DE19911700A1

DE19911700A1 - Elektrophotographische Vorrichtung

Info

Publication number: DE19911700A1
Application number: DE19911700A
Authority: DE
Inventors: Akihiko Kamada; Isao Kato; Norio Sakai
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1998-03-24
Filing date: 1999-03-16
Publication date: 1999-10-07
Also published as: JPH11272125A; US6157789A

Abstract

Eine elektrophotographische Vorrichtung, die ein photoempfindliches Bauglied, einen Coronalader zum Aufladen einer Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds, eine Zuführvorrichtung für schaltungsbildendes/aufladbares Pulver zum Zuführen von schaltungsbildendem/aufladbarem Pulver zu einer latenten Bildstruktur auf dem photoempfindlichen Bauglied, eine Übertragungseinrichtung zum Übertragen des schaltungsbildenden/aufladbaren Pulvers auf der latenten Bildstruktur auf ein Keramikgrünblatt, eine Blitzlampe zum Befestigen des schaltungsbildenden/aufladbaren Pulvers, das auf das Keramikgrünblatt übertragen ist, um eine Schaltungsstruktur auf dem Keramikgrünblatt zu bilden, und eine Schaltungsstrukturbildungspositionserkennungskamera zum Erfassen einer Schaltungsstrukturbildungsposition auf dem Keramikgrünblatt aufweist. Bei der elektrophotographischen Vorrichtung werden Laserstrahlen verwendet, um eine vorbestimmte latente Bildstruktur auf einer Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds zu bilden. Selbst wenn die elektrophotographische Vorrichtung zum Bilden einer Schaltungsstruktur auf einem Druckmaterial durch ein elektrophotographisches Verfahren verwendet wird, tritt das Problem einer Schaltungsstrukturbildungspositionsverschiebung nicht auf.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf eine elektrophotographische Vorrichtung und insbesondere auf eine elektrophotographische Vorrichtung, die beim Bilden einer Schaltungsstruktur auf einem Druckmaterial durch ein elek trophotographisches Verfahren verwendet wird.

Eine elektrophotographische Vorrichtung, die beim Bilden einer vorbestimmten Schaltungsstruktur unter Verwendung ei nes Verfahrens verwendet wird, das ähnlich zu einem herkömm lichen photographischen Verfahren ist, ist in der nicht ge prüften Japanischen Patentveröffentlichung Nr. 2-257696 of fenbart. Bei dem Verfahren wird eine vorbestimmte Schal tungsstruktur auf einem Keramikgrünblatt unter Verwendung von schaltungsbildendem/aufladbarem Pulver durch elektrosta tische Kräfte gebildet. Fig. 3 stellt die Struktur einer herkömmlichen elektrophotographischen Vorrichtung dar, die beim Bilden einer Schaltungsstruktur auf einem Keramikgrün blatt verwendet wird. Die elektrophotographische Vorrichtung 50 von Fig. 3 umfaßt ein photoempfindliches Bauglied 51, ei nen Coronalader 52 zum Laden einer Oberfläche des photoemp findlichen Bauglieds 51, eine Zuführvorrichtung für ein schaltungsbildendes/aufladbares Pulver 55 zum Zuführen von schaltungsbildendem/aufladbarem Pulver 54 auf eine latente Bildstruktur an dem photoempfindlichen Bauglied 51, eine Übertragungsvorrichtung 57 zum Übertragen des aufladbaren Pulvers 54 auf der latenten Struktur auf der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds 51 auf ein Keramikgrünblatt 56, und eine Blitzlampe 58 zum Befestigen des aufladbaren Pul vers 54, das auf das Keramikgrünblatt 56 übertragen ist, um eine Schaltungsstruktur (nicht gezeigt) auf dem Keramikgrün blatt 56 zu bilden. Die elektrophotographische Vorrichtung verwendet Laserstrahlen 53 zum Bilden einer vorbestimmten latenten Bildstruktur (nicht gezeigt) auf der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds 51.

Bei der herkömmlichen elektrophotographischen Vorrichtung werden jedoch die Schaltungsstrukturbildungspositionen unter Bezugnahme auf eine Ende eines Keramikgrünblatts bestimmt. Daher werden, wenn Keramikgrünblätter zwischen das photoemp findliche Bauglied und die Übertragungsvorrichtung geschoben werden, oder wenn Keramikgrünblätter geknittert oder ver dreht werden, sowie dieselben zwischen dem photoempfindli chen Bauglied und der Übertragungsvorrichtung hindurch laufen, Schaltungsstrukturbildungspositionen um ein paar hundert Mikrometer aus den Positionen von Durchgangslöchern verschoben, die mit oberen und unteren Schichtschaltungs strukturen verbunden sind. Die oberen und unteren Schicht schaltungsstrukturen werden gebildet, wenn Keramikgrün blätter laminiert werden, und die resultierende laminierte Struktur gebrannt wird, um eine Mehrschichtverdrahtungspla tine zu bilden. Diese Verschiebung der Position verhindert eine Verbindung zwischen den Schaltungsstrukturen an den Durchgangslöchern, was einen Fehler der elektrischen Leitung bewirkt, so daß eine Platine, die nicht als eine Mehr schichtverdrahtungsplatine funktioniert, erzeugt wird.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin eine elektrophotographische Vorrichtung zum Bilden einer Schal tungsstruktur auf einem Druckmaterial durch ein elektro photographisches Verfahren zu schaffen, die die Verschiebung von Schaltungsstrukturbildungspositionen, die eine Verbin dung zwischen den Schaltungsstrukturen und den Durchgangs löchern verhindert und einen Fehler der elektrischen Leitung bewirkt, aus der Position von Durchgangslöchern vermeidet.

Diese Aufgabe wird durch eine elektrophotographische Vor richtung zum Bilden einer Schaltungsstruktur auf einem Druckmaterial durch ein elektrophotographisches Verfahren gelöst.

Um die oben beschriebenen Probleme zu überwinden, sehen bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung eine elektrophotographische Vorrichtung vor, bei der die Schaltungsstrukturpositionsverschiebung sogar dann nicht auftritt, wenn die elektrophotographische Vorrichtung beim Bilden einer Schaltungsstruktur auf einem Druckmaterial unter Verwendung eines elektrophotographischen Verfahrens verwendet wird.

Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfin dung sieht eine elektrophotographische Vorrichtung zum Bil den einer Schaltungsstruktur auf einem Druckmaterial durch ein elektrophotographisches Verfahren vor, wobei die elek trophotographische Vorrichtung folgende Merkmale aufweist: ein photoempfindliches Bauglied, eine Aufladeeinrichtung zum Aufladen einer Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds, eine Belichtungseinrichtung zum Bilden einer vorbestimmten latenten Bildstruktur auf der Oberfläche des photoempfind lichen Bauglieds, eine Zuführeinrichtung zum Zuführen eines schaltungsbildenden/aufladbaren Pulvers zu der latenten Bildstruktur auf dem photoempfindlichen Bauglied, eine Über tragungseinrichtung zum Übertragen des schaltungsbilden den/aufladbaren Pulvers auf der latenten Bildstruktur zu dem Druckmaterial, eine Befestigungseinrichtung zum Befestigen des schaltungsbildenden/aufladbaren Pulvers, das auf das Druckmaterial übertragen ist, um die Schaltungsstruktur auf dem Druckmaterial vorzusehen, und eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Schaltungsstrukturbildungsposition auf dem Druckmaterial, wobei die Erfassungseinrichtung ein Si gnal erzeugt, um die Schaltungsstrukturbildungsposition zu steuern.

Gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist die elektrophotographische Vorrichtung mit einer Erfassungs einrichtung zum Erfassen der Position einer Schaltungsstruk tur auf einem Druckmaterial versehen. Die Erfassungseinrich tung erzeugt ein Signal, um die Schaltungsstrukturbildungs position zu steuern. Daher können einzelne Schaltungsstruk turen an Positionen genau gebildet werden, bei denen diesel ben gebildet werden müssen.

Daher können, da die Position, bei der eine Schaltungsstruk tur gebildet werden muß, nicht von der entwurfsbasierten Po sition verschoben wird, Schaltungsstrukturen und Durchgangs löcher zufriedenstellend miteinander verbunden werden, was es ermöglicht, elektrische Leitungsfehler zwischen Schal tungsstrukturen und Durchgangslöchern zu verhindern. Folg lich ist das Fehlerhaftigkeitsniveau der Mehrschichtverdrah tungsplatinen niedrig.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 die Struktur eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der elektrophotographischen Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2A bis 2E Schritte zum Bilden einer Schaltungsstruktur auf einem Druckmaterial unter Verwendung der elek trophotographischen Vorrichtung von Fig. 1; und

Fig. 3 die Struktur einer herkömmlichen elektrophotogra phischen Vorrichtung.

Fig. 1 stellt die Struktur eines bevorzugten Ausführungs beispiels der elektrophotographischen Vorrichtung dar, die beim Bilden einer Schaltungsstruktur auf einem Druckmaterial gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet wird. Die elek trophotographische Vorrichtung 10 weist ein photoempfindli ches Bauglied 11, einen Coronalader 12, eine Zuführvorrich tung für schaltungsbildendes/aufladbares Pulver 15, eine Übertragungsvorrichtung 17, eine Blitzlampe 18 und eine Schaltungsstrukturbildungspositionserkennungskamera 19 auf. Der Coronalader 12, der als die Ladeeinrichtung dient, wird zum Aufladen der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds 11 verwendet. Die Zuführvorrichtung für das aufladbare Pul ver 15, die als Zuführeinrichtung dient, wird zum Zuführen von aufladbarem Pulver 14 zu einer latenten Struktur auf dem photoempfindlichen Bauglied 11 verwendet. Die Übertragungs vorrichtung 17, die als die Übertragungseinrichtung dient, wird zum Übertragen des schaltungsbildenden/aufladbaren Pul vers 14 auf einen Streifen eines Keramikgrünblatts 16, der bedruckt werden soll, verwendet. Die Blitzlampe 18, die als Befestigungseinrichtung dient, wird verwendet, um das auf ladbare Pulver 14 auf dem Keramikgrünblatt 16 zu befestigen, um eine Schaltungsstruktur (nicht gezeigt) auf dem Keramik grünblatt 16 zu bilden. Die Schaltungsstrukturbildungsposi tionserkennungskamera 19, die als Erfassungseinrichtung dient, wird verwendet, um eine Schaltungsstrukturbildungs positon auf dem Keramikgrünblatt 16 zu erfassen. Die elek trophotographische Vorrichtung verwendet Laserstrahlen 13, die als eine Belichtungseinrichtung dienen, um eine vor bestimmte latente Bildstruktur auf einer Oberfläche des pho toempfindlichen Bauglieds 11 zu bilden.

Bei der Vorrichtung 10 wird, wenn eine Schaltungsstruktur auf das Keramikgrünblatt 16 durch die Übertragungsvorrich tung 17 übertragen wurde, das Keramikgrünblatt 16 zu der Blitzlampe 18 durch einen Beförderungsriemen 20, der als Be förderungseinrichtung dient, befördert, um die Schaltungs struktur an dem Keramikgrünblatt 16 zu befestigen.

Wenn die elektrophotographische Vorrichtung 10, die die oben beschriebene Struktur aufweist, verwendet wird, wird die Schaltungsstrukturbildungspositionserkennungskamera 19 ver wendet, um Erfassungsmarkierungen, die an den Keramikgrün blättern 16 bei dem Vorverarbeitungsschritt gebildet werden, oder Durchgangslöcher zu erfassen, die obere und untere Schichtschaltungsstrukturen verbinden, um die Positionen der Schaltungsstrukturen von den Positionen der Erfassungsmar kierungen und der Durchgangslöcher bei Keramikgrünblättern 16 genau zu berechnen. Die Keramikgrünblätter 16 werden laminiert und gebrannt, um eine Mehrschichtverdrahtungspla tine zu bilden.

Wenn es eine Verschiebung bei einer beliebigen der Schal tungsstrukturbildungspositionen gibt, werden die X-Position, die Y-Position und Θ des Beförderungsriemens 20, auf dem die Keramikblätter 16 plaziert sind, korrigiert, um die Schal tungsstrukturbildungsposition genau einzustellen. Daher tritt das Problem, daß eine Schaltungsstrukturbildungsposi tion verschoben wird, nicht auf.

Fig. 2A bis 2E stellen die Schritte des Bildens einer Schal tungsstruktur an einem Keramikgrünblatt unter Verwendung der elektrophotographischen Vorrichtung 10 von Fig. 1 dar. Das Verfahren des Bildens einer Schaltungsstruktur an einem Ke ramikgrünblatt umfaßt einen Aufladeschritt, der in Fig. 2A gezeigt ist, einen Belichtungsschritt, der in Fig. 2B ge zeigt ist, einen Entwicklungsschritt, der in Fig. 2C gezeigt ist, einen Übertragungsschritt, der in Fig. 2D gezeigt ist, und einen Befestigungsschritt, der in Fig. 2E gezeigt ist. Bei dem Aufladeschritt wird eine Oberfläche des photoemp findlichen Bauglieds 11 durch den Coronalader 12 aufgeladen. Bei dem Belichtungsschritt wird die Oberfläche des photo empfindlichen Bauglieds 11 mit dem Laserstrahl 13 bestrahlt, um die vorbestimmte latente Bildstruktur 21 auf derselben zu bilden. Bei dem Entwicklungsschritt wird das aufladbare Pul ver 14 an der latenten Bildstruktur 21 auf der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds 11 durch elektrostatische Kräfte haften. Bei dem Übertragungsschritt wird dem Kera mikgrünblatt 16 eine elektrische Ladung, die entgegengesetzt zu derselben des aufladbaren Pulvers 14 ist, von der Rück seitenoberfläche desselben durch die Übertragungsvorrichtung 17 gegeben, um das aufladbare Pulver 14 zu übertragen, das verwendet wird, um die latente Bildstruktur 21 auf dem Keramikgrünblatt 16 zu bilden. Bei dem Befestigungsschritt wird das aufladbare Pulver 14, das auf das Keramikgrünblatt 16 übertragen ist, durch Bestrahlung unter Verwendung der Blitzlampe 18 befestigt, um die Schaltungsstruktur 22 auf dem Keramikgrünblatt 16 zu bilden.

Gemäß dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel ist die elektrophotographische Vorrichtung mit einer Erfassungsein richtung zum Erfassen einer Schaltungsstrukturbildungspo sition an einem Keramikgrünblatt versehen. Die Erfassungs einrichtung erzeugt ein Signal, um die Schaltungsstruktur bildungsposition zu steuern. Daher können die einzelnen Schaltungsstrukturen an den Positionen genau gebildet wer den, an denen dieselben gebildet werden müssen, so daß die Positionen, bei denen die Schaltungsstrukturen gebildet werden müssen, nicht von den entwurfsbasierten Positionen verschoben werden. Dies ermöglicht es, daß die Schaltungs strukturen und die Durchgangslöcher zufriedenstellend mit einander verbunden sind, wodurch ein elektrischer Leitungs fehler zwischen den Schaltungsstrukturen und den Durchgangs löchern verhindert wird. Folglich ist das Fehlerhaftigkeits niveau der Mehrschichtverdrahtungsplatinen niedrig.

Da die Erfassungseinrichtung eine Schaltungsstrukturbil dungspositionserkennungskamera ist, kann eine Schaltungs strukturbildungsposition ohne Kontaktieren des Keramikgrün blatts erfaßt werden. Daher ist es möglich, zu verhindern, daß die Keramikgrünblätter gekratzt werden oder dreckig wer den, so daß das Fehlerhaftigkeitsniveau der Mehrschichtver drahtungsplatinen niedrig ist.

Bei dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel wird, wenn eine Schaltungsstrukturbildungsposition verschoben wird, die Position eines Keramikgrünblatts, das bedruckt werden soll, eingestellt. Anstelle des Einstellens der Position des Kera mikgrünblatts kann jedoch die Position des photoempfindli chen Bauglieds, auf dem eine latente Bildstruktur, die schließlich eine Schaltungsstruktur wird, gebildet ist, ein gestellt werden, wenn die Schaltungsstrukturbildungsposition verschoben wird.

Obwohl das Drucken auf einem Keramikgrünblatt durchgeführt wird, kann dasselbe auf einer gebrannten Keramikplatine durchgeführt werden, wie z. B. einer Aluminiumoxidplatine, um ähnliche Effekte zu erzeugen. Bei diesem Fall besteht alles was nötig ist darin, die Durchgangslöcher zum Ver binden der Schaltungsstrukturen, die auf der Vorderseiten- und Rückseitenoberfläche der Keramikplatinen gebildet sind, oder die Erfassungsmarkierer zu erfassen.

Obwohl Streifen aus Keramikgrünblättern verwendet werden, können Keramikgrünblätterrollen verwendet werden, um ähnli che Effekte zu erzeugen.

Claims

Elektrophotographische Vorrichtung (10) zum Bilden einer Schaltungsstruktur (22) auf einem Druckmaterial (16) durch ein elektrophotographisches Verfahren, wobei die elektrophotographische Vorrichtung (10) folgende Merkmale aufweist:
ein photoempfindliches Bauglied (11);
eine Aufladeeinrichtung (12) zum Aufladen einer Ober fläche des photoempfindlichen Bauglieds (11);
eine Belichtungseinrichtung (13) zum Bilden einer vor bestimmten latenten Bildstruktur (21) auf der Ober fläche des photoempfindlichen Bauglieds (11);
eine Zuführeinrichtung (15) zum Zuführen eines schal tungsbildenden/aufladbaren Pulvers (14) zu der latenten Bildstruktur (21) auf dem photoempfindlichen Bauglied (11);
eine Übertragungseinrichtung (17) zum Übertragen des schaltungsbildenden/aufladbaren Pulvers (14) auf der latenten Bildstruktur (21) zu dem Druckmaterial (16);
eine Befestigungseinrichtung (18) zum Befestigen des schaltungsbildenden/aufladbaren Pulvers (14), das auf das Druckmaterial (16) übertragen ist, um die Schal tungsstruktur (22) auf dem Druckmaterial (16) vorzu sehen; und
eine Erfassungseinrichtung (19) zum Erfassen einer Schaltungsstrukturbildungsposition auf dem Druck material (16);
wobei die Erfassungseinrichtung (19) ein Signal er zeugt, um die Schaltungsstrukturbildungsposition zu steuern.