Fire. G stellt eine teilweise Draufsicht einer ersten Schablonenplatte dar, die bei der Herstellung der Ausführungnform nach Fig. 2 verwendet wird;

""rifi." 7 ist eine teilweise Draufsicht auf eine zweite Schablonenplatte, die bei der Herstellung der Ausführungsform nach Fig. 2 verv/endet wird;

Fig. 6 ist eine teilweise Draufsicht auf eine dritte Schablonenplatte für die Herstellung der Ausführungsform nach Fig. 2;

Fig. 9 zeigt zwei übereinandergelegte dritte Schablonenplatton entsprechend Fig. 8;

Fig. 10 stellt eine vierte und letzte Schablonenplatte für die Herstellung der Ausführungsf orni der Fig. 2 dar;

Fig. 11 ist eine teilweise Draufsicht einer anderen Ausführungsfora der erfindungsgemäßen Lochmaske;

Fig. 12 zeigt einen teilweisen Schnitt durch die erfindungsgemäße Lochmaske, der die ausgebildeten öffnungen veranschaulicht;

Fig. 13 stellt eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Lochmaske dar;

Fig. 14 zeigt eine für die Herstellung der Lochmaske, die in Pig. 13 dargestellt iat, verwendete Be licht ungsvorrichtung;

Pig. 15 stellt eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Lochmaske dar.

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In Pig. 2 ist mit 11 eine Lochmaske bezeichnet, die eine Lochplatte 12 mit einer Anzahl von rechteckigen . Öffnungen 13 aufweist. Die seitliche Breite der Öffnungen 13 nimmt von der Mitte der Platte aus nach und nach ab. Dagegen sind der Abstand A zwischen den Mitten nebeneinanderliegender Öffnungen in einer waagerechten Reihe und der Abstand B zwischen nebeneinanderliegenden Öffnungen in einer senkrechten Reihe konstant. Daher ist nur die seitliche oder horizontale Breite der Öffnungen vom Mittelbereich zu den Randbereichen der Platte 12 hin abgestuft.

Bei Verwendung für ein 48 Cm-(19 inch)-Farbempfangsgerät kann die Breite der Öffnungen 13 etwa 0,13 mm .(Maximum) im mittleren Bereich der Lochmaske und etwa 0,1 mm (Minimum) im Randbereich bei einer Reihenteilung von 0,6 mm und stufenweiser Verengung vom Größtwert (0,13 mm) in der Mitte bis zum Kleinstwert (0,10 mm) an den Ecken betragen.

Wie aus der Pigur zu ersehen ist, sind die Öffnungen 13 im gleichen Abstand in vertikalen Reihen angeordnet. Durch derartige Ablagerung des fluoreszierenden Materials auf der Vorderplatte der Farbbild- Kathodenstrahlröhre, für die die oben beschriebene Lochmaske verwendet wird, werden die drei (rot-, grün- und blauleuchtenden) Punkte des fluoreszierenden Materials in jeweiligen horizontalen Reihen ausgerichtet. Dabei sind die Punkte in jeder Dreiergruppe, die jeder der öffnungen 13 entspricht, in Längsoder Vertikalrichtung der Öffnung ausgerichtet, so daß Farbverzerrungserscheinungen im Fernsehbild kaum auftreten können.

Bei diesem Aufbau wird die Strahl»Durchlässigkeit um zumindest einige Prozente im Vergleich zu herkömmlichen, abgestuften Lochmasken mit kreisförmigen Öffnungen (siehe Fig. 1) gesteigert, da keine Notwendigkeit einer Abstufung in Längsrichtung "besteht. Insbesondere kann eine Farbabschirmung in den Randbereichen vollständig verhindert und ein licht- bzw. farbstarkes Farbbild erzielt werden.

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Ein Beispiel für das Herstellungsverfahren einer erfindungsgemäßen Lochmaske entsprechend der Ausführungsform der Pig. 2 soll nun unter Bezugnahme auf die Pig. 3 bis 10 beschrieben werden.

Zunächst wird ein gestreifter Schirm 22 vorbereitet, der durchsichtige Abschnitte 20 und nicht durchsichtige Abschnitte 21 aufweist, wie in Pig. 3 gezeigt ist. Der gestreifte Schirm 22 wird vor einem lichtempfindlichen Film 24 in einer Be liehtungsvorrichtung 23 angeordnet, wie Pig. 4 veranschaulicht. Vor dem ge- I streiften Schirm 22 ist ein Linsensystem 25 mit einer Blende angeordnet. Der gestreifte Schirm 22 muß einem gleichförmigen, von außen kommenden Licht durch das Linsensystem 25 mit der Rund- !blende 26 ausgesetzt werden. Das wird z.B. durch eine Streuplatte 28, wie etwa ein Opalglas, zum Verteilen des Lichtes aus der Lampe 27 in ein Licht gleichförmiger Intensität erreicht.

Zwischen der Lampe 27 und der Streuplatte 28 ist ein Filter 29 mit einer Durchlässigkeitscharakteristik, wie sie in Fig. 5 dargestellt ist, angeordnet. Entsprechend Fig. 5 nimmt die Durchlässigkeit mit zunehmendem Abstand von der Mitte des Filters nach und nach ab. Dadurch wird dem von der Streuplatte 28 kom-r μ menden gleichförmigen Licht eine abnehmende Charakteristik verliehen. Diese abnehmende Charakteristik des von der Streuplatte 28 kommenden Lichtes wird auf den lichtempfindlichen Film 24 übertragen, wenn der Film 24 durch den gestreiften Schirm 22 dem Licht ausgesetzt wird. Der Schirm 22 ist mit gleichweit voneinander entfernten Streifen mit gleicher Breite über den gesamten Bereich versehen, wie in Fig. 3 gezeigt ist. Die Intensität der Belichtung ist aufgrund der Verwendung der Blende 26 nicht über den Film 24 gleichförmig verteilt. Vielmehr ist das ,auf denjenigen Bereich, der dem Mittelteil des transparenten Bereiches 20 des gestreiften Schirmes 22 entspricht, einfallende Licht aufgrund der vollständigen Abblendwirkung der Blende 26 intensiver als das auf den Bereich einfallende Licht, der dem TJmfangsteil des durchsichtigen Bereiches des Schirmes 22 ent-

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spricht, da die Intensität im Umfangsbereieh aufgrund des Halbschattens der Blende 26 und der Intensitätsverteilungs-Kennlinie entsprechend Pig. 5 geringer ist. Daher sind, wenn der dem Licht ausgesetzte, lichtempfindliche Film eine vorbestirnmte Zeit lang entwickelt wird, die Abbildungen der Streifen auf dem entwickelten Film 24 nicht über die ganze Länge gleich breit. Vielmehr weist der entwickelte Film 24, der die in Fig. 6 gezeigte erste Schablone 32 bildet, von der Mitte nach außen schmaler werdende durchsichtige Abschnitte 30 auf.

Eine zweite Schablone 33 mit einem durchsichtigen Bereich 34 und nicht durchsichtigen Streifen 35 ist in Fig. 7 gezeigt. Sie wird auf ähnliche Art, wie die erste Schablone, hergestellt, indem ein geeignetes Muster verwendet und ein lichtempfindlicher Film in der Belicttu^nvorrichtung belichtet v/ird. Das Filter 28 mit der Durchlässigkeitskennlinie entsprechend Fig. 5 wird jedoch nur bei der Herstellung der ersten Schablone verwendet.

Die ersten und zweiten Schablonenträger 32 und 33 werden dann so übereinaidergelegt, daß die Streifen der ersten Schablone senkrecht zu den Streifen der zweiten Schablone stehen, so daß durch Kontakt-Kopieren ein dritter Schablonenträger 41 entsteht (Fig/ 8) Der dritte Schablonenträger 41 besitzt eine Anzahl von recbtecki-' gen, undurchsichtigen Stellen 40, die in Reihen und Spalten mit vorbestimmtem Mittenabstand angeordnet sind. Lediglich die Breite der Stellen 40 ist vom Mittelbereich zu den Ilandbereichen des Schablonenträgers 41 abgestuft.

Zwei Schablonenträger, die identisch das dritte, in Fig. 8 gezeigte Muster aufweisen, nämlich die Schablonenträger 41 und 42 in Fig. 9, werden in versetzter Anordnung übereinandergelegt, so daß die Spalten der rechtwinkligen Punkte 40 des Schablonenträger 41 mitten zwischen den angrenzenden Spalten der Stellen 43 des anderen Schablonenträgers 42 liegen und der Mittelpunkt des Yertikalzwischenraumes zwischen aneinandergrenzenden Punkten 40

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des Schablonenträgers 41 im wesentlichen auf dergleichen Höhe liegt wie der Mittelpunkt des entsprechenden Punktes 43 des anderen Schablonenträgers 42.

Die aua der Kombination zweier dritter Schablonenträger 41 und 42 entstehende Schablone v/ird zum Entwickeln und Fixieren einer vierten, negativen Schablone auf einem lichtempfindlichen Film durch Kon· takt-Kopieren verwendet,wie bei 45 in Fig.10 angezeigt ist. Diese Schablone entspricht der Lochmaskenform der Ausführungsform entsprechend Fig. 2.

Die so auf dem vierten Schablonenträger 45 ausgebildete Schablone wird dann auf die Lochmaskenplatte durch das bekannte Photoätzverfahren übertragen. Beispielsweise wird auf eine dünne,flexible, nicht gezeigte Stahlplatte, die die Lochmaskenplatle bildet, ein lichtempfindliches, flüssiges Mittel aufgebracht, auf das der Schablonenträger 45 tnit der vierten Schablone zum Aussetzen an Lichtstrahlen dicht aufgelegt wird. Nach der Belichtung wird die Platte mit Wasser gewaschen, so daß der Teil des lichtempfindlichen Mittels, das keine Lichtstrahlen aufgenommen und ungehärtet geblieben ist, entfernt wird. Dann wird die entwickelte Lochmaskenplatte getrocknet und einer Wärmebehandlung unterworfen. Sodann werden die Bereiche der Stahlplatte, die nicht von dem lichtempfindlichen Mittel bedeckt sind, geätzt. Dadurch entsteht eine Lochmaske, die abgestufte, rechtwinklige, strahldurchlassende Öffnungen 13 entsprechend Fig. 2 besitzt. Bei diesem Ätzvorgang ist die Form der Öffnungen 13 nicht genau rechteckig, wie dargestellt, sondern etwas elliptisch gebogen. Dadurch entsteht jedoch kein merklicher Einfluß im Hinblick auf die erfindungsgemäß angestrebten Wirkungen. . ,

Zufriedenstellende Belichtungsergebnisse können mit der Belichtungsvorrichtung 23 nach Pig. 4 z.B. dadurch erzielt werden, daß die Streuplatte 28 beispielsweise 1200 mm entfernt von der Lampe 27, die Blende 26 800 mm entfernt von der Streuplatte 28, der

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gestreifte Schirm 22 3000 mm entfernt von der Blende 26 und der lichtempfindliche Film 24 27,5 mm entfernt von dem gestreiften Schirm 22 angeordnet werden.

Bei dem oben beschriebenen Verfahren zur Herstellung der Lochmaske wird die Abstufungscharakteristik auf der Stufe der Herstellung der ersten Schablone eingeführt. Es ist natürlich auch möglich, entsprechende abgestufte Lochmasken dadurch herzustellen, daß die vierte Schablone ohne die Abstufungscharakteristik gebildet wird,und die flexible Stahlplatte mit dem vierten, nicht abgestuften Schablonenträger durch Lichtstrahlen über ein Filter mit der Abstufungskennlinie der Pig. 5 belichtet wird. Die Abstufungscharakteristik kann auch bei¹ der Herstellung der vierten Schablone aufgenommen werden.

Fig. 11 zeigt eine weitere AusfUhrungeform der abgestuften, erfindungsgemäßen Lochmaske. Anders als bei der Ausführungsform nach Fig. 2, bei der nur die Breite der rechtwinkligen Öffnungen 13 vom Hittelbereich zu den Randbereichen der Maske abgestuft ist, sind bei dieser Ausführungsform sowohl die Breite als auch die Länge der Öffnungen 15 von der Mitte zu den Handbereichen der Maske abgestuft. So sind die rechtwinkligen Öffnungen 13 in den Randbereichen dieser Ausführungsform länger ale die entsprechenden Öffnungen der Ausführungsform nach Fig. 2. Dadurch wird die Strahldurchlässigkeit in den Randbereichen noch mehr verbessert, so daß ein noch besseres Farbbild entsteht.

Die Lochmaske nach Fig. 11 kann Im wesentlichen auf dieselbe Art, wie nach Flg. 2 hergestellt werden. Lediglich ist hier zusätzlich eine seitliche oder horizontale Ahßtufungscharakteristik bei der Herstellung der für die AusfÜhrungsform nach Fig. 2 nicht abgestuften zweiten Schablone vorgesehen. Die abgestufte erste Schablone (Fig. 6) wird auf eine abgestufte zweite Schablone (nicht gezeigt) gelegt und bildet so eine dritte Schablone« aus der eine vierte Schablone gewonnen wird, die in vertikaler und

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horizontaler Richtung abgestuft ist, wie Fig. 11 zeigt. Mit dieser Schablone wird die lochmaske 50 hergestellt.

Bei dem oben beschriebenen Verfahren zur Herstellung der lochmaske durch Photoätzung werden die rechtwinkligen, strahldurchlassenden Öffnungen nicht genau ausgebildet'. Zur Abschwächung dieses Nachteiles wurde ein Verfahren zum Ätzen einer flexiblen Stahlplatte von beiden Seiten vorgeschlagen. Pig. 12 zeigt den Querschnitt einer strahldurchlässigen Öffnung, die durch ein solches zweiseitiges Ätzverfahren hergestellt worden ist. In % diesem Falle ist es möglich, recht genau rechteckige, durchlässige Öffnungen dadurch zu erhalten, daß der größte Teil der Dicke der Lochmaskenplatte 12 von der oberen Seite und sodann der verbleibende Teil von der unteren Seite der Platte weggeätzt wird.

Bei diesem zweiseitigen Ätzverfahren wird jedoch der mit a bezeichnete Teil bei dem ersten Ätzschritt unnötig weggätzt (sogenannte Seitenätzung). Daher sollte die Breite der Schlitze der Ätzschablone, die auf die obere Seite der flexiblen Stahlplatte aufgebracht wird, geringer sein als die tatsächliche Breite der zu bildenden Öffnungen, damit die Seitenätzung ausgeglichen ^ wird. Entsprechend ist, wie aus der Ausführungsform nach Pig. 2 zu ersehen ist, die Breite der Schlitze, die den im Randbereich der Iiochmaakenplatte auszubildenden Öffnungen entspricht, außerordentlich gering. Daher ist die Herstellung der Schablone unter Verwendung solcher kleiner Abmessungen und bei gleichmäßiger Ausbildung der schmalen Öffnungen im Randbereich der Lochmaskenplatte außerordentlich schwierig. Das führt gewöhnlich zu nicht vorgesehenen, unregelmäßigen Öffnungen, die die Qualität des Farbbildes beeinträchtigen.

Bei den Ausführungsformen der Fig. 2 und 11 ist die Breite und/ oder die Länge der strahldurchlassenden Öffnungen 13 abgestuft.

Die Fig. 13 und 15 zeigen weitere Ausführungsfortnen, bei denen

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das Verhältnis der von den Öffnungen eingenommenen Flächen zu der Gesainbflache der Lochmaskenplatte vom Mittelboreich zu den Randbereichen der lochmaskenplatte abgestuft ist, damit die genannten Nachteile der Seitenätzung behoben werden. Dieser Ausführungsform liegt der Gedanke zugrunde, die Anzahl der Öffnungen 13 pro Flächeneinheit vom Mittelbereich zu den Randbereichen der Lochmaskenplatte abzustufen.

Bei der Ausführungsform nach Fig. 13 ist der Abstand d zwischen nebeneinander liegenden Öffnungen 13 in einer waagerechten Reihe derart abgestuft, daß er zum Randbereich hin immer mehr zunimmt.

Die so aufgebaut© Lochmaskenplatte kann z.B. mit Hilfe der Belichtungsvorrichtung 60 (Fig. 14) hergestellt v/erden. Die Belichtungsvorrichtung nach Fig. 14 entspricht im Aufbau weitgehend der nach Fig. 4. Folglich sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen und ihre erneute Beschreibung soll unterbleiben. Die Ausführung nach Fig. 14 unterscheidet 3ich-von der nach Fig. 4 dadurch, daß zwischen dem Streifenschirm 22 und dem lichtempfindlichen Film 24 eine konkave Linse 61 angeordnet. ist, die nur auf einer Seite konkav und auf der anderen Seite plan ist. Somit wird das Licht, das von dem Streifenschirm 22 kommt, durch die konkave Linse 61 zerstreut, und das auf den lichtempfindlichen Film 24 auftreffende zerstreute Licht bewirkt, daß der Abstand zwischen nebeneinander liegenden Streifenabbildungen zu den Kanten des Filmes 24 hin zunimmt. Yfenn der Abstand und die Breite der ursprünglichen Streifen konstant ist, so nimmt die Breite der Öffnungen im selben Maße, wie der Abstand zwischen zwei nebeneinander liegenden Öffnungen in einer Reihe zu. Wenn Öffnungen gleicher Breite gewünscht sind, während der Abstand zwischen den nebeneinander liegenden Öffnungen zunehmen soll, kann eine zusätzliche Abstufungscharakteristik vorher zum Ausgleich für die Vergrößerungswirkung der Konkavlinse 61 vorgesehen sein, indem nur die Breite der Öffnungen zum Umfang hin verringert wird.

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Bei der Ausfulirungsform nach Fig. 15 nimmt die Breite der strahldurclilas3enden Öffnungen 13 vom Mittelbereicb. zum Randbereich hin ab, und der Abstand zwischen nebeneinander liegenden Öffnungen nimmt vom Hittelbereich zu den Randbereichen der Lochmaske 11 hin zu. Damit lassen sich entsprechedne Wirkungen wie mit den vorher beschriebenen Ausführungsformen erzielen.

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Claims

Patentansprüche :

Lochmaske für Kathodenstrahl-Farbbildröhren, dadurch gekennzeichnet, daß eine dünne Metallplatte rait einer Anzahl von im wesentlichen rechteckigen , strahldurchlassenden Öffnungen (13) versehen ist, die so angeordnet sind, daß * das Verhältnis der von den rechteckigen, strahldurchlassenden Öffnungen (13) pro Flächeneinheit zu der Gesamtfläche der Metallplatte vom Mittelbereich zu den Randbereichen der Metallplatte hin abgestuft ist.
2. Lochmaske nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die rechteckigen, strahldurchlassenden Öffnungen (13) derart abgestuft sind, daß die Breite der Öffnungen von einem Größtwert in dem Mittelbereich der Lochmaskenplatte zu einem Kleinstwert in den Randbereichen der Platte hin abnimmt.
3. Lochmaske nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die rechteckigen, strahldurchlassenden Öffnungen (13) derart abgestuft sind, daß die Länge der Öffnungen von einer größten Länge im Mittelbereich der Platte zu einer kleinsten Länge in den Randbereichen der Platte hin abnimmt.
4. Lochplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die rechteckigen, strahldurchlässigen Öffnungen (13) insofern abgestuft sind, als der Abstand zwischen nebeneinander liegenden Öffnungen in den Reihen in Abtast richtung vom Mittelbereich der Platte zu den Randbereichen hin größer wird.
5. Lochmaske nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die recht-eckigen, strahldurchlässigen Öffnungen (13) derart abgestuft sind, daß die Breite der Öffnungen in den Reihen in Äbtast richtung vom Mittelbereich der Platte zu den Rand-

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Bereichen der Platte hin kleiner wird.
6. Verfahren zur Herstellung einer Lochmaske für eine Kathodens trahl-Farbbildröhre entsprechend Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine Schablonenplatte' mit einer Vielzahl von im wesentlichen rechteckigen Formen gebildet wird, deren jede einer rechtwinkligen Öffnung entspricht, die in der Lochmaske ausgebildet wird und das Durchtreten des Elektronenstrahls gestattet, wobei die Schablonenplatte derart ausgebildet wird, daß das Verhältnis der Flächen der genannten Formen zur Gesamtfläche vom Mittelbereich der Schablonenplatte zu den Randbereichen hin verändert wird, und daß auf der Lochmaskenplatte Öffnungen entsprechend den Formen der Schablonenplatte durch Photoätzen hergestellt werden.

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