DE19826021A1 - Halbleiterspeichervorrichtung - Google Patents
HalbleiterspeichervorrichtungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Halbleiterspeichervor
richtung.
Speziell betrifft sie eine Halbleiterspeichervorrichtung, die
einen Test unabhängig von der Anordnung einer Ersatzzelle ermög
licht.
Fig. 7A und 7B zeigen ein Datenwertausgeben und ein Datenwer
teingeben in einer der Anmelderin bekannten, typischen Halblei
terspeichervorrichtung.
Wie in Fig. 7A gezeigt ist, geht bei der der Anmelderin bekann
ten Halbleiterspeichervorrichtung ein in einer Speicherzelle 1
gespeicherter Datenwert durch einen Leseverstärker 3 hindurch
und wird von einem Ausgabepuffer 5 ausgegeben. Hier enthält der
Ausgabepuffer 5 einen Vorverstärker 7 und einen Hauptverstärker
9, wobei der Vorverstärker 7 ein Signal DBR ausgibt.
Wie in Fig. 7B gezeigt ist, wird bei der der Anmelderin bekann
ten Halbleiterspeichervorrichtung ein Datenwert über einen Ein
gabepuffer 11 in die Speicherzelle 1 eingegeben. Hier gibt der
Eingabepuffer 11 ein Signal DBW aus.
Fig. 8 zeigt eine einen Viertelabstand verwendende Speicherzel
lenanordnung in der der Anmelderin bekannten Halbleiterspeicher
vorrichtung, bei der ein weißer Kreis eine mit einer Bitleitung
BL verbundene Speicherzelle, die einen Datenwert speichert,
zeigt, und ein schwarzer Kreis eine mit einer Bitleitung/BL
verbundene Speicherzelle, die einen invertierten Datenwert spei
chert, zeigt.
Das Speicherzellenfeld enthält Blöcke A und B, die aus normalen
Zellen gebildet sind, und Blöcke C und D, die aus Ersatzzellen
SC gebildet sind. Sogar wenn eine normale Zelle, die einen Da
tenwert (oder einen invertierten Datenwert) speichert, durch ei
ne Ersatzzelle SC, die einen invertierten Datenwert (oder Daten
wert) speichert, ersetzt ist, wenn beispielsweise der Block A
durch den Block D mit einer unterschiedlichen Zellenanordnung
ersetzt ist, wird ein Datenwert, so wie er ist, gelesen und ge
schrieben.
Wenn jedoch die Blöcke A und B durch den Block D bzw. C in Fig.
8 ersetzt sind, speichert die ersetzende Speicherzelle SC den
invertierten Datenwert des in der normalen Zelle gespeicherten
Datenwertes. Daher kann die während eines Testes aufgezwungene
Beanspruchung nicht mit der gleichen Bedingung wie bei der nor
malen Zelle auf die Ersatzzelle SC angewendet werden.
Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Halbleiterspei
chervorrichtung zur Verfügung zu stellen, die unabhängig von der
Anordnung der Ersatzzelle SC einen Test durch Anwenden der Bean
spruchung ermöglicht, wenn eine normale Zelle durch die Ersatz
zelle SC ersetzt ist.
Die Aufgabe wird durch die Halbleiterspeichervorrichtung des An
spruches 1 gelöst.
Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen ange
geben.
Entsprechend einem Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält die
Halbleiterspeichervorrichtung eine Wortleitung, eine Ersatzwort
leitung, eine die Wortleitung und die Ersatzwortleitung kreuzen
de Bitleitung, zumindest eine Speicherzelle, die an der Kreuzung
der Wortleitung und der Bitleitung angeordnet ist, zumindest ei
ne Ersatzzelle, die an der Kreuzung der Ersatzwortleitung und
der Bitleitung angeordnet ist, eine Datenwertinvertierungsschal
tung, die ein Invertierungssignal zum Invertieren eines Daten
wertes erzeugt, wenn eine Speicherzelle durch eine Ersatzzelle
ersetzt ist und die Ersatzzelle einen invertierten Datenwert be
züglich des in der Speicherzelle gespeicherten Datenwertes spei
chert, eine Umkehrschreibschaltung, die als Reaktion auf das von
der Datenwertinvertierungsschaltung gelieferte Invertierungs
signal einen in die Ersatzzelle zu schreibenden Datenwert inver
tiert, wenn der Datenwert in die den invertierten Datenwert
speichernde Ersatzzelle zu schreiben ist, und eine Umkehrlese
schaltung, die als Reaktion auf das von der Datenwertinvertie
rungsschaltung gelieferte Invertierungssignal einen aus der Er
satzzelle auszulesenden Datenwert invertiert, wenn der Datenwert
aus der den invertierten Datenwert speichernden Ersatzzelle aus
zulesen ist.
Daher besteht ein Vorteil der vorliegenden Erfindung darin, daß
die gleiche Beanspruchung wie bei einer Speicherzelle zuverläs
sig auf eine Ersatzzelle unabhängig von der Ersatzzellenanord
nung angewendet werden kann.
Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich
aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand
der Figuren, wobei gleiche oder entsprechende Teile mit den
gleichen Bezugszeichen bezeichnet sind. Von den Figuren zeigen:
Fig. 1 eine Gesamtstruktur einer Halbleiterspeicher
vorrichtung entsprechend einem ersten Ausfüh
rungsbeispiel,
Fig. 2A und 2B den Betrieb der in Fig. 1 gezeigten Halbleiter
speichervorrichtung,
Fig. 3 Strukturen des Blockbestimmungsabschnittes und
der Datenwertumwandlungssteuerschaltung, die in
Fig. 1 gezeigt sind,
Fig. 4 eine Struktur der in Fig. 2B gezeigten Umwand
lungsschaltung,
Fig. 5 eine Struktur der in Fig. 2A gezeigten Umwand
lungsschaltung,
Fig. 6 eine Gesamtstruktur einer Halbleiterspeicher
vorrichtung entsprechend einem zweiten Ausfüh
rungsbeispiel,
Fig. 7A und 7B den Betrieb einer der Anmelderin bekannten
Halbleiterspeichervorrichtung und
Fig. 8 eine Speicherzellenanordnung in der der Anmel
derin bekannten Halbleiterspeichervorrichtung.
Fig. 1 zeigt eine Gesamtstruktur einer Halbleiterspeichervor
richtung entsprechend einem ersten Ausführungsbeispiel. Wie in
Fig. 1 gezeigt ist, enthält die Halbleiterspeichervorrichtung
einen Adressenpuffer 17, der ein Adressensignal A0-A9 empfängt
und puffert, einen Zeilendekoder 13 und einen Spaltendekoder 15,
die mit dem Adressenpuffer 17 verbunden sind, einen Ersatzzei
lendekoder 14, der eine Ersatzwortleitung auswählt, eine Spei
cherzelle 1, eine Leseauffrischverstärker- und Eingabe-
/Ausgabesteuerschaltung 3, eine Programm- bzw. Programmierschal
tung 19, die mit dem Adressenpuffer 17 verbunden ist und eine
Adresse speichert, die den Ort einer fehlerhaften Speicherzelle
anzeigt. Die Halbleiterspeichervorrichtung enthält weiterhin ei
nen Blockbestimmungsabschnitt 16, der mit dem Zeilendekoder 13
und dem Ersatzzeilendekoder 14 verbunden ist, und eine Daten
wertumwandlungssteuerschaltung 20, die mit der Programmschaltung
19 und dem Blockbestimmungsabschnitt 16 verbunden ist. Die Halb
leiterspeichervorrichtung enthält weiterhin eine Takterzeugungs
schaltung 21, die ein Spaltenadressenauslösesignal/CAS und ein
Zeilenadressenauslösesignal/RAS empfängt, ein logisches Gatter
22, das ein Schreibfreigabesignal/W und ein Ausgabesignal der
Takterzeugungsschaltung 21 empfängt, einen einen Datenwert emp
fangenden Eingabepuffer 11, eine Umwandlungsschaltung 10, die
mit dem Eingabepuffer 11 verbunden ist, und einen Ausgabepuffer
5, der einen Vorverstärker 7, eine Umwandlungsschaltung 8 und
einen Hauptverstärker 9 enthält und der den Datenwert ausgibt.
Hier bildet die Speicherzelle 1 ein Feld, in dem die in Fig. 8
gezeigte Zellenanordnung mit Viertelabstand eine Einheit ist.
Fig. 3 zeigt Strukturen des Blockbestimmungsabschnittes 16 und
der Datenwertumwandlungssteuerschaltung 20, die in Fig. 1 ge
zeigt sind. Wie in Fig. 3 gezeigt ist, enthält der Blockbestim
mungsabschnitt 16 eine Exklusiv-ODER-Schaltung 160, an die ein
Normalzellenblockbestimmungssignal und ein Ersatzzellenblockbe
stimmungssignal angelegt werden.
Das Normalzellenblockbestimmungssignal wird als Reaktion auf ein
Wortleitungsauswahlsignal erzeugt und ist auf dem hohen Pegel
(H), wenn die ausgewählte Wortleitung WL in einem in Fig. 8 ge
zeigten Block A enthalten ist, und ist auf dem niedrigen Pegel
(L), wenn die Wortleitung WL in einem Block B enthalten ist.
Ähnlich wird das Ersatzzellenblockbestimmungssignal als Reaktion
auf ein Ersatzwortleitungsauswahlsignal erzeugt und ist auf dem
H-Pegel, wenn die ausgewählte Ersatzwortleitung SWL in einem in
Fig. 8 gezeigten Block C enthalten ist, und ist auf dem L-Pegel,
wenn die Ersatzwortleitung in einem Block D enthalten ist.
Die Datenwertumwandlungssteuerschaltung bzw. Datenwertverschlüs
selungssteuerschaltung 20 enthält einen mit der Exklusiv-ODER-
Schaltung 160 verbundenen Inverter 200 und ein logisches Gatter
201, das ein Ausgabesignal des Inverters 200 und ein Ersatzzei
lenfreigabesignal/SRE empfängt und ein Umwandlungs-EIN-Signal
SON ausgibt.
Nun wird der Betrieb der Halbleiterspeichervorrichtung entspre
chend dem Ausführungsbeispiel beschrieben.
Zuerst wird der Datenschreibbetrieb mit Bezug zu Fig. 2B be
schrieben. Wie in Fig. 2B gezeigt ist, wird ein in den Eingabe
puffer 11 eingegebener Datenwert DQ1-DQ8 durch den Eingabepuffer
11 gepuffert und ein Signal DBW wird von dem Eingabepuffer 11 an
die Umwandlungsschaltung 12 geliefert. Fig. 4 ist ein Schalt
bild, das eine Struktur der Umwandlungsschaltung 12 zeigt. Wie
in Fig. 4 gezeigt ist, enthält die Umwandlungsschaltung 12 eine
Exklusiv-ODER-Schaltung 120 und liefert ein Signal DBW', das ei
ne Inversion bzw. Umkehrung des Signales DBW ist, an die Spei
cherzelle 1, wenn das Umwandlungs-EIN-Signal SON auf dem H-Pegel
ist. Wenn das Umwandlungs-EIN-Signal SON auf dem L-Pegel ist,
liefert die Umwandlungsschaltung 12 das Signal DBW, das nicht
invertiert ist, an die Speicherzelle 1.
Heer wird der Fall, bei dem das Umwandlungs-EIN-Signal SON auf
den H-Pegel aktiviert ist, mit Bezug zu Fig. 3 beschrieben. Wie
in Fig. 3 gezeigt ist, muß das Ersatzzeilenfreigabesignal/SRE
auf den L-Pegel aktiviert sein, so daß das Umwandlungs-EIN-
Signal SON den H-Pegel erreicht. Das Ersatzzeilenfreigabesignal
/SRE ist ein Signal, das in der Programmschaltung 19 erzeugt
wird und auf den L-Pegel aktiviert wird, wenn eine normale Zel
le, die durch ein in den Adressenpuffer 1 eingegebenes Adressen
signal A0-A9 bestimmt ist, durch eine Ersatzzelle ersetzt ist.
Das Umwandlungs-EIN-Signal SON wird nur aktiviert, wenn eine
normale Zelle durch eine Ersatzzelle mit unterschiedlicher Zell
anordnung ersetzt ist, wenn beispielsweise der in Fig. 8 gezeig
te Block A durch den Block D ersetzt ist oder der Block B durch
den Block C ersetzt ist. In diesem Fall weisen das Normalzellen
blockbestimmungssignal und das Ersatzzellenblockbestimmungs
signal voneinander verschiedene Pegel auf. Daher gibt die Exklu
siv-ODER-Schaltung 160 ein Signal mit H-Pegel aus und das logi
sche Gatter 201 empfängt ein Signal mit L-Pegel von dem Inverter
200 und gibt das Umwandlungs-EIN-Signal SON mit H-Pegel aus.
Dann wird der Datenlesebetrieb mit Bezug zu Fig. 2A beschrieben.
Wie in Fig. 2A gezeigt ist, wird der in der Speicherzelle 1 ge
speicherte Datenwert dem Ausgabepuffer 5 über den Leseverstärker
3 geliefert. Danach wird der dem Ausgabepuffer 5 gelieferte Da
tenwert durch den Vorverstärker 7 verstärkt und ein Signal DBR
wird der Umwandlungsschaltung 8 geliefert. Fig. 5 ist ein
Schaltbild, das die Struktur der Umwandlungsschaltung 8 zeigt.
Wie in Fig. 5 gezeigt ist, enthält die Umwandlungsschaltung 8
eine Exklusiv-ODER-Schaltung 80 und liefert ein Signal DBR', das
eine Inversion bzw. Umwandlung des Signales DBR ist, an den
Hauptverstärker 9 nur, wenn das Umwandlungs-EIN-Signal SON auf
dem H-Pegel ist.
Das Umwandlungs-EIN-Signal SON erreicht den H-Pegel unter der
gleichen Bedingung, wie oben beschrieben wurde.
Wenn das Umwandlungs-EIN-Signal SON auf dem L-Pegel ist, liefert
die Umwandlungsschaltung 8 das Signal DBR, das nicht invertiert
ist, zu dem Hauptverstärker 9.
Entsprechend dem oben beschriebenen Betrieb kann, wenn eine nor
male Zelle durch eine Ersatzzelle SC ersetzt ist und die Ersatz
zelle SC einen bezüglich der normalen Zelle invertierten Daten
wert speichert, der gleiche Zustand der elektrischen Ladungen
wie bei der normalen Zelle vor dem Ersetzen durch die Ersatzzel
le SC unter Verwendung des invertierten Datenwertes des Daten
wertes, der in die normale Zelle zu schreiben ist, als Daten
wert, der in die Ersatzzelle SC zu schreiben ist, erreicht wer
den.
Wenn eine normale Zelle durch eine Ersatzzelle SC ersetzt ist,
kann daher eine Beanspruchung an alle Zellen beispielsweise in
einem Einbrenntest (Burn-in-Test), unabhängig der Anordnung der
Ersatzzelle (SC) angelegt werden.
Fig. 6 zeigt eine Gesamtstruktur einer Halbleiterspeichervor
richtung entsprechend einem zweiten Ausführungsbeispiel.
Wie in Fig. 6 gezeigt ist, weist die Halbleiterspeichervorrich
tung eine ähnliche Struktur zu der in Fig. 1 gezeigten Halblei
terspeichervorrichtung mit der Ausnahme, daß die Vorrichtung in
diesem Ausführungsbeispiel einen Normalbetriebsmodus und einen
Testmodus aufweist und weiterhin eine Adressenschlüsselschaltung
bzw. Adressenerkennungsschaltung 30 zum Gelangen in den Testmo
dus und Erzeugen eines Testsignales entsprechend einem eingege
benen Adressensignal A0-A8 bzw. A0-A9, auf.
Die Adressenschlüsselschaltung 30 erzeugt das Testsignal ent
sprechend dem Pegel des Adressensignales A0-A8 und die Datenum
wandlungssteuerschaltung 20 wird aktiviert, wenn dieses Testsi
gnal geliefert wird.
Wie oben beschrieben wurde, wird bei der Halbleiterspeichervor
richtung entsprechend dem zweiten Ausführungsbeispiel die Daten
umwandlungssteuerschaltung nur in dem Testmodus aktiviert, so
daß eine durch die Datenwertinversion in dem normalen Betriebs
modus verursachte Verringerung der Betriebsgeschwindigkeit ver
hindert werden kann.
Claims (5)
1. Halbleiterspeichervorrichtung mit
einer Wortleitung (WL),
einer Ersatzwortleitung (SWL),
einer Mehrzahl von Bitleitungen (BL, /BL), die die Wortleitung (WL) und die Ersatzwortleitung (SWL) kreuzen,
zumindest einer Speicherzelle (1), die an den Kreuzungen der Wortleitung (WL) und der Bitleitungen (BL,/BL) angeordnet ist, zumindest einer Ersatzzelle (SC), die an den Kreuzungen der Er satzwortleitung (SWL) und der Bitleitungen (BL,/BL) angeordnet ist,
einem Datenwertinvertierungsmittel (20) zum Erzeugen eines In vertierungssignales (SON) zum Invertieren eines Datenwertes, wenn die Speicherzelle (1) durch die Ersatzzelle (SO) ersetzt ist und die Ersatzzelle (SC) einen bezüglich des in der Spei cherzelle (1) gespeicherten Datenwertes invertierten Datenwert speichert,
einem Umkehrschreibmittel (10) zum Invertieren des in die Er satzzelle (SC) zu schreibenden Datenwertes entsprechend dem In vertierungssignal (SON), das von dem Datenwertinvertierungsmit tel (20) geliefert wird, wenn der Datenwert in die Ersatzzelle (SC), die den invertierten Datenwert speichert, geschrieben wird, und
einem Umkehrlesemittel (8) zum Invertieren eines aus der Ersatz zelle (SC) auszulesenden Datenwertes entsprechend dem Invertie rungssignal (SON), das von dem Datenwertinvertierungsmittel (20) geliefert wird, wenn der Datenwert aus der Ersatzzelle (SC), die den invertierten Datenwert speichert, ausgelesen wird.
einer Ersatzwortleitung (SWL),
einer Mehrzahl von Bitleitungen (BL, /BL), die die Wortleitung (WL) und die Ersatzwortleitung (SWL) kreuzen,
zumindest einer Speicherzelle (1), die an den Kreuzungen der Wortleitung (WL) und der Bitleitungen (BL,/BL) angeordnet ist, zumindest einer Ersatzzelle (SC), die an den Kreuzungen der Er satzwortleitung (SWL) und der Bitleitungen (BL,/BL) angeordnet ist,
einem Datenwertinvertierungsmittel (20) zum Erzeugen eines In vertierungssignales (SON) zum Invertieren eines Datenwertes, wenn die Speicherzelle (1) durch die Ersatzzelle (SO) ersetzt ist und die Ersatzzelle (SC) einen bezüglich des in der Spei cherzelle (1) gespeicherten Datenwertes invertierten Datenwert speichert,
einem Umkehrschreibmittel (10) zum Invertieren des in die Er satzzelle (SC) zu schreibenden Datenwertes entsprechend dem In vertierungssignal (SON), das von dem Datenwertinvertierungsmit tel (20) geliefert wird, wenn der Datenwert in die Ersatzzelle (SC), die den invertierten Datenwert speichert, geschrieben wird, und
einem Umkehrlesemittel (8) zum Invertieren eines aus der Ersatz zelle (SC) auszulesenden Datenwertes entsprechend dem Invertie rungssignal (SON), das von dem Datenwertinvertierungsmittel (20) geliefert wird, wenn der Datenwert aus der Ersatzzelle (SC), die den invertierten Datenwert speichert, ausgelesen wird.
2. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 1, weiter mit
einem Ersatzbestimmungsmittel (19) zum Bestimmen, ob die Spei
cherzelle (1), die einer eingegebenen Adresse entspricht, durch
die Ersatzzelle (SC) ersetzt wurde, und zum Erzeugen eines Er
satzfreigabesignals (/SRE), wenn die Speicherzelle (1) durch die
Ersatzzelle (SC) ersetzt wurde, wobei
das Datenwertinvertierungsmittel (20) aktiviert wird, wenn das
Ersatzfreigabesignal (/SRE) empfangen wird.
3. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wei
ter mit
einem Zellenzustandsbestimmungsmittel (16) zum Bestimmen ent sprechend einem Wortleitungsauswahlsignal, das die Wortleitung (WL) auswählt, und einem Ersatzwortleitungsauswahlsignal, das die Ersatzwortleitung (SWL) auswählt, ob die die Speicherzelle (1) ersetzende Ersatzzelle (SC) einen bezüglich des in der Spei cherzelle (1) gespeicherten Datenwertes invertierten Datenwert speichert, wobei
das Datenwertinvertierungsmittel (20) aktiviert wird, wenn das Zellenzustandsbestimmungsmittel (16) bestimmt, daß die Ersatz zelle (SC) den invertierten Datenwert speichert, und
das Datenwertinvertierungsmittel (20) deaktiviert wird, wenn das Zellenzustandsbestimmungsmittel (16) bestimmt, daß die Ersatz zelle (SC) nicht den invertierten Datenwert speichert.
einem Zellenzustandsbestimmungsmittel (16) zum Bestimmen ent sprechend einem Wortleitungsauswahlsignal, das die Wortleitung (WL) auswählt, und einem Ersatzwortleitungsauswahlsignal, das die Ersatzwortleitung (SWL) auswählt, ob die die Speicherzelle (1) ersetzende Ersatzzelle (SC) einen bezüglich des in der Spei cherzelle (1) gespeicherten Datenwertes invertierten Datenwert speichert, wobei
das Datenwertinvertierungsmittel (20) aktiviert wird, wenn das Zellenzustandsbestimmungsmittel (16) bestimmt, daß die Ersatz zelle (SC) den invertierten Datenwert speichert, und
das Datenwertinvertierungsmittel (20) deaktiviert wird, wenn das Zellenzustandsbestimmungsmittel (16) bestimmt, daß die Ersatz zelle (SC) nicht den invertierten Datenwert speichert.
4. Halbleiterspeichervorrichtung nach einem der Ansprüche 1
bis 3, weiter mit
einem Eingabepuffer (11) und
einem Ausgabepuffer (5), der einen Vorverstärker (7) und einen Hauptverstärker (9) enthält, wobei
das Umkehrschreibmittel (10) einen von dem Eingabepuffer (11) ausgegebenen Datenwert entsprechend dem Invertierungssignal (SON) invertiert und
das Umkehrlesemittel (8) einen von dem Vorverstärker (7) ausge gebenen Datenwert entsprechend dem Invertierungssignal (SON) in vertiert.
einem Eingabepuffer (11) und
einem Ausgabepuffer (5), der einen Vorverstärker (7) und einen Hauptverstärker (9) enthält, wobei
das Umkehrschreibmittel (10) einen von dem Eingabepuffer (11) ausgegebenen Datenwert entsprechend dem Invertierungssignal (SON) invertiert und
das Umkehrlesemittel (8) einen von dem Vorverstärker (7) ausge gebenen Datenwert entsprechend dem Invertierungssignal (SON) in vertiert.
5. Halbleiterspeichervorrichtung nach einem der Ansprüche 1
bis 4, weiter mit
einer Adressenschlüsselschaltung (30), die ein Testmodussignal entsprechend einem extern angelegten Adressensignal (A0-A9) er zeugt, wobei
das Datenwertinvertierungsmittel (20) entsprechend dem Testmo dussignal aktiviert wird.
einer Adressenschlüsselschaltung (30), die ein Testmodussignal entsprechend einem extern angelegten Adressensignal (A0-A9) er zeugt, wobei
das Datenwertinvertierungsmittel (20) entsprechend dem Testmo dussignal aktiviert wird.
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