DE19636916A1

DE19636916A1 - Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung und -verfahren

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Publication number: DE19636916A1
Application number: DE19636916A
Authority: DE
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1995-09-11
Filing date: 1996-09-11
Publication date: 1997-03-13
Also published as: JPH0980124A; US5811655A

Description

Die Erfindung betrifft eine Verzögerungszeitkalibrie rungsschaltung und ein zugeordnetes Kalibrierungsverfahren, die in einem Halbleiterprüfsystem verwendet werden, und insbe sondere eine Referenzverzögerungszeitkalibrierungsschaltung, durch die Laufzeitunterschiede zwischen mehreren Prüfkanälen an Punkten in unmittelbarer Nähe eines zu prüfenden Bausteins minimiert werden, und ein Verfahren zum Minimieren dieser Laufzeitunterschiede.

Beim Prüfen eines Halbleiterbausteins durch ein Halblei terprüfsystem, wie beispielsweise eine IC-Prüfvorrichtung, werden jedem Anschluß des Halbleiterbausteins Prüfsignale zu geführt, und das erhaltene Ausgangssignal des geprüften Halb leiterbausteins wird mit erwarteten Daten verglichen, um fest zustellen, ob der Halbleiterbaustein korrekt arbeitet oder nicht. Zu diesem Zweck weist das Halbleiterprüfsystem eine große Anzahl von Prüfkanälen auf, die der Anzahl der Anschlüs se des zu prüfenden Halbleiterbausteins entspricht.

Alle Prüfkanäle haben einen identischen Schaltungsaufbau mit einer Pinelelektronikschaltplatte bzw. -karte oder -schal tung, die als Schnittstelle zwischen dem Halbleiterprüfsystem und dem zu prüfenden Halbleiterbaustein wirkt. Aufgrund von Unterschieden in der physikalischen Position der Prüfkanäle oder von Schwankungen des Betriebsverhaltens von Schaltungskompo nenten sind die Signalausbreitungsverzögerungszeiten für die entsprechenden Anschlüsse oder Pins des Bausteins jedoch nicht exakt gleich. Außerdem verändern sich die Verzögerungszeiten in den Prüfkanälen in Abhängigkeit von Temperaturunterschie den, die beispielsweise durch unterschiedliche Prüfsignalfre quenzen oder physikalische Positionen im Prüfsystem verursacht werden, oder durch unterschiedliche Ansprechverhalten der Schaltungskomponenten bei verschiedenen Temperaturen.

In Verbindung mit der vorliegenden Erfindung wird ein solcher Unterschied in der Signalausbreitungsverzögerungszeit als Laufzeit unterschied bezeichnet. Um moderne Halbleiterbausteine vollständig auszuwerten, müssen diese Laufzeitunterschiede minimiert wer den, weil diese Halbleiterbausteine bezüglich verschiedener Signale zeitsensitiv arbeiten. Daher betrifft die vorliegende Erfindung eine Schaltungsanordnung und ein Verfahren zum Redu zieren von Laufzeitunterschieden in einem Halbleiterprüfsy stem.

Fig. 3 zeigt ein Beispiel einer bekannten Schal tungsstruktur zum Messen und Einstellen von Laufzeitunter schieden in einem Halbleiterprüfsystem. Pinelektronikschaltun gen 60 _a-60 _n sind an den Enden der entsprechenden Prüfkanäle im Halbleiterprüfsystem angeordnet. Das Halbleiterprüfsystem weist außerdem einen Taktgenerator 90 und einen Signalver teiler 84 als Teil der Schaltung zum Prüfen eines Halblei terbausteins auf. Fig. 3 zeigt jedoch eine Kalibrierungs schaltung, bei der die vorstehenden Komponenten in geschlos senen Schleifen, d. h. in Rückkopplungsschaltungen, angeord net sind, um die Laufzeitunterschiede zu messen und zu kali brieren.

Die Kalibrierungsschaltung weist einen Verzögerungs zeitzähler 82, ein ODER-Gatter und eine Steuerungseinrich tung 86 auf. Jede der geschlossenen Schleifen weist das ODER-Gatter, den Verteiler 84, die Pinelektronikschaltung 60 und den Verzögerungszeitzähler 82 auf. Im Verteiler 84 wird ein Ausgangssignal vom ODER-Gatter über einen Puffer 76 und Verzögerungselemente 78 _a-78 _n auf Anschlüsse 79 _a-79 _n verteilt.

Jeder Ausgang der Anschlüsse 79 _a-79 _n ist durch ein Koaxial kabel 40 mit einem entsprechenden Eingangsanschluß 51 der Pinelektronikschaltung 60 verbunden. Bei diesem Beispiel ist in jeder Pinelektronikschaltung 60 zwischen Torschaltungen 52 und 56 ein Verzögerungselement 55 angeordnet. Eine Tor schaltung 53 dient dazu, das am Eingangsanschluß 51 empfan gene Signal über ein Koaxialkabel dem Verzögerungszeitzähler 82 zuzuführen.

Dadurch wird für jeden Prüfkanal eine Rückkopplungs schleife gebildet, durch die ein Impulssignal vom Taktgene rator in einer Zeitdauer zirkuliert, die einer Signalaus breitungsverzögerungszeit in der Schleife proportional ist. Die Verzögerungszeit in der Schleife wird durch das Verzöge rungselement 78 so eingestellt, daß sie der Verzögerungszeit in einer anderen geschlossenen Schleife gleich ist. Bei spielsweise wird für die Pinelektronikschaltung 60a eine ge schlossene Schleife durch das ODER-Gatter 75, den Puffer 76, das Verzögerungselement 78 _a das Koaxialkabel 40 _a, die Tor schaltung 53 _a in der Schaltung 60 _a, das Koaxialkabel 45 und den Verzögerungszeitzähler 82 gebildet.

Durch Bereitstellen eines Referenzimpulses durch den Taktgenerator 90 mißt der Verzögerungszeitzähler 82 die Signalausbreitungsverzögerungszeit vom ODER-Gatter 75 zum Anschluß 54 _a. Diese Verzögerungszeit kann durch Zählen der Anzahl von Impulsen je Zeiteinheit, d. h. der Frequenz in der geschlossenen Schleife, gemessen werden. Die Verzögerungs zeit in dieser Schleife wird durch das Verzögerungselement 78 _a auf eine Norm- oder Basisverzögerungszeit T_STD einge stellt. Unter der Steuerung durch die Steuerungseinrichtung 86 wird die Verzögerungszeit im nächsten Prüfkanal so einge stellt, daß sie der Basisverzögerungszeit T_STD gleich ist.

Dieses Verfahren wird fortgesetzt, bis alle den Pinelektro nikschaltungen 60 _a-60 _n zugeordneten Schleifen auf die glei che Weise eingestellt wurden.

Bei dieser bekannten Technologie wird in jeder Pinelek tronikschaltung 60 eine Verzögerungszeit vom Eingangsan schluß 51 zum Ausgangsanschluß 69 durch Einstellen des Ver zögerungselements 55 auf eine vorgegebene Zeitdauer einge stellt. Dieser Einstellvorgang wird beispielsweise ausge führt, bevor die Pinelektronikschaltungen 60 im Halbleiter prüfsystem angeordnet bzw. montiert werden. D.h., die Verzö gerungszeit des Pfades oder Weges, der die Torschaltung 52, das Verzögerungselement 55 und die Torschaltung 56 aufweist, ist beim Einstellvorgang der geschlossenen Schleife nicht eingeschlossen sondern wird separat eingestellt.

Obwohl die Verzögerungszeiten in den Pinelektronik schaltungen 60 vor der Montage auf feste Werte eingestellt werden, werden die Verzögerungszeiten in den Torschaltungen 52 _a-52 _n den Verzögerungselementen 55 _a-55 _n und den Torschal tungen 56 _a-56 _n durch die Umgebungstemperatur oder die durch ihre Wärmeabstrahlung erzeugten Temperaturen verschieden be einflußt. Die zum Prüfen eines Halbleiterbausteins tatsäch lich verwendeten Prüfsignale werden dem Baustein an den An schlüssen 69 _a-69 _n zugeführt. Daher müssen die Laufzeitunter schiede an den Anschlüssen 69 _a-69 _n. Zum exakten Prüfen des Halbleiterbausteins berücksichtigt werden. Aufgrund der vor stehend erwähnten Temperaturunterschiede der Verzögerungs zeiten in den Torschaltungen 52 _a-52 _n, den Verzögerungs elementen 55 _a-55 _n und den Torschaltungen 56 _a-56 _n können an den Anschlüssen 69 _a-69 _n keine exakten Kalibrierungen der Laufzeitunterschiede mit hoher Auflösung und hoher Genauig keit erhalten werden.

Daher ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Referenzverzögerungszeitkalibrierungsschaltung bereit zustellen, durch die Laufzeitunterschiede zwischen mehreren Prüfkanälen eines Halbleiterprüfsystems an Punkten in unmit telbarer Nähe eines zu prüfenden Bausteins minimiert werden können.

Ferner wird ein Verfahren zum Einstellen von Laufzeit unterschieden zwischen mehreren Prüfkanälen eines Halblei terprüfsystems bereitgestellt, durch das ein Signalausbrei tungszeitunterschied zwischen diesen Kanälen minimiert wird.

Durch die erfindungsgemäße Verzögerungszeitkalibrie rungsschaltung wird eine Kalibrierungsschleife gebildet, die eine geschlossene Schleife zum Messen und Einstellen der Signalausbreitungsverzögerungszeit ist und den Ausgangsan schluß der Pinelektronikschaltung aufweist, der in unmittel barer Nähe des zu prüfenden Bausteins angeordnet ist.

Durch die vorliegende Erfindung wird eine Verzögerungs zeitkalibrierungsschaltung bereitgestellt, durch die Lauf zeitunterschiede zwischen mehreren Prüfkanälen eines Halb leiterprüfsystems zum Prüfen eines Halbleiterbausteins redu ziert werden. Die erfindungsgemäße Verzögerungszeitkalibrie rungsschaltung weist auf: mehrere Kalibrierungsschleifen, die jeweils einen der Prüfkanäle aufweisen, wobei jede Kali brierungsschleife ein Element zum Einstellen einer variablen Verzögerung bzw. ein variables Verzögerungselement zum Ein stellen der Signalausbreitungsverzögerungszeit im Prüfkanal aufweist; einen Impulsgenerator, durch den jeder der Kali brierungsschleifen ein Impulssignal zugeführt wird; und eine Meßschaltung zum Messen der Signalausbreitungsverzögerungs zeit in jeder der Kalibrierungsschleifen durch Überwachen der Ausbreitungsverzögerungszeit des Impulssignals in der Kalibrierungsschleife; wobei jede der Kalibrierungsschleifen einen Ausgangsanschluß einer Pinelektronikschaltung in jedem der Prüfkanäle aufweist und die Pinelektronikschaltung dem Halbleiterbaustein am Ausgangsanschluß ein Prüfsignal zu führt und das variable Verzögerungselement basierend auf dem durch die Überwachungsschaltung gemessenen Wert so einge stellt; wird, daß die Signalausbreitungsverzögerung in jeder der Kalibrierungsschleifen einen konstanten Wert annimmt.

Durch die vorliegende Erfindung wird ferner ein Verfah ren zum Einstellen von Laufzeitunterschieden zwischen ver schiedenen Prüfsignalwegen in einem System, wie beispiels weise einem Halbleiterprüfsystem, bereitgestellt, um einen Signalausbreitungszeitunterschied zwischen den Signalwegen zu minimieren. Das erfindungsgemäße Kalibrierungsverfahren weist die Schritte auf: Bilden mehrerer Kalibrierungsschlei fen, die jeweils einen der Signalwege aufweisen, wobei jede der Kalibrierungsschleifen einen Ausgangsanschluß des zuge ordneten Signalweges aufweist, Zuführen eines Impulssignals zu jeder der Kalibrierungsschleifen, Messen einer Signalaus breitungsverzögerungszeit in jeder der Kalibrierungsschlei fen durch Überwachen einer Ausbreitungsverzögerungszeit des Impulssignals in der Kalibrierungsschleife und Einstellen einer Verzögerungszeit eines in jedem der Signalwege ange ordneten variablen Verzögerungselements basierend auf der gemessenen Verzögerungszeit des Impulssignals derart, daß die Signalausbreitungsverzögerung in jeder der Kalibrie rungsschleifen einen konstanten Wert annimmt.

Erfindungsgemäß wird die Verzögerungszeit in jedem Prüfkanal durch eine Kalibrierungsschleife eingestellt, die den in unmittelbarer Nähe des geprüften Bausteins angeordne ten Ausgangsanschluß der Pinelektronikschaltung aufweist. Daher werden durch Zeitunterschiede, die aufgrund des durch Temperaturunterschiede verschiedenen Betriebsverhaltens der Schaltungskomponenten in den Schaltungen verursacht werden, die Gesamtlaufzeitunterschiede zwischen den Prüfkanälen nicht beeinflußt. Daher kann durch die vorliegende Erfindung die Takt- bzw. Zeitsteuerungsgenauigkeit beim Prüfen von Halbleiterbausteinen wesentlich verbessert werden.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnungen näher erläutert.

Fig. 1 zeigt ein Schaltungsdiagramm zum Darstellen ei nes Beispiels einer erfindungsgemäßen Verzögerungszeitkali brierungsschaltung;

Fig. 2A zeigt ein Schaltungsdiagramm der vorliegenden Erfindung, wobei ein Rückkopplungssignal für eine Verzöge rungszeitmessung an einem Differenzausgang der letzten Puf fertorschaltung einer Pinelektronikschaltung abgenommen wird;

Fig. 2B zeigt ein Schaltungsdiagramm der vorliegenden Erfindung, wobei ein Rückkopplungssignal für eine Verzöge rungszeitmessung über eine Torschaltung mit den gleichen Pa rametern wie diejenigen der letzten Puffertorschaltung einer Pinelektronikschaltung abgenommen wird; und

Fig. 3 zeigt ein Schaltungsdiagramm zum Darstellen ei nes Beispiels einer bekannten Verzögerungszeitkalibrierungs schaltung.

Fig. 1 zeigt ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Ver zögerungszeitkalibrierungsschaltung. Bei diesem Beispiel wird, um eine Rückkopplungsschleife zum Messen einer Signal ausbreitungsverzögerungszeit zu bilden, ein Signal an einem Punkt in unmittelbarer Nähe eines Ausgangsanschlusses 69 ei ner Pinelektronikschaltung 60 abgenommen. In Fig. 1 und in Fig. 3 sind sich entsprechende Komponenten durch gleiche Bezugszeichen bezeichnet.

Die in Fig. 1 dargestellte Kalibrierungsschleife wird aus dem Verzögerungszeitzähler 82, dem ODER-Gatter 75, dem Puffer 76, dem Verzögerungselement 78 _n, dem Koaxialkabel 40 _n, der Torschaltung 52 _n, dem Verzögerungselement 55 _n, der Torschaltung 56 _n und dem Koaxialkabel 45 _n gebildet. Auf die gleiche Weise wie im Beispiel von Fig. 3 wird eine Signal ausbreitungsverzögerungszeit in jeder geschlossenen Schleife auf eine vorgegebene Verzögerungszeit eingestellt.

D.h., für jeden Prüfkanal wird eine Rückkopplungs schleife gebildet, durch die ein Impulssignal vom Taktgene rator gemäß einer Verzögerungszeit in der Schleife zirku liert. Die Verzögerungszeit in der Schleife wird durch das Verzögerungselement 78 so eingestellt, daß sie einer Basis verzögerungszeit bzw. einer Verzögerungszeit in einer ande ren geschlossenen Schleife gleich ist. Beispielsweise wird für die Pinelektronikschaltung 60 _a eine geschlossene Schlei fe durch das ODER-Gatter 75, den Puffer 76, das Verzöge rungselement 78 _a das Koaxialkabel 40 _a, die Torschaltung 52 _a, das Verzögerungselement 55 _a, die Torschaltung 56 _a, das Koa xialkabel 45 _a und den Verzögerungszeitzähler 82 gebildet.

Durch Bereitstellen eines Referenzimpulses durch den Taktgenerator 90 mißt der Verzögerungszeitzähler die Signal ausbreitungsverzögerungszeit einschließlich der Zeitdauer vom ODER-Gatter 75 zum Ausgang der Torschaltung 56 _a. Die Verzögerungszeit in dieser Schleife kann durch Einstellen oder Steuern des Verzögerungselements 78 _a auf eine Basisver zögerungszeit T_STD eingestellt werden. Dann wird unter der Steuerung durch die Steuerungseinrichtung 86 die Verzöge rungszeit im nächsten Prüfkanal so eingestellt, daß sie der Basisverzögerungszeit T_STD gleich ist. Dieses Verfahren wird fortgesetzt ausgeführt, bis alle den Pinelektronikschaltun gen 60 _a-60 _n zugeordnete Schleifen auf die gleiche Weise ein gestellt wurden.

Weil die Torschaltungen 52 _a-52 _n, die Verzögerungsele mente 55 _a-55 _n und die Torschaltungen 56 _a-56 _n, deren Signal ausbreitungsverzögerungszeiten auf Temperaturänderungen emp findlich sind, in den Kalibrierungsschleifen angeordnet sind und das vorstehend beschriebene Kalibrierungsverfahren immer dann ausgeführt werden kann, wenn dies erforderlich ist, werden die Laufzeitunterschiede durch Kompensieren der Un terschiede der Signalausbreitungsverzögerungszeiten mini miert. Weil die Kalibrierungsschleife so gebildet ist, daß das Impulssignal an einem Punkt in unmittelbarer Nähe des Ausgangsanschlusses 69 _n abgenommen wird, wird unter Verwen dung der erfindungsgemäßen Kalibrierungsschaltung ein Prüf vorgang für einen IC-Baustein durch das Halbleiterprüfsystem exakt ausgeführt.

Beim Beispiel von Fig. 1 ist der Ausgang der Torschal tung 56 _n so verbunden, daß die geschlossene Schleife gebil det wird. Wie in Fig. 2A dargestellt, kann auch eine Diffe renztorschaltung 57 _n verwendet werden, um dem Anschluß 69 für den zu prüfenden Baustein ein Ausgangssignal zuzuführen, während das andere Ausgangssignal der geschlossenen Schleife für die Verzögerungszeitkalibrierung zugeführt wird. Außer dem kann, wie in Fig. 2B dargestellt, ein Paar Torschaltungen 58 _n verwendet werden, die im gleichen Gehäuse angeordnet sind und die gleichen Parameter aufweisen. Eine Torschaltung ist mit dem Anschluß 69 _n verbunden, während die andere Tor schaltung mit der geschlossenen Schleife für die Kalibrie rung verbunden ist.

Gemäß der vorstehenden Beschreibung wurde die vorlie gende Erfindung auf ein Halbleiterprüfsystem angewendet, die Erfindung kann jedoch auch auf andere Weise verwendet wer den, wie beispielsweise als Signalgenerator, für den mehrere Taktsignale und eine feste Verzögerungszeit für alle Taktsi gnale erforderlich sind.

Erfindungsgemäß wird die Verzögerungszeit in jedem Prüfkanal durch eine Kalibrierungsschleife eingestellt, die den in unmittelbarer Nähe des zu prüfenden Bausteins ange ordneten Ausgangsanschluß der Pinelektronikschaltung ein schließt. Daher werden durch die durch die Schaltungskompo nenten beispielsweise durch Temperaturänderungen verursach ten Zeitunterschiede die Gesamtlaufzeitunterschiede zwischen den Prüfkanälen nicht beeinflußt. Daher wird durch die vor liegende Erfindung die Takt- oder Zeitsteuerungsgenauigkeit beim Prüfen von Halbleiterbausteinen wesentlichen verbessert.

Claims

1. Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung zum Einstellen von Signalausbreitungsverzögerungszeiten in mehreren Signalwegen auf einen konstanten Wert, mit:
mehreren Kalibrierungsschleifen, die jeweils einen der Signalwege aufweisen, wobei jede der Kalibrierungs schleifen ein variables Verzögerungselement zum Ein stellen der Signalausbreitungsverzögerungszeit im Si gnalweg aufweist;
einem Impulsgenerator, durch den jeder der Kali brierungsschleifen ein Impulssignal zugeführt wird; und
einer Meßschaltung zum Messen der Signalausbrei tungsverzögerungszeit in jeder der Kalibrierungsschlei fen durch Überwachen einer Ausbreitungsverzögerungszeit des Impulssignals in der Kalibrierungsschleife;
wobei jede der Kalibrierungsschleifen einen Aus gangsanschluß eines zugeordneten Signalweges aufweist und das variable Verzögerungselement basierend auf dem durch die Meßschaltung gemessenen Wert so eingestellt wird, daß die Signalausbreitungsverzögerung in jeder der Kalibrierungsschleifen einen konstanten Wert an nimmt.

2. Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung zum Minimieren von Laufzeitunterschieden zwischen mehreren Prüfkanälen in einem Halbleiterprüfsystem, durch das ein Halblei terbaustein geprüft wird, mit:
mehreren Kalibrierungsschleifen, die jeweils einen der Prüfkanäle aufweisen, wobei jede der Kalibrierungs schleifen ein variables Verzögerungselement zum Ein stellen der Signalausbreitungsverzögerungszeit im Prüf kanal aufweist;
einem Impulsgenerator, durch den jeder der Kali brierungsschleifen ein Impulssignal zugeführt wird; und
einer Meßschaltung zum Messen der Signalausbrei tungsverzögerungszeit in jeder der Kalibrierungsschlei fen durch Überwachen einer Ausbreitungsverzögerungszeit des Impulssignals in der Kalibrierungsschleife;
wobei jede der Kalibrierungsschleifen einen Aus gangsanschluß einer Pinelektronikschaltung in jedem Prüfkanal aufweist und die Pinelektronikschaltung dem Halbleiterbaustein am Ausgangsanschluß ein Prüfsignal zuführt und das variable Verzögerungselement basierend auf dem durch die Meßschaltung gemessenen Wert so ein gestellt wird, daß die Signalausbreitungsverzögerung in jeder der Kalibrierungsschleifen einen konstanten Wert annimmt.

3. Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung nach Anspruch 2, wobei der Ausgangsanschluß der Pinelektronikschaltung mit einer Torschaltung verbunden ist, die eine letzte Schaltungskomponente der Pinelektronikschaltung ist.

4. Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung nach Anspruch 3, wobei die Torschaltung eine Differenztorschaltung mit zwei Ausgangsanschlüssen ist, wobei einer der Ausgangs anschlüsse mit dem Ausgangsanschluß der Pinelektronik schaltung verbunden ist, während der andere Ausgangsan schluß mit der Kalibrierungsschleife verbunden ist.

5. Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung nach Anspruch 3, wobei die Torschaltung aus einem Paar von Torschaltun gen mit identischen Parametern besteht, wobei eine der Torschaltungen mit dem Ausgangsanschluß verbunden ist, während die andere Torschaltung mit der Kalibrierungs schleife verbunden ist.

6. Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, wobei der Impulsgenerator ein Taktgenerator ist, der Taktsignale für das Halbleiterprüfsystem erzeugt, um dem Halbleiterbaustein zuzuführende Prüfsignale zu er zeugen.

7. Verzögerungszeitkalibrierungsschaltung nach Anspruch 6, wobei das variable Verzögerungselement in einer Signal verteilerschaltung angeordnet ist, die Taktsignale vorn Taktgenerator empfängt und die Taktsignale an die meh reren Prüfkanäle im Halbleiterprüfsystem verteilt.

8. Verfahren zum Einstellen von Signalausbreitungsverzöge rungszeiten in mehreren Signalwegen auf einen konstan ten Wert, mit den Schritten:
Bilden mehrerer Kalibrierungsschleifen, die je weils einen der Signalwege aufweisen, wobei jede der Kalibrierungsschleifen einen Ausgangsanschluß eines zu geordneten Signalweges aufweist;
Zuführen eines Impulssignals zu jeder der Kali brierungsschleifen;
Messen einer Signalausbreitungsverzögerungszeit in jeder der Kalibrierungsschleifen durch Überwachen einer Ausbreitungsverzögerungszeit in der Kalibrierungs schleife; und
Einstellen einer Verzögerungszeit eines in jedem der Signalwege vorgesehenen variablen Verzögerungsele ments basierend auf der gemessenen Verzögerungszeit des Impulssignals derart, daß die Signalausbreitungsverzö gerung in jeder der Kalibrierungsschleifen einen kon stanten Wert annimmt.