DE19927945A1 - Lichtemittierendes Bauelement mit feinstrukturiertem reflektierendem Kontakt - Google Patents
Lichtemittierendes Bauelement mit feinstrukturiertem reflektierendem KontaktInfo
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Abstract
Die Erfindung ist ein lichtemittierendes AlInGaN-Bauelement (AlInGaN-LED), das einen p-Typ-Kontakt umfaßt, der aus einem hochreflektierenden Material mit eng beabstandeten Öffnungen hergestellt ist, die die Effizienz der Lichtextraktion erhöhen. Die minimale Abmessung der Öffnungen ist 1/4 der Wellenlänge des emittierten Lichts und ist vorzugsweise mit der Strecke vergleichbar, die der Strom in lateraler Richtung in den p-Schichten des Bauelements fließt. Die Öffnungen in dem Metall nehmen 20-80% der Oberfläche des Kontaktes ein und sind fein beabstandet, um eine Transparenz und eine gleichmäßige Lichtemission zu erreichen. Eine optionale dielektrische Verkapselung kann über dem p-Kontakt angebracht sein, um die Haftung des Kontakts, indem derselbe in regelmäßigen Intervallen befestigt wird, und die Lichtextraktion zu verbessern. Die Oberfläche der epitaktischen Schichten kann in den Öffnungen geätzt werden, um Licht in den Halbleiter zu streuen, was die Lichtextraktion erhöht. Eine reflektierende Schicht kann an der unteren Oberfläche der LED angebracht werden, um die Effizienz der Lichtextraktion zu erhöhen.
Description
Die vorliegende Erfindung richtet sich auf das Verbessern
der Lichtextraktion aus lichtemittierenden Bauelementen.
Die Lichtextraktion von einem lichtemittierenden Halbleiter
bauelement (LED) ist aufgrund des großen optischen Bre
chungsindex (n ~ 2,2-3,8) des Halbleitermaterials relativ zu
der Umgebung, typischerweise Luft (n ~ 1) oder transparentes
Epoxidharz (n ~ 1,5), begrenzt. Die Menge der Extraktion
hängt stark von der makroskopischen Geometrie der LED und
von dem dreidimensionalen Emissionsprofil des Lichts, das in
dem aktiven Bereich oder in der lichtemittierenden Schicht
erzeugt wird, ab. Bevor dasselbe austreten kann, wird der
größte Teil des Lichts, das in dem Bauelement erzeugt wird,
innerhalb durch die Absorption in den umgebenden Materiali
en, d. h. epitaktische Schichten, begrenzende Gebiete, ein
Substrat, Chipbefestigungsmaterialien und elektrische Kon
takte, gedämpft.
Typische Bauelemente erzeugen Photonen am p-n-Übergang, die
in einen breiten Bereich von Richtungen (eine annähernd iso
trope Emission) emittiert werden. Folglich fällt ein großer
Prozentsatz der emittierten Lichtstrahlen in Winkeln, die
größer als der kritische Winkel zum Anregen des Halbleiters
sind, auf die Bauelement/Umgebungs-Grenzfläche. Diese Strah
len werden innerhalb des Bauelements reflektiert und sind
für eine Absorption innerhalb des Bauelements anfällig. Für
eine typische GaN-basierte LED fallen ~ 11% der Photonen in
dem kritischen Winkel (zur Transmission in das Epoxidharz)
auf die obere Oberfläche. Das verbleibende Licht unterliegt
mindestens einer inneren Reflexion, bevor dasselbe aus dem
Chip austritt.
Das innen reflektierte Licht in AlInGaN-LEDs ist teilweise
für eine Absorption durch den p-Schicht-Kontakt anfällig.
Diese Kontakte müssen im wesentlichen den gesamten emittie
renden p-n-Übergangsbereich bedecken, da sich der Strom in
den Halbleiterschichten in lateraler Richtung nicht aus
breiten kann. Da die Leitfähigkeit der epitaktischen p-Typ-
Schichten extrem niedrig ist, typischerweise < 20000
Ohm/Fläche, wird der Strom direkt unter das Kontaktmetall
oder innerhalb etwa 1 µm der Kontaktkannte begrenzt.
Um es zu ermöglichen, daß Licht austreten kann, verwenden
AlInGaN-LEDs p-Kontakte, die aus extrem dünnen Metallschich
ten bestehen. Diese sind typischerweise zwischen 50 und
500 Å dick und sind aus AuNi oder ähnlichen Legierungen her
gestellt. Während diese dünnen "halbtransparenten" Schichten
den größten Teil des Lichtes durchlassen, das auf dieselben
unter einem nahezu senkrechten Einfall trifft, wird typi
scherweise mehr als 20% von diesem Licht absorbiert.
Es gibt mehrere Probleme mit halbtransparenten Kontakten.
Erstens absorbieren die Kontakte einen großen Bruchteil des
LED-Lichts. Obwohl dieselben bis zu etwa 80% des Lichts,
mit nahezu senkrechtem Einfall durchlassen, sind dieselben
bei Winkeln, die größer als der kritische Winkel (für die
das Licht aus der LED austreten kann) sind, relativ absor
bierend. Da das meiste LED-Licht innen reflektiert wird,
trifft es oft die teilweise absorbierenden Kontakte. Bei
LEDs, die auf Saphirsubstraten hergestellt sind, wird ~ 70%
des emittierten Lichts zwischen der absorbierenden Metall
oberfläche und dem Substrat eingefangen. Da das Kontakt
metall die Intensität dieses Lichts schnell dämpft, können
diese halbtransparenten Metallfilme den Großteil des emit
tierten Lichtes absorbieren.
Ein zweites Problem besteht darin, daß, da die halbtrans
parenten Filme sehr dünn sind, in der Größenordnung einiger
100 Å, die Filme die rauhen Halbleiterflächen nicht voll
ständig bedecken. Dies ist besonders unvorteilhaft, da rauhe
Oberflächen die Lichtextraktion verbessern können. Halb
transparente Filme leiten Strom über rauhe oder unebene
Oberflächen nicht gleichmäßig und können unterbrochen
werden. Dies bewirkt, daß die LED Licht nicht gleichmäßig
oder in Abschnitten des Bauelementes überhaupt nicht
emittiert.
Ein drittes Problem bei dünnen Metallen besteht darin, daß
dieselben sehr leicht zerkratzt werden können, was folglich
eine nicht durchgehend leitende Oberfläche erzeugt. Dies
macht die Handhabung derselben schwierig, was den LED-Her
stellungsprozeß verkompliziert.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein
verlustarmes, gleichmäßig emittierendes und ohne weiteres
herstellbares, lichtemittierendes Bauelement und ein
Verfahren zum Strukturieren eines Kontaktes eines derartig
verbesserten lichtemittierenden Bauelements zu schaffen.
Diese Aufgabe wird durch ein lichtemittierendes Bauelement
gemäß Anspruch 1 und ein Verfahren zum Strukturieren eines
Kontakts eines lichtemittierenden Bauelements gemäß Anspruch
11 gelöst.
Die vorliegende Erfindung ist ein lichtemittierendes
AlInGaN-Bauelement, das einen feinstrukturierten reflektie
renden p-Kontakt umfaßt, der die Lichtextraktionseffizienz
erhöht. Diese Kontakte ermöglichen es dem Licht, durch die
selben durchzulaufen, da dieselben ein Array von eng beab
standeten Öffnungen enthalten. Daher wird das Licht, das auf
die Kontakte auftrifft, entweder durch die Öffnungen laufen,
oder dasselbe wird mit sehr geringem Verlust in die LED
zurück reflektiert. Dies reduziert wesentlich die Absorption
von Licht, die bei herkömmlichen halbtransparenten Kontakten
auftritt. Der Kontakt sieht eine Stromausbreitung mit nie
drigem Widerstand (sogar über rauhe Halbleiter-Oberflächen)
vor, da dasselbe aus dickem, hochleitendem Metall herge
stellt sein kann. Öffnungen in dem Kontaktmetall nehmen 20
bis 80% der gesamten Kontaktfläche ein und sind fein beab
standet, um eine Transparenz und eine gleichmäßige Licht
emission zu erreichen. Der Kontakt ist aus hochreflektieren
dem Material, wie beispielsweise Ag, Al oder Rhodium, herge
stellt. Dies gewährleistet, daß Licht, das nicht durch den
Kontakt durchläuft, mit sehr geringer optischer Absorption
reflektiert wird. Eine wahlweise dielektrische Verkapselung,
z. B. Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Aluminiumnitrid oder
Aluminiumoxid, kann über dem p-dotierten Kontakt aufgebracht
werden. Die Oberfläche der aktiven Region kann wahlweise mit
geätzten Merkmalen aufgerauht werden, die mit den Öffnungen
in dem Metall selbstausgerichtet sind. Diese Merkmale streu
en das innen reflektierte Licht, was die Möglichkeiten zur
Lichtextraktion erhöht. Es kann eine reflektierende Schicht
an der unteren Oberfläche der LED angebracht werden, um wei
ter die Effizienz der Lichtextraktion zu verbessern.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung
sind nachfolgend unter Bezugnahme auf die beiliegenden
Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der vorliegen
den Erfindung.
Fig. 2 ein Prozeßflußdiagramm der vorliegenden Erfindung.
Fig. 3 einen Vergleich der Lichteffizienz der vorliegenden
Erfindung mit bekannten LEDs unter Verwendung von
halbtransparenten AuNi-Filmen.
Fig. 4 ein weiteres bevorzugtes Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung.
Fig. 5 ein weiteres bevorzugtes Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung.
Eine typische GaN-basierte LED umfaßt eine Heteroübergangs
struktur, die eine Emissionsschicht aufweist, die zwischen
einer n-Typ- und einer p-Typ-Schicht angeordnet ist. Ein
p-Typ-Kontakt ist mit der p-Typ-Schicht elektrisch verbun
den, während ein n-Typ-Kontakt mit der n-Typ-Schicht elek
trisch verbunden ist. Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung, ein Heteroübergang-Bauelement
10, das eine Emissionsschicht 14 aufweist, die zwischen ei
ner n-Typ-Schicht 12 und einer p-Typ-Schicht 16 positioniert
ist, die auf einem Substrat hergestellt wurden. Auf der
Rückseite des Substrats ist ein Reflektor 9 positioniert.
Ein n-Kontakt 18 ist mit der n-Typ-Schicht 12 elektrisch
verbunden, während der p-Kontakt 20 mit der p-Typ-Schicht 16
elektrisch verbunden ist. Beide elektrischen Kontakte sind
vorzugsweise aus reflektierenden Metallen hergestellt, d. h.
Metalle, die mehr als 70% von dem senkrecht einfallenden
sichtbaren Licht reflektieren. Eine p-Bond-Anschlußfläche 21
ist auf dem p-Kontakt positioniert.
Gemäß der vorliegenden Erfindung, umfaßt der p-Typ-Kontakt
20 eine fein beabstandete Struktur von Öffnungen, die es dem
Licht ermöglicht, durch den Kontakt zu laufen. Die Öffnungen
müssen klein sein, so daß der p-n-Übergang Strom in die Öff
nungen (zumindest teilweise) leiten kann. Um sicherzustel
len, daß Licht durch den Kontakt laufen kann, muß die Größe
der Öffnung größer als ungefähr ein Viertel der Wellenlänge
des sichtbaren Lichts (λ) in dem Materialsystem sein. Zur
Darstellung reicht das λ von sichtbarem Licht in Luft von
400 bis 700 Nanometer. Innerhalb von GaN reicht λ von 160
bis 285 nm. Die minimale Abmessung der Öffnung sollte zumin
dest 160 nm betragen.
Die bevorzugte Abmessung der Öffnung ist durch die Ausbrei
tung des Stroms in der p-Typ-Schicht 16 bestimmt. Damit der
p-n-Übergang 14 direkt unter den Öffnungen Licht emittiert,
muß Strom von der Kante des Metalls zu dem Übergangsbereich
unter der Öffnung fließen. Daher sollte die minimale Abmes
sung ungefähr gleich der Strecke sein, die der Strom in
lateraler Richtung in der LED fließt. Typische AlInGaN-
Bauelemente weisen p-Schichten, die 0,25-0,5 µm dick sind,
mit Flächenwiderständen, die größer als 20000 Ohm/Fläche
sind, auf. Daher breitet sich der Strom lediglich ungefähr
in einem Bereich ≦ 1 µm von der Kontaktkante aus. Da der
Strom von den Kontaktmetallen, von allen Seiten der Öffnun
gen fließt, beträgt eine bevorzugte minimale Abmessung der
Öffnung 0,5-2 µm. Experimentelle Bauelemente wurden auf
gebaut, deren p-Schichten < 1 µm dick sind. Für diese Dioden
ist die bevorzugte minimale Abmessung 1-4 µm. Die Öffnun
gen sollten so groß wie möglich sein, um eine Lichttrans
mission zu ermöglichen und die Herstellung zu erleichtern.
Dieselben sollten jedoch im Vergleich zu der Ausdehnung des
lateralen Stromflusses nicht groß sein, da sonst Bereiche
der LED verschwendet werden, und die LED "fleckenhaftes"
Emissionsmuster aufweisen wird.
Die Form der Öffnungen können gleichmäßige Muster, wie bei
spielsweise Kreise, Quadrate, ein Liniengitter, Wabenmuster
sein, oder dieselben können willkürlich geformt sein. Das
Metall muß um die Öffnungen durchgehend verbunden sein. Die
Öffnungen in dem Metallkontakt nehmen bevorzugt 20 bis 80%
des gesamten Kontaktbereichs ein. Unterhalb von 20% trans
mittieren die Kontakte nicht genug Licht. Dadurch werden
Photonen in der LED gefangen, was dieselben für eine wieder
holte Absorption anfällig macht. Oberhalb von 80% wird es
nicht genügend Metall geben, um Strom unter Verwendung von
Metallen mit Merkmalsgrößen, die ohne weiteres hergestellt
werden können, gleichmäßig auszubreiten.
Das p-Kontakt-Metall ist vorzugsweise eine dicke Schicht,
z. B. 1000 bis 30000 Å. Dies stellt sicher, daß der Kontakt
den Strom entlang des Bauelementes mit einem niedrigen Wi
derstand ausbreitet, und daß derselbe jede Oberflächentopo
graphie auf dem Wafer effektiv abdeckt. Das strukturierte
Metall kann alternativ ausreichend dünn hergestellt werden,
damit es halbtransparent ist. In diesem Fall wird die Effi
zienz des Bauelementes durch die Erfindung erhöht, die Vor
teile einer dicken Metallisierung (wie beispielsweise die
Fähigkeit, über rauhe Oberflächen zu leiten), werden jedoch
nicht realisiert. Das leitfähige Material sollte ein reflek
tierendes Metall sein, vorzugsweise Silber, Aluminium, Rho
dium, Legierungen von Ag, Al, Rh oder Mehrschicht-Kontakte,
bei denen Ag, Al oder Rh Bestandteile sind, die das Reflex
ionsvermögen des Kontakts < 70% machen. Die Kontakte können
mit weniger reflektierenden Metallen, wie beispielsweise
NiAu, Pd, TiPt hergestellt werden. LEDs, die auf diese Weise
hergestellt werden, sind jedoch weniger effizient.
Der bevorzugte p-Kontakt ist ein "perforiertes" Silbernetz,
das durch Ätzen eines Arrays von Löchern in Ag gebildet
wird. Silber wird verwendet, da es das größte Reflexions
vermögen unter den Metallen besitzt und einen ohmschen Kon
takt mit niedrigem Widerstand mit p-Typ GaN bilden kann. Die
n- und p-Typ-Bond-Anschlußflächen sind aufgrund des hohen
Reflexionsvermögens (ungefähr 90%) und der guten Haftung
desselben an GaN und da dasselbe einen Kontakt mit niedrigem
Widerstand mit n-Typ GaN bildet, aus Al hergestellt.
Bei allen Ausführungsbeispielen trifft Licht, das auf die
obere Oberfläche der LED einfällt, entweder auf das hoch
reflektierende Metall oder auf einen nicht metallisierten
Abschnitt des Bauelementes. Wenn das Licht auf den nicht
metallisierten Teil trifft, wird es aus dem Chip austreten
oder ohne Dämpfung innen reflektiert werden. Falls der Spie
gel-Abschnitt getroffen wird, wird das Licht mit minimaler
Dämpfung innen reflektiert. Dieses Licht wird in das Bauele
ment hineingestreut und tritt durch die Seiten des Bauele
ments aus oder fällt wieder auf die obere Oberfläche. Da das
Licht lediglich minimal gedämpft wird, kann dasselbe sehr
oft auftreffen und hat viele Möglichkeiten aus dem Chip aus
zutreten. Daher verbessern dicke, halbdurchgehende Metall
filme die Lichtextraktion aus der LED, sogar wenn sie Ab
schnitte der oberen Oberfläche verdecken.
Typischerweise werden LEDs derart entworfen, daß lichtun
durchlässige Kontakte (oder die Kontaktflächen) so klein wie
möglich sind, um die Verdeckung der Chipoberfläche zu mini
mieren. Die vorliegende Erfindung hebt sich wesentlich von
dem Stand der Technik ab. In diesem Fall wird die Lichtex
traktion trotz der Verdeckung verbessert, da die ohmschen
Kontakte ein hohes Reflexionsvermögen besitzen, das Substrat
auf der Rückseite mit einer reflektierenden Beschichtung
hergestellt ist und die epitaktischen Materialien und das
Substrat das emittierte Licht nicht wesentlich selbst absor
bieren. Somit bewegt sich das Licht sehr oft durch den Chip,
wobei dasselbe viele Möglichkeiten hat, auszutreten, ohne
absorbiert zu werden.
Da die feinstrukturierten Kontakte sehr viel dicker sein
können als halbtransparente Metalle, ist der Schichtwider
stand der Kontaktschichten ebenfalls niedriger. Dies gewähr
leistet, daß der Kontakt keine Stromansammlung in dem Bau
element verursacht. Dickere Kontakte bedecken ferner effek
tiv, rauhe und texturierte Oberflächen. Folglich kann die
Halbleiteroberfläche absichtlich aufgerauht werden, um die
Lichtextraktion zu verbessern. Die epitaktischen LED-Filme
können ferner unter einer breiten Anzahl von Bedingungen
gewachsen werden. Speziell können Schichten, die nach dem
p-n-Übergang gewachsen werden, bei Temperaturen unter 1000°
gewachsen werden. Dieser Aufwachstemperaturbereich minimiert
den thermischen Schaden der aktiven Schicht, der während des
Aufwachsens auftreten kann, führt jedoch zu rauhen oder
unebenen Oberflächen, die unter Verwendung einer dünnen
Metallisierung nicht ohne weiteres bedeckt werden können.
Fig. 2 zeigt ein Prozeßflußdiagramm, um die Kontakte aufzu
bauen. Bei einem Schritt 100 wird das reflektierende Materi
al über die p-Typ Schicht der LED aufgebracht. Bei einem
Schritt 110 wird das Bauelement geglüht oder ausgeheilt. Bei
einem Schritt 120 wird Lack oder Resist aufgebracht und be
lichtet, um die Struktur der Öffnungen zu definieren. Bei
einem Schritt 130 wird die Struktur in das Kontaktmetall und
wahlweise in die epitaktischen Schichten der LED geätzt. Das
Ätzen kann durch chemisches Ätzen, Ionenfräsen, reaktives
Ionenätzen etc. durchgeführt werden. Bei einem Schritt 140
wird der Lack entfernt. Bei einem Schritt 150 wird die wahl
weise dielektrische Verkapselung über dem Kontakt aufge
bracht.
Eine weitere Möglichkeit, die Öffnungen zu bilden, besteht
darin, den Kontakt bei erhöhten Temperaturen zu glühen.
Unter geeigneten Bedingungen werden die Oberflächenspannun
gen bewirken, daß sich Öffnungen in dem Metall entwickeln.
Beispielsweise wird eine 1000 Å dicke Silberschicht die
Oberfläche von GaN bei 600°C entnetzen, was nach einigen
Minuten des Glühens ein Netz von offenen Räumen hinterläßt.
Fig. 3 stellt die Ausgangsleistung für LEDs, die gemäß der
Erfindung hergestellt sind, und für LEDs, die mit einem
herkömmlichen halbtransparenten AuNi-Kontakt hergestellt
sind, als eine Funktion des Treibstroms, dar. Die LEDs, die
mit feinstrukturierten Ag-Kontakten hergestellt sind, sind
bei allen Stromstärken 1,5-2 mal effizienter als die be
kannten LEDs.
Fig. 4 zeigt ein weiteres bevorzugtes Ausführungsbeispiel.
Die obere Oberfläche wurde in einem Dielektrikum, z. B. Alu
miniumoxid, Siliziumnitrid, Aluminiumnitrid, Hafniumoxid
oder Titanoxid verkapselt, das einen Brechungsindex auf
weist, der größer als 1,5 ist. Wenn diese Schicht 22 einen
größeren Brechungsindex als das Epoxidharz aufweist, das die
LED umgibt, erhöht dies die Wahrscheinlichkeit, daß Licht
durch die Öffnungen in die Silberschicht laufen kann. Die
Verkapselung ermöglicht, daß das Licht, eher über als unter
dem Silberspiegel innen reflektiert wird. Dies erhöht die
Chance, derselben ohne Dämpfung auszutreten. Zusätzlich
verbessert die Verkapselung die Haftung der Metallschicht an
der LED-Oberfläche, indem das Metall an die offenen Räume
entlang der Oberfläche gefügt wird. Dies ist vor allem vor
teilhaft, wenn der Kontakt aus Silber hergestellt ist. Das
Dielektrikum schützt ferner die Metallschicht vor Kratzern,
die während der Herstellung entstehen können, und schützt
dieselbe vor einem umweltbedingten Qualitätsverlust, wie
z. B. vor einer Oxidation oder einem Anlaufen.
Fig. 5 zeigt ein weiteres bevorzugtes Ausführungsbeispiel.
Die obere Oberfläche der LED ist vorzugsweise in Ausrichtung
mit den Öffnungen in den Kontakt aufgerauht. Dies kann durch
Ätzen des GaN auf eine selbstausrichtende Art und Weise wäh
rend des gleichen lithographischen Schritts erreicht werden,
der verwendet wird, um den Kontakt zu strukturieren. Die ge
ätzten Löcher können sich bis in die p-Schicht 20 erstrecken
oder können bis zu der Tiefe des Substrats 8 geätzt werden.
Die aufgerauhte Oberfläche streut Licht (Licht, das sonst
aufgrund einer Totalreflexion gefangen ist), in die Halb
leiterschichten. Ein Anteil des Lichts wird unter Winkeln
reflektiert, bei denen es austritt, womit die Effizienz der
Extraktion der LED erhöht wird.
Das AlInGaN-Bauelement kann ferner Legierungen von AlInGaN
umfassen, bei denen ein Bruchteil des Stickstoffs durch
Phosphor oder Arsen ersetzt ist. Der feinstrukturierte re
flektierende Kontakt kann ferner auf einer AlInGaN-LED ver
wendet werden, die eine vertikale Geometrie aufweist, z. B.
eine LED mit einem p-Kontakt an einer Seite des Chips und
einem n-Kontakt an der anderen Seite. Die Erfindung kann mit
einer aufgerauhten Grenzfläche zwischen Substrat und epitak
tischer Schicht, z. B. unter Verwendung eines Substrats, das
absichtlich vor dem Aufwachsen des Gallium-Nitrids aufge
rauht oder texturiert wurde, um eine Lichtstreuung vorzu
sehen, verwendet werden.
Claims (15)
1. Lichtemittierendes Bauelement, das folgende Merkmale
aufweist:
ein Bauelement mit Heteroübergang (10), wobei das Bauelement ein AlInGaN-Bauelement ist, das folgende Merkmale aufweist:
eine n-Typ-Schicht (12),
eine p-Typ-Schicht (16), und
eine Emissionsschicht (14), die zwischen der n- Typ-Schicht und der p-Typ-Schicht positioniert ist und wirksam ist, um sichtbares Licht A zu emittie ren; und
zwei Kontakte aus elektrisch leitfähigem Material (18, 20), wobei einer derselben ein n-Typ-Kontakt (18) ist, der mit der n-Typ Schicht verbunden ist, und der andere derselben ein p-Typ-Kontakt (20) ist, der mit der p-Typ-Schicht verbunden ist, wobei mindestens einer der zwei Kontakte eine Struktur von Öffnungen mit einer minimalen Abmessung von 1/4 λ umfaßt, und wobei das Licht durch die Öffnungen emittiert werden kann.
ein Bauelement mit Heteroübergang (10), wobei das Bauelement ein AlInGaN-Bauelement ist, das folgende Merkmale aufweist:
eine n-Typ-Schicht (12),
eine p-Typ-Schicht (16), und
eine Emissionsschicht (14), die zwischen der n- Typ-Schicht und der p-Typ-Schicht positioniert ist und wirksam ist, um sichtbares Licht A zu emittie ren; und
zwei Kontakte aus elektrisch leitfähigem Material (18, 20), wobei einer derselben ein n-Typ-Kontakt (18) ist, der mit der n-Typ Schicht verbunden ist, und der andere derselben ein p-Typ-Kontakt (20) ist, der mit der p-Typ-Schicht verbunden ist, wobei mindestens einer der zwei Kontakte eine Struktur von Öffnungen mit einer minimalen Abmessung von 1/4 λ umfaßt, und wobei das Licht durch die Öffnungen emittiert werden kann.
2. Lichtemittierendes Bauelement gemäß Anspruch 1, bei dem
die Struktur der Öffnungen 20-80% der oberen Oberflä
che des p-Typ-Kontaktes bedeckt.
3. Lichtemittierendes Bauelement gemäß Anspruch 1 oder 2,
bei dem mindestens einer der zwei Kontakte (18, 20) ein
reflektierendes Metall ist, das ein Reflexionsvermögen
bei senkrechtem Einfall aufweist, das 70% überschrei
tet.
4. Lichtemittierendes Bauelement gemäß einem der Ansprüche
1 bis 3, bei dem der p-Kontakt (20) aus einer Gruppe,
die Ag, Al, Rh und Legierungen von Ag, Al und Rh umfaßt,
ausgewählt ist.
5. Lichtemittierendes Bauelement gemäß einem der Ansprüche
1 bis 4, bei dem der p-Kontakt (20) ein Mehrschichtkon
takt ist, der ein reflektierendes Metall umfaßt, wobei
das reflektierende Metall aus einer Gruppe, die Ag, Al
und Rh umfaßt, ausgewählt ist.
6. Lichtemittierendes Bauelement gemäß Anspruch 1, bei dem
das Bauelement mit Heteroübergang (10) eine texturierte
Oberfläche unter dem Kontakt mit einer Struktur von
Öffnungen aufweist, wobei die texturierte Oberfläche die
Menge an erhältlichem Licht erhöht.
7. Lichtemittierendes Bauelement gemäß Anspruch 6, bei dem
die texturierte Oberfläche mit der Struktur von Öffnun
gen ausgerichtet ist.
8. Lichtemittierendes Bauelement gemäß Anspruch 4 oder 6,
das ferner eine dielektrische Verkapselung (22) auf
weist, die über dem Kontakt positioniert ist, der die
Struktur von Öffnungen aufweist, die wirksam ist, um die
Haftung durch Befestigen des Metalls in regelmäßigen Ab
ständen zu verbessern.
9. Lichtemittierendes Bauelement gemäß Anspruch 8, bei dem
die dielektrische Verkapselung (22) aus einer Gruppe
ausgewählt ist, die Siliziumdioxid, Siliziumnitrid,
Aluminiumnitrid, Titandioxid und Aluminiumoxid umfaßt.
10. Lichtemittierendes Bauelement gemäß Anspruch 1, bei dem
die Öffnungen eine Form aufweisen, die aus einer Gruppe
ausgewählt ist, die Kreise, Rechtecke, Liniengitter und
Wabenmuster umfaßt.
11. Verfahren zum Strukturieren eines Kontakts eines licht
emittierenden Bauelementes, mit folgenden Schritten:
Aufbringen eines elektrisch leitfähigen Materials auf einem Bauelement mit Heteroübergang, das wirksam ist, um sichtbares Licht mit einer Wellenlänge λ (100) zu emit tieren; und
Strukturieren eines ersten Kontakts aus dem elektrisch leitfähigen Material derart, daß der erste Kontakt eine definierte Struktur von Öffnungen aufweist, die eine minimale Breite von 1/4 λ aufweisen, wobei das sichtbare Licht durch die Freiräume emittiert werden kann.
Aufbringen eines elektrisch leitfähigen Materials auf einem Bauelement mit Heteroübergang, das wirksam ist, um sichtbares Licht mit einer Wellenlänge λ (100) zu emit tieren; und
Strukturieren eines ersten Kontakts aus dem elektrisch leitfähigen Material derart, daß der erste Kontakt eine definierte Struktur von Öffnungen aufweist, die eine minimale Breite von 1/4 λ aufweisen, wobei das sichtbare Licht durch die Freiräume emittiert werden kann.
12. Verfahren zum Strukturieren eines Kontakts eines
lichtemittierenden Bauelements gemäß Anspruch 11, bei
dem der Schritt des Strukturierens des elektrisch
leitfähigen Materials folgende Schritte aufweist:
Glühen des Bauelements mit Heteroübergang (110);
Aufbringen und Belichten des Lacks, um die Struktur von Öffnungen (120) zu definieren;
Ätzen der Struktur von Öffnungen in das elektrisch leit fähige Material (130); und
Entfernen des Lacks (140).
Glühen des Bauelements mit Heteroübergang (110);
Aufbringen und Belichten des Lacks, um die Struktur von Öffnungen (120) zu definieren;
Ätzen der Struktur von Öffnungen in das elektrisch leit fähige Material (130); und
Entfernen des Lacks (140).
13. Verfahren zum Strukturieren eines Kontakts eines licht
emittierenden Bauelements gemäß Anspruch 12, bei dem der
Schritt des Ätzens der Struktur von Öffnungen (130) ein
Schritt des Ionenfräsens der Struktur in die obere Ober
fläche des Bauelements mit Heteroübergang ist.
14. Verfahren zum Strukturieren eines Kontakts eines licht
emittierenden Bauelements gemäß Anspruch 11, das ferner
den Schritt des Aufbringens einer dielektrischen Verkap
selung (150) über dem Kontakt, der eine Struktur von
Öffnungen aufweist, aufweist.
15. Verfahren zum Strukturieren eines Kontakts eines licht
emittierenden Bauelements gemäß Anspruch 11, bei dem der
Schritt des Strukturierens eines ersten Kontakts
folgende Schritte aufweist:
Aufbringen eines elektrisch leitfähigen Materials (100) auf einem Bauelement mit Heteroübergang, das wirksam ist, um sichtbares Licht zu emittieren; und
Glühen des Kontakts bei erhöhten Temperaturen (110) derart, daß die Oberflächenspannung das Bilden von Öffnungen in dem Material bewirkt.
Aufbringen eines elektrisch leitfähigen Materials (100) auf einem Bauelement mit Heteroübergang, das wirksam ist, um sichtbares Licht zu emittieren; und
Glühen des Kontakts bei erhöhten Temperaturen (110) derart, daß die Oberflächenspannung das Bilden von Öffnungen in dem Material bewirkt.
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