DE19814527B4 - Piezoelektrisches Vibrations-Kreiselgerät vom Stimmgabeltyp - Google Patents

Piezoelektrisches Vibrations-Kreiselgerät vom Stimmgabeltyp Download PDF

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Abstract

Piezoelektrisches Vibrations-Kreiselgerät vom Stimmgabeltyp, mit:
einer Stimmgabel mit zwei Armen und einem Basisabschnitt (15), der einstückig mit den zwei Armen ausgebildet ist und Elektroden aufweist:
einer Abstützbasis (38), welche den Basisabschnitt (15) der Stimmgabel abstützt; und
einer Klebemittelschicht (36), welche den Basisabschnitt (15) und die Abstützbasis (38) miteinander verbindet, so daß die Stimmgabel und die Abstützbasis (38) innerhalb eines Temperaturbereiches, in welchem das Kreiselgerät verwendet wird, elastisch integriert vibrieren,
wobei die Abstützbasis (38) über ihre Höhe eine im wesentlichen gleichförmige Breite längs einer Richtung hat, in welcher die Abstützbasis (38) mit der Stimmgabel verbunden ist, und
die Breite der Abstützbasis (38) gleich oder größer als eine Breite des Basisabschnitts (15) der Stimmgabel ist.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • 1. Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein Vibrations-Kreiselgeräte, die zum Detektieren der Winkelgeschwindigkeit in verschiedenen Vorrichtungen wie beispielsweise für die Vibrations-Detektion in Videokameras und Einzelbildkameras, Fahrzeugnavigationssystemen und Fahrzeug-Höhensteuereinrichtungen verwendet werden. Spezieller befaßt sich die Erfindung mit einem piezoelektrischen Vibrations-Kreiselgerät vom Stimmgabeltyp, welches mit einer Stimmgabel ausgestattet ist, die aus einer piezoelektrischen Substanz wie einem piezoelektrischen Einkristall und piezoelektrischen Keramikmaterialien hergestellt ist.
  • 2. Beschreibung des Standes der Technik
  • Es sind verschiedene Vibrations-Kreiselgeräte vom Stimmgabeltyp bekannt und es wurde kürzlich ein Vibrations-Kreiselgerät vorgeschlagen, welches einen piezoelektrischen Einkristall wie LiTaO3 oder LiNbO3 verwendet.
  • Die 1A und 1B zeigen ein herkömmliches Vibrations-Kreiselgerät mit einem piezoelektrischen Einkristall. Das Kreiselgerät besitzt eine Abstimmgabel (Vibrator) 19, die zwei Arme 12 und 14 und einen Basisabschnitt 15 besitzt und aus einem piezoelektrischen Kristall gebildet ist. Treibere lektroden 16, 18, 20 und 22 und Detektionselektroden 24, 26, 28, 30, 32 und 34 sind an Oberflächen der Stimmgabel 10 vorgesehen, wie dies in den 1A und 1B gezeigt ist. Eine Treiberquelle OSC ist zwischen die Treiberelektroden 16 und 18 angeschlossen, um eine treiberseitige Vibration zu verursachen. Die Treiberelektroden 20 uns 22 liegen den Treiberelektroden 16 und 18 gegenüber und sind geerdet. Die Detektionselektroden 24, 26, 28, 30, 32 und 34 sind so geschaltet, wie dies in den 1A und 1B gezeigt ist, so daß zwei Signale ausgegeben werden.
  • Wenn die Abstimmgabel 10 angetrieben wird, beginnen die Arme 12 und 14 zu vibrieren, wie dies auf der linken Seite von 2 gezeigt ist. Die Vibration der zwei Arme 12 und 14 wird als eine In-Ebene-Vibration bezeichnet. Wenn das Kreiselgerät um die Z-Achse in dem zuvor erwähnten Zustand gedreht wird, so wird eine Coriolis-Kraft in der Y-Achsenrichtung, senkrecht zu der X-Achsenrichtung erzeugt und es werden die Arme 12 und 14 in der Y-Achsenrichtung mit einer Größe in Vibration versetzt, die proportional zu der Coriolis-Kraft ist. Die in der Y-Achsenrichtung verursachte Vibration wird als eine Vibration senkrecht zur Oberfläche bezeichnet. Die Coriolis-Kraft ist proportional der Winkelgeschwindigkeit, die somit dadurch erfaßt werden kann, indem ein Ausgangssignal detektiert wird, welches proportional zur Größe der Vibration ist und in der Y-Achsenrichtung verursacht wird.
  • Das piezoelektrische Kreiselgerät vom Stimmgabeltyp, welches in den 1A und 18 gezeigt ist, ist beispielsweise in der Japanischen offengelegten Patentanmeldung Nr. 8-128830 offenbart. Diese Anmeldung offenbart ferner, daß die Stimmgabel, die in den 1A und 1B gezeigt ist, an einem Halterungsteil befestigt ist, so daß die Stimmgabel und das Halterungsteil integral in Vibration versetzt werden und zwar aufgrund der Coriolis-Kraft. Die Anmeldung zeigt, daß durch Ändern der Gestalt des Halterungsteiles die Steifigkeit geändert werden kann, und daß die detektionsseitige Vibration in ausreichender Weise an einem Endabschnitt des Halterungsteiles gedämpft werden kann.
  • Das Vibrations-Kreiselgerät vom Stimmgabeltyp, welches in den 1A und 1B gezeigt ist, ist mit den folgenden Nachteilen behaftet. Die oben erwähnte Japanische Patentanmeldung offenbart keine Betrachtung der Beziehung zwischen dem Temperaturbereich, in welchem das Kreiselgerät verwendet wird und der Qualität des Kreiselgerätes. Die Erfinder haben herausgefunden, daß die Temperatur des Kreiselgerätes und die Qualität desselben eine enge Beziehung haben. Spezieller gesagt wird der Vibrationsmodus bei einer bestimmten Temperatur geändert und verursacht unerwünschte Vibrationen. In diesem Fall erscheinen die unerwünschten Vibrationen in Form einer Leck-Spannung in dem Detektionssignal und die Qualität des Kreiselgerätes wird verschlechtert.
  • Ferner offenbart die Anmeldung, daß die Resonanzfrequenz der detektionsseitigen Vibration dadurch geändert werden kann, indem man die Gestalt des Halterungsteiles ändert, an welchem die Abstimmgabel befestigt ist. Jedoch offenbart die Anmeldung nicht die Beziehung zwischen der treiberseitigen Resonanz und der detektionsseitigen Resonanz, speziell die Beziehung zwischen der Detektionsempfindlichkeit und der Frequenzdifferenz zwischen der treiberseitigen Vibration und der detektionsseitigen Vibration.
  • Ferner offenbart die Anmeldung, daß das Kreiselgerät und eine Verdrahtungsplatine, auf der eine Detektionsschaltung zum Verarbeiten der Detektionssignale des Kreiselgerätes ausgebildet ist, elektrisch miteinander durch Drahtkontaktierung verbunden sind. Die Betriebsfähigkeit der Drahtkontaktierung ist jedoch nicht gut.
  • Die DE 19544338 A1 zeigt eine Stimmgabel und eine Abstützbasis 406, die so gebildet ist, daß ein schmalerer Abschnitt 434 davon als Schwenkpunktbereich fungiert.
  • Nach der DE 4332944 A1 sind eine Stimmgabel und eine Abstützbasis zusammen gesteckt; und Feiaabstimmungen verschiedener Schwingungsformen sind nicht offenbart.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Es ist daher eine allgemeine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein verbessertes piezoelektrisches Vibrations-Kreiselgerät vom Stimmgabeltyp zu schaffen, bei dem die oben erläuterten Nachteile beseitigt sind.
  • Ein spezifischeres Ziel der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein piezoelektrisches Vibrations-Kreiselgerät vom Stimmgabeltyp zu schaffen, welches eine stabile Qualität in einem verwendeten Temperaturbereich, eine hohe Detektions-Präzision und eine verbesserte Herstellbarkeit besitzt.
  • Die oben erwähnten Ziele der vorliegenden Erfindung werden mit Hilfe eines piezoelektrischen Vibrations-Kreiselgerätes vom Stimmgabeltyp erreicht, welches aufweist: eine Stimmgabel mit zwei Armen und einem Basisabschnitt, der einstückig mit den zwei Armen ausgebildet ist und welches Elektroden besitzt: eine Abstützbasis, welche den Basisabschnitt der Stimmgabel abstützt; und eine Klebemittelschicht, welche den Basisabschnitt und die Abstützbasis miteinander verbindet, so daß die Stimmgabel und die Halterungsplatte elastisch integriert sind zwar innerhalb eines Temperaturbereiches, in welchem das Kreiselgerät verwendet wird.
  • Das Vibrations-Kreiselgerät kann derart konfiguriert werden, daß: die Klebemittelschicht eine aus Glas und Epoxy-Harz umfaßt; und die Klebemittelschicht eine Glas-Übergangspunkt-Temperatur besitzt, die höher liegt als eine maximale Temperatur, bei der das Kreiselgerät verwendet werden kann.
  • Das Vibrations-Kreiselgerät kann derart konfiguriert werden, daß ein Absolutwert einer Differenz zwischen einer Resonanzfrequenz einer treiberseitigen Vibration des Kreiselgerätes und derjenigen einer detektionsseitigen Vibration desselben gleich ist oder kleiner ist als ein vorbestimmter Schwellenwert.
  • Das Vibrations-Kreiselgerät kann derart konfiguriert werden, daß ein Absolutwert einer Differenz zwischen einer Resonanzfrequenz einer treiberseitigen Vibration des Kreiselgerätes und derjenigen einer detektionsseitigen Vibration desselben gleich ist oder kleiner ist als 1,3 kHz.
  • Das Vibrations-Kreiselgerät kann derart konfiguriert werden, daß es ferner aufweist: Treiberelektroden, die an der Abstimmgabel vorgesehen sind; Detektionselektroden, die an der Abstimmgabel vorgesehen sind; und wenigstens eine flexible Verdrahtungsplatine für externe Anschlüsse mit den Treiber-und Detektions-Elektroden.
  • Das Vibrations-Kreiselgerät kann derart konfiguriert werden, daß die oben erwähnte wenigstens eine flexible Verdrahtungsplatine an Leitungen angeschlossen ist, die an der Abstimmgabel vorgesehen sind und mit den Treiber-und Detektions-Elektroden verbunden sind.
  • Das Vibrations-Kreiselgerät kann auch derart konfiguriert werden, daß die oben erwähnte wenigstens eine flexible Verdrahtungsplatine durch Löten oder durch ein elektrisch leitendes Klebemittel mit Leitungen verbunden wird, die an der Abstimmgabel vorgesehen sind und die mit den Treiber-und Detektions-Elektroden verbunden sind.
  • Das Vibrations-Kreiselgerät kann auch derart konfiguriert werden, daß die oben erwähnte wenigstens eine flexible Verdrahtungsplatine mit Leitungen verbunden wird, die auf der Abstützbasis vorgesehen sind, und die mit den Treiber-und Detektions-Elektroden verbunden sind.
  • Das Vibrations-Kreiselgerät kann so konfiguriert sein, daß die wenigstens eine flexible Verdrahtungsplatine durch Löten oder durch ein elektrisch leitendes Klebemittel mit Leitungen verbunden ist, die an der Abstimmgabel vorgesehen sind, und die mit den Treiber-und Detektions-Elektroden verbunden sind.
  • Das Vibrations-Kreiselgerät kann auch so konfiguriert sein, daß: die Abstützbasis einen Schlitz aufweist; das Vibrations-Kreiselgerät ein Halterungsteil besitzt, welches durch den Schlitz verläuft und welches an der Abstützbasis durch ein elastisches Klebemittel befestigt ist; und das Vibrations-Kreiselgerät kann ferner an einem Stab befestigt sein, so daß die zwei Arme der Stimmgabel zu dem Stab hinzeigen.
  • Das Vibrations-Kreiselgerät kann auch so konfiguriert werden, daß das Halterungsteil an dem Stab durch Löten und/oder Schweißen befestigt wird.
  • Das Vibrations-Kreiselgerät kann so konfiguriert sein, daß es ferner eine Kappe aufweist, welche hermetisch die Stimmgabel und die Abstützbasis abdichtet.
  • Das Vibrations-Kreiselgerät kann so konfiguriert sein, daß es ferner eine Kappe aufweist, die hermetisch die Stimmgabel und die Abstützbasis abdichtet, wobei das Halterungsteil an dem Stab und der Kappe befestigt ist.
  • Das Vibrations-Kreiselgerät kann ferner so konfiguriert sein, daß: das Halterungsteil einen ersten Abschnitt aufweist, der an dem Stab zu befestigen ist, und einen zweiten Abschnitt aufweist, der an der Abstützbasis befestigt ist; und wobei der erste Abschnitt einen Bereich oder eine Gestalt besitzt, der bzw. die größer ist als derjenige bzw. diejenige des zweiten Abschnitts.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der folgenden detaillierten Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen, in welchen:
  • 1A und 1B Diagramme eines herkömmlichen piezoelektrischen Vibrations-Kreiselgerätes vom Stimmgabeltyp sind;
  • 2 ein Diagramm ist, welches einen Betrieb des Kreiselgerätes zeigt, das in den 1A und 1B veranschaulicht ist;
  • 3 ein Diagramm ist, welches eine Konstruktion einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und eine normale Betriebsweise derselben wiedergibt;
  • 4 ein Diagramm ist, welches die Konstruktion der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und eine defekte Betriebsweise derselben veranschaulicht;
  • 5 eine graphische Darstellung einer Beziehung zwischen einer treiberseitigen Resonanzfrequenz und einer detektionsseitigen Resonanzfrequenz zeigt;
  • 6 eine andere graphische Darstellung der Beziehung zwischen der treiberseitigen Resonanzfrequenz und der detektionsseitigen Resonanzfrequenz zeigt;
  • 7 ein Diagramm ist, welches Parameter veranschaulicht, welche eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung betreffen;
  • 8A, 8B, 8C, 8D und 8E graphische Darstellungen von Beziehungen zwischen Parametern und den treiberseitigen und detektionsseitigen Resonanzfrequenzen sind;
  • 9 eine perspektivische Ansicht einer Stimmgabel ist, die in einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendet wird;
  • 10A und 10B jeweils perspektivische und Seiten-Ansichten eines Kreiselgerätes gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sind;
  • 11 eine perspektivische Ansicht einer Stimmgabel ist, die in einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendet wird;
  • 12 eine perspektivische Ansicht einer Stimmgabel und einer Abstützbasis ist, die in der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendet wird;
  • 13A und 13B jeweils perspektivische und Seiten-Ansichten eines Kreiselgerätes gemäß der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen;
  • 14A und 14B jeweils Seiten-und Drauf-Sichten eines Kreiselgerätes gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen;
  • 15A eine Querschnittsansicht der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in einem Zustand zeigt, bei dem eine Kappe vorgesehen ist;
  • 15B eine Querschnittsansicht einer Abwandlung der Konstruktion gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 16A und 16B Diagramme einer Abwandlung der Konstruktion sind, die in den 14A und 14B wiedergegeben ist;
  • 17A eine Querschnittsansicht eines Kreiselgerätes gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;
  • 17B eine vergrößerte perspektivische Ansicht eines Abschnitts des Kreiselgerätes zeigt, welches in 17A wiedergegeben ist;
  • 18A, 18B und 18C jeweils Diagramme eines Kreiselgerätes gemäß einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen; und
  • 19A, 19B, 19C und 19D jeweils Diagramme einer Abwandlung der Konstruktion sind, die in den 18A, 18B und 18C gezeigt sind.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • 3 ist ein Diagramm eines piezoelektrischen Vibrations-Kreiselgerätes vom Stimmgabeltyp gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In 3 sind Teile, welche die gleichen wie diejenigen sind, welche in den früher beschriebenen Figuren gezeigt sind, mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
  • Das in 3 gezeigte Kreiselgerät verwendet eine Klebemittelschicht 36, die zwischen dem Basisabschnitt 15 und der Stimmgabel 10 und einer Abstützbasis 38 vorgesehen ist, die eine Plattengestalt besitzt und bei der eine elastische integrale oder einstückige Struktur der Stimmgabel 10 und der Abstützbasis 38 realisiert ist und zwar innerhalb eines verwendbaren Temperaturbereiches des Kreiselgerätes. Die Klebemittelschicht 36 besteht beispielsweise aus einem Glasklebemittel oder einem Epoxy-Klebemittel. Die Klebemittelschicht 36 muß eine Glas-Übergangspunkt-Temperatur besitzen, die höher liegt als der Maximalwert des verwendbaren Temperaturbereiches des Kreiselgerätes. Die Klebemittelschicht 36 befindet sich in einem glasähnlichen Zustand mit einem großen Elastizitätsmodul, wenn die Temperatur der Klebemittelschicht 36 niedriger liegt als die Glas-Übergangspunkt-Temperatur, und befindet sich in einem gummiähnlichen Zustand mit einem extrem niedrigen Elastizitätsmodul, wenn die Temperatur der Klebemittelschicht 36 höher liegt als die Glas-Übergangspunkt-Temperatur.
  • Die Klebemittelschicht 36 ist vergleichsweise hart in dem glasähnlichen Zustand und es tritt somit eine Drehbewegung auf, die durch die treiberseitige Vibration und die detektionsseitige Vibration verursacht wird, so als ob die Stimmgabel 10 und die Abstützbasis 38 durch eine harte Klebemittelschicht 36 miteinander verbunden wären. Mit anderen Worten werden die Stimmgabel 10 und die Abstützbasis 38 inte gral in Vibration versetzt, wenn die Klebemittelschicht 36 sich in dem glasähnlichen Zustand befindet. Wenn sich im Gegensatz dazu die Klebemittelschicht 36 in dem gummiähnlichen Zustand befindet, wobei die Glas-Übergangspunkt-Temperatur überschritten ist, werden die Stimmgabel 10 und das Halterungsteil getrennt in Vibration versetzt, da die Klebemittelschicht 36 weich ist. Bei einem in 4 gezeigten Beispiel ist die Rotation der Arme 12 und 14 größer als diejenige der Abstützbasis 38. Damit treten unerwünschte Vibrationen auf und es wird eine resultierende Leckspannung der Detektionsspannung überlagert. Dies verschlechtert die Qualität bzw. Performance des Kreiselgerätes.
  • Gemäß der obigen Betrachtungsweise ist die Klebemittelschicht 36 so angeordnet, daß sie eine Glas-Übergangspunkt-Temperatur besitzt, die höher liegt als eine maximale Temperatur des verwendbaren Temperaturbereiches des Kreiselgerätes. Somit können die Stimmgabel und das Halterungsteil integral innerhalb des verwendbaren Temperaturbereiches in Vibration versetzt werden.
  • Die Stimmgabel 10 ist mit den zuvor erwähnten Treiberelektroden 16, 18, 20 und 22 und den Detektionselektroden 24, 26, 28, 30, 32 und 34 ausgestattet. Diese Elektroden sind jedoch in den 3 und 4 der Einfachheit halber weggelassen. Ferner sind Leitungen vorgesehen und mit den Elektroden in einer herkömmlichen Weise verbunden, wie dies in der Japanischen offengelegten Patentanmeldung Nr.8-128830 offenbart ist. Wie an späterer Stelle noch beschrieben wird, besitzt die dritte und die vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung einzigartige Anordnungen der Leitungen, um externe Verbindungen mit den Treiber-und Detektions-Elektroden herzustellen.
  • Es folgt nun eine Beschreibung einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die eine einmalige oder einzigartige Anordnung besitzt, bei der der Absolutwert der Resonanzfrequenz der treiberseitigen Vibration und der Absolutwert der Resonanzfrequenz der detektionsseitigen Vibration gleich ist oder kleiner ist als ein vorbestimmter Schwellenwert, so daß das Kreiselgerät mit einer gewünschten Qualität bzw. Performance konfiguriert werden kann. Spezieller gesagt wird die oben erwähnte Resonanzfrequenz-Differenz reduziert, um effizient eine Detektionsspannung auszugeben. Dies wird im folgenden unter Hinweis auf die 5 und 6 beschrieben.
  • Die 5 und 6 sind graphische Darstellungen von Frequenzeigenschaften, die die Resonanzfrequenz der treiberseitigen Vibration und die Resonanzfrequenz der detektionsseitigen Vibration zeigen. 5 veranschaulicht einen Fall, bei dem die Empfindlichkeit des Kreiselgerätes vergleichsweise hoch ist. In den 5 und 6 bezeichnet ein Symbol fx die Resonanzfrequenz der treiberseitigen Vibration , und ein Symbol fy bezeichnet die Resonanzfrequenz der detektionsseitigen Vibration. Wie in 5 gezeigt ist, wird in dem Fall, bei dem die Empfindlichkeit des Kreiselgerätes vergleichsweise hoch ist, wenn die Resonanzfrequenz der treiberseitigen Vibration und die Resonanzfrequenz der detektionsseitigen Vibration einen kleinen Differenzwert hat, die Verstärkung G stark geändert (Delta G) und zwar entsprechend selbst einer kleinen Vibration in der Resonanzfrequenz (ein Fall, bei dem die Resonanzfrequenz der treiberseitigen Vibration geändert wird von fx nach fx'). D.h. die Spitze der treiberseitigen Vibration ist bei einem relativ hohen Verstärkungsabschnitt der Spitze der detektionsseitigen Vibration gelegen. Da die Verstärkung G stark geändert wird, ist die Detektionsspannung unstabil. Wenn im Gegensatz dazu, wie in 6 gezeigt ist, eine große Resonanzfrequenzdifferenz festgelegt ist, kann die Detektionsspannung nicht effizient erhalten werden verglichen mit dem Fall, der in 5 gezeigt ist (die Verstärkung G der Spitze der Resonanzfrequenz der detektionsseitigen Vibration ist klein verglichen mit dem Fall, der in 5 gezeigt ist). Es wird jedoch die Verstärkung G nicht stark aufgrund einer Vibration der Resonanzfrequenz geändert (fx -> fx'), und somit kann die Detektionsspannung in stabiler Weise erhalten werden.
  • Es ist erforderlich die Frequenzdifferenz |fx – fy| festzulegen, um den Einfluß der Vibration auf die Resonanzfrequenz zu reduzieren. Wenn in diesem Fall die Frequenzdifferenz |fx – fy| zu groß ist, wird die Empfindlichkeit stark vermindert. Es ist somit erforderlich die obere Grenze der Differenzfrequenz |fx – fy| zu definieren, um eine ausreichende Empfindlichkeit zu erhalten.
  • Die Differenzfrequenz |fx – fy| zwischen der Resonanzfrequenz der treiberseitigen Vibration und derjenigen der detektionsseitigen Vibration kann dadurch eingestellt werden, indem man die Gestalt der Abstützbasis 38 ändert, so daß die Resonanzfrequenz der detektionsseitigen Vibration geändert werden kann. Es ist beispielsweise, wie dies in 7 veranschaulicht ist, ein Schlitz 40 in der Abstützbasis 38 ausgebildet. Der Schlitz 40 ist auf der Zentrumslinie des Halterungsteiles 40 gelegen (das Zentrum der Drehbewegung des Kreiselgerätes). Der Schlitz 40 verbindet die sich gegenüberliegenden Flächen der Abstützbasis 38 und besitzt ein offenes Ende.
  • Die 8A bis 8E zeigen grafische Darstellungen, welche die Beziehungen zwischen Parametern und den Resonanzfrequenzen der treiberseitigen und der detektionsseitigen Vibrationen veranschaulichen. Die in den 8A bis 8E gezeigten Parameter sind die Weite oder Breite W der Abstützbasis 38, die Weite w des Schlitzes 40, die Länge L der Abstützbasis 38, die Länge 1 des Schlitzes 40 und die Dicke t der Abstützbasis 38. Die grafischen Darstellungen der 8A bis 8E werden durch Definieren oder Festlegen der darin gezeigten Abmaße erhalten. Wie in diesen Figuren dargestellt ist, können die verschiedenen Kombinationen der Parameter willkürlich festgelegt werden, um die Spitzenposition der Resonanzfrequenz der treiberseitigen Vibration einzustellen, so daß sie außerhalb der Spitze der detektionsseitigen Vibration zu liegen kommt. Es ist somit möglich Kreiselgeräte zu schaffen, von denen jedes für einen jeweiligen Betriebszustand geeignet ist.
  • Anhand von Experimenten, die von den Erfindern durchgeführt wurden, konnte gezeigt werden, daß die Frequenzdifferenz |fx – fy| zwischen der Resonanzfrequenz der treiberseitigen Vibration und der Resonanzfrequenz der detektionsseitigen Vibration gleich ist oder kleiner ist als 1,3 kHz. Wie an früherer Stelle beschrieben wurde wird dann, wenn die Frequenzdifferenz |fx – fy| zu groß wird, die Empfindlichkeit stark verschlechtert. Es ist in diesem Fall sehr schwierig die Winkelgeschwindigkeit zu detektieren. Es ist somit wünschenswert den Schwellenwert festzulegen, welcher die obere Grenze der Frequenzdifferenz |fx – fy| angibt. Gemäß den von den Erfindern durchgeführten Experimenten hat sich gezeigt, daß die obere Grenze der Frequenzdifferenz |fx – fy| 1,3 kHz beträgt.
  • Es folgt nun eine Beschreibung unter Hinweis auf die 9, 10A und 10B einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die auf eine einzigartige oder einmalige Anordnung hinsichtlich der Leiter für externe Anschlüsse mit den Treiber-und Detektions-Elektroden gerichtet ist.
  • 9 zeigt die Stimmgabel des Kreiselgerätes 10 gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In 9 sind Teile, welches die gleichen sind wie diejenigen, die in früher beschriebenen Figuren vorkommen, mir den gleichen Bezugszeichen versehen. Wie in 9 dargestellt ist, sind Leitungen 42, 44 und 46 an der Frontfläche des Basisabschnitts 15 der Abstimmgabel 10 vorgesehen und sie stellen die Verbindungen her, die in 1A gezeigt sind. Die Leitungen 42 verbinden die Treiberelektroden 20 und 22 miteinander und die Leitung 46 verbindet die Detektionselektroden 24 und 34 miteinander. Die Leitung 44 erstreckt sich zum Zentrum des Basisabschnitts 15. In ähnlicher Weise sind Leitungen, die den Leitungen 42, 44 und 46 entsprechen, auf der Rückfläche des Basisabschnitts 15 der Stimmgabel 10 vorgesehen, um die Verbindungen zu realisieren, die in 1A gezeigt sind.
  • Wie in den 10A und 10B gezeigt ist, sind flexible Verdrahtungsplatinen 50 und 58 vorgesehen, um die Treiberelektroden und die Detektionselektroden mit den Leitungen zu verbinden, die an der Frontfläche und der Rückfläche der Arme 12 und 14 vorgesehen sind. Die flexible Verdrahtungsplatine 50 enthält ein Basisteil 52 und einen Leitungsabschnitt 54 mit einer Vielzahl von Leitungen, die durch das Basisteil 52 abgestützt bzw. gehaltert sind. Bei dem in den 10A und 10B gezeigten Beispiel besitzt der Leitungsabschnitt 54 drei Leitungen. Wie durch ein Bezugszeichen 56 in den 10A und 10B angezeigt ist, ist eine ende der flexiblen Verdrahtungsplatine 50 am Zentrum des Basisabschnitts 15 gelegen, so daß die Leitungen 42, 44 und 46 und die entsprechenden Leitungen des Leitungsabschnitts 54 in Linien oder Zeilen angeordnet sind. Die Leitungen 42, 44 und 46 sind elektrisch mit den entsprechenden Leitungen des Leitungsabschnitts 54 verbunden und zwar durch Anlöten oder mit Hilfe eines elektrisch leitfähigen Klebemittels. die Betriebsfähigkeit bei der Verwendung der flexiblen Verdrahtungsplatine 50 und der Leitungen 42, 44 und 46 ist besser gegenüber derjenigen der herkömmlichen Drahtkontaktierung. Die flexible Verdrahtungs platine 58, die auf der Rückseite des Basisabschnitts 1^5 vorgesehen ist, ist in der gleichen Weise konfiguriert, wie die oben erläuterte flexible Verdrahtungsplatine 50, die an der Frontseite desselben vorgesehen ist.
  • Es folgt nun eine Beschreibung der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Hinweis auf die 11, 12, 13A und 13B, die auf eine einmalige oder einzigartige Anordnung gerichtet ist, bei der die oben erläuterten flexiblen Verdrahtungsplatinen 50 und 58 an den Front-und-Rückseiten der Abstützbasis 38 vorgesehen sind. An der Frontfläche des Basisabschnitts 15 der Stimmgabel 10 sind Leitungen 60, 62, 64, 66 und 68 vorgesehen, die sich von den Leitungen 20, 24, 22, 30 und 34 aus jeweils erstrecken. Leitungen ähnlich den Leitungen 60, 62, 64 66 und 68, sind auch auf der Rückseite des Basisabschnitts 15 vorgesehen.
  • Wie in 12 dargestellt ist, sind die Leitungen 70, 72 und 74 an der Frontfläche der Abstützbasis 38 vorgesehen. Die Leitung 70 verbindet elektrisch die Leitungen 60 und 68 miteinander, und die Leitung 72 verbindet elektrisch die Leitungen 62 und 64 miteinander. Die Leitung 74 ist mit der Leitung 66 verbunden und erstreckt sich zum Zentrum der Abstützbasis 38 hin. Ein Bezugszeichen 70 zeigt in 12 einen Zwischenbereich zwischen den Leitungen an der Abstimmgabel 10 und den Leitungen an der Abstützbasis 38 an. Die Verbindungen oder Anschlüsse an dem Zwischenbereich sind durch Löten oder durch ein elektrisch leitendes Klebemittel hergestellt. Leitungen ähnlich den Leitungen 70, 72, und 74 sind auf der Rückfläche der Abstützbasis 38 vorgesehen.
  • Wie in den 13A und 13B gezeigt ist, sind die flexiblen Verdrahtungsplatinen 50 und 58 jeweils an den Front-und-Rückseiten der Abstützbasis 38 vorgesehen. Die Leitungen 70, 72 und 74, die an der Frontseite der Abstützbasis 38 vorgesehen sind, sind elektrisch mit Leitungen des Lei tungsabschnitts 54 der flexiblen Verdrahtungsplatine 50 durch Löten oder durch ein elektrisch leitendes Klebemittel angeschlossen bzw. verbunden. In ähnlicher Weise sind Leitungen, die an der Rückfläche der Abstützbasis 38 vorgesehen sind, elektrisch mit den Leitungen des Leitungsabschnitts der flexiblen Verdrahtungsplatine 58 durch Löten oder ein elektrisch leitendes Klebemittel verbunden.
  • Es folgt nun eine Beschreibung einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Hinweis auf die 14A, 14B, 15A und 15B, die eine Anordnung umfaßt, bei der die Stimmgabel 10 und die Abstützbasis 38 durch einen Stab 78 gehaltert sind und durch eine Kappe 80 bedeckt sind.
  • Wie in den 14A und 14B gezeigt ist, ist eine Halterungsplatte 76, die durch den Schlitz 40 hindurch verläuft, der in der Abstützbasis 38 ausgebildet ist, an dem Stab 78 befestigt. Die Abstützbasis 38 ist an der Halterungsplatte 76 durch ein elastisches Klebemittel befestigt. Damit zeigen die zwei Arme 12 und 14 der Abstimmgabel 10 zu dem Stab 78 hin (mit anderen Worten verläuft die treiberseitige Vibrationsebene parallel zu einer Fläche 78A des Stabes 78). Eine Vielzahl von Stiften 79 sind an dem Stab 78 befestigt und sind elektrisch mit Verdrahtungsmustern (nicht gezeigt) verbunden, die auf der Fläche 78A des Stabes 78 vorgesehen sind. Die zuvor erwähnten flexiblen Verdrahtungsplatinen 50 und 58 (in den 14A-15B der Einfachheit halber nicht gezeigt) sind mit den Verdrahtungsmustern verbunden, die auf der Fläche 78A des Stabes 78 ausgebildet sind. Wie in 15A gezeigt ist, ist die Kappe 80 an dem Stab 78 befestigt, so daß sie hermetisch die Stimmgabel 10 und die Abstützbasis 38 abdichtet.
  • Wie in 15B gezeigt ist, kann die Abstützgabel 10 so gehaltert werden, daß die treiberseitige Vibrationsebene vertikal zu der Fläche 78A des Stabes 78 verläuft. In diesem Fall können die flexiblen Verdrahtungsplatinen 50 und 58 in einfacher Weise positioniert und verlegt werden und zwar verglichen mit der Anordnung, die in 15A gezeigt ist. Es muß jedoch die Kappe 80 eine größere Größe haben als diejenige, die in 15A gezeigt ist. Die in 15B verwendete Halterungsplatte 76 besitzt einen L-förmigen oder Z-förmigen Querschnitt und ein oder beide Enden derselben sind an dem Stab 78 befestigt.
  • Die 16A und 16B sind Diagramme, die eine Abwandlung der Konstruktion zeigen, welche in den 14A und 14B wiedergegeben ist. Eine Halterungsplatte 76A, die in den 16A und 16B gezeigt ist, besitzt einen angenäherten C-gestalteten Querschnitt und beide enden derselben sind an dem Stab 78 durch Löten oder Schweißen befestigt. Wie in 16B veranschaulicht ist, verläuft die Halterungsplatte 76A durch den Schlitz 38 der Abstützbasis 38 und ist an dieser durch ein Klebemittel oder ähnliches befestigt. Da beide Enden der Halterungsplatte 76 an dem Stab 78 befestigt sind ist es somit möglich, effektiv eine Vibration der Halterungsplatte 76A selbst zu unterdrücken.
  • Die 17A und 17B zeigen eine sechste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die darauf abzielt effektiver eine Vibration der Halterungsplatte 76 selbst zu unterdrücken, die in den 14A und 14B veranschaulicht ist. Ein Konstruktionsrahmen 84 mit einer Ausnehmung, der an ein Ende der Halterungsplatte 76 angreift, ist auf der Fläche 78A des Stabes 78 vorgesehen. Ein Konstruktionsrahmen 86 mit einer Ausnehmung, der an das andere Ende der Halterungsplatte 76 angreift, ist an der inneren Deckenwand der Kappe 80 vorgesehen. Die Halterungsplatte 76 ist zwischen zwei Konstruktionsrahmen 84 und 86 mit Ausnehmung zwischengesetzt und zwar in dem zusammengebauten Zustand. Die Halterungsplatte 76 wird durch den Stab 78 und die Kappe 80 gehaltert, so daß die Hal terungsplatte 76 effektiver eine Vibrationserzeugung unterdrücken kann.
  • Die 18A, 18B und 18C zeigen eine siebte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die darauf abzielt effektiver eine Vibration der Halterungsplatte 76 zu unterdrükken, die in den 14A und 14B veranschaulicht ist, wie in dem Fall der sechsten Ausführungsform. Eine bei der siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendete Halterungsplatte ist durch ein Bezugszeichen 76B angezeigt. Die Halterungsplatte 76B enthält einen ersten Abschnitt b1 und einen zweiten Abschnitt b2. Der erste Abschnitt b1 ist an dem Stab 78 befestigt und besitzt eine dreieckförmige Prisma- oder Pegelgestalt. Der zweite Abschnitt b2 ist an der Abstützbasis 38 befestigt und besitzt eine Plattengestalt. Der erste Abschnitt b1 besitzt einen vergleichsweise weiten Bereich, der den Stab 78 kontaktiert, so daß eine Vibration der Halterungsplatte 76B selbst effektiv unterdrückt werden kann.
  • Die 19A, 19B, 19C und 19D zeigen eine Abwandlung der siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die eine Halterungsplatte 76C besitzt. Wie in diesen Figuren dargestellt ist, besitzt die Halterungsplatte 76C einen ersten Abschnitt c1 und einen zweiten Abschnitt c2. Der erste Abschnitt c1 besitzt einen weiten Bereich, der den Stab 78 kontaktiert und an diesem befestigt ist. Es ist somit möglich effektiv eine Vibration der Halterungsplatte 76C selbst zu unterdrücken. 19C zeigt die Halterungsplatte 76C, die einen L-gestalteten Querschnitt hat. Die 19D zeigt die Halterungsplatte 76C, die einen ersten Abschnitt c3 mit einem T-gestalteten Querschnitt besitzt.
  • Wie in den 18A bis 19D dargestellt ist, ist die Halterungsplatte so konstruiert, daß sie einen weiten Bereich besitzt, der in Berührung mit dem Stab 78 steht, so daß eine Vibration der Halterungsplatte selbst effektiv unterdrückt werden kann.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die spezifischen offenbarten Ausführungsformen beschränkt und es sind Abwandlungen und Modifikationen möglich, ohne dadurch den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.

Claims (14)

  1. Piezoelektrisches Vibrations-Kreiselgerät vom Stimmgabeltyp, mit: einer Stimmgabel mit zwei Armen und einem Basisabschnitt (15), der einstückig mit den zwei Armen ausgebildet ist und Elektroden aufweist: einer Abstützbasis (38), welche den Basisabschnitt (15) der Stimmgabel abstützt; und einer Klebemittelschicht (36), welche den Basisabschnitt (15) und die Abstützbasis (38) miteinander verbindet, so daß die Stimmgabel und die Abstützbasis (38) innerhalb eines Temperaturbereiches, in welchem das Kreiselgerät verwendet wird, elastisch integriert vibrieren, wobei die Abstützbasis (38) über ihre Höhe eine im wesentlichen gleichförmige Breite längs einer Richtung hat, in welcher die Abstützbasis (38) mit der Stimmgabel verbunden ist, und die Breite der Abstützbasis (38) gleich oder größer als eine Breite des Basisabschnitts (15) der Stimmgabel ist.
  2. Vibrations-Kreiselgerät nach Anspruch 1, bei dem: die Klebemittelschicht eine Schicht aus Glas und Epoxy-Harz umfaßt; und die Klebemittelschicht eine Glas-Übergangspunkt-Temperatur besitzt, die höher liegt als eine maximale Temperatur, bei der das Kreiselgerät verwendet werden kann.
  3. Vibrations-Kreiselgerät nach Anspruch 1 oder 2, bei dem ein Absolutwert einer Differenz zwischen einer Resonanzfrequenz einer treiberseitigen Vibration des Kreiselgerätes und derjenigen einer detektionsseitigen Vibration desselben gleich ist oder kleiner ist als ein vorbestimmter Schwellenwert.
  4. Vibrations-Kreiselgerät nach Anspruch 1 oder 2, bei dem ein Absolutwert einer Differenz zwischen einer Resonanzfrequenz einer treiberseitigen Vibration des Kreiselgerätes und derjenigen einer detektionsseitigen Vibration desselben gleich ist oder kleiner ist als 1,3 kHz.
  5. Vibrations-Kreiselgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 4, ferner mit: Treiberelektroden, die an der Stimmgabel vorgesehen sind; Detektionselektroden, die an der Stimmgabel vorgesehen sind; und wenigstens einer flexiblen Verdrahtungsplatine (50) für externe Verbindungen mit den Treiber-und-Detektions-Elektroden.
  6. Vibrations-Kreiselgerät nach Anspruch 5, bei dem die wenigstens eine flexible Verdrahtungsplatine (50) mit Leitungen verbunden ist, die an der Stimmgabel vorgesehen sind, und mit Treiber-und-Detektions-Elektroden verbunden ist.
  7. Vibrations-Kreiselgerät nach Anspruch 5, bei dem wenigstens eine flexible Verdrahtungsplatine (50) durch Löten oder ein elektrisch leitendes Klebemittel mit Leitungen verbunden ist, die an der Abstimmgabel vorgesehen sind, und mit Treiber-und-Detektions-Elektroden verbunden ist.
  8. Vibrations-Kreiselgerät nach Anspruch 5, bei dem die wenigstens eine flexible Verdrahtungsplatine (50) mit Leitungen verbunden ist, die an der Abstützbasis vorgesehen sind, und mit Treiber-und-Detektions-Elektroden verbunden ist.
  9. Vibrations-Kreiselgerät nach Anspruch 5, bei dem die wenigstens eine flexible Verdrahtungsplatine (50) durch Löten oder durch ein elektrisch leitendes Klebemittel mit Leitungen verbunden ist, die an der Abstimmgabel vorgesehen sind, und mit Treiber-und-Detektions-Elektroden verbunden ist.
  10. Vibrations-Kreiselgerät nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 9, bei dem: die Abstützbasis (38) einen Schlitz aufweist; das Vibrations-Kreiselgerät ein Halterungsteil (76) besitzt, welches durch den Schlitz verläuft und welches an der Abstützbasis durch ein elastisches Klebemittel befestigt ist; und das Vibrations-Kreiselgerät an einen Stab befestigbar ist, so daß die zwei Arme der Abstimmgabel zu dem Stab (78) hinweisen.
  11. Vibrations-Kreiselgerät nach Anspruch 10, bei dem das Halterungsteil (76) an dem Stab (78) durch Löten oder durch Schweißen befestigt ist.
  12. Vibrations-Kreiselgerät nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 11, ferner mit einer Kappe (80), welche die Stimmgabel und die Abstützbasis (38) hermetisch abdichtet.
  13. Vibrations-Kreiselgerät nach Anspruch 10, welches ferner eine Kappe (80) umfaßt, die die Abstimmgabel und die Abstützbasis (38) hermetisch abdichtet, wobei das Halterungsteil (76) an dem Stab (78) und der Kappe (80) befestigt ist.
  14. Vibrations-Kreiselgerät nach Anspruch 10, bei dem: das Halterungsteil (76) einen ersten Abschnitt aufweist, der an dem Stab (38) befestigt ist, und einen zweiten Abschnitt aufweist, der an der Abstützbasis befestigt ist; und der erste Abschnitt einen Bereich oder eine Gestalt besitzt, der bzw. die größer ist als derjenige bzw. diejenige des zweiten Abschnitts.
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