DE19817368B4 - Leuchtdiode - Google Patents
Leuchtdiode Download PDFInfo
- Publication number
- DE19817368B4 DE19817368B4 DE19817368A DE19817368A DE19817368B4 DE 19817368 B4 DE19817368 B4 DE 19817368B4 DE 19817368 A DE19817368 A DE 19817368A DE 19817368 A DE19817368 A DE 19817368A DE 19817368 B4 DE19817368 B4 DE 19817368B4
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layer
- emitting diode
- light
- diode according
- window
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims abstract description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 8
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 claims 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 191
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 14
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 7
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 241001101998 Galium Species 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NHWNVPNZGGXQQV-UHFFFAOYSA-J [Si+4].[O-]N=O.[O-]N=O.[O-]N=O.[O-]N=O Chemical compound [Si+4].[O-]N=O.[O-]N=O.[O-]N=O.[O-]N=O NHWNVPNZGGXQQV-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 239000000370 acceptor Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/26—Materials of the light emitting region
- H01L33/30—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/14—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a carrier transport control structure, e.g. highly-doped semiconductor layer or current-blocking structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/14—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a carrier transport control structure, e.g. highly-doped semiconductor layer or current-blocking structure
- H01L33/145—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a carrier transport control structure, e.g. highly-doped semiconductor layer or current-blocking structure with a current-blocking structure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
Leuchtdiode mit
– einem auf einer ersten Elektrode (50) gebildeten Substrat (52),
– einer ersten Hüllschicht (540) eines ersten Leitfähigkeitstyps, welche über dem Substrat (52) gebildet ist,
– einer aktiven Schicht (542), welche auf der ersten Hüllschicht gebildet ist,
– einer zweiten Hüllschicht (544) eines zweiten Leitfähigkeitstyps, welche auf der aktiven Schicht (542) gebildet ist,
– einer Fensterschicht (56) des zweiten Leitfähigkeitstyps, welche auf der zweiten Hüllschicht (544) gebildet ist, wobei der spezifische elektrische Widerstand der Fensterschicht (56) kleiner ist als der spezifische elektrische Widerstand der zweiten Hüllschicht (544),
– einer Kontaktschicht (59) des zweiten Leitfähigkeitstyps, welche auf der Fensterschicht (56) aufgebracht ist, um einen ohmschen Kontakt zu bilden, wobei die Kontaktschicht (59) und die Fensterschicht (56) einen durch Ionenimplantationstechnik mit H+- oder O+-Ionen gebildeten hochresistiven Bereich (66) aufweisen,
– einer leitfähigen transparenten Oxidschicht (60), welche auf der Kontaktschicht (58, 59) einschließlich des...
– einem auf einer ersten Elektrode (50) gebildeten Substrat (52),
– einer ersten Hüllschicht (540) eines ersten Leitfähigkeitstyps, welche über dem Substrat (52) gebildet ist,
– einer aktiven Schicht (542), welche auf der ersten Hüllschicht gebildet ist,
– einer zweiten Hüllschicht (544) eines zweiten Leitfähigkeitstyps, welche auf der aktiven Schicht (542) gebildet ist,
– einer Fensterschicht (56) des zweiten Leitfähigkeitstyps, welche auf der zweiten Hüllschicht (544) gebildet ist, wobei der spezifische elektrische Widerstand der Fensterschicht (56) kleiner ist als der spezifische elektrische Widerstand der zweiten Hüllschicht (544),
– einer Kontaktschicht (59) des zweiten Leitfähigkeitstyps, welche auf der Fensterschicht (56) aufgebracht ist, um einen ohmschen Kontakt zu bilden, wobei die Kontaktschicht (59) und die Fensterschicht (56) einen durch Ionenimplantationstechnik mit H+- oder O+-Ionen gebildeten hochresistiven Bereich (66) aufweisen,
– einer leitfähigen transparenten Oxidschicht (60), welche auf der Kontaktschicht (58, 59) einschließlich des...
Description
- Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die Struktur einer Leuchtdiode (LED) und insbesondere auf die Struktur einer Flächenemitter-Leuchtdiode mit einer Stromsperrschicht.
- Die AlGaInP-Legierungs-Technologie ist zur Herstellung von Leuchtdioden (LEDs) mit einer Wellenlänge zwischen 550 bis 680 nm durch Anpassen des Aluminium/Galium-Verhältnisses in dem aktiven Bereich der Leuchtdioden verwendet worden. Ferner wird die metallorganische Dampfphasen-Epitaxie (metalorganic vapor phase epitaxy, MOVPE) genutzt, um effiziente AlGaInP-Heterostruktur-Vorrichtungen herzustellen. Eine konventionelle Leuchtdiode umfaßt eine doppelte Heterostruktur aus AlGaInP, welche eine auf einem n-Typ-Halbleitersubstrat aus GaAs geformte n-Typ-AlGaInP-Hüllschicht, eine auf der n-Typ-Hüllschicht geformte aktive Schicht aus AlGaInP und eine auf der aktiven Schicht gebildete p-Typ-AlGaInP-Hüllschicht aufweist.
- Für einen effizienten Betrieb der Leuchtdiode sollte sich ein eingespeister Strom gleichmäßig in lateraler Richtung ausbreiten, so daß der Strom den p-n-Übergang der doppelten Heterostruktur aus AlGaInP gleichmäßig überquert, um gleichmäßig Licht zu erzeugen. Die p-Typ-AlGaInP-Hüllschicht, welche durch einen MOVPE-Prozeß hergestellt wurde, ist sehr schwierig, mit Akzeptoren mit einer höheren Konzentration als 1018 × cm–3 zu dotieren. Ferner ist die Löcher-Beweglichkeit (etwa 10 bis 20 cm2/(V·s)) in p-Typ-AlGaInP-Halbleitern niedrig. Wegen dieser Faktoren ist der spezifische elektrische Widerstand der p-Typ-AlGaInP-Schicht vergleichbar hoch (normalerweise etwa 0,3 bis 0,6 Ohm × cm), so daß die Stromausbreitung ernsthaft beschränkt ist. Darüber hinaus vergrößert ein Anstieg von Aluminium in der Zusammensetzung von AlGaInP weiter den spezifischen elektrischen Widerstand. Folglich tendiert der Strom dazu, sich zu konzentrieren, welches häufig als Stromhäufungsproblem bezeichnet wird.
- Eine Technik, um das Stromhäufungsproblem zu lösen, ist in der
US 5 008 718 A beschrieben. Die Struktur der vorgeschlagenen Leuchtdiode ist in1 dargestellt und besteht aus einem hinteren elektrischen Kontakt10 , einem Halbleitersubstrat12 aus n-Typ-GaAs, einer doppelten Heterostruktur14 aus AlGaInP, einer Fensterschicht16 aus p-Typ-GaP und einem vorderen elektrischen Kontakt18 . Die vorstehend erwähnte doppelte Heterostruktur14 aus AlGaInP umfaßt eine untere Hüllschicht140 aus n-Typ-AlGaInP, eine aktive Schicht142 aus AlGaInP und eine obere Hüllschicht144 aus p-Typ-AlGaInP. Die Fensterschicht16 sollte aus einem Material gewählt sein, welches einen niedrigen spezifischen elektrischen Widerstand hat, so daß sich der Strom schnell ausbreiten kann, und eine größere Bandlücke aufweisen als die der AlGaInP-Schichten, so daß die Fensterschicht16 für Licht, welches von der aktiven Schicht142 von AlGaInP emitiert wird, durchlässig ist. - In Leuchtdioden zum Erzeugen von Licht in einem Spektrum von rot bis orange wird AlGaAs-Material gewählt, um die Fensterschicht
16 zu bilden. Das AlGaAs-Material hat den Vorteil, daß es eine Kristallgitterkonstante besitzt, welche mit dem darunter liegenden GaAs-Substrat12 verträglich ist. Bei einer Leuchtdiode zum Erzeugen von Licht in einem Spektrum von gelb zu grün werden GaAsP- oder GaP-Materialien benutzt, um die Fensterschicht16 zu bilden. Es ist von Nachteil, die GaAsP- oder die GaP-Materialien zu benutzen, da ihre Kristallgitterkonstanten nicht mit denen der AlGaInP-Schichten14 und des GaAs-Substrates12 verträglich ist. Diese Kristallgitterfehlanpassung verursacht eine hohe Versetzungsdichte, welche eine weniger als befriedigende optische Leistungsfähigkeit erzeugt. In Appl. Phys. Lett., vol. 61 (1992), Seite 1045, offenbaren K. H. Huang et. al. eine ähnliche Struktur mit einer dicken Schicht16 von ungefähr 50 μm Dicke. Diese Struktur erzeugt eine dreifache Leuchteffizienz im Vergleich zu einer Leuchtdiode ohne Fensterschicht und eine zweifache Leuchteffizienz im Vergleich zu einer Leuchtdiode mit einer Fensterschicht von ungefähr 10 μm Dicke. Die Herstellung dieser Struktur benötigt ungünstigerweise zwei verschiedene Prozesse der metallorganischen Dampfphasen-Epitaxie (MOVPE), um die doppelte Heterostruktur aus AlGaInP herzustellen, und eine Dampfphasen-Epitaxie (VPE), um die dicke Fensterschicht16 aus GaP zu bilden, wodurch Herstellungskosten und die Komplexität vergrößert werden. -
2 zeigt eine andere Leuchtdiode aus dem Stand der Technik, welcher in derUS 5 048 035 A offenbart ist. In dieser Fig. sind die Schichten, welche sich in ihrer Erscheinung nicht von den Strukturen aus1 unterscheiden, mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Die Leuchtdiode aus2 ist zusätzlich zu der Struktur aus1 mit einer Stromsperrschicht20 aus AlGaInP auf einem Abschnitt der doppelten Heterostruktur14 und einer Kontaktschicht22 aus GaAs zwischen der Fensterschicht16 und der Elektrode18 hergestellt. Die Stromsperrschicht20 ist in einem Abschnitt angeordnet, in dem sie zur vorderen Elektrode18 ausgerichtet ist und sich aus diesem Grund der Strom durch die Stromsperrschicht20 lateral ausbreitet. Zwei MOVPE-Prozesse sind unvorteilhafterweise bei der Herstellung dieser Struktur notwendig, welche das Bilden der Heterostruktur14 und der Stromsperrschicht20 durch einen ersten MOVPE-Prozeß, gefolgt von einer fotolithographischen Technik, um das Gebiet der Stromsperrschicht20 zu definieren, und das Bilden der Fensterschicht16 durch einen zweiten MOVPE-Prozeß sind. -
3 zeigt eine dritte Leuchtdiode nach dem Stand der Technik, welche in derUS 5 481 122 A offenbart ist. In dieser Fig. sind die Schichten, welche sich in ihrer Erscheinung nicht von der Struktur aus1 unterscheiden, mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Die Fensterschicht16 aus GaP in1 ist nun durch eine p-Typ-Kontaktschicht40 und eine leitfähige transparente Oxidschicht42 in3 ersetzt. Indiumzinnoxid (ITO) wird bevorzugt zum Bilden der leitfähigen transparenten Oxidschicht42 benutzt, welche einen hohen Durchlaßgrad von ungefähr 90% im Bereich des sichtbaren Lichts aufweist. Ferner ist deren spezifischer elektrischer Widerstand (ungefähr 3 × 10–4 Ohm × cm) ungefähr 1000-mal kleiner als der von p-Typ-AlGaInP und ungefähr 100-mal kleiner als der von p-Typ-GaP. Die optimale Dicke von ungefähr 0,1 bis 5 μm schafft keine gute Bedingung, um effektiv seitliche Emission zu gewinnen, wodurch die Leuchteffizienz der Leuchtdiode begrenzt wird. -
4 zeigt eine vierte Leuchtdiode aus dem Stand der Technik. In dieser Figur sind die Schichten, welche ihre Erscheinungsform nicht gegenüber der Struktur aus3 geändert haben, mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Eine Schottky-Sperrschicht wird als eine Stromsperre zwischen der Elektrode19 und der oberen Hüllschicht des p-Typs AlGaInP144 zusammen mit der leitfähigen transparenten Oxidschicht42 gebildet, um den Strom lateral unter der Elektrode19 zu verteilen. Der Nachteil, diese Struktur zu bilden, besteht in dem komplexen Prozeß, welcher notwendig ist, um Abschnitte der leitfähigen transparenten Oxidschicht42 , der Kontaktschicht40 und der oberen Hüllschicht144 zu ätzen. - Die
DE 40 17 632 C2 betrifft eine lichtemittierende Halbleitervorrichtung und beschreibt eine Leuchtdiode bei der auf einer lichtaustrittsseitigen oberen Hüll- oder Platierschicht, die auf einer aktiven Schicht aufgebracht ist, eine Fensterschicht vorgesehen ist, deren spezifischer Widerstand kleiner als der spezifische Widerstand der Platierschicht ist. Auf der Fensterschicht ist ein Anschlußelement aufgebracht, daß aus einer Metallelektrode und einer Kontaktschicht besteht, die die gleichen Abmessungen aufweist, wie die Metallelektrode. Da der Widerstandsunterschied zwischen der Fensterschicht und der oberen Platierschicht groß ist, verbreitet sich ein aus der Elektrode injizierter Strom in hohem Maße in der Fensterschicht, bevor er die Platierschicht erreicht. Da somit der lichtemittierende Bereich in der Diode verbreitert werden kann, erhöht sich die Lichtausbeute und gewährleistet eine kräftig leuchtende Lichtemission. - Aus der
US 5,614,734 A ist eine weitere Leuchtdiode bekannt, bei der auf einer auf einer aktiven Schicht aufgebrachten Platier- oder Hüllschicht eine Kontaktschicht vom gleichen Leitungstyp wie die Hüllschicht aufgebracht ist. Hierbei weist die Kontaktschicht in einem Bereich unterhalb einer Elektrode eine Aussparung auf. Auf der Kontaktschicht und im Aussparungsbereich ist eine Stromausbreitungsschicht aufgebracht, die aus einem transparenten Oxid mit geringem elektrischen Widerstand besteht. Der Kontaktbereich zwischen der Oxidschicht und der oberen Hüllschicht wirkt dabei als Stromsperrbereich. Bei dieser bekannten Leuchtdiode wird also eine transparente Oxidschicht mit geringem elektrischen Widerstand zusammen mit einem Stromsperrbereich eingesetzt, um den von der Elektrode injizierten Strom gleichmäßig über die Bereiche der aktiven Schicht zu verteilen, die nicht von der Elektrode abgeschattet sind, und um so die Effektivität der Lichtemission der Diode zu verbessern. - Die
DE 40 10 133 A1 beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauteils bei dem in einer AlGaInP-Schicht ein Zn-Diffusionsbereich ausgebildet ist, um beispielsweise bei einer Laserdiode in deren aktiver Schicht einen anderen Brechungsindex zur Steuerung der Transversalmode des Lasers als in anderen Bereichen zu erreichen. - Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine große Helligkeit und eine reduzierte Fertigungszeit bei einer Leuchtdiode zu erreichen, welche ein Spektrum im Bereich von rot bis grün aufweist, und zwar insbesondere durch Bilden einer Strom-Sperrschicht, welche durch eine Schottky-Sperrschicht gebildet wird, einer Isolationsschicht, einer hoch-Widerstandsschicht oder eines Diffusions-p-n-Überganges.
- Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Leuchtdiode zur Verfügung zu stellen, bei welcher die meisten Prozesse zum Bilden der Leuchtdiode lediglich die metallorganische Dampfphasen-Epitaxie (MOVPE) nutzen, wodurch eine hohe Kontrollierbarkeit der Zusammensetzung, der Trägerkonzentration und der Schichtdicke und eine vereinfachte Herstellung erreicht werden.
- Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung liegt darin, eine Leuchtdiode zur Verfügung zu stellen, welche eine Vielfach-Quanten-Trog-Struktur als eine aktive Schicht benutzt, um die Qualität der Kristallstruktur und der Leuchteffizienz der Leuchtdiode zu verbessern.
- Darüber hinaus ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Leuchtdiode mit einem verteilten Bragg-Reflektor zur Verfügung zu stellen, um die Absorption von Licht, welches von der aktiven Schicht durch das Substrat emittiert wird, zu eliminieren, um dabei die Ausbeute der Leuchtdiode zu erhöhen.
- Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Leuchtdioden-Struktur zum Erzielen hoher Helligkeit zur Verfügung gestellt. Die Leuchtdiode umfaßt ein Substrat, welches auf einer ersten Elektrode gebildet ist. Eine erste Hüllschicht eines ersten Leitfähigkeitstyps ist auf dem Substrat gebildet, eine aktive Schicht ist auf der ersten Hüllschicht gebildet, und eine zweite Hüllschicht eines zweiten Leitfähigkeitstyps ist auf der aktiven Schicht gebildet. Die Leuchtdiode umfaßt ebenfalls eine Fensterschicht des zweiten Leitfähigkeitstyps, welche auf der zweiten Hüllschicht gebildet ist, wobei der spezifische elektrische Widerstand der Fenster schicht kleiner ist als der spezifische elektrische Widerstand der zweiten Hüllschicht, eine Kontaktschicht des zweiten Leitfähigkeitstyps, welche auf der Fensterschicht gebildet ist, um einen ohmschen Kontakt zu bilden, und eine leitfähige transparente Oxidschicht, welche auf der Kontaktschicht gebildet ist. Ferner umfaßt die Leuchtdiode einen darin gebildeten Stromsperrbereich. Der Stromsperrbereich ist ein ionen-implantierter Bereich in der Kontaktschicht und der Fensterschicht.
- Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind durch die Merkmale der Unteransprüche gekennzeichnet.
- Im folgenden wird die Erfindung anhand der Zeichnungen beispielhaft erläutert. Es zeigen:
-
1 eine Querschnittsansicht einer ersten Leuchtdiode nach dem Stand der Technik; -
2 eine Querschnittsansicht einer zweiten Leuchtdiode nach dem Stand der Technik; -
3 eine Querschnittsansicht einer dritten Leuchtdiode nach dem Stand der Technik; -
4 eine Querschnittsansicht einer vierten Leuchtdiode nach dem Stand der Technik; -
5A eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode gemäß einem ersten Beispiel; -
5B eine Querschnittsansicht einer modifizierten Leuchtdiode gemäß dem ersten Beispiel; -
6A eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode gemäß einem zweiten Beispiel; -
6B eine Querschnittsansicht einer modifizierten Leuchtdiode gemäß dem zweiten Beispiel; -
7A eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; -
7B eine Querschnittsansicht einer modifizierten Leuchtdiode gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; -
8A eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode gemäß einen dritten Beispiel; und -
8B eine Querschnittsansicht einer modifizierten Leuchtdiode gemäß dem dritten Beispiel. -
5A zeigt eine Querschnittsansicht, welche eine Leuchtdiode (LED) gemäß einem ersten Beispiel veranschaulicht. Ein hinterer elektrischer Kontakt50 ist vorgesehen, um als hintere Elektrode zu dienen. Eine n-Typ-Elektrode wird in dieser Ausführungsform benutzt, und es ist dennoch denkbar, daß statt dessen eine p-Typ-Elektrode genutzt werden kann. - Ein Halbleitersubstrat
52 ist auf der n-Typ-Elektrode50 gebildet. In diesem Beispiel ist eine n-Typ-GaAs-Schicht52 mit einer Dicke von etwa 350 μm konventionell gebildet. Eine Schichtstruktur54 aus AlGaInP, welche oft als aktive p-n-Übergangsschicht bezeichnet wird, ist auf dem Substrat52 gebildet. In diesem Beispiel weist die Schichtstruktur54 eine untere n-Typ-Hüllschicht540 aus Al-GaInP, eine aktive Schicht542 aus AlGaInP und eine obere p-Typ-Hüllschicht544 aus AlGaInP auf. Die Dicke der unteren Hüllschicht540 , der aktiven Schicht542 und der oberen Hüllschicht544 beträgt vorzugsweise entsprechend etwa 1,0, 0,75, und 1,0 μm. - In einer Implementierung dieses Beispiels wird die aktive Schicht
542 durch Anwendung einer konventionellen Doppel-Heterostruktur-Technik (DH) gebildet. Bei einer anderen Implementierung wird die aktive Schicht542 durch Verwendung einer anderen konventionellen Vielfach-Quanten-Trog-Technik (MQW) gebildet. Infolge des Quanteneffekts sinkt das Verhältnis von Al in der aktiven Schicht542 , folglich verringert sich das Verhältnis von Sauerstoff darin. Deshalb wird die Qualität der Kristallstruktur verbessert und die Leuchteffizienz der Leuchtdiode dementsprechend vergrößert. Desweiteren wird das Träger-Überlauf-Phänomen reduziert, weil die Träger in den Quanten-Trögen effektiv mit einem Anstieg der Anzahl der Quanten-Tröge begrenzt werden. - Wie
5A ferner erkennen läßt, ist eine p-Typ-Fensterschicht56 mit einer Dicke von ungefähr 10 μm auf der oberen Hüllschicht544 gebildet. Der spezifische elektrische Widerstand der Fensterschicht56 (ungefähr 0,05 Ohm × cm) ist kleiner als der oder gleich dem der oberen Hüllschicht544 . Transparentes Material wie beispielsweise GaP, GaAsP, GaInP oder AlGaAs wird vorzugsweise benutzt. Die Fensterschicht56 wird benutzt, um die Leuchteffizienz der Leuchtdiode zu verbessern. Z. B. weist eine konventionelle 590 nm-Leuchtdiode ohne eine Fensterschicht normalerweise eine Helligkeit von 15 millicandela (oder mcd) auf. 30 mcd oder mehr können durch Hinzufügen der Fensterschicht56 auf der Hüllschicht544 erreicht werden. - Gemäß
5A ist außerdem eine p-Typkontaktschicht58 auf der Fensterschicht56 gebildet. GaAsP, GaP, GaInP oder GaAs wird benutzt, um diese Kontaktschicht58 zu bilden. In diesem Beispiel ist deren Trägerkonzentration größer als 5 × 1018 cm–3; und deren Dicke ist größer als 50 nm, so daß ein guter ohmscher Kontakt zwischen der Fensterschicht56 und der leitfähigen transparenten Oxidschicht60 , welche später beschrieben wird, gebildet werden kann. Der spezifische elektrische Widerstand der leitfähigen transparenten Oxidschicht60 (ungefähr 3 × 10–4 Ohm × cm) ist kleiner als der der Kontaktschicht58 (ungefähr 0,01 Ohm × cm) und der Fensterschicht56 (ungefähr 0,05 Ohm × cm). Als nächstes wird ein konventioneller fotolithographischer Prozeß verwendet, um einen zentralen Abschnitt auf der Kontaktschicht58 zu bilden, welcher dann geätzt wird, bis ein Abschnitt der Oberfläche der Fensterschicht56 freigelegt ist. - Zinnoxid, Indiumoxid oder Indiumzinnoxid (ITO) werden vorzugsweise benutzt, um die leitfähige transparente Oxidschicht
60 zu bilden. Die bevorzugte Dicke der leitfähigen transparenten Oxidschicht60 liegt zwischen 0,1 und 5 μm. In dieser Ausführungsform wird die leitfähige transparente Oxidschicht60 mittels Beschichtung durch Vakuumzerstäubung (sputtering) oder eine Elektronenstrahl-Verdampfungs-Verfahren gebildet. Deshalb ist die Übertragungsfähigkeit der leitfähigen transparenten Oxidschicht60 ausgezeichnet für Leuchtdioden in dem Wellenlängenbereich von 550 nm (grün) bis 630 nm (rot). Weil das leitfähige transparente Oxid eine ähnliche Eigenschaft wie das Metall hat, können die leitfähige transparente Oxidschicht60 und die Fensterschicht56 keinen ohmschen Kontakt auf grund des Tunneleffekts bilden, wenn die Trägerkonzentration in der Fensterschicht56 kleiner als 1019 cm–3 ist. Die Schnittstelle zwischen der leitfähigen transparenten Oxidschicht60 und der Fensterschicht56 führt deshalb zu einer Schottky-Sperre, welche dann als Stromsperre wirkt. Es wurde experimentell herausgefunden, daß der Widerstandswert zwischen der leitfähigen transparenten Oxidschicht60 und der Kontaktschicht58 ungefähr 10 Ohm und der Widerstandswert zwischen der leitfähigen transparenten Oxidschicht60 und der Fensterschicht56 1013 bis 1015 Ohm beträgt. Deshalb hat die gebildete Schottky-Sperre unter einer normalen Leuchtdioden-Betriebsbedingung mit dem Strom unter 100 mA eine gute Stromsperrfähigkeit. Die leitfähige transparente Oxidschicht60 absorbiert keine Photonen, welche von der aktiven Schicht542 emittiert werden, und deren spezifischer elektrischer Widerstand beträgt nur ungefähr 3 × 10–4 Ohm × cm, so daß der eingespeiste Strom wesentlich durch die gesamte Diode, außer der Region, in welcher die Schottky-Sperre existiert, verteilt wird, welches zu einer höheren Ausgangsleistung beiträgt. - Letztendlich ist ein p-Typ elektrischer Kontakt
62 auf einem Abschnitt der leitfähigen transparenten Oxidschicht60 gebildet, um die vordere Elektrode zu bilden. Dieser elektrische Kontakt63 ist ungefähr zu der geätzten Aussparung in der Kontaktschicht58 ausgerichtet. Es sei angemerkt, daß jede Schicht, außer der leitfähigen transparenten Oxidschicht60 und den Elektroden50 ,62 , wie in5A gezeigt ist, durch Anwendung der metallorganischen Dampfphasen-Epitaxie (MOVPE) gebildet werden können, wodurch eine hohe Kontrollierbarkeit der Zusammensetzung, der Trägerkonzentration und der Schichtdicke und eine Vereinfachung der Herstellung erreicht werden. -
5B zeigt eine Querschnittsansicht, welche eine modifizierte Leuchtdiode gemäß dem ersten Beispiel veranschaulicht. Der grundlegende Unterschied gegenüber der Struktur von5A ist die zusätzliche verteilte Bragg-Reflektorschicht80 (DBR). AlGaInP oder AlGaAs werden vorzugsweise benutzt, um die DBR-Schicht80 zu bilden, welche einen Stapel von mehr als 20 Schichten in dieser Ausführungsform umfaßt. Die DBR-Schicht80 wird in erster Linie dazu benutzt, um die Absorption von Licht, welches von der aktiven Schicht542 emittiert wird, durch das Substrat52 zu eliminieren, wodurch die Ausbeute der Leuchtdiode vergrößert wird. Bei dieser Ausführungsform können durch die Benutzung der DBR-Schicht80 80 bis 100 mcd erreicht werden. -
6A zeigt eine Querschnittsansicht, welche eine Leuchtdiode gemäß einem zweiten Beispiel veranschaulicht. In dieser Figur sind die Schichten, welche gegenüber der Struktur von5A nicht geändert sind, mit den gleichen Bezugszeichen versehen und durch die gleichen Prozesse gebildet. Der grundlegende Unterschied ist, daß die Kontaktschicht59 nicht wie in5A geätzt ist, sondern stattdessen eine Isolationsschicht64 auf der Oberfläche der Kontaktschicht59 gebildet ist. Die Isolationsschicht64 wird dann teilweise durch eine konventionelle fotolithographische Technik und einen Ätzprozeß geätzt, was zu der in6A dargestellten Struktur führt. Der resultierende isolierende Abschnitt64 ist zum elektrischen Kontakt63 ausgerichtet und wird als Stromsperrschicht benutzt. In diesem Beispiel wird die isolierende Schicht64 , wie beispielsweise Siliziumoxid, Siliziumnitrit oder Aluminiumoxid, durch ein konventionelles mit Plasma verstärktes chemisches Dampfablagerungsverfahren (plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD) bis zu einer Dicke von 0,1 μm gebildet. -
6B zeigt eine Querschnittsansicht, welche eine modifizierte Leuchtdiode gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht. In dieser Figur sind die Schichten, welche gegenüber der Struktur von5A und5B nicht geändert sind, mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet, und durch die gleichen Prozesse gebildet. Der grundlegende Unterschied gegenüber der Struktur von6A ist die zusätzliche verteilte Bragg-Reflektorschicht80 (DBR). AlGaInP oder AlGaAs wird vorzugsweise zum Bilden der DBR-Schicht80 benutzt, welche einen Stapel von mehr als 20 Schichten in dieser Ausführungsform aufweist. Die DBR-Schicht80 wird in erster Linie dazu benutzt, um die Absorption durch das Substrat52 von Licht, welches von der aktiven Schicht542 emittiert wird zu eliminieren, wodurch die Ausbeute der Leuchtdiode vergrößert wird. In dieser Ausführungsform können durch die Benutzung der DBR-Schicht80 80 bis 100 mcd erreicht werden. -
7A zeigt eine Querschnittsansicht, welche eine Leuchtdiode gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht. In dieser Figur sind die Schichten, welche gegenüber der Struktur von6A nicht geändert wurden mit den gleichen Bezugszeichen versehen und durch die gleichen Prozesse gebildet. Der grundlegende Unterschied besteht darin, daß keine Isolierschicht auf der Kontaktschicht59 gebildet ist, aber stattdessen eine fotolithographische Technik und eine Ionenimplantationstechnik angewandt wurden, um einen hochresistiven Bereich66 in einem zentralen Abschnitt der Kontaktschicht59 und der Fenster schicht56 , wie in7A dargestellt, zu bilden. Der resistive Bereich66 ist ungefähr zu dem elektrischen Kontakt62 ausgerichtet. Bei dieser Ausführungsform werden Ionen, wie beispielsweise H+ oder O+, implantiert, um den Bereich66 zu bilden. Der hochresistive Bereich66 wird als Stromsperrschicht genutzt. -
7B zeigt eine Querschnittsansicht, welche eine modifizierte Leuchtdiode gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht. In dieser Figur sind die Schichten, welche gegenüber den Strukturen von6A und6B nicht geändert wurden, mit den gleichen Bezugszeichen versehen und durch die gleichen Prozesse gebildet. Der grundlegende Unterschied gegenüber der Struktur von7A ist die zusätzliche verteilte Bragg-Reflektorschicht80 (DBR). AlGaInP oder AlGaAs werden bevorzugt benutzt, um die DBR-Schicht80 zu bilden, welche einen Stapel von mehr als 20 Schichten in dieser Ausführungsform umfaßt. Die DBR-Schicht80 wird in erster Linie dazu benutzt, um die Absorption von Licht, welches durch die aktive Schicht542 emittiert wird, durch das Substrat52 zu eliminieren, um dabei die Ausbeute der Leuchtdiode zu vergrößern. In dieser Ausführungsform können durch die DBR-Schicht80 80 bis 100 mcd erreicht werden. -
3A zeigt eine Querschnittsansicht, welche eine Leuchtdiode gemäß einem dritten Beispiel veranschaulicht. In dieser Figur sind die Schichten, welche gegenüber der Struktur von7A nicht geändert wurden, mit den gleichen Bezugszeichen versehen und durch den gleichen Prozeß gebildet. Die Schichten von8A haben einen unterschiedlichen Leitfähigkeitstyp gegenüber den Schichten von7A . Insbesondere sind in8A die Elektrode50 , das Substrat52 und die untere Hüllschicht540 vom p-Typ. Die obere Hüllschicht544 , die Fensterschicht56 , die Kontaktschicht58 und die Elektrodenschicht62 sind vom n-Typ. Eine fotolithographische Technik und eine Diffusionsmethode werden angewandt, um einen Diffusionsbereich68 auf einem zentralen Abschnitt der Kontaktschicht59 und der Fensterschicht56 , wie in8A dargestellt, zu bilden. Die Diffusionsschicht68 ist ungefähr zu dem elektrischen Kontakt62 ausgerichtet. In diesem Beispiel werden p-Typ-Atome, wie beispielsweise Zinn, diffundiert, um die Region68 zu bilden. Die Diffusionstiefe hängt von der Dicke der Fensterschicht56 ab. Vorzugsweise liegt die untere Fläche des Diffusionsbereichs68 mehr als 1 μm über der unteren Fläche der Fensterschicht56 . Die Potentialbarriere des p-n-Übergangs, welche zwischen dem Diffusionsbereich68 und der Fensterschicht56 gebildet ist, wird als Stromsperre genutzt. -
8B zeigt eine Querschnittsansicht, welche eine modifizierte Leuchtdiode gemäß dem dritten Beispiel veranschaulicht. In dieser Figur sind die Schichten, welche gegenüber der Struktur von7A und7B nicht geändert sind, mit den gleichen Bezugszeichen versehen und durch die gleichen Prozesse gebildet. Der grundlegende Unterschied gegenüber der Struktur aus8A ist die zusätzliche verteilte Bragg-Reflektorschicht80 (DBR). AlGaInP oder AlGaAs werden vorzugsweise benutzt, um die DBR-Schicht80 zu bilden, welche in diesem Beispiel einen Stapel von mehr als 20 Schichten umfaßt. Die DBR-Schicht80 wird vorzugsweise dazu benutzt, um die Absorption von Licht, welches durch die aktive Schicht542 emittiert wird, durch das Substrat52 zu eliminieren, wodurch die Ausbeute der Leuchtdiode vergrößert wird. Bei diesem Beispiel können durch Benutzen der DBR-Schicht80 80 bis 100 mcd erreicht werden.
Claims (11)
- Leuchtdiode mit – einem auf einer ersten Elektrode (
50 ) gebildeten Substrat (52 ), – einer ersten Hüllschicht (540 ) eines ersten Leitfähigkeitstyps, welche über dem Substrat (52 ) gebildet ist, – einer aktiven Schicht (542 ), welche auf der ersten Hüllschicht gebildet ist, – einer zweiten Hüllschicht (544 ) eines zweiten Leitfähigkeitstyps, welche auf der aktiven Schicht (542 ) gebildet ist, – einer Fensterschicht (56 ) des zweiten Leitfähigkeitstyps, welche auf der zweiten Hüllschicht (544 ) gebildet ist, wobei der spezifische elektrische Widerstand der Fensterschicht (56 ) kleiner ist als der spezifische elektrische Widerstand der zweiten Hüllschicht (544 ), – einer Kontaktschicht (59 ) des zweiten Leitfähigkeitstyps, welche auf der Fensterschicht (56 ) aufgebracht ist, um einen ohmschen Kontakt zu bilden, wobei die Kontaktschicht (59 ) und die Fensterschicht (56 ) einen durch Ionenimplantationstechnik mit H+- oder O+-Ionen gebildeten hochresistiven Bereich (66 ) aufweisen, – einer leitfähigen transparenten Oxidschicht (60 ), welche auf der Kontaktschicht (58 ,59 ) einschließlich des hochresistiven Bereichs (66 ) gebildet ist, wobei der spezifische elektrische Widerstand der leitfähigen transparenten Oxidschicht (60 ) kleiner ist als der spezifische elektrische Widerstand der Fensterschicht (56 ) und der Kontaktschicht (59 ), und – einer zweiten Elektrode (62 ), welche auf einem Abschnitt der leitfähigen transparenten Oxidschicht (60 ) gebildet ist und zum hochresistiven Bereich (66 ) ausgerichtet ist. - Leuchtdiode nach Anspruch 1, bei welcher die aktive Schicht (
54 ) AlGaInP enthält. - Leuchtdiode nach Anspruch 2, bei welcher die aktive Schicht (
542 ) eine Al-GaInP-Vielfach-Quanten-Trog-Struktur umfasst. - Leuchtdiode nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welcher die Fensterschicht (
56 ) ein Material enthält, welches aus der GaP, GaAsP, GaInP und Al-GaAs enthaltenden Gruppe ausgewählt ist. - Leuchtdiode nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welcher die Kontaktschicht (
59 ) ein Material umfasst, welches aus der GaAsP, GaP, GaInP und GaAs enthaltenden Gruppe ausgewählt ist. - Leuchtdiode nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welcher die leitfähige transparente Oxidschicht (
60 ) ein Material umfasst, welches aus der Indiumzinnoxid, Indiumoxid, Zinnoxid, Zinkoxid und Magnesiumoxid enthaltenden Gruppe ausgewählt ist. - Leuchtdiode nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welcher das Substrat (
52 ) GaAs enthält. - Leuchtdiode nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welcher die erste Hüllschicht (
540 ) AlGaInP enthält. - Leuchtdiode nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welcher die zweite Hüllschicht (
544 ) AlGaInP enthält. - Leuchtdiode nach einem der vorstehenden Ansprüche, ferner mit einer verteilten Bragg-Reflektorschicht (
80 ) eines ersten Leitfähigkeitstyps mit einer Vielzahl von Unterschichten, welche auf dem Substrat (52 ) und unter der ersten Hüllschicht (540 ) gebildet sind. - Leuchtdiode nach Anspruch 10, bei welcher die verteilte Bragg-Reflektorschicht (
80 ) ein Material enthält, welches aus der AlGaInP und AlGaAs enthaltenden Gruppe ausgewählt ist.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/840,914 US6057562A (en) | 1997-04-18 | 1997-04-18 | High efficiency light emitting diode with distributed Bragg reflector |
TW086108537A TW344900B (en) | 1997-06-18 | 1997-06-18 | Light-emitting diode a light-emitting diode comprises a substrate formed on a first electrode; a first bonding layer; an active layer; a second bonding layer; etc. |
TW86108537 | 1997-06-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19817368A1 DE19817368A1 (de) | 1998-12-24 |
DE19817368B4 true DE19817368B4 (de) | 2010-05-12 |
Family
ID=26666470
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19817368A Expired - Lifetime DE19817368B4 (de) | 1997-04-18 | 1998-04-18 | Leuchtdiode |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6057562A (de) |
JP (1) | JP3084364B2 (de) |
DE (1) | DE19817368B4 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8704240B2 (en) | 2004-06-30 | 2014-04-22 | Cree, Inc. | Light emitting devices having current reducing structures |
Families Citing this family (62)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6340824B1 (en) * | 1997-09-01 | 2002-01-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor light emitting device including a fluorescent material |
RU2134007C1 (ru) | 1998-03-12 | 1999-07-27 | Государственное предприятие Научно-исследовательский институт "Полюс" | Полупроводниковый оптический усилитель |
JP3763667B2 (ja) * | 1998-04-23 | 2006-04-05 | 株式会社東芝 | 半導体発光素子 |
RU2142665C1 (ru) * | 1998-08-10 | 1999-12-10 | Швейкин Василий Иванович | Инжекционный лазер |
GB2344457B (en) * | 1998-12-02 | 2000-12-27 | Arima Optoelectronics Corp | Semiconductor devices |
RU2142661C1 (ru) * | 1998-12-29 | 1999-12-10 | Швейкин Василий Иванович | Инжекционный некогерентный излучатель |
US6207972B1 (en) * | 1999-01-12 | 2001-03-27 | Super Epitaxial Products, Inc. | Light emitting diode with transparent window layer |
DE19926958B4 (de) * | 1999-06-14 | 2008-07-31 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Lichtemissions-Halbleiterdiode auf der Basis von Ga (In, AL) P-Verbindungen mit ZnO-Fensterschicht |
US6225648B1 (en) * | 1999-07-09 | 2001-05-01 | Epistar Corporation | High-brightness light emitting diode |
JP4298859B2 (ja) * | 1999-07-29 | 2009-07-22 | 昭和電工株式会社 | AlGaInP発光ダイオード |
TW425726B (en) * | 1999-10-08 | 2001-03-11 | Epistar Corp | A high-luminance light emitting diode with distributed contact layer |
US6512248B1 (en) | 1999-10-19 | 2003-01-28 | Showa Denko K.K. | Semiconductor light-emitting device, electrode for the device, method for fabricating the electrode, LED lamp using the device, and light source using the LED lamp |
US6469314B1 (en) * | 1999-12-21 | 2002-10-22 | Lumileds Lighting U.S., Llc | Thin multi-well active layer LED with controlled oxygen doping |
US6448584B1 (en) * | 2000-01-14 | 2002-09-10 | Shih-Hsiung Chan | Light emitting diode with high luminance and method for making the same |
JP2001274456A (ja) * | 2000-01-18 | 2001-10-05 | Sharp Corp | 発光ダイオード |
DE10056476B4 (de) * | 2000-11-15 | 2012-05-03 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Strahlungsemittierender Halbleiterkörper und Verfahren zu dessen Herstellung |
JP3814151B2 (ja) * | 2001-01-31 | 2006-08-23 | 信越半導体株式会社 | 発光素子 |
US6608328B2 (en) * | 2001-02-05 | 2003-08-19 | Uni Light Technology Inc. | Semiconductor light emitting diode on a misoriented substrate |
JP2002329885A (ja) * | 2001-05-01 | 2002-11-15 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子 |
US7211833B2 (en) | 2001-07-23 | 2007-05-01 | Cree, Inc. | Light emitting diodes including barrier layers/sublayers |
DE10147885B4 (de) * | 2001-09-28 | 2006-07-13 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement mit einer in aktive und inaktive Teilbereiche unterteilten aktiven Schicht |
US6903379B2 (en) | 2001-11-16 | 2005-06-07 | Gelcore Llc | GaN based LED lighting extraction efficiency using digital diffractive phase grating |
EP1795551B1 (de) * | 2002-07-10 | 2009-12-30 | Sigmakalon Services B.V. | Polyorganosilylierte Carboxylatmonomere oder Polymere daraus und Verfahren zu deren Herstellung |
US7928455B2 (en) * | 2002-07-15 | 2011-04-19 | Epistar Corporation | Semiconductor light-emitting device and method for forming the same |
JP3872398B2 (ja) * | 2002-08-07 | 2007-01-24 | 信越半導体株式会社 | 発光素子の製造方法及び発光素子 |
JP2004200303A (ja) | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Sharp Corp | 発光ダイオード |
US20040227141A1 (en) * | 2003-01-30 | 2004-11-18 | Epistar Corporation | Light emitting device having a high resistivity cushion layer |
US7528417B2 (en) | 2003-02-10 | 2009-05-05 | Showa Denko K.K. | Light-emitting diode device and production method thereof |
US7412170B1 (en) | 2003-05-29 | 2008-08-12 | Opticomp Corporation | Broad temperature WDM transmitters and receivers for coarse wavelength division multiplexed (CWDM) fiber communication systems |
JP2005026688A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-27 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | 放射放出半導体チップ、該半導体チップの作製方法および該半導体チップの明るさの調整設定方法 |
US8999736B2 (en) | 2003-07-04 | 2015-04-07 | Epistar Corporation | Optoelectronic system |
CN100355096C (zh) * | 2003-09-23 | 2007-12-12 | 晶元光电股份有限公司 | 具有热吸收层的发光元件的制造方法 |
JP3767863B2 (ja) * | 2003-12-18 | 2006-04-19 | ローム株式会社 | 半導体発光素子およびその製法 |
JP2005235797A (ja) * | 2004-02-17 | 2005-09-02 | Hitachi Cable Ltd | 半導体発光素子 |
US20060002442A1 (en) * | 2004-06-30 | 2006-01-05 | Kevin Haberern | Light emitting devices having current blocking structures and methods of fabricating light emitting devices having current blocking structures |
US7557380B2 (en) | 2004-07-27 | 2009-07-07 | Cree, Inc. | Light emitting devices having a reflective bond pad and methods of fabricating light emitting devices having reflective bond pads |
US7737459B2 (en) * | 2004-09-22 | 2010-06-15 | Cree, Inc. | High output group III nitride light emitting diodes |
US8174037B2 (en) * | 2004-09-22 | 2012-05-08 | Cree, Inc. | High efficiency group III nitride LED with lenticular surface |
TWI352437B (en) | 2007-08-27 | 2011-11-11 | Epistar Corp | Optoelectronic semiconductor device |
US7335920B2 (en) * | 2005-01-24 | 2008-02-26 | Cree, Inc. | LED with current confinement structure and surface roughening |
JP2006261219A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Hitachi Cable Ltd | 半導体発光素子 |
RU2300826C2 (ru) * | 2005-08-05 | 2007-06-10 | Василий Иванович Швейкин | Инжекционный излучатель |
JP4310708B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2009-08-12 | 日立電線株式会社 | 半導体発光素子 |
US7569866B2 (en) * | 2005-09-30 | 2009-08-04 | Hitachi Cable, Ltd. | Semiconductor light-emitting device |
JP4367393B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2009-11-18 | 日立電線株式会社 | 透明導電膜を備えた半導体発光素子 |
US7368759B2 (en) * | 2005-09-30 | 2008-05-06 | Hitachi Cable, Ltd. | Semiconductor light-emitting device |
DE102005061797B4 (de) * | 2005-12-23 | 2020-07-09 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Lumineszenzdiodenchip mit Stromaufweitungsschicht und Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102006034847A1 (de) * | 2006-04-27 | 2007-10-31 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelektronischer Halbleiterchip |
JP4710764B2 (ja) * | 2006-08-31 | 2011-06-29 | 日立電線株式会社 | 半導体発光素子 |
CN100438110C (zh) * | 2006-12-29 | 2008-11-26 | 北京太时芯光科技有限公司 | 一种具有电流输运增透窗口层结构的发光二极管 |
TW200834969A (en) * | 2007-02-13 | 2008-08-16 | Epistar Corp | Light-emitting diode and method for manufacturing the same |
DE102007032555A1 (de) * | 2007-07-12 | 2009-01-15 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Halbleiterchip und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterchips |
KR100897595B1 (ko) * | 2007-08-14 | 2009-05-14 | 한국광기술원 | 인듐주석산화물 투명전극 직접 접촉층을 포함하는 발광다이오드 및 그의 제조방법 |
JP5178360B2 (ja) * | 2007-09-14 | 2013-04-10 | シャープ株式会社 | 窒化物半導体発光素子 |
US8957440B2 (en) * | 2011-10-04 | 2015-02-17 | Cree, Inc. | Light emitting devices with low packaging factor |
JP2013179227A (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-09 | Toshiba Corp | 半導体発光素子 |
KR101971594B1 (ko) | 2012-02-16 | 2019-04-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 |
JP2014120695A (ja) * | 2012-12-19 | 2014-06-30 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子 |
TWI613838B (zh) | 2014-03-06 | 2018-02-01 | 晶元光電股份有限公司 | 發光元件 |
JP6595801B2 (ja) * | 2014-05-30 | 2019-10-23 | エルジー イノテック カンパニー リミテッド | 発光素子 |
JP2016046411A (ja) * | 2014-08-25 | 2016-04-04 | シャープ株式会社 | 半導体発光素子 |
KR20160038326A (ko) * | 2014-09-30 | 2016-04-07 | 서울바이오시스 주식회사 | 발광소자 및 그 제조 방법 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4010133A1 (de) * | 1989-03-31 | 1990-10-04 | Mitsubishi Electric Corp | Halbleiterbauteil mit zn-diffusionsschicht und verfahren zu dessen herstellung |
US5008718A (en) * | 1989-12-18 | 1991-04-16 | Fletcher Robert M | Light-emitting diode with an electrically conductive window |
US5048035A (en) * | 1989-05-31 | 1991-09-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor light emitting device |
US5481122A (en) * | 1994-07-25 | 1996-01-02 | Industrial Technology Research Institute | Surface light emitting diode with electrically conductive window layer |
EP0691689A1 (de) * | 1994-07-08 | 1996-01-10 | Mitsubishi Cable Industries, Ltd. | Licht-emittierende Halbleitervorrichtung |
DE19517697A1 (de) * | 1995-05-13 | 1996-11-14 | Telefunken Microelectron | Strahlungsemittierende Diode |
DE19524655A1 (de) * | 1995-07-06 | 1997-01-09 | Huang Kuo Hsin | LED-Struktur |
US5614734A (en) * | 1995-03-15 | 1997-03-25 | Yale University | High efficency LED structure |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US35665A (en) * | 1862-06-24 | Improved metallic defensive armor for ships |
-
1997
- 1997-04-18 US US08/840,914 patent/US6057562A/en not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-04-18 DE DE19817368A patent/DE19817368B4/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-04-23 JP JP12807798A patent/JP3084364B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4010133A1 (de) * | 1989-03-31 | 1990-10-04 | Mitsubishi Electric Corp | Halbleiterbauteil mit zn-diffusionsschicht und verfahren zu dessen herstellung |
US5048035A (en) * | 1989-05-31 | 1991-09-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor light emitting device |
DE4017632C2 (de) * | 1989-05-31 | 1994-06-09 | Toshiba Kawasaki Kk | Lichtemittierende Halbleitervorrichtung |
US5008718A (en) * | 1989-12-18 | 1991-04-16 | Fletcher Robert M | Light-emitting diode with an electrically conductive window |
EP0691689A1 (de) * | 1994-07-08 | 1996-01-10 | Mitsubishi Cable Industries, Ltd. | Licht-emittierende Halbleitervorrichtung |
US5481122A (en) * | 1994-07-25 | 1996-01-02 | Industrial Technology Research Institute | Surface light emitting diode with electrically conductive window layer |
US5614734A (en) * | 1995-03-15 | 1997-03-25 | Yale University | High efficency LED structure |
DE19517697A1 (de) * | 1995-05-13 | 1996-11-14 | Telefunken Microelectron | Strahlungsemittierende Diode |
DE19524655A1 (de) * | 1995-07-06 | 1997-01-09 | Huang Kuo Hsin | LED-Struktur |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
K.H. Huang et al.: "Twofold efficiency improvement in high performance AlGaInP lightemitting diodes in the 555-620 nm spectral region using a thick GaP window layer". In: Appl. Phys. Lett., Vol. 61, 1992, S. 1045-1047 * |
NL-Z.: J.P. Donnelly: "The electrical characteristics of ion implanted compound semiconductors". Nuclear Instruments and Methods, 182/183(1981), S. 553-571 * |
NL-Z.: J.P. Donnelly: "The electrical characteristics of ion implanted compound semiconductors". Nuclear Instruments and Methods, 182/183(1981), S. 553-571 K.H. Huang et al.: "Twofold efficiency improvement in high performance AlGaInP lightemitting diodes in the 555-620 nm spectral region using a thick GaP window layer". In: Appl. Phys. Lett., Vol. 61, 1992, S. 1045-1047 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8704240B2 (en) | 2004-06-30 | 2014-04-22 | Cree, Inc. | Light emitting devices having current reducing structures |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6057562A (en) | 2000-05-02 |
DE19817368A1 (de) | 1998-12-24 |
JPH1117220A (ja) | 1999-01-22 |
JP3084364B2 (ja) | 2000-09-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19817368B4 (de) | Leuchtdiode | |
DE4135813C2 (de) | Oberflächenemittierende Halbleiter-Laservorrichtung | |
DE69017396T2 (de) | Lichtemittierende Diode mit einer elektrisch leitenden Fensterschicht. | |
EP2015372B1 (de) | Halbleiterchip und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterchips | |
EP1592072B1 (de) | Halbleiterchip für die Optoelektronik und Verfahren zu dessen Herstellung | |
WO2008131735A1 (de) | Optoelektronischer halbleiterkörper und verfahren zur herstellung eines solchen | |
DE102006051745A1 (de) | LED-Halbleiterkörper und Verwendung eines LED-Halbleiterkörpers | |
EP1709694A2 (de) | Dünnfilm-led mit einer stromaufweitungsstruktur | |
EP2980864B1 (de) | Optoelektronischer halbleiterchip und verfahren zur herstellung eines optoelektronischen halbleiterchips | |
DE19957312A1 (de) | Licht emittierende Diode | |
DE10153321B4 (de) | Leuchtdiode mit Bragg-Reflektor und Verfahren zur Herstellung derselben | |
DE2808508A1 (de) | Halbleiterbauelement | |
DE2915888C2 (de) | ||
DE2312162A1 (de) | Heterogenaufbau-injektionslaser und verfahren zu seiner herstellung | |
DE19905526C2 (de) | LED-Herstellverfahren | |
DE2732808A1 (de) | Licht emittierende einrichtung und verfahren zu ihrer herstellung | |
DE19532204C2 (de) | Halbleitermaterial mit einem Heteroübergang | |
DE3780239T2 (de) | Licht emittierende diode mit doppelter heterostruktur. | |
WO2010048918A1 (de) | Optoelektronischer halbleiterchip und verfahren zur herstellung eines optoelektronischen halbleiterchips | |
DE4035402A1 (de) | Integrierter halbleiterlaser mit unterschiedlichen wellenlaengen und verfahren zum herstellen eines solchen lasers | |
DE19808446C2 (de) | Halbleiter-Lichtemissionselement mit Stromdiffusionsschicht und Verfahren zum Herstellen desselben | |
WO2022079033A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines licht emittierenden halbleiterbauelements und licht emittierendes halbleiterbauelement | |
DE102005029272A1 (de) | Strahlungsemittierender Halbleiterchip und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterkörpers für einen derartigen Halbleiterchip | |
EP2619807B1 (de) | Optoelektronischer halbleiterchip und verfahren zu dessen herstellung | |
WO2019020424A1 (de) | Optoelektronischer halbleiterchip, hochvolthalbleiterchip und verfahren zur herstellung eines optoelektronischen halbleiterchips |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R071 | Expiry of right |