DE19636916A1 - Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung und -verfahren - Google Patents
Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung und -verfahrenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Verzögerungszeitkalibrie
rungsschaltung und ein zugeordnetes Kalibrierungsverfahren,
die in einem Halbleiterprüfsystem verwendet werden, und insbe
sondere eine Referenzverzögerungszeitkalibrierungsschaltung,
durch die Laufzeitunterschiede zwischen mehreren Prüfkanälen
an Punkten in unmittelbarer Nähe eines zu prüfenden Bausteins
minimiert werden, und ein Verfahren zum Minimieren dieser
Laufzeitunterschiede.
Beim Prüfen eines Halbleiterbausteins durch ein Halblei
terprüfsystem, wie beispielsweise eine IC-Prüfvorrichtung,
werden jedem Anschluß des Halbleiterbausteins Prüfsignale zu
geführt, und das erhaltene Ausgangssignal des geprüften Halb
leiterbausteins wird mit erwarteten Daten verglichen, um fest
zustellen, ob der Halbleiterbaustein korrekt arbeitet oder
nicht. Zu diesem Zweck weist das Halbleiterprüfsystem eine
große Anzahl von Prüfkanälen auf, die der Anzahl der Anschlüs
se des zu prüfenden Halbleiterbausteins entspricht.
Alle Prüfkanäle haben einen identischen Schaltungsaufbau
mit einer Pinelelektronikschaltplatte bzw. -karte oder -schal
tung, die als Schnittstelle zwischen dem Halbleiterprüfsystem
und dem zu prüfenden Halbleiterbaustein wirkt. Aufgrund von
Unterschieden in der physikalischen Position der Prüfkanäle oder
von Schwankungen des Betriebsverhaltens von Schaltungskompo
nenten sind die Signalausbreitungsverzögerungszeiten für die
entsprechenden Anschlüsse oder Pins des Bausteins jedoch nicht
exakt gleich. Außerdem verändern sich die Verzögerungszeiten
in den Prüfkanälen in Abhängigkeit von Temperaturunterschie
den, die beispielsweise durch unterschiedliche Prüfsignalfre
quenzen oder physikalische Positionen im Prüfsystem verursacht
werden, oder durch unterschiedliche Ansprechverhalten der
Schaltungskomponenten bei verschiedenen Temperaturen.
In Verbindung mit der vorliegenden Erfindung wird ein
solcher Unterschied in der Signalausbreitungsverzögerungszeit als Laufzeit
unterschied bezeichnet. Um moderne Halbleiterbausteine vollständig
auszuwerten, müssen diese Laufzeitunterschiede minimiert wer
den, weil diese Halbleiterbausteine bezüglich verschiedener
Signale zeitsensitiv arbeiten. Daher betrifft die vorliegende
Erfindung eine Schaltungsanordnung und ein Verfahren zum Redu
zieren von Laufzeitunterschieden in einem Halbleiterprüfsy
stem.
Fig. 3 zeigt ein Beispiel einer bekannten Schal
tungsstruktur zum Messen und Einstellen von Laufzeitunter
schieden in einem Halbleiterprüfsystem. Pinelektronikschaltun
gen 60 a-60 n sind an den Enden der entsprechenden Prüfkanäle
im Halbleiterprüfsystem angeordnet. Das Halbleiterprüfsystem
weist außerdem einen Taktgenerator 90 und einen Signalver
teiler 84 als Teil der Schaltung zum Prüfen eines Halblei
terbausteins auf. Fig. 3 zeigt jedoch eine Kalibrierungs
schaltung, bei der die vorstehenden Komponenten in geschlos
senen Schleifen, d. h. in Rückkopplungsschaltungen, angeord
net sind, um die Laufzeitunterschiede zu messen und zu kali
brieren.
Die Kalibrierungsschaltung weist einen Verzögerungs
zeitzähler 82, ein ODER-Gatter und eine Steuerungseinrich
tung 86 auf. Jede der geschlossenen Schleifen weist das
ODER-Gatter, den Verteiler 84, die Pinelektronikschaltung 60
und den Verzögerungszeitzähler 82 auf. Im Verteiler 84 wird
ein Ausgangssignal vom ODER-Gatter über einen Puffer 76 und
Verzögerungselemente 78 a-78 n auf Anschlüsse 79 a-79 n verteilt.
Jeder Ausgang der Anschlüsse 79 a-79 n ist durch ein Koaxial
kabel 40 mit einem entsprechenden Eingangsanschluß 51 der
Pinelektronikschaltung 60 verbunden. Bei diesem Beispiel ist
in jeder Pinelektronikschaltung 60 zwischen Torschaltungen
52 und 56 ein Verzögerungselement 55 angeordnet. Eine Tor
schaltung 53 dient dazu, das am Eingangsanschluß 51 empfan
gene Signal über ein Koaxialkabel dem Verzögerungszeitzähler
82 zuzuführen.
Dadurch wird für jeden Prüfkanal eine Rückkopplungs
schleife gebildet, durch die ein Impulssignal vom Taktgene
rator in einer Zeitdauer zirkuliert, die einer Signalaus
breitungsverzögerungszeit in der Schleife proportional ist.
Die Verzögerungszeit in der Schleife wird durch das Verzöge
rungselement 78 so eingestellt, daß sie der Verzögerungszeit
in einer anderen geschlossenen Schleife gleich ist. Bei
spielsweise wird für die Pinelektronikschaltung 60a eine ge
schlossene Schleife durch das ODER-Gatter 75, den Puffer 76,
das Verzögerungselement 78 a das Koaxialkabel 40 a, die Tor
schaltung 53 a in der Schaltung 60 a, das Koaxialkabel 45 und
den Verzögerungszeitzähler 82 gebildet.
Durch Bereitstellen eines Referenzimpulses durch den
Taktgenerator 90 mißt der Verzögerungszeitzähler 82 die
Signalausbreitungsverzögerungszeit vom ODER-Gatter 75 zum
Anschluß 54 a. Diese Verzögerungszeit kann durch Zählen der
Anzahl von Impulsen je Zeiteinheit, d. h. der Frequenz in der
geschlossenen Schleife, gemessen werden. Die Verzögerungs
zeit in dieser Schleife wird durch das Verzögerungselement
78 a auf eine Norm- oder Basisverzögerungszeit TSTD einge
stellt. Unter der Steuerung durch die Steuerungseinrichtung
86 wird die Verzögerungszeit im nächsten Prüfkanal so einge
stellt, daß sie der Basisverzögerungszeit TSTD gleich ist.
Dieses Verfahren wird fortgesetzt, bis alle den Pinelektro
nikschaltungen 60 a-60 n zugeordneten Schleifen auf die glei
che Weise eingestellt wurden.
Bei dieser bekannten Technologie wird in jeder Pinelek
tronikschaltung 60 eine Verzögerungszeit vom Eingangsan
schluß 51 zum Ausgangsanschluß 69 durch Einstellen des Ver
zögerungselements 55 auf eine vorgegebene Zeitdauer einge
stellt. Dieser Einstellvorgang wird beispielsweise ausge
führt, bevor die Pinelektronikschaltungen 60 im Halbleiter
prüfsystem angeordnet bzw. montiert werden. D.h., die Verzö
gerungszeit des Pfades oder Weges, der die Torschaltung 52,
das Verzögerungselement 55 und die Torschaltung 56 aufweist,
ist beim Einstellvorgang der geschlossenen Schleife nicht
eingeschlossen sondern wird separat eingestellt.
Obwohl die Verzögerungszeiten in den Pinelektronik
schaltungen 60 vor der Montage auf feste Werte eingestellt
werden, werden die Verzögerungszeiten in den Torschaltungen
52 a-52 n den Verzögerungselementen 55 a-55 n und den Torschal
tungen 56 a-56 n durch die Umgebungstemperatur oder die durch
ihre Wärmeabstrahlung erzeugten Temperaturen verschieden be
einflußt. Die zum Prüfen eines Halbleiterbausteins tatsäch
lich verwendeten Prüfsignale werden dem Baustein an den An
schlüssen 69 a-69 n zugeführt. Daher müssen die Laufzeitunter
schiede an den Anschlüssen 69 a-69 n. Zum exakten Prüfen des
Halbleiterbausteins berücksichtigt werden. Aufgrund der vor
stehend erwähnten Temperaturunterschiede der Verzögerungs
zeiten in den Torschaltungen 52 a-52 n, den Verzögerungs
elementen 55 a-55 n und den Torschaltungen 56 a-56 n können an
den Anschlüssen 69 a-69 n keine exakten Kalibrierungen der
Laufzeitunterschiede mit hoher Auflösung und hoher Genauig
keit erhalten werden.
Daher ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
eine Referenzverzögerungszeitkalibrierungsschaltung bereit
zustellen, durch die Laufzeitunterschiede zwischen mehreren
Prüfkanälen eines Halbleiterprüfsystems an Punkten in unmit
telbarer Nähe eines zu prüfenden Bausteins minimiert werden
können.
Ferner wird ein Verfahren zum Einstellen von Laufzeit
unterschieden zwischen mehreren Prüfkanälen eines Halblei
terprüfsystems bereitgestellt, durch das ein Signalausbrei
tungszeitunterschied zwischen diesen Kanälen minimiert wird.
Durch die erfindungsgemäße Verzögerungszeitkalibrie
rungsschaltung wird eine Kalibrierungsschleife gebildet, die
eine geschlossene Schleife zum Messen und Einstellen der
Signalausbreitungsverzögerungszeit ist und den Ausgangsan
schluß der Pinelektronikschaltung aufweist, der in unmittel
barer Nähe des zu prüfenden Bausteins angeordnet ist.
Durch die vorliegende Erfindung wird eine Verzögerungs
zeitkalibrierungsschaltung bereitgestellt, durch die Lauf
zeitunterschiede zwischen mehreren Prüfkanälen eines Halb
leiterprüfsystems zum Prüfen eines Halbleiterbausteins redu
ziert werden. Die erfindungsgemäße Verzögerungszeitkalibrie
rungsschaltung weist auf: mehrere Kalibrierungsschleifen,
die jeweils einen der Prüfkanäle aufweisen, wobei jede Kali
brierungsschleife ein Element zum Einstellen einer variablen
Verzögerung bzw. ein variables Verzögerungselement zum Ein
stellen der Signalausbreitungsverzögerungszeit im Prüfkanal
aufweist; einen Impulsgenerator, durch den jeder der Kali
brierungsschleifen ein Impulssignal zugeführt wird; und eine
Meßschaltung zum Messen der Signalausbreitungsverzögerungs
zeit in jeder der Kalibrierungsschleifen durch Überwachen
der Ausbreitungsverzögerungszeit des Impulssignals in der
Kalibrierungsschleife; wobei jede der Kalibrierungsschleifen
einen Ausgangsanschluß einer Pinelektronikschaltung in jedem
der Prüfkanäle aufweist und die Pinelektronikschaltung dem
Halbleiterbaustein am Ausgangsanschluß ein Prüfsignal zu
führt und das variable Verzögerungselement basierend auf dem
durch die Überwachungsschaltung gemessenen Wert so einge
stellt; wird, daß die Signalausbreitungsverzögerung in jeder
der Kalibrierungsschleifen einen konstanten Wert annimmt.
Durch die vorliegende Erfindung wird ferner ein Verfah
ren zum Einstellen von Laufzeitunterschieden zwischen ver
schiedenen Prüfsignalwegen in einem System, wie beispiels
weise einem Halbleiterprüfsystem, bereitgestellt, um einen
Signalausbreitungszeitunterschied zwischen den Signalwegen
zu minimieren. Das erfindungsgemäße Kalibrierungsverfahren
weist die Schritte auf: Bilden mehrerer Kalibrierungsschlei
fen, die jeweils einen der Signalwege aufweisen, wobei jede
der Kalibrierungsschleifen einen Ausgangsanschluß des zuge
ordneten Signalweges aufweist, Zuführen eines Impulssignals
zu jeder der Kalibrierungsschleifen, Messen einer Signalaus
breitungsverzögerungszeit in jeder der Kalibrierungsschlei
fen durch Überwachen einer Ausbreitungsverzögerungszeit des
Impulssignals in der Kalibrierungsschleife und Einstellen
einer Verzögerungszeit eines in jedem der Signalwege ange
ordneten variablen Verzögerungselements basierend auf der
gemessenen Verzögerungszeit des Impulssignals derart, daß
die Signalausbreitungsverzögerung in jeder der Kalibrie
rungsschleifen einen konstanten Wert annimmt.
Erfindungsgemäß wird die Verzögerungszeit in jedem
Prüfkanal durch eine Kalibrierungsschleife eingestellt, die
den in unmittelbarer Nähe des geprüften Bausteins angeordne
ten Ausgangsanschluß der Pinelektronikschaltung aufweist.
Daher werden durch Zeitunterschiede, die aufgrund des durch
Temperaturunterschiede verschiedenen Betriebsverhaltens der
Schaltungskomponenten in den Schaltungen verursacht werden,
die Gesamtlaufzeitunterschiede zwischen den Prüfkanälen
nicht beeinflußt. Daher kann durch die vorliegende Erfindung
die Takt- bzw. Zeitsteuerungsgenauigkeit beim Prüfen von
Halbleiterbausteinen wesentlich verbessert werden.
Die Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnungen näher erläutert.
Fig. 1 zeigt ein Schaltungsdiagramm zum Darstellen ei
nes Beispiels einer erfindungsgemäßen Verzögerungszeitkali
brierungsschaltung;
Fig. 2A zeigt ein Schaltungsdiagramm der vorliegenden
Erfindung, wobei ein Rückkopplungssignal für eine Verzöge
rungszeitmessung an einem Differenzausgang der letzten Puf
fertorschaltung einer Pinelektronikschaltung abgenommen
wird;
Fig. 2B zeigt ein Schaltungsdiagramm der vorliegenden
Erfindung, wobei ein Rückkopplungssignal für eine Verzöge
rungszeitmessung über eine Torschaltung mit den gleichen Pa
rametern wie diejenigen der letzten Puffertorschaltung einer
Pinelektronikschaltung abgenommen wird; und
Fig. 3 zeigt ein Schaltungsdiagramm zum Darstellen ei
nes Beispiels einer bekannten Verzögerungszeitkalibrierungs
schaltung.
Fig. 1 zeigt ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Ver
zögerungszeitkalibrierungsschaltung. Bei diesem Beispiel
wird, um eine Rückkopplungsschleife zum Messen einer Signal
ausbreitungsverzögerungszeit zu bilden, ein Signal an einem
Punkt in unmittelbarer Nähe eines Ausgangsanschlusses 69 ei
ner Pinelektronikschaltung 60 abgenommen. In Fig. 1 und in
Fig. 3 sind sich entsprechende Komponenten durch gleiche
Bezugszeichen bezeichnet.
Die in Fig. 1 dargestellte Kalibrierungsschleife wird
aus dem Verzögerungszeitzähler 82, dem ODER-Gatter 75, dem
Puffer 76, dem Verzögerungselement 78 n, dem Koaxialkabel
40 n, der Torschaltung 52 n, dem Verzögerungselement 55 n, der
Torschaltung 56 n und dem Koaxialkabel 45 n gebildet. Auf die
gleiche Weise wie im Beispiel von Fig. 3 wird eine Signal
ausbreitungsverzögerungszeit in jeder geschlossenen Schleife
auf eine vorgegebene Verzögerungszeit eingestellt.
D.h., für jeden Prüfkanal wird eine Rückkopplungs
schleife gebildet, durch die ein Impulssignal vom Taktgene
rator gemäß einer Verzögerungszeit in der Schleife zirku
liert. Die Verzögerungszeit in der Schleife wird durch das
Verzögerungselement 78 so eingestellt, daß sie einer Basis
verzögerungszeit bzw. einer Verzögerungszeit in einer ande
ren geschlossenen Schleife gleich ist. Beispielsweise wird
für die Pinelektronikschaltung 60 a eine geschlossene Schlei
fe durch das ODER-Gatter 75, den Puffer 76, das Verzöge
rungselement 78 a das Koaxialkabel 40 a, die Torschaltung 52 a,
das Verzögerungselement 55 a, die Torschaltung 56 a, das Koa
xialkabel 45 a und den Verzögerungszeitzähler 82 gebildet.
Durch Bereitstellen eines Referenzimpulses durch den
Taktgenerator 90 mißt der Verzögerungszeitzähler die Signal
ausbreitungsverzögerungszeit einschließlich der Zeitdauer
vom ODER-Gatter 75 zum Ausgang der Torschaltung 56 a. Die
Verzögerungszeit in dieser Schleife kann durch Einstellen
oder Steuern des Verzögerungselements 78 a auf eine Basisver
zögerungszeit TSTD eingestellt werden. Dann wird unter der
Steuerung durch die Steuerungseinrichtung 86 die Verzöge
rungszeit im nächsten Prüfkanal so eingestellt, daß sie der
Basisverzögerungszeit TSTD gleich ist. Dieses Verfahren wird
fortgesetzt ausgeführt, bis alle den Pinelektronikschaltun
gen 60 a-60 n zugeordnete Schleifen auf die gleiche Weise ein
gestellt wurden.
Weil die Torschaltungen 52 a-52 n, die Verzögerungsele
mente 55 a-55 n und die Torschaltungen 56 a-56 n, deren Signal
ausbreitungsverzögerungszeiten auf Temperaturänderungen emp
findlich sind, in den Kalibrierungsschleifen angeordnet sind
und das vorstehend beschriebene Kalibrierungsverfahren immer
dann ausgeführt werden kann, wenn dies erforderlich ist,
werden die Laufzeitunterschiede durch Kompensieren der Un
terschiede der Signalausbreitungsverzögerungszeiten mini
miert. Weil die Kalibrierungsschleife so gebildet ist, daß
das Impulssignal an einem Punkt in unmittelbarer Nähe des
Ausgangsanschlusses 69 n abgenommen wird, wird unter Verwen
dung der erfindungsgemäßen Kalibrierungsschaltung ein Prüf
vorgang für einen IC-Baustein durch das Halbleiterprüfsystem
exakt ausgeführt.
Beim Beispiel von Fig. 1 ist der Ausgang der Torschal
tung 56 n so verbunden, daß die geschlossene Schleife gebil
det wird. Wie in Fig. 2A dargestellt, kann auch eine Diffe
renztorschaltung 57 n verwendet werden, um dem Anschluß 69
für den zu prüfenden Baustein ein Ausgangssignal zuzuführen,
während das andere Ausgangssignal der geschlossenen Schleife
für die Verzögerungszeitkalibrierung zugeführt wird. Außer
dem kann, wie in Fig. 2B dargestellt, ein Paar Torschaltungen
58 n verwendet werden, die im gleichen Gehäuse angeordnet
sind und die gleichen Parameter aufweisen. Eine Torschaltung
ist mit dem Anschluß 69 n verbunden, während die andere Tor
schaltung mit der geschlossenen Schleife für die Kalibrie
rung verbunden ist.
Gemäß der vorstehenden Beschreibung wurde die vorlie
gende Erfindung auf ein Halbleiterprüfsystem angewendet, die
Erfindung kann jedoch auch auf andere Weise verwendet wer
den, wie beispielsweise als Signalgenerator, für den mehrere
Taktsignale und eine feste Verzögerungszeit für alle Taktsi
gnale erforderlich sind.
Erfindungsgemäß wird die Verzögerungszeit in jedem
Prüfkanal durch eine Kalibrierungsschleife eingestellt, die
den in unmittelbarer Nähe des zu prüfenden Bausteins ange
ordneten Ausgangsanschluß der Pinelektronikschaltung ein
schließt. Daher werden durch die durch die Schaltungskompo
nenten beispielsweise durch Temperaturänderungen verursach
ten Zeitunterschiede die Gesamtlaufzeitunterschiede zwischen
den Prüfkanälen nicht beeinflußt. Daher wird durch die vor
liegende Erfindung die Takt- oder Zeitsteuerungsgenauigkeit
beim Prüfen von Halbleiterbausteinen wesentlichen verbessert.
Claims (8)
1. Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung zum Einstellen
von Signalausbreitungsverzögerungszeiten in mehreren
Signalwegen auf einen konstanten Wert, mit:
mehreren Kalibrierungsschleifen, die jeweils einen der Signalwege aufweisen, wobei jede der Kalibrierungs schleifen ein variables Verzögerungselement zum Ein stellen der Signalausbreitungsverzögerungszeit im Si gnalweg aufweist;
einem Impulsgenerator, durch den jeder der Kali brierungsschleifen ein Impulssignal zugeführt wird; und
einer Meßschaltung zum Messen der Signalausbrei tungsverzögerungszeit in jeder der Kalibrierungsschlei fen durch Überwachen einer Ausbreitungsverzögerungszeit des Impulssignals in der Kalibrierungsschleife;
wobei jede der Kalibrierungsschleifen einen Aus gangsanschluß eines zugeordneten Signalweges aufweist und das variable Verzögerungselement basierend auf dem durch die Meßschaltung gemessenen Wert so eingestellt wird, daß die Signalausbreitungsverzögerung in jeder der Kalibrierungsschleifen einen konstanten Wert an nimmt.
mehreren Kalibrierungsschleifen, die jeweils einen der Signalwege aufweisen, wobei jede der Kalibrierungs schleifen ein variables Verzögerungselement zum Ein stellen der Signalausbreitungsverzögerungszeit im Si gnalweg aufweist;
einem Impulsgenerator, durch den jeder der Kali brierungsschleifen ein Impulssignal zugeführt wird; und
einer Meßschaltung zum Messen der Signalausbrei tungsverzögerungszeit in jeder der Kalibrierungsschlei fen durch Überwachen einer Ausbreitungsverzögerungszeit des Impulssignals in der Kalibrierungsschleife;
wobei jede der Kalibrierungsschleifen einen Aus gangsanschluß eines zugeordneten Signalweges aufweist und das variable Verzögerungselement basierend auf dem durch die Meßschaltung gemessenen Wert so eingestellt wird, daß die Signalausbreitungsverzögerung in jeder der Kalibrierungsschleifen einen konstanten Wert an nimmt.
2. Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung zum Minimieren
von Laufzeitunterschieden zwischen mehreren Prüfkanälen
in einem Halbleiterprüfsystem, durch das ein Halblei
terbaustein geprüft wird, mit:
mehreren Kalibrierungsschleifen, die jeweils einen der Prüfkanäle aufweisen, wobei jede der Kalibrierungs schleifen ein variables Verzögerungselement zum Ein stellen der Signalausbreitungsverzögerungszeit im Prüf kanal aufweist;
einem Impulsgenerator, durch den jeder der Kali brierungsschleifen ein Impulssignal zugeführt wird; und
einer Meßschaltung zum Messen der Signalausbrei tungsverzögerungszeit in jeder der Kalibrierungsschlei fen durch Überwachen einer Ausbreitungsverzögerungszeit des Impulssignals in der Kalibrierungsschleife;
wobei jede der Kalibrierungsschleifen einen Aus gangsanschluß einer Pinelektronikschaltung in jedem Prüfkanal aufweist und die Pinelektronikschaltung dem Halbleiterbaustein am Ausgangsanschluß ein Prüfsignal zuführt und das variable Verzögerungselement basierend auf dem durch die Meßschaltung gemessenen Wert so ein gestellt wird, daß die Signalausbreitungsverzögerung in jeder der Kalibrierungsschleifen einen konstanten Wert annimmt.
mehreren Kalibrierungsschleifen, die jeweils einen der Prüfkanäle aufweisen, wobei jede der Kalibrierungs schleifen ein variables Verzögerungselement zum Ein stellen der Signalausbreitungsverzögerungszeit im Prüf kanal aufweist;
einem Impulsgenerator, durch den jeder der Kali brierungsschleifen ein Impulssignal zugeführt wird; und
einer Meßschaltung zum Messen der Signalausbrei tungsverzögerungszeit in jeder der Kalibrierungsschlei fen durch Überwachen einer Ausbreitungsverzögerungszeit des Impulssignals in der Kalibrierungsschleife;
wobei jede der Kalibrierungsschleifen einen Aus gangsanschluß einer Pinelektronikschaltung in jedem Prüfkanal aufweist und die Pinelektronikschaltung dem Halbleiterbaustein am Ausgangsanschluß ein Prüfsignal zuführt und das variable Verzögerungselement basierend auf dem durch die Meßschaltung gemessenen Wert so ein gestellt wird, daß die Signalausbreitungsverzögerung in jeder der Kalibrierungsschleifen einen konstanten Wert annimmt.
3. Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung nach Anspruch 2,
wobei der Ausgangsanschluß der Pinelektronikschaltung
mit einer Torschaltung verbunden ist, die eine letzte
Schaltungskomponente der Pinelektronikschaltung ist.
4. Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung nach Anspruch 3,
wobei die Torschaltung eine Differenztorschaltung mit
zwei Ausgangsanschlüssen ist, wobei einer der Ausgangs
anschlüsse mit dem Ausgangsanschluß der Pinelektronik
schaltung verbunden ist, während der andere Ausgangsan
schluß mit der Kalibrierungsschleife verbunden ist.
5. Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung nach Anspruch 3,
wobei die Torschaltung aus einem Paar von Torschaltun
gen mit identischen Parametern besteht, wobei eine der
Torschaltungen mit dem Ausgangsanschluß verbunden ist,
während die andere Torschaltung mit der Kalibrierungs
schleife verbunden ist.
6. Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung nach einem der Ansprüche 2 bis 5,
wobei der Impulsgenerator ein Taktgenerator ist, der
Taktsignale für das Halbleiterprüfsystem erzeugt, um
dem Halbleiterbaustein zuzuführende Prüfsignale zu er
zeugen.
7. Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung nach Anspruch 6,
wobei das variable Verzögerungselement in einer Signal
verteilerschaltung angeordnet ist, die Taktsignale vorn
Taktgenerator empfängt und die Taktsignale an die meh
reren Prüfkanäle im Halbleiterprüfsystem verteilt.
8. Verfahren zum Einstellen von Signalausbreitungsverzöge
rungszeiten in mehreren Signalwegen auf einen konstan
ten Wert, mit den Schritten:
Bilden mehrerer Kalibrierungsschleifen, die je weils einen der Signalwege aufweisen, wobei jede der Kalibrierungsschleifen einen Ausgangsanschluß eines zu geordneten Signalweges aufweist;
Zuführen eines Impulssignals zu jeder der Kali brierungsschleifen;
Messen einer Signalausbreitungsverzögerungszeit in jeder der Kalibrierungsschleifen durch Überwachen einer Ausbreitungsverzögerungszeit in der Kalibrierungs schleife; und
Einstellen einer Verzögerungszeit eines in jedem der Signalwege vorgesehenen variablen Verzögerungsele ments basierend auf der gemessenen Verzögerungszeit des Impulssignals derart, daß die Signalausbreitungsverzö gerung in jeder der Kalibrierungsschleifen einen kon stanten Wert annimmt.
Bilden mehrerer Kalibrierungsschleifen, die je weils einen der Signalwege aufweisen, wobei jede der Kalibrierungsschleifen einen Ausgangsanschluß eines zu geordneten Signalweges aufweist;
Zuführen eines Impulssignals zu jeder der Kali brierungsschleifen;
Messen einer Signalausbreitungsverzögerungszeit in jeder der Kalibrierungsschleifen durch Überwachen einer Ausbreitungsverzögerungszeit in der Kalibrierungs schleife; und
Einstellen einer Verzögerungszeit eines in jedem der Signalwege vorgesehenen variablen Verzögerungsele ments basierend auf der gemessenen Verzögerungszeit des Impulssignals derart, daß die Signalausbreitungsverzö gerung in jeder der Kalibrierungsschleifen einen kon stanten Wert annimmt.
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