DE19615688A1

DE19615688A1 - Glassubstrat für Magnetscheiben

Info

Publication number: DE19615688A1
Application number: DE19615688A
Authority: DE
Inventors: Ichiro Hayashi; Kei Maeda; Kazuo Mannami
Original assignee: AG-TECHNOLOGY Co Ltd YOKOHAMA KANAGAWA JP; TECHNOLOGY CO AG
Current assignee: AGC Inc
Priority date: 1995-04-20
Filing date: 1996-04-19
Publication date: 1996-10-24
Also published as: GB2299991A; GB2299991B; GB9607673D0; US5900296A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Glassubstrat für Magnetscheiben.

Eine Magnetscheibe hat eine magnetische Schicht und eine Schutzschicht, die auf einem Substrat nach verschiedenen Verfahren gebildet sind, einschließlich Zerstäuben, Plattieren, Dampfabscheidung oder dergleichen. Im allgemeinen ist ein Glas als Magnetscheibensubstratmaterial bemerkenswert geeignet für die hochgradige Verdichtung, da es eine ausgezeichnete Oberflächenglätte, eine zufriedenstellende Härte und eine hohe Fließbeanspruchung (Beständigkeit gegen Deformation) hat und nur sehr wenig Oberflächendefekte.

Wenn ein verhältnismäßig billiges alkalihaltiges Glas, wie Natronkalkkieselsäure glas als Glassubstrat verwendet wird ist es bekannt, daß es den magnetischen Film korrodiert oder verfärbt, da ein Alkaliion aus einem Pinhole oder peripheren Teil eines Magnetfilms oder eines glasexponierten Teils ausgefällt wird, ins besondere, wenn es unter hoher Feuchtigkeit ist oder einer Alterungsbehandlung unterworfen wird.

Um dieses Problem zu vermeiden wurde vorgeschlagen, ein Glas von außer ordentlich geringem Alkaligehalt zu verwenden, wie ein Nichtalkaliglas.

Es ist jedoch schwierig eine Festigkeit zu erhalten, die zufriedenstellend für den praktischen Gebrauch ist, wenn ein Nichtalkaliglas verwendet wird. Dies ist so, weil keine Ionenaustauschhärtungsbehandlung durchgeführt werden kann. Zu Beispielen von Härtungsbehandlungen, die auf ein Glas angewandt werden, um eine für den praktischen Gebrauch zufriedenstellende Festigkeit zu erhalten, gehören die Härtung durch Luftkühlung, die Ionenaustauschhärtung und der gleichen jedoch um eine zufriedenstellende Flachheit eines dünnen Glassubstrats für eine Scheibe aufrechtzuerhalten, ist es notwendig, eine Ionenaustausch härtungsbehandlung anzuwenden, die bei geringer Temperatur durchgeführt werden kann. Die Ionenaustauschhärtungsbehandlung ist eine Behandlung des Austausches eines Na+-Ions in einem Na-haltigen Glas durch ein K+-Ion, das größeren Ionenradius hat bei einer Temperatur, die nicht höher ist, als die Über gangstemperatur des Na-haltigen Glases.

Wie oben erwähnt ist es der Alkaligehalt, der in einem Glas vorliegt, das in einer Ionenaustauschhärtungsbehandlung ausgetauscht wird und daher kann kein Nichtalkaliglas der Ionenaustauschhärtungsbehandlung unterworfen werden. Somit muß ein Substratglas ein alkalihaltiges Glas sein, damit man es der Ionen austauschhärtungsbehandlung bei niederer Temperatur unterziehen kann. Wie oben erwähnt sind solche Eigenschaften wie (1) keinen Abbau einer magneti schen Schicht unter hoher Feuchtigkeit oder während des Alters zu bewirken und (2) eine Härte zu haben, die zufriedenstellend für die praktische Anwendung ist, wie sie ein Glassubstrat für Magnetscheiben verlangt, einander entgegen gesetzte Eigenschaften und es ist schwierig, die zwei Eigenschaften gleichzeitig zu erfüllen.

Ein Ziel der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines Glassubstrats, das der Ionenaustauscherhärtungsbehandlung unterworfen werden kann, um eine zufriedenstellende mechanische Härte zu erhalten und das kein solches Problem von herkömmlichem Natriumkalkglas bewirkt, einen magnetischen Metallfilm auf einem Glassubstrat zu korrodieren.

Die vorliegende Erfindung wurde durchgeführt, um die oben erwähnten Probleme zu lösen und liefert ein Glassubstrat für Magnetscheiben, erhalten durch chemi sche Härtungsbehandlung eines Glases, das im wesentlichen aus 50 bis 65 Gew.-% SiO₂, 5 bis 15 Gew.-% Al₂O₃, 2 bis 7 Gew.-% Na₂O, 4 bis 9 Gew.-% K₂O, 7 bis 14 Gew.-% Na₂O + K₂O, 12 bis 25 Gew.-% MgO + CaO + SrO + BaO und von 1 bis 6 Gew.- % ZrO₂ besteht.

Jede Komponente des Glases für das Glassubstrat der vorliegenden Erfindung wird im folgenden ausführlicher erläutert.

SiO₂ ist ein Netzwerkbildner eines Glases und es ist in einer Menge von 50 bis 65 Gew.- % im Glas der vorliegenden Erfindung enthalten. Wenn die Menge an SiO₂ zu klein ist, wird die chemische Beständigkeit des Glases verringert und wenn die Menge an SiO₂ zu groß ist, neigt das Glas dazu, kaum schmelzbar zu sein. Eine bevorzugte Menge ist 52 bis 62 Gew.-%.

Al₂O₃ verbessert die chemische Beständigkeit des Glases und erhöht die Ionen tauschgeschwindigkeit eines Alkalimetalls in dem Schichtteil der Glasoberfläche durch ein Alkalimetall mit größerem Ionenradius und hat eine Funktion, die Bildung von tiefen Druckspannungen zu beschleunigen. Die Menge an Al₂O₃ im Glas der vorliegenden Erfindung ist 5 bis 15 Gew.-% und wenn die Menge an Al₂O₃ zu groß ist, wird das Glas kaum schmelzbar. Ein bevorzugter Bereich ist 6 bis 9 Gew.-% und ein noch mehr bevorzugter Bereich ist 6 bis 8 Gew.-%.

Na₂O hat eine Funktion als Flußmittel während des Schmelzens eines Glases und wird die Hauptkomponente, die während der chemischen Härtungsbehandlung ionengetauscht wird. Die Menge an Na₂O im Glas der vorliegenden Erfindung ist 2 bis 7 Gew.-%. Wenn die Menge an Na₂O zu groß ist, wird die chemische Beständigkeit des Glases erniedrigt und die Korrosionsbeständigkeit eines ma gnetischen Films neigt dazu, herabgesetzt zu werden, da eine große Menge an Na+-Ionen auf der Oberfläche des Glassubstrats ausgefällt wird.

Die Zugabe von K₂O verbessert die Ionenaustauschgeschwindigkeit während der chemischen Härtungsbehandlung. Durch Zusetzen von K₂O anstelle von Na₂O kann die Menge an zugesetztem Na₂O verringert werden, und die Korrosions beständigkeit eines Magnetfilms kann verbessert werden. Die Menge an K₂O im Glas der vorliegenden Erfindung ist 4 bis 9 Gew.-%. Wenn jedoch die Menge an K₂O zu groß und die Menge an Na₂O relativ zu klein wird, wird kaum Ionen austausch bewirkt. Im Hinblick auf den obigen Punkt ist die Menge an K₂O + Na₂O im Glas der vorliegenden Erfindung 7 bis 14 Gew.-%.

MgO, CaO, SrO und BaO haben Wirkungen als Flußmittel während des Schmel zens eines Glases und werden zugegeben, um das Schmelzen zu beschleunigen. In der vorliegenden Erfindung werden diese Komponenten in einer Gesamtmenge von 12 bis 25 Gew.- % zugesetzt. Wenn die Gesamtmenge den oben erwähnten Bereich übersteigt, wird die Entglasungstemperatur eines Glases höher und es wird schwierig, eine Flachglasscheibe herzustellen.

Um die Bildung durch das Float-Verfahren leicht zu machen, ist es bevorzugt, MgO in einer Menge von 0,5 bis 5 Gew.-%, CaO in einer Menge von 2 bis 8 Gew.-% und MgO + CaO in einer Gesamtmenge von 2,5 bis 10 Gew.-% zu verwenden. Wenn die Mengen dieser Komponenten zu groß sind, wird die Liquidus-Temperatur unzufriedenstellend hoch, und die Bildung durch das Float- Verfahren neigt dazu, schwierig zu werden. Es ist wichtig, die Liquidus-Tempera tur bis zu einem gewissen Grad niedrig zu machen, um eine zufriedenstellende Verarbeitbarkeit durch das Float-Verfahren zu gewährleisten. Da die Bildung durch das Float-Verfahren bei einer Viskosität von etwa 10⁴ Poise durchgeführt wird, wird somit die Formung durch das Float-Verfahren schwierig, wenn nicht die Liquidus-Temperatur niedriger ist, als die Glastemperatur, bei welcher die Viskosität 10⁴ Poise wird. Wenn in der vorliegenden Erfindung die Menge an CaO zu groß ist, neigt auch der chemische Härtungseffekt dazu, schwach zu sein, wie sich durch den folgenden Versuch zeigt.

Von dem oben erwähnten Standpunkt aus ist die Menge an MgO noch bevorzug ter 1 bis 3 Gew.-% und die Menge an CaO ist noch bevorzugter 2 bis 5,5 Gew. %, am meisten bevorzugt von 3 bis 5,5 Gew.-%. Weiterhin ist die Gesamt menge an MgO + CaO vorzugsweise 4 bis 9 Gew.-%.

Um die Bildung durch das Float-Verfahren leicht zu machen, ist es bevorzugt, SrO in einer Menge von 4 bis 10 Gew.-% zu verwenden. Wenn die Menge an SrO zu groß ist, wird die Liquidus-Temperatur unzufriedenstellend hoch. Die Menge an SrO ist noch bevorzugter 6 bis 9 Gew.-%. Auch die Menge an BaO ist vorzugsweise 5 bis 12 Gew.-%. Wenn die Menge an BaO zu groß wird, wird die Liquidus-Temperatur unzufriedenstellend hoch. Die Menge an BaO ist noch bevorzugter 6 bis 11 Gew.-%.

ZrO₂ hat die Wirkung der Verbesserung der chemischen Beständigkeit. Die Menge ZrO₂ im Glas der vorliegenden Erfindung ist 1 bis 6 Gew.- %. Wenn die Menge an ZrO₂ zu groß ist, wird die Schmelzbarkeit schlecht. Die Menge an ZrO₂ ist vorzugsweise 2 bis 5 Gew.-%.

Zusätzlich zu den oben erwähnten Komponenten kann zur Verbesserung der Schmelzbarkeit, Raffinierbarkeit und Verarbeitbarkeit des Glases As₂O₃, Sb₂O₃, P₂O₅, F, Cl und SO₃ zum Glassubstrat der vorliegenden Erfindung in einer Gesamtmenge von nicht mehr als 2 Gew.- % zugesetzt werden. Um die chemi sche Beständigkeit des Glases zu verbessern, können auch La₂O₃, TiO₂, SnO₂ und ZnO in einer Gesamtmenge von nicht mehr als 5 Gew.- % zugesetzt werden. Weiter kann der Farbton des Glases eingestellt werden durch Zugabe eines Färbematerials wie Fe₂O₃, CoO, NiO und Nd₂O₃. Das Färbematerial wird vorzugs weise in einer Gesamtmenge von nicht mehr als 1 Gew.- % zugesetzt. Auch Alkalikomponenten, wie K₂O und Na₂O können teilweise durch eine kleine Menge von LiO₂ ersetzt werden, und die Menge an LiO₂ ist vorzugsweise nicht mehr als 1 Gew.-%.

Das Glas der vorliegenden Erfindung kann beispielsweise nach der folgenden Methode hergestellt werden. Das heißt, die Ausgangsmaterialien jeder Kom ponente werden gemischt, so daß die beabsichtigte Zusammensetzung entsteht und die gemischten Ausgangsmaterialien werden kontinuierlich einem Schmelz ofen zugeführt, worin sie bei einer Temperatur von 1.500 bis 1.600 °C zum Schmelzen erhitzt werden. Das geschmolzene Glas wird zu einer Glasplatte mit vorbestimmter Dicke durch das Float-Verfahren geformt und wird allmählich abgekühlt und dann geschnitten.

Das Glassubstrat der vorliegenden Erfindung wird erhalten, indem man die oben hergestellte Glasplatte mit vorbestimmter Größe einer chemischen Härtungsbe handlung unterwirft. Die chemische Härtungsbehandlung kann nach einer wohl bekannten Methode durchgeführt werden. Das heißt, die chemische Härtungs behandlung kann durchgeführt werden, indem man ein Glasprodukt in geschmol zenes Kaliumnitrat eintaucht oder in ein Gemisch von Kaliumnitrat und Natrium nitrat bei einer Temperatur von 400 bis 530°C für 2 bis 20 Stunden, das Glasprodukt aus dem geschmolzenen Salz herausnimmt und das so behandelte Glasprodukt allmählich abkühlt.

Auch die Texturbearbeitung, um gegebenenfalls eine vorbestimmte Textur auf einer Magnetscheibe zu bilden, wird nach dem Ätzen, Polieren und Waschen, jedoch vor der chemischen Härtungsbehandlung durchgeführt. Die Texturbear beitung kann durchgeführt werden, indem man eine Lösung oder einen Dampf von Fluorwasserstoffsäure verwendet.

Um eine Magnetscheibe unter Verwendung des Glassubstrats der vorliegenden Erfindung zu erhalten, wird eine Unterschicht (Primer), eine magnetische Schicht, eine Schutzschicht und eine Gleitschicht auf dem Glassubstrat in dieser Reihenfolge gebildet.

Für die ferromagnetische Schicht, die als Magnetaufzeichnungsschicht in der vorliegenden Erfindung verwendet wird, wird vorzugsweise ein magnetisches Aufzeichnungsmaterial aus der Co-Legierungsserie benutzt, wie eine Co-Cr-Serie, eine Co-Cr-Pt-Serie eine Co-Ni-Cr-Serie, eine Co-Ni-Cr-Pt-Serie, eine Co-Ni-Pt- Serie, eine Co-Cr-Ta-Serie oder dergleichen. Für die Unterschicht, die unter der ferromagnetischen Schicht gebildet wird, um die Dauerhaftigkeit und die magne tischen Eigenschaften zu verbessern, wird eine Unterschicht wie eine Ni-Unter schicht, eine Ni-P-Unterschicht, eine Cr-Schicht, eine SiO₂-Schicht oder der gleichen gebildet.

In der vorliegenden Erfindung können eine Cr-Schicht, eine Cr-Legierungsschicht, eine metallische oder Legierungsschicht aus einem anderen Material mit Antikor rosionsmerkmalen auf oder unterhalb der ferromagnetischen Schicht gebildet werden.

Eine Kohlenstoff- oder Siliciumdioxidschicht mit einer Dicke von 50 bis 1.000 Å kann als Schutzschicht verwendet werden und eine flüssige Gleitmittelschicht vom Perfluorpolyethertyp mit einer Dicke von etwa 30 Å kann als Gleitmittel schicht benutzt werden.

Beispiele (Herstellung von Flachglas)

Jede der vier Arten der Glaszusammensetzungen Nr. 1 bis Nr. 4, wie in der folgenden Tabelle 1 gezeigt, wurde gemischt und vermengt, um einen Glas ansatz gemäß normalen Methoden herzustellen. Danach wurde der Glasansatz in einen Pt-Rh 10% Schmelztiegel mit einem Volumen von etwa 500 ml gegeben und wurde bei 1.500 °C für etwa 4 Stunden geschmolzen, einschließ lich etwa einstündigem Rühren zur Homogenisierung. Die Glasschmelze wurde dann auf eine Kohlenstoffplatte gegossen, um ein Flachglas herzustellen und wurde allmählich abgekühlt. Danach wurde es gemäß normalen Methoden geschnitten und poliert, um eine plattenähnliche Glasprobe mit einer Dicke von etwa 1 mm zu erhalten. Ein gewöhnliches Natriumkalk-Siliciumdioxidglas bzw. Natronkalksilikatglas wurde als Vergleichsbeispiel (Nr. 5) verwendet, wie in der folgenden Tabelle 1 gezeigt. Die Liquidustemperatur, die Temperatur, die 10⁴ Poise lieferte, die Temperatur, die 10² Poise lieferte und der Erweichungspunkt jeder der so erhaltenen Glasproben wurden gemessen und sind in der folgenden Tabelle 1 gezeigt.

Jede der plattenähnlichen Glasproben Nr. 1 bis Nr. 5 wurde geschnitten und poliert, um 20 Stücke eines ringförmigen Glasscheibensubtrats mit einem äußeren Durchmesser von 65 mm, einem inneren Durchmesser von 20 mm und einer Dicke von 0,635 mm herzustellen.

(Härteprüfung des Glassubstrats)

Danach wurden 10 Stück jedes der oben hergestellten Glasscheibensubstrate der chemischen Härtungsbehandlung unterworfen. Das heißt, die chemische Härtungsbehandlung wurde durchgeführt, indem man die Proben Nr. 1 bis Nr. 4 in geschmolzenes Kaliumnitratsalz bei 480 °C 10 Stunden lang und die Probe Nr. 5 in geschmolzenes Kaliumnitratsalz bei 450 °C 10 Stunden lang eintauchte.

Jedes der so behandelten Glasscheibensubstrate wurde bezüglich der Dicke der Oberflächendruckspannungsschicht mittels einer Meßvorrichtung für die Haupt oberflächenspannung, FSW-60, hergestellt von Toshiba Glass Company, gemes sen, und die Ergebnisse sind in der folgenden Tabelle 1 gezeigt. Eine weitere Probe Nr. 1 wurde auch getrennt in geschmolzenes Kaliumnitratsalz bei 500 °C für 10 Stunden getaucht, um die chemische Härtungsbehandlung durchzuführen und als Ergebnis war die Dicke der Oberflächendruckspannungsschicht 20 µm.

Wie aus den in der folgenden Tabelle 1 gezeigten Ergebnissen zu ersehen ist, hat jedes der Glassubstrate der Beispiele der vorliegenden Erfindung eine Ober flächendruckspannungsschicht von wenigstens 10 µm und die Proben, die CaO in einer Menge von weniger als 5,5 Gew.-% enthalten, haben eine Oberflächen druckspannungsschicht von wenigstens 14 µm. Somit wird im Falle der Durch führung der chemischen Härtungsbehandlung unter den gleichen Bedingungen die Tiefe der Druckspannungschicht tiefer und die chemische Härtung neigt dazu stärker zu werden, wenn der CaO-Gehalt im Glas der vorliegenden Erfindung kleiner wird. Wie oben erwähnt, ist es für das Glas der vorliegenden Erfindung bevorzugt, daß es Kalziumoxid in einer Menge von 2 bis 5,5 Gew.-% enthält.

Zehn Stück jeder der ungehärteten Glassubstratscheiben und der gehärteten Glassubstratscheiben wurden einer Biegefestigkeitsprüfung unterworfen, indem die gesamte äußere Peripherie der Scheibe abgestützt wurde und eine Belastung an den inneren Umfang der Scheibe angelegt wurde, und die durchschnittliche Härte wurde gemessen. Als Ergebnis war die Biegefestigkeit der ungehärteten Probe Nr. 5 12,0 kg/mm², während die Biegefestigkeit der gehärteten Probe Nr. 5 mit einer Druckspannungsschicht von 20 µm Tiefe 34,1 kg/mm² war. Anderer seits war die Biegefestigkeit der ungehärteten Proben Nr. 1 bis Nr. 4 15,5 kg/ mm², während die Biegefestigkeit der gehärteten Probe Nr. 1 mit einer Druck spannungsschicht von 20 µm Tiefe 43,6 kg/mm² war.

Wie sich aus den Ergebnissen der obigen Beispiele ergibt, kann die chemische Härtungsbehandlung auf das Glassubstrat der vorliegenden Erfindung im gleichen oder mehr zufriedenstellenden Ausmaß angewendet werden, verglichen mit einem herkömmlichen Natronkalksilikatglassubstrat, und die Härte des gehärte ten Produkts ist gleich oder höher, als die des herkömmlichen Natronkalksilikat glassubstrats. Somit ist anzuerkennen, daß das Glassubstrat der vorliegenden Erfindung eine zufriedenstellende Härte hat, die ausreichend ist für die praktische Verwendung als Substrat einer Magnetscheibe. Dies wird auch durch die Tatsa che unterstützt, daß die obige Biegefestigkeit des Glassubstrats der vorliegenden Erfindung viel höher ist, als die praktische Fließgrenze von 10 kg/mm² von Aluminium, das in weitem Umfang zur Zeit als Magnetscheibensubstrat ver wendet wird.

(Prüfung auf Feuchtigkeitsbeständigkeit des magnetischen Aufzeichnungsmedi ums)

Ein magnetisches Aufzeichnungsmedium wurde erhalten, in dem eine Primer- Beschichtung von etwa 500 Å Dicke gebildet wurde, die Cr auf der Hauptober fläche jeder der oben hergestellten ungehärteten Produkte und gehärteten Produkte enthielt und zwar durch Aufsprühen unter Bildung einer Co-30-Atom-% Ni-Legierungsmagnetschicht von etwa 600 Å Dicke darauf, weiterhin Bildung einer Kohlenstoffschutzschicht von etwa 300 Å Dicke darauf und dann Darauf schichten eines flüssigen Gleitmittels vom Perfluorpolyethertyp.

Die so erhaltenen Proben wurden einer Feuchtigkeitsbeständigkeitsprüfung unterworfen, indem sie in einer Atmosphäre von 80 °C und 90% relativer Feuchtigkeit 100 Stunden gehalten wurden. Als Ergebnis wurde das ungehärtete magnetische Aufzeichnungsmedium des Glassubstrats der Probe Nr. 5 in dem Bereich von 2 bis 3 mm vom Endteil des inneren Umfangs und des äußeren Umfangs der Scheibe von der Grenze zwischen der Co-Ni-Legierungsschicht und dem Glas zur Innenseite verfärbt, während das gehärtete magnetische Auf zeichnungsmedium des Glassubstrats der Probe Nr. 5 im Bereich von 1 bis 2 mm in der gleichen Weise wie oben verfärbt wurde. Andererseits zeigten alle, sowohl ungehärteten als gehärteten magnetischen Aufzeichnungsmedien der Proben Nr. 1 bis Nr. 4, keinerlei Verfärbung.

Tabelle 1

Wie oben erwähnt, ist das Glassubstrat der vorliegenden Erfindung, das ausge zeichnete Härte für eine magnetische Scheiben hat, ausgezeichnet bezüglich der Korrosionsbeständigkeit und der Alterungsbeständigkeit im Vergleich mit einem herkömmlichen Natriumkalksilikatglassubstrat. Auch erreicht das Glassubstrat der vorliegenden Erfindung eine zufriedenstellende Wirkung bei der Ionenaus tauschhärtung und liefert eine zufriedenstellende mechanische Festigkeit, die für die praktische Anwendung ausreicht. Weiter kann das Magnetscheibenglassub strat der vorliegenden Erfindung geeignet durch das Float-Verfahren gebildet werden. Das Substratglas der vorliegenden Erfindung ist auch ausgezeichnet in der Verarbeitbarkeit, und die Poliergeschwindigkeit des Glassubstrats der vor liegenden Erfindung ist 15 bis 55% höher als bei einem gewöhnlichen Natron kalkglas. Wenn beispielsweise das Polieren mittels einer beidseitigen Abreibvor richtung durchgeführt wird, die mit einer Gußeisenläppscheibe versehen ist unter Anwendung eines Abriebmittels vom Aluminiumoxid-Zirkonoxid-Typ Nr. 1500, und zwar unter einem Druck von 60 g/cm², war die Dickenveränderung des Natronkalksilikatglases 3,78 µm/min, während die Dickenänderung des Glases von Beispiel 1 4,35 µm/min war. Auch wenn mittels einer beidseitig abreibenden Vorrichtung poliert wurde, die mit einem geschäumten Polyurethankissen im prägniert mit Ceroxid versehen war, und zwar unter einem Druck von 100 g/cm², war die Dickenänderung eines Natronkalksilikatglases 0,74 µm/min, während die Dickenänderung des Glases von Beispiel 1 1,15 µm/min war. Somit ist das Substratglas der vorliegenden Erfindung auch im Hinblick auf die Produk tivität vorteilhaft.

Da weiterhin der CaO-Gehalt im Glassubstrat der vorliegenden Erfindung ver hältnismäßig klein ist, wird kaum CaO im geschmolzenen Natriumnitratsalz gelöst, das bei der chemischen Härtungsbehandlung verwendet wird, und die Lebensdauer des bei der chemischen Härtungsbehandlung verwendeten ge schmolzenen Kaliumnitratsalzes kann verlängert werden.

Claims

1. Glassubstrat für Magnetscheiben, erhalten durch chemische Härtungs behandlung eines Glases, bestehend im wesentlichen aus 50 bis 65 Gew.-% SiO₂, 5 bis 15 Gew.-% Al₂O₃, 2 bis 7 Gew.-% Na₂O, 4 bis 9 Gew.-% K₂O, 7 bis 14 Gew.-% Na₂O + K₂O, 12 bis 25 Gew.-% MgO + CaO + SrO + BaO und von 1 bis 6 Gew.- % ZrO₂.

2. Glassubstrat nach Anspruch 1, erhalten durch chemische Härtungsbe handlung eines Glases, bestehend im wesentlichen aus 50 bis 65 Gew.-% SiO₂, 5 bis 9 Gew.-% Al₂O₃, 2 bis 7 Gew.-% Na₂O, 4 bis 9 Gew.-% K₂O, 7 bis 14 Gew.-% Na₂O + K₂O, 0,5 bis 5 Gew.-% MgO, 2 bis 8 Gew.-% CaO, 2,5 bis 10 Gew.-% MgO + CaO, 4 bis 10 Gew.-% SrO, 5 bis 12 Gew.-% BaO und 1 bis 6 Gew.-% ZrO₂.

3. Glassubstrat nach Anspruch 1 oder 2, welches eine Druckspannungs schicht mit einer Dicke von wenigstens 10 µm an der Oberfläche hat.

4. Glassubstrat nach Anspruch 1 oder 2, erhalten durch chemische Här tungsbehandlung eines Glases, bestehend im wesentlichen aus 50 bis 65 Gew.-% SiO₂, 5 bis 9 Gew.-% Al₂O₃, 2 bis 7 Gew.-% Na₂O, 4 bis 9 Gew.-% K₂O, 7 bis 14 Gew.-% Na₂O + K₂O, 0,5 bis 5 Gew.-% MgO, 2 bis 5,5 Gew.-% CaO, 2,5 bis 9 Gew.-% MgO + CaO, 4 bis 10 Gew.-% SrO, 5 bis 12 Gew.- BaO und 1 bis 6 Gew.-% ZrO₂.

5. Glassubstrat nach Anspruch 4, welches eine Druckspannungsschicht mit einer Dicke von wenigstens 14 µm an der Oberfläche hat.

6. Glassubstrat nach Anspruch 1, 2 oder 4, bei dem die chemische Här tungsbehandlung durchgeführt wird durch Eintauchen des Glases in Kaliumnitrat oder ein Gemisch aus Kaliumnitrat und Natriumnitrat bei einer Temperatur von 400 bis 530 °C für 2 bis 20 Stunden.

7. Magnetscheibe, umfassend ein Glassubstrat für Magnetscheiben nach einem der vorhergehenden Ansprüche, und eine Primer-Schicht, eine magnetische Schicht, eine Schutzschicht und eine Gleitmittelschicht, die nacheinander auf dem Glassubstrat gebildet sind.