DE102006040564A1

DE102006040564A1 - Winkelgeschwindigkeitssensorbefestigungsanordnung

Info

Publication number: DE102006040564A1
Application number: DE102006040564A
Authority: DE
Inventors: Tameharu Kariya Ohta
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2005-08-30
Filing date: 2006-08-30
Publication date: 2007-03-01
Anticipated expiration: 2026-08-31
Also published as: JP4534912B2; US20070044558A1; JP2007064753A; DE102006040564B4; US7497117B2

Abstract

Eine Winkelgeschwindigkeitssensorbefestigungsanordnung weist einen Winkelgeschwindigkeitssensor (100) und ein Befestigungselement (200) auf. Der Winkelgeschwindigkeitssensor weist einen Oszillator (21), ein Winkelgeschwindigkeitsmesselement (20), ein Gehäuse (10) und eine Mehrzahl von Leiterrahmen (60) auf. Das Winkelgeschwindigkeitsmesselement (20) misst eine Winkelgeschwindigkeit (OMEGA) auf der Grundlage einer Schwingung des Oszillators (21) in einer ersten Achsenrichtung. Das Befestigungselement (200) ist bezüglich des Winkelgeschwindigkeitssensors (100) in einer zweiten Achsenrichtung angeordnet, die gewöhnlich rechtwinklig zur ersten Achsenrichtung verläuft. Der Winkelgeschwindigkeitssensor (100) ist über die Mehrzahl von Leiterrahmen (60) an dem Befestigungselement (200) befestigt. Wenigstens ein sich erstreckendes Segment (61, 62) ist ein Mittelsegment von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) und erstreckt sich in der zweiten Achsenrichtung in Richtung des Befestigungselements (200). Das wenigstens eine sich erstreckende Segment (61, 62) von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) kann in der ersten Achsenrichtung schwingen.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Befestigungsanordnung und ein Befestigungsverfahren zur Befestigung eines Winkelgeschwindigkeitssensors mit Hilfe von Leiterrahmen.

Ein herkömmlicher Winkelgeschwindigkeitssensor dieser Bauart weist ein Gehäuse und ein Winkelgeschwindigkeitsmesselement auf, das einen Oszillator aufweist und in dem Gehäuse angeordnet ist. Das Winkelgeschwindigkeitsmesselement erfasst hierbei eine Winkelgeschwindigkeit auf der Grundlage einer erfassten Schwingung des Oszillators. Der Winkelgeschwindigkeitssensor weist Leiterrahmen auf, die eine elektrische Verbindung nach Außerhalb vorsehen.

Die ungeprüfte japanische Patentschrift JP 2003-46479 , welche der US 6,880,399 entspricht, offenbart eine Befestigungsanordnung, bei welcher der obige Winkelgeschwindigkeitssensor über die Leiterrahmen mit einem Befestigungselement verbunden ist. In dieser Druckschrift ist das Befestigungselement derart angeordnet, dass es einen Außenumfang des Gehäuses umgibt. Ferner ist ein Endabschnitt des Außenumfangs über die Leiterrahmen elektrisch mit dem Befestigungselement verbunden, das um den Endabschnitt des Außenumfangs herum angeordnet ist.

Ein Schwingungswinkelgeschwindigkeitssensor erfasst die Winkelgeschwindigkeit über ein in Schwingung setzen des Oszillators und ein anschließendes Erfassen einer Verschiebung (d.h. eine erfasste Schwingung) des Oszillators bedingt durch die Coriolis-Kraft bei einer aufgebrachten Winkelgeschwindigkeit.

Solch eine Erfassung kann fehlerhaft sein, wenn eine hochfrequente externe Schwingung, die in einer Schwingungsrichtung der obigen erfassten Schwingung schwingt, den Oszillator über das Befestigungselement erreicht und die erfasste Schwingung überlagert. Folglich muss die hochfrequente externe Schwingung, die in der Schwingungsrichtung der erfassten Schwingung schwingt, mit Hilfe einer Vibrationssteuerung verringert werden.

Bei einer Anordnung, bei welcher der Winkelgeschwindigkeitssensor über die Leiterrahmen mit dem Befestigungselement verbunden ist, kann die den Winkelgeschwindigkeitssensor erreichende externe Schwingung gesteuert bzw. kontrolliert werden, wenn die hochfrequente externe Schwingung mit Hilfe der Leiterrahmen verringert wird. Um dieses zu erreichen, müssen die Leiterrahmen gegebenenfalls verlängert und muss eine Steifigkeit der Leiterrahmen derart verringert werden, dass die Resonanzfrequenz in dem Feder-Masse-System, in welchem der Leiterrahmen als Feder und der Winkelgeschwindigkeitssensor als Masse dient, verringert wird.

Wenn die Leiterrahmen bei der herkömmlichen Anordnung zur Steuerung der Schwingung verlängert werden, erstrecken sie sich jedoch deutlich in radialer Richtung von dem Außenumfang des Gehäuses des Winkelgeschwindigkeitssensors. Folglich vergrößert sich die Befestigungsfläche zur Befestigung des Winkelgeschwindigkeitssensors an dem Befestigungselement. Dies führt dazu, dass das Befestigungselement und damit verbunden die Anordnung größer ausgebildet werden müssen.

Es ist angesichts der obigen Nachteile im Stand der Technik Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Befestigungsanordnung bereitzustellen, bei der ein Winkelgeschwindigkeitssensor über einen Leiterrahmen derart an einem Befestigungselement befestigt werden kann, dass der Leiterrahmen zur Schwingungssteuerung verlängert werden kann, eine Befestigungsfläche jedoch nicht oder nur geringfügig vergrößert werden muss.

Um die Aufgabe der vorliegenden Erfindung zu lösen, wird eine Winkelgeschwindigkeitssensorbefestigungsanordnung bereitgestellt, die einen Winkelgeschwindigkeitssensor und ein Befestigungselement aufweist. Der Winkelgeschwindigkeitssensor weist einen Oszillator, ein Winkelgeschwindigkeitsmesselement, ein Gehäuse und eine Mehrzahl von Leiterrahmen auf. Das Winkelgeschwindigkeitsmesselement misst eine Winkelgeschwindigkeit auf der Grundlage einer Schwingung des Oszillators in einer ersten Achsenrichtung. Das Gehäuse nimmt das Winkelgeschwindigkeitsmesselement auf. Jeder der Mehrzahl von Leiterrahmen ist elektrisch mit dem Winkelgeschwindigkeitsmesselement verbunden. Das Befestigungselement ist bezüglich des Winkelgeschwindigkeitssensors in einer zweiten Achsenrichtung angeordnet, die gewöhnlich rechtwinklig zur ersten Achsenrichtung verläuft. Der Winkelgeschwindigkeitssensor ist über die Mehrzahl von Leiterrahmen an dem Befestigungselement befestigt. Jeder der Mehrzahl von Leiterrahmen weist ein erstes Endsegment, wenigstens ein sich erstreckendes Segment und ein zweites Endsegment auf. Das erste Endsegment ist an dem Gehäuse befestigt. Das wenigstens eine sich erstreckende Segment ist ein Mittelsegment von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen und erstreckt sich in der zweiten Achsenrichtung in Richtung des Befestigungselements. Das zweite Endsegment ist an dem Befestigungselement befestigt. Das wenigstens eine sich erstreckende Segment von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen kann in der ersten Achsenrichtung schwingen.

Weitere Aufgaben, Eigenschaften und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der nachfolgenden detail lierten Beschreibung, die unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung gemacht wurde, näher ersichtlich sein. In der Zeichnung zeigt:

1 eine schematische Schnittsansicht einer Befestigungsanordnung zur Befestigung eines Winkelgeschwindigkeitssensors gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
2 eine Darstellung eines sich erstreckenden Segments als Schwingungsmodel, bei welchem das sich erstreckende Segment in der erfassten Schwingungsrichtung schwingt;
3A eine schematische Draufsicht auf eine Mehrzahl von Winkelgeschwindigkeitssensoren in einem Fertigungsschritt unter Verwendung einer Mehrfachleiterrahmenanordnung;
3B eine schematische Draufsicht auf die Mehrzahl von Winkelgeschwindigkeitssensoren in einem weiteren Fertigungsschritt unter Verwendung der Mehrfachleiterrahmenanordnung;
3C eine schematische Draufsicht auf die Mehrzahl von Winkelgeschwindigkeitssensoren in einem weiteren Fertigungsschritt unter Verwendung der Mehrfachleiterrahmenanordnung;
4A eine schematische Draufsicht des Winkelgeschwindigkeitssensors nach einem Trennen der Leiterrahmen;
4B eine schematische Seitenansicht des in der 4A gezeigten Winkelgeschwindigkeitssensors;
4C eine schematische Draufsicht auf den Winkelgeschwindigkeitssensor nach Ausführung eines Bildungsschritts;
4D eine schematische Seitenansicht des in der 4C gezeigten Winkelgeschwindigkeitssensors;
5 eine Perspektivansicht eines Winkelgeschwindigkeitssensors gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
6 eine schematische Schnittansicht einer Befestigungsanordnung zur Befestigung eines Winkelgeschwindigkeitssensors gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
7 eine schematische Schnittansicht einer Befestigungsanordnung zur Befestigung eines Winkelgeschwindigkeitssensors gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
8 eine schematische Schnittansicht einer Befestigungsanordnung zur Befestigung eines Winkelgeschwindigkeitssensors gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und
9 eine schematische Schnittansicht einer Befestigungsanordnung zur Befestigung eines Winkelgeschwindigkeitssensors gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
(Erste Ausführungsform)
Nachstehend wird eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung beschrieben. Ein Winkelgeschwindigkeitssensor 100 wird beispielsweise an einem Fahrzeug befestigt, um eine auf das Fahrzeug aufgebrachte Winkelgeschwindigkeit zu erfassen.
Der Winkelgeschwindigkeitssensor 100 weist gewöhnlich, wie in 1 gezeigt, ein Gehäuse 10 und Leiterrahmen 60 auf. Ein Schaltungssubstrat 30 und ein Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 sind mit Hilfe eines Klebemittels 40 innerhalb des Gehäuses 10 befestigt und über Bonddrähte 50 elektrisch miteinander verbunden. Die Leiterrahmen 60 sind ebenso mit dem Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 elektrisch verbunden.
Das Gehäuse 10 nimmt das Schaltungssubstrat 30 und das Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 auf und dient als Basisteil, das einen Hauptkörper des Winkelgeschwindigkeitssensors 100 bildet. Insbesondere weist das Gehäuse 10 einen Öffnungsabschnitt 13 auf einer Seite einer ersten Fläche 11 des Gehäuses 10 auf und sind das Schaltungssubstrat 30 und das Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 in dem Öffnungsabschnitt 13 angeordnet.
Ferner ist der Winkelgeschwindigkeitssensor 100 in einem Zustand, bei welchem die erste Fläche 11 des Gehäuses 10 einem Befestigungselement 200 gegenüberliegt und eine zweite Fläche 12 des Gehäuses 10 auf einer gegenüberliegenden Seite des Gehäuses 10 angeordnet ist, die auf der gegenüberliegenden Seite des Befestigungselements 200 liegt, an dem Befestigungselement 200 befestigt.
Das Gehäuse 10 ist als mehrschichtiges Substrat aufgebaut, das mehrere Keramikschichten, wie beispielsweise Aluminiumoxidkeramik, aufweist, obgleich dieser Aufbau nicht gezeigt ist. Verdrahtungen sind an einer Oberfläche jeder Keramikschicht und ebenso innerhalb von Durchgangs löchern, die in jeder der Keramikschichten gebildet sind, geformt.
Jeder der obigen Verdrahtungen des Gehäuses 10 tritt an dem Öffnungsabschnitt 13 und der zweiten Fläche 12 des Gehäuses 10 derart hervor, dass das eine Ende der Verdrahtung, das an dem Öffnungsabschnitt 13 hervortritt, mit dem Bonddraht 50 verbunden ist, und dass das andere Ende der Verdrahtung, das an der zweiten Fläche 12 des Gehäuses 10 hervortritt, über Lot elektrisch und mechanisch mit einem ersten Endsegment jedes Leiterrahmens verbunden ist. Die Verdrahtungen, die an der zweiten Fläche 12 hervortreten, bilden entsprechend, wie in 3A gezeigt, die Kontaktstellen 15 (wird nachstehend noch näher beschrieben).
Der Leiterrahmen 60 und das andere Ende der Verdrahtung, das an der zweiten Fläche 12 des Gehäuses 10 hervortritt, sind hierbei über ein Silberfüllmaterial bzw. Silberhartlot, das eine Legierung aus Silber und Kupfer enthält, oder über ein Hochtemperaturlot, dessen Schmelzpunkt über einer Temperatur von 300 °C liegt, verlötet.
In dem Winkelgeschwindigkeitssensor 100 sind das Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 und das Schaltungssubstrat 30 über die Verdrahtungen des Gehäuses 10 und die Bonddrähte 50 elektrisch mit den Leiterrahmen 60 verbunden.
Das Gehäuse 10 weist einen Deckel 14 auf, der durch Schweißen oder Löten an dem Öffnungsabschnitt 13 befestigt ist, so dass der Deckel 14 den Öffnungsabschnitt 13 des Gehäuses 10 versiegelt. Der Deckel 14 besteht beispielsweise aus Metall, Harz oder Keramik.
Das Schaltungssubstrat 30 wird über das Klebemittel an einer Bodenoberfläche des Öffnungsabschnitts 13 des Gehäuses 10 befestigt, und anschließend wird das Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 über das Klebemittel 40 an dem Schaltungssubstrat 30 befestigt. Als das Klebemittel 40 kann ein gewöhnliches Klebemittel verwendet werden. Es wird beispielsweise ein Klebemittel aus Harz (z.B. ein Silikongel) oder ein Klebefilm (z.B. ein Silikonklebefilm, ein Epoxydklebefilm oder ein Polyimidklebefilm) verwendet.
Das Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 ist gleich einem gewöhnlichen Schwingungswinkelgeschwindigkeitsmesselement als einen Oszillator 21 aufweisender Halbleiterchip aufgebaut. Das obige Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 wird gebildet, indem ein Halbleitersubstrat, wie beispielsweise ein Silicon-On-Insulator-Substrat (SOI-Substrat), einem bekannten Fertigungsverfahren, wie beispielsweise Micromachining, unterzogen wird.
Insbesondere kann der Oszillator 21 des Winkelgeschwindigkeitsmesselements 20, wie allgemein bekannt, als Balkenstruktur mit einer Kammform ausgebildet werden. Der Oszillator 21 kann in Bezug auf eine angelegte Winkelgeschwindigkeit betrieben werden, da er durch den Balken, der eine elastische Eigenschaft aufweist, getragen wird.
In der 1 wird eine Winkelgeschwindigkeit Ω einer Drehbewegung um eine Z-Achse auf den Oszillator 21 aufgebracht, während der Oszillator 21 in einer X-Achsenrichtung schwingt. In diesem Fall schwingt der Oszillator 21 aufgrund der Coriolis-Kraft in einer Y-Achsenrichtung (erste Achsenrichtung), die rechtwinklig zur X-Achse verläuft. D.h., diese Schwingung ist als erfasste Schwingung des Oszillators 21 in einer erfassten Schwingungsrichtung definiert. Eine Z-Achsenrichtung entspricht einer zweiten Achsenrichtung der vorliegenden Erfindung.
Das Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 weist eine Erfassungselektrode (nicht gezeigt) auf. Die Winkelgeschwindigkeit Ω kann erfasst werden, indem eine Änderung der Kapazität zwischen dem Oszillator 21 und der Erfassungselektrode erfasst wird, wobei die Änderung durch die erfasste Schwingung des Oszillators 21 verursacht wird.
Das Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 erfasst die Winkelgeschwindigkeit Ω, wie vorstehend beschrieben, auf der Grundlage der erfassten Schwingung des Oszillators 21 (z.B. in der vorliegenden Ausführungsform auf der Grundlage der erfassten Schwingung in der Y-Achsenrichtung). Eine Frequenz der erfassten Schwingung wird nicht auf der Grundlage von beispielsweise dem Aufbau des Oszillators bestimmt. Bei dem Schwingungswinkelgeschwindigkeitssensor 100 dieser Bauart liegt die Frequenz jedoch gewöhnlich beispielsweise bei einigen kHz.
Das Schaltungssubstrat 30 ist als Signalverarbeitungschip aufgebaut, der Ansteuerungssignale und Erfassungssignale an das Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 sendet. Ferner verarbeitet der Signalverarbeitungschip von dem Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 zugeführte elektrische Signale und gibt die Signale nach Außerhalb.
Das obige Schaltungssubstrat 30 weist einen IC-Chip mit beispielsweise einem MOS-Transistor oder einem Bipolartransistor auf, der mit Hilfe eines bekannten Halbleiterprozesses auf einem Siliziumsubstrat gebildet ist.
Das Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 und das Schaltungssubstrat 30 sind, wie in 1 gezeigt, über die Bonddrähte 50 elektrisch miteinander verbunden.
Ebenso sind das Schaltungssubstrat 30 und die vorstehend beschriebene Verdrahtung des Gehäuses 10 über die Bonddrähte 50 elektrisch miteinander verbunden. Die Bonddrähte 50 bestehen aus Gold oder aus Aluminium. Folglich sehen die Bonddrähte 50 eine elektrische Verbindung unter allen Komponenten, wie beispielsweise dem Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20, dem Schaltungssubstrat 30 und dem Gehäuse 10, vor.
Folglich werden die von dem Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 zugeführten elektrischen Signale an das Schaltungssubstrat 30 übertragen. Anschließend werden die elektrischen Signale mit Hilfe von beispielsweise einer C/V-Wandlerschaltung, die in dem Schaltungssubstrat 30 vorgesehen ist, derart in Spannungssignale gewandelt, dass die Spannungssignale als Winkelgeschwindigkeitssignale übertragen werden.
Anschließend werden die obigen Winkelgeschwindigkeitssignale über die Leiterrahmen 60 nach Außerhalb gegeben, da das Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 und das Schaltungssubstrat 30 über die Verdrahtungen des Gehäuses 10 und die Bonddrähte 50, wie vorstehend beschrieben, elektrisch mit den Leiterrahmen 60 verbunden sind.
Der vorliegende Winkelgeschwindigkeitssensor 100 ist an dem Befestigungselement 200 befestigt und über die Leiterrahmen 60 elektrisch und mechanisch mit dem Befestigungselement 200 verbunden. Das erste Endsegment jedes Leiterrahmens 60 ist an dem Gehäuse 10 befestigt und elektrisch mit diesem verbunden. Ebenso ist das zweite Endsegment des Leiterrahmens durch das Lot an dem Befestigungselement 200 befestigt und elektrisch mit diesem verbunden.
Das Befestigungselement 200 kann eine Leiterplatte (z.B. eine Platine oder ein Keramiksubstrat) oder ein Verbindungselement sein. In der vorliegenden Ausführungsform dient eine Platine als das Befestigungselement 200. Die Winkelgeschwindigkeitssignale des Winkelgeschwindigkeitssensors 100 werden über die Leiterrahmen 60 an das einer Platine entsprechende Befestigungselement 200 gegeben.
In dem vorliegenden Winkelgeschwindigkeitssensor 100 ist jeder Leiterrahmen 60 ein gewöhnlicher Leiterrahmen aus einem elektrisch leitfähigen Material, wie beispielsweise Kupfer oder 42-Legierung. Ebenso sind eine Mehrzahl von Leiterrahmen 60 für den Winkelgeschwindigkeitssensor 100 vorgesehen. Jeder Leiterrahmen 60 ist durch Biegen einer schmalen Platte gebildet.
Ein Segment des Leiterrahmens 60 zwischen dem ersten Endsegment und dem zweiten Endsegment (d.h. ein Mittelsegment des Leiterrahmens 60) dient als ein sich erstreckendes Element 61, das sich in einer Befestigungsrichtung (in der zweiten Achsenrichtung) des Winkelgeschwindigkeitssensors 100 in Richtung des Befestigungselements 200 erstreckt. Hierbei überlappen sich der Winkelgeschwindigkeitssensor 100 und das Befestigungselement 200, wobei beide in der Befestigungsrichtung zueinander angeordnet sind.
Aufgrund einer elastischen Eigenschaft des sich erstreckenden Segments 61 kann das sich erstreckende Segment 61 rechtwinklig zu einer Erstreckungsrichtung des sich erstreckenden Segments 61 schwingen. Das sich erstreckende Segment 61 schwingt in der erfassten Schwingungsrichtung des Oszillators 21 (d.h. in der Y-Achsenrichtung). Folglich kann das sich erstreckende Segment 61 im Wesentlichen in der gleichen Richtung wie die erfasste Schwingung des Oszillators 21 schwingen.
In der vorliegenden Ausführungsform ist jeder Leiterrahmen länger eingestellt, um eine Resonanzfrequenz in einem Feder-Masse-System, in welchem die Leiterrahmen 60 als Feder und der Winkelgeschwindigkeitssensor 100 als Masse dienen, zu verringern.
Folglich wird eine hochfrequente externe Schwingung entlang der Y-Achse, die eine Schwingungsrichtung der obigen erfassten Schwingung anzeigt, selbst dann, wenn sie das Befestigungselement 200 erreicht, aufgrund der Schwingung des sich erstreckenden Segments 61 gedämpft. Folglich überlagert die externe Schwingung die erfasste Schwingung des Oszillators 21 nicht, so dass eine Vibrationssteuerung des Oszillators 21 zur Dämpfung der externen Schwingung erzielt werden kann.
Nachstehend wird die Vibrationssteuerung mit Hilfe des sich erstreckenden Segments 61 unter Bezugnahme auf ein typisches Model beschrieben. 2 zeigt eine Darstellung des sich erstreckenden Segments 61 als Schwingungsmodel, bei welchem das sich erstreckende Segment 61 in der erfassten Schwingungsrichtung schwingt. Die Länge des sich erstreckenden Segments 61 ist durch l, die Breite durch b, die Plattendicke durch t, ein Ablenkungsbetrag aufgrund der Schwingung des Segments durch y und eine auf das Segment aufgebrachte Kraft durch w beschrieben. Die Breite b beschreibt hierbei die Breite des sich erstreckenden Elements 61 senkrecht zur Zeichnungsoberfläche der 2, obgleich die Breite b in der 2 nicht gezeigt ist.
In der vorliegenden Ausführungsform wird die Vibrationssteuerung in dem Feder-Masse-System, in welchem das sich erstreckende Segment 61 der Leiterrahmen 60 als die Feder und der Winkelgeschwindigkeitssensor 100 als die Masse dienen, erzielt. Eine Resonanzfrequenz wo des Feder-Masse-Systems wird durch die folgende Gleichung 1 beschrieben, wobei die Anzahl der sich erstreckenden Segmente 61 (d.h. die Anzahl der Leiterrahmen 60) durch n, eine Federkonstante jedes sich erstreckenden Segments 61 durch k und eine Masse des Winkelgeschwindigkeitssensors 100 durch m beschrieben ist. ω0 = [(n·k)/m]1/2 (1)
Hierbei kann die Federkonstant k durch w/y und mit Hilfe der vorstehend beschriebenen Größen b, l und t des sich erstreckenden Elements 61 und des Elastizitätsmoduls E des sich erstreckenden Elements 61 durch die folgende Gleichung 2 beschrieben werden. k = w/y = Ebt3/4l3 (2)
Aus den obigen Gleichungen 1 und 2 wird ersichtlich, dass sich die Resonanzfrequenz ω₀ verringert, wenn die Länge l des sich erstreckenden Elements 61 verlängert wird.
Folglich kann die Länge l des sich erstreckenden Elements 61 derart bestimmt werden, dass eine gewünschte Resonanzfrequenz wo mit Hilfe der Beziehung zwischen den Gleichungen 1 und 2 erzielt werden kann. Das obige Model und die obigen Gleichungen können hierbei aus einer allgemeinen Feder-Masse-Systemtheorie abgeleitet werden.
In der vorliegenden Ausführungsform ist das sich erstreckende Segment 61, wie in der 1 gezeigt, durch Biegen eines Teils des ersten Endsegments des Leiterrahmens 60 in Richtung des Befestigungselements 200 gebil det, wobei sich der Teil nahe dem Mittelsegment befindet. D.h., das sich erstreckende Segment 61 wird durch Biegen einer Verbindung zwischen dem ersten Endsegment und dem Mittelsegment des Leiterrahmens 60 in Richtung des Befestigungselements 200 gebildet.
Anschließend wird das erste Endsegment des Leiterrahmens 60 an der zweiten Fläche 12 auf der Seite des Gehäuses 10, die auf der gegenüberliegenden Seite der erste Fläche 11 liegt, welche dem Befestigungselement 200 gegenüberliegt, befestigt. Das sich erstreckende Segment 61 erstreckt sich entlang einer Kantenfläche des Gehäuses 10.
Nachstehend wird ein Befestigungsverfahren zur Befestigung der Befestigungsanordnung des Winkelgeschwindigkeitssensors der vorliegenden Ausführungsform unter Bezugnahme auf die 3 und 4 beschrieben.
Die 3A bis 3C zeigen schematische Draufsichten der Winkelgeschwindigkeitssensoren 100 in einem Fertigungsprozess der Mehrzahl von Winkelgeschwindigkeitssensoren 100 mit Hilfe einer Mehrfachleiterrahmenanordnung 60'. Die 4A bis 4D zeigen schematische Darstellungen des Winkelgeschwindigkeitssensors 100 in einem Bildungsprozess der Leiterrahmen 60 nach einem Trennprozess (d.h. nach einem Lösen bzw. Trennen jedes Winkelgeschwindigkeitssensors 100 von der Mehrfachleiterrahmenanordnung 60'). Hierbei zeigt die 4B eine schematische Schnittansicht des in der 4A gezeigten Winkelgeschwindigkeitssensors 100. Die 4D zeigt eine schematische Schnittansicht des in der 4C gezeigten Winkelgeschwindigkeitssensors 100.
Zunächst werden das Schaltungssubstrat 30 und das Winkelgeschwindigkeitsmesselement 2G über die Klebemittel 40 innerhalb des Öffnungsabschnitts 13 des Gehäuses 10 befestigt. Ferner werden alle Komponenten über die Bonddrähte 50 miteinander verbunden. Anschließend wird der vorstehend beschriebene Deckel 14 an dem Gehäuse 10 befestigt.
Anschließend werden die mehreren Gehäuse 10, wie vorstehend beschrieben und in der 3A gezeigt, vorbereitet. Die Kontaktstelle 15 wird an einem entsprechenden Abschnitt auf der zweiten Fläche 12 jedes Gehäuses 10 gebildet, wobei der Abschnitt zur Verbindung mit dem ersten Endsegment jedes Leiterrahmens 60 vorgesehen ist. Die Kontaktstelle 15 ist ein herausgestellter Abschnitt der obigen Verdrahtung des Gehäuses 10.
Anschließend wird ein Lot 70, wie in 3B gezeigt, durch einen Druck- oder Abgabevorgang auf jede Kontaktstelle 15 auf dem Gehäuse 10 gegeben.
Das hierbei verwendete Lot 70 weist vorzugsweise einen höheren Schmelzpunkt als das eines weiteren Lots auf, das in einem späteren Schritt zur Fertigung des Winkelgeschwindigkeitssensors 100 an dem Befestigungselement 200 verwendet wird. Dies liegt daran, dass der höhere Schmelzpunkt des Lots 70 ein erneutes Schmelzens des Lots 70 in dem späteren Schritt einschränken kann. Hierbei kann in dem späteren Schritt und in dem Schritt der 3B unter Berücksichtigung der Prozessanforderung ein gewöhnliches Lot verwendet werden.
Anschließend wird die Mehrfachleiterrahmenanordnung 60', wie in der 3C gezeigt, derart vorbereitet, dass jeder Leiterrahmen 60 temporär an dem entsprechenden Lot 70 befestigt wird. In diesem Zustand erfolgt ein Reflow-Löten des Lots 70. Auf diese Weise werden der Leiterrah men 60 und die Kontaktstelle 15 des Gehäuses 10 über das Lot 70 miteinander verbunden.
Anschließend werden die Verbindungsschienen der Mehrfachleiterrahmenanordnung 60' durchtrennt, so dass die Leiterrahmen 60 für jedem Winkelgeschwindigkeitssensor 100 abgelöst sind. Dieser Zustand ist in den 4A und 4B gezeigt.
Anschließend wird ein Bildungsprozess der Leiterrahmen 60 auf die in den 4C und 4D gezeigte Weise ausgeführt, so dass ein Teil jedes Leiterrahmens, wie in der 1 gezeigt, zu dem sich erstreckenden Segment 61 gebildet wird. Auf diese Weise wird der Winkelgeschwindigkeitssensor 100 gebildet und fertig gestellt.
Der Winkelgeschwindigkeitssensor 100 wird, wie in der 1 gezeigt, derart über das Lot an dem Befestigungselement 200 befestigt, dass er über die Leiterrahmen 60 mit dem Befestigungselement 200 verbunden ist.
In der vorliegenden Ausführungsform ist der Winkelgeschwindigkeitssensor 100 an dem Befestigungselement 200 befestigt und weist jeder Leiterrahmen 60 das erste Endsegment, das Mittelsegment und das zweite Endsegment auf. Das erste Endsegment ist an dem Gehäuse 10 befestigt, das Mittelsegment dient als das sich erstreckende Segment 61, das sich entlang der Befestigungsrichtung in Richtung des Befestigungselements 200 erstreckt, und das zweite Endsegment ist an dem Befestigungselement 200 befestigt.
Aufgrund der elastischen Eigenschaft des sich erstreckenden Elements 61 kann das sich erstreckende Segment 61 rechtwinklig zu der Erstreckungsrichtung des sich erstreckenden Elements 61 schwingen. Das sich erstreckende Segment 61 schwingt ebenso in der erfassten Schwingungsrich tung des Oszillators 21. Auf diese Weise kann die Vibrationssteuerung des Oszillators 21 erzielt werden, um der externen Schwingung entgegenzuwirken.
Folglich wird ein Befestigungsbereich zur Befestigung des Winkelgeschwindigkeitssensors 100 an dem Befestigungselement 200 bei der vorliegenden Ausführungsform selbst dann nicht verändert, wenn die sich erstreckenden Segmente 61 verlängert werden, um die Resonanzfrequenz für die obige Vibrationssteuerung zu verringern. D.h., bei der vorliegenden Ausführungsform können die Leiterrahmen 60 für die Vibrationssteuerung verlängert werden, obgleich der Befestigungsraum (Bereich) des Winkelgeschwindigkeitssensors 100 zur Befestigung an dem Befestigungselement 200 nur begrenzt oder überhaupt nicht vergrößert wird.
Ferner ist das erste Endsegment jedes Leiterrahmens 60 bei der vorliegenden Ausführungsform an der zweiten Fläche 12 des Gehäuses 10 befestigt und erstreckt sich das sich erstreckende Segment 61 entlang der Kantenfläche des Gehäuses 10. Selbst wenn das sich erstreckende Segment 61 verlängert wird, kann folglich eine Höhe der Anordnung in der Befestigungsrichtung um eine Dicke des Gehäuses 10 zwischen der ersten Fläche 11 und der zweiten Fläche 12 kürzer als deren Höhe eingestellt werden (d.h. wenn das sich erstreckende Segment 61 verlängert wird, wird die Höhe der Anordnung in der Befestigungsrichtung um die Dicke des Gehäuses 10 aufgewogen, so dass die Höhe der Anordnung niedriger gehalten werden kann).
Ferner weist das Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 bei der vorliegenden Ausführungsform den Oszillator 21 auf einer Seite des Winkelgeschwindigkeitsmesselements 20 auf, welches dem Befestigungselement 200 gegenüberliegt. Bei einer normalen Befestigungsanordnung eines Winkelge schwindigkeitssensors befindet sich das Befestigungselement an einer unteren Seite bezüglich des Winkelgeschwindigkeitssensors. Wenn ein Objekt an dem Oszillator 21 haftet, löst sich das Objekt aufgrund der Schwerkraft folglich leicht von dem Oszillator 21. Dies führt zu einer stabilen Messleistung.
(Zweite Ausführungsform)
5 zeigt eine Perspektivansicht eines Winkelgeschwindigkeitssensors 110 gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Komponenten des Winkelgeschwindigkeitssensors 110 der vorliegenden Ausführungsform, die denen des Winkelgeschwindigkeitssensors 100 der ersten Ausführungsform entsprechen, sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Bei dem Winkelgeschwindigkeitssensor 110 der vorliegenden Ausführungsform ist das sich erstreckende Segment 61 dünner (schmaler) als das erste Endsegment jedes Leiterrahmens 60 ausgebildet. D.h., in der 5 ist ein Abschnitt an der Seite des ersten Endsegments des Leiterrahmens 60 dicker (breiter) als das sich erstreckende Segment 61.
Ferner ist der Winkelgeschwindigkeitssensor 110 bei der vorliegenden Ausführungsform, gleich der Befestigungsanordnung der ersten Ausführungsform, an einem Befestigungselement (nicht gezeigt) befestigt und über das zweite Endsegment jedes Leiterrahmens 60 an dem Befestigungselement befestigt.
Bei den Leiterrahmen 60 der vorliegenden Ausführungsform ist eine Steifigkeit eines relativ schmalen Segments jedes Leiterrahmens 60 geringer als die eines relativ breiten Segments, und folglich ist das relativ schmale Segment dazu geeignet, verformt zu werden. Folglich dient das sich erstreckende Segment 61 des Leiterrahmens 60 dann, wenn die Leiterrahmen 60 der vorliegenden Ausführungsform verwendet werden, als verglichen mit dem ersten Endsegment leichter verformbarer Abschnitt, der zur Steuerung bzw. Kontrolle der Vibration schwingt.
(Dritte Ausführungsform)
6 zeigt eine schematische Schnittansicht einer Befestigungsanordnung zur Befestigung eines Winkelgeschwindigkeitssensors 120 an dem Befestigungselement 200 gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Komponenten des Winkelgeschwindigkeitssensors 120 der vorliegenden Ausführungsform, die denen des Winkelgeschwindigkeitssensors 100 der ersten Ausführungsform entsprechen, sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Bei dem Winkelgeschwindigkeitssensor 120 der vorliegender. Ausführungsform ist ein Teil der Leiterrahmen 60 der ersten Ausführungsform verändert.
Ein Verbindungssegment des Leiterrahmens 60 zwischen dem ersten Endsegment und dem sich erstreckenden Segment 61 ist, wie in der 6 gezeigt, gebogen und in einer gebogenen Form mit einem Segment (zweites sich erstreckendes Segment) 62 gebildet, das sich in der gleichen Richtung wie das sich erstreckende Segment 61 erstreckt. Der Leiterahmen 60 ist hierbei U-förmig ausgebildet.
Aufgrund der Federeigenschaft kann das Segment 62 in der Richtung schwingen, welcher der Schwingungsrichtung des sich erstreckenden Elements 61 entspricht. D.h., das Segment 62, das sich in der gleichen Richtung wie das sich erstreckende Segment 61 erstreckt, kann gleich dem sich erstreckenden Segment 61 schwingen und als weiteres sich erstreckendes Segment dienen. Ferner kann das Segment 62 das Schwingen des sich erstreckenden Elements 61 unterstützen.
(Vierte Ausführungsform)
7 zeigt eine schematische Schnittansicht einer Befestigungsanordnung zur Befestigung eines Winkelgeschwindigkeitssensors 130 an dem Befestigungselement 200 gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Die Komponenten des Winkelgeschwindigkeitssensors 130 der vorliegenden Ausführungsform, die denen des Winkelgeschwindigkeitssensors 100 der ersten Ausführungsform entsprechen, sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Der Winkelgeschwindigkeitssensor 130 der vorliegenden Ausführungsform weist, wie in der 7 gezeigt, Klebeelemente 80 auf, von denen jedes klebend und an einem Segment jedes Leiterrahmens 60 zwischen dem ersten Endsegment und dem zweiten Endsegment befestigt ist. Sowohl das erste als auch das zweite Endsegment dienen als Befestigungselement. Das Klebeelement 80 kann aus einem elastischen Material bestehen.
Das Klebemittelelement 80 weist beispielsweise einen Gummifilm bzw. ein Gummi-Sheet, das an dem Leiterrahmen 60 befestigt werden kann, und ferner ein Silikongummiharz auf, das auf den Leiterrahmen 60 aufgebracht wird. Bei der vorliegenden Ausführungsform ist das Klebeelement 80 ein Sheet-förmiges Silikongummi, das leicht zu handhaben ist.
Aufgrund der Klebeeigenschaft des Klebemittelelements 80 kann das Klebeelement 80 einen geringen Gütefaktor (Q-Faktor) der Schwingung, die durch die Federeigenschaft verursacht wird, beibehalten, wenn das Klebemittel 80 auf einen Schwingungsteil des Leiterrahmens 60 aufgebracht wird. D.h., das Klebeelement 80 kann eine durch die Reso nanzfrequenz verursachte Schwingungsbreite des Leiterrahmens 60 reduzieren. Folglich kann der Einfluss der Schwingung der Leiterrahmen 60 auf den Winkelgeschwindigkeitssensor 130 verringert werden.
Hierbei wird das Klebemittelelement 80 bei der vorliegenden Ausführungsform an einem Teil des ersten Endsegments des Leiterrahmens 60 befestigt, wobei der Teil schwingt, um den Q-Wert der Schwingung aufgrund der Federeigenschaft des Leiterrahmens 60 zu beschränken.
(Fünfte Ausführungsform)
8 zeigt eine schematische Schnittansicht einer Befestigungsanordnung zur Befestigung eines Winkelgeschwindigkeitssensors 140 an dem Befestigungselement 200 gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Die Komponenten des Winkelgeschwindigkeitssensors 140 der vorliegenden Ausführungsform, die denen des Winkelgeschwindigkeitssensors 100 der ersten Ausführungsform entsprechen, sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen. In jeder der obigen Ausführungsformen ist das erste Endsegment des Leiterrahmens 60 an der zweiten Fläche 12 des Gehäuses 10 befestigt. Ferner erstreckt sich das sich erstreckende Segment 61 entlang der Kantenfläche des Gehäuses 10.
Bei der vorliegenden Ausführungsform liegt die zweite Fläche 12 des Gehäuses 10 im Gegensatz zu den obigen Ausführungsformen und wie in der 8 gezeigt, dem Befestigungselement 200 gegenüber. Das erste Endsegment des Leiterrahmens 60 ist an der zweiten Fläche 12 befestigt.
In diesem Fall wird der Befestigungsbereich zur Befestigung des Winkelgeschwindigkeitssensors 140 an dem Befestigungselement 200 nicht verändert, wenn das sich erstreckende Segment 61 verlängert wird, obgleich eine Höhe der Befestigungsanordnung in der Befestigungsrichtung ein wenig größer als die Höhe der Anordnungen in den obigen Ausführungsformen ist. D.h., bei der vorliegenden Ausführungsform können die Leiterrahmen 60 zur Vibrationssteuerung mit einer beschränkten Vergrößerung oder ohne Vergrößerung des Befestigungsraums des Winkelgeschwindigkeitssensors verlängert werden.
(Sechste Ausführungsform)
9 zeigt eine schematische Schnittansicht einer Befestigungsanordnung zur Befestigung eines Winkelgeschwindigkeitssensors 150 an dem Befestigungselement 200 gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Die Komponenten des Winkelgeschwindigkeitssensors 150 der vorliegenden Ausführungsform, die denen des Winkelgeschwindigkeitssensors 100 der ersten Ausführungsform entsprechen, sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen. In jeder der obigen Ausführungsformen dient ein Keramik-Gehäuse als das Gehäuse 10. Bei der vorliegenden Ausführungsform kann ein Formharz verwendet werden, um als das Gehäuse 10 zu dienen. In diesem Fall wird der Winkelgeschwindigkeitssensor 150 der vorliegenden Ausführungsform gleich einem gewöhnlichen harzversiegelten Halbleitergehäuse gefertigt.
Insbesondere werden das Schaltungssubstrat 30 und das Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 auf einer Insel 63 des Leiterrahmens befestigt. Hierbei wird ein Deckel 22 auf der einen Seite des Winkelgeschwindigkeitsmessele ments 20 befestigt, um den Oszillator 21 vor dem Formharz zu isolieren. Der Deckel 22 besteht aus Silikon oder Glas.
Anschließend wird das Drahtbonden ausgeführt und die Formharzversiegelung derart vorgenommen, dass das Gehäuse 10 gebildet wird. Anschließend wird der Bildungsschritt für die Leiterrahmen 60 ausgeführt. Auf diese Weise wird der Winkelgeschwindigkeitssensor 150 der vorliegenden Ausführungsform gebildet und fertig gestellt.
Anschließend wird der Winkelgeschwindigkeitssensor 150 über die Leiterrahmen 60 derart an dem Befestigungselement 200 befestigt, dass die Befestigungsanordnung der vorliegenden Ausführungsform fertig gestellt ist. In diesem Fall wird das erste Endsegment jedes Leiterrahmens 60 in das Gehäuse 10 integriert und ein Vorsprungsabschnitt, der von einer Seitenfläche des Gehäuses 10 hervorsteht, gebogen, um das sich erstreckende Segment 61 zu bilden. Bei der vorliegenden Befestigungsanordnung können die gleichen Vorteile wie in den obigen Ausführungsformen erzielt werden.
(Weitere Ausführungsform)
In den obigen Ausführungsformen wird das sich erstreckende Segment 61 gebildet, indem der Teil des ersten Endsegments des Leiterrahmens 60 in Richtung des Befestigungselements 200 gebogen wird, wobei sich der Teil nahe dem Mittelsegment befindet. Das sich erstreckende Segment 61 ist nicht darauf beschränkt, solange sich das sich erstreckende Segment 61 in der Befestigungsrichtung zur Befestigung des Winkelgeschwindigkeitssensors in Richtung des Befestigungselements 200 erstreckt.
Beispielsweise kann ein Segment des Leiterrahmens 60, das sich geradlinig von dem ersten Endsegment zu dem Befestigungselement 200 erstreckt, dann, wenn das erste Endsegment des Leiterrahmens 60 in der 1 an der Seitenfläche des Gehäuses 10 zwischen der ersten Fläche 11 und der zweiten Fläche 12 befestigt wird, als alternatives sich erstreckendes Segment 61 dienen.
Ferner werden bei dem obigen Fertigungsverfahren das Schaltungssubstrat 30 und das Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 in dem Gehäuse 10 vorgesehen und anschließend das Drahtbonden ausgeführt. Darauf folgend wird die Versiegelung durch den Deckel 14 vor dem verbinden der Leiterrahmen 60 ausgeführt. Der Zeitpunkt zum Verbinden der Leiterrahmen 60 mit dem Gehäuse 10 ist jedoch nicht darauf beschränkt.
Beispielsweise können zunächst die Leiterrahmen 60 als die Mehrfachleiterrahmenanordnung mit den mehreren Gehäusen 10 verbunden werden. Anschließend wird jede Komponente in dem entsprechenden Gehäuse 10 angeordnet. Anschließend werden das Drahtbonden und das Versiegeln ausgeführt. Nach dem Drahtbonden und Versiegeln werden die Leiterrahmen 60 getrennt bzw. durchtrennt und das Bilden der Leiterrahmen ausgeführt.
Ferner ist die Verbindung der Leiterahmen 60 an dem Gehäuse 10 oder dem Befestigungselement 200 nicht auf das obige Löten beschränkt. Es können andere Verfahren, wie beispielsweise Hartlöten, angewandt werden.
Das Gehäuse 10 kann alternativ einzig das Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 und nicht das Schaltungssubstrat 30 aufnehmen. In diesem Fall kann die Verbindung zwischen dem Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 und dem Gehäuse 10 direkt über die Bonddrähte 50 vorgenommen werden.
Diese und weitere Ausgestaltungen sollen als mit in dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung, sowie er in dem beigefügten Ansprüchen dargelegt wird, beinhaltet verstanden werden.
Vorstehend wurde eine Winkelgeschwindigkeitssensorbefestigungsanordnung offenbart.
Eine Winkelgeschwindigkeitssensorbefestigungsanordnung weist einen Winkelgeschwindigkeitssensor 100 und ein Befestigungselement 200 auf. Der Winkelgeschwindigkeitssensor weist einen Oszillator 21, ein Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20, ein Gehäuse 10 und eine Mehrzahl von Leiterrahmen 60 auf. Das Winkelgeschwindigkeitsmesselement 20 misst eine Winkelgeschwindigkeit Ω auf der Grundlage einer Schwingung des Oszillators 21 in einer ersten Achsenrichtung. Das Befestigungselement 200 ist bezüglich des Winkelgeschwindigkeitssensors 100 in einer zweiten Achsenrichtung angeordnet, die gewöhnlich rechtwinklig zur ersten Achsenrichtung verläuft. Der Winkelgeschwindigkeitssensor 100 ist über die Mehrzahl von Leiterrahmen 60 an dem Befestigungselement 200 befestigt. Wenigstens ein sich erstreckendes Segment 61, 62 ist ein Mittelsegment von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen 60 und erstreckt sich in der zweiten Achsenrichtung in Richtung des Befestigungselements 200. Das wenigstens eine sich erstreckende Segment 61, 62 von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen 60 kann in der ersten Achsenrichtung schwingen.

Claims

Winkelgeschwindigkeitssensorbefestigungsanordnung mit. – einem Winkelgeschwindigkeitssensor (100), der aufweist: – einen Oszillator (21); – ein Winkelgeschwindigkeitsmesselement (20), das eine Winkelgeschwindigkeit (Ω) auf der Grundlage einer Schwingung des Oszillators (21) in einer ersten Achsenrichtung misst; – ein Gehäuse (10), welches das Winkelgeschwindigkeitsmesselement (20) aufnimmt; und – eine Mehrzahl von Leiterrahmen (60), von denen jeder elektrisch mit dem Winkelgeschwindigkeitsmesselement (20) verbunden ist; und – einem Befestigungselement (200), das bezüglich des Winkelgeschwindigkeitssensors (100) in einer zweiten Achsenrichtung angeordnet ist, die gewöhnlich rechtwinklig zur ersten Achsenrichtung verläuft, wobei der Winkelgeschwindigkeitssensor (100) über die Mehrzahl von Leiterrahmen (60) an dem Befestigungselement (200) befestigt ist, wobei: – jeder der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) aufweist: – ein erstes Endsegment, das an dem Gehäuse (10) befestigt ist; – wenigstens ein sich erstreckendes Segment (61, 62), das ein Mittelsegment von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) ist und sich in der zweiten Achsenrichtung in Richtung des Befestigungselements (200) erstreckt; und – ein zweites Endsegment, das an dem Befestigungselement (200) befestigt ist; und – das wenigstens eine sich erstreckende Segment (61, 62) von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) in der ersten Achsenrichtung schwingen kann.
Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das wenigstens eine sich erstreckende Segment (61, 62) von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) durch ein derartiges Biegen von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) an einer Verbindung zwischen dem ersten Endsegment und dem Mittelsegment von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) gebildet ist, dass sich das Mittelsegment von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) in Richtung des Befestigungselements (200) erstreckt.
Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (10) aufweist: – eine erste Fläche (11), welche dem Befestigungselement gegenüberliegt; – eine zweite Fläche (12), die auf der gegenüberliegenden Seite der ersten Fläche (11) liegt, wobei das erste Endsegment von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) an der zweiten Fläche (12) des Gehäuses (10) befestigt ist; und – eine Kantenfläche, entlang der sich das wenigstens ein sich erstreckendes Segment (61, 62) von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) erstreckt.
Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Winkelgeschwindigkeitsmesselement (20) eine Seite aufweist, auf welcher der Oszillator (21) vorgesehen ist, wobei die eine Seite des Winkelgeschwindigkeitsmesselements (20) dem Befestigungselement (200) gegenüberliegt.
Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das wenigstens eine sich erstreckende Segment (61, 62) von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) schmaler als das erste Endsegment von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) ist.
Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass – das wenigstens eine sich erstreckende Segment (61, 62) von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) ein erstes sich erstreckendes Segment (61) und ein zweites sich erstreckendes Segment (62) von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) aufweist; – jeder der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) eine gebogene Form aufweist, die sich zwischen dem ersten Endsegment und dem ersten sich erstreckenden Segment (61) befindet, wobei die gebogene Form das zweite sich erstreckende Segment (62), das sich in der zweiten Achsenrichtung erstreckt, beinhaltet; und – das zweite sich erstreckende Segment (62) von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) in der ersten Achsenrichtung schwingen kann.
Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass jeder der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) ein viskoses Element (80) aufweist, das an einem Segment zwischen dem ersten und dem zweiten Endsegment von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) befestigt ist.
Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das viskose Element (80) aus einem elastischen Harz besteht.
Anordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das viskose Element (80) ein Sheet-förmiges Silikongummi aufweist.
Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass jeder der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) mit Hilfe eines Silberhartlots an das Gehäuse (10) gelötet ist.
Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass jeder der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) mit Hilfe eines Hochtemperaturlots an das Gehäuse (10) gelötet ist.
Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das wenigstens eine sich erstreckende Segment (61, 62) von jedem der Mehrzahl von Leiterrahmen (60) aufgrund einer elastischen Eigenschaft des wenigstens einen sich erstreckenden Segments (61, 62) in der ersten Achsenrichtung schwingen kann.
Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Fläche (12) des Gehäuses (10) gewöhnlich senkrecht zur zweiten Achsenrichtung vorgesehen ist.