DE1899265U - Mikrofilm-aufnahmegeraet zur aufnahme von schriftstuecken, zeichnungen u. dgl. mit einer lichtempfindlichen zelle. - Google Patents

Mikrofilm-aufnahmegeraet zur aufnahme von schriftstuecken, zeichnungen u. dgl. mit einer lichtempfindlichen zelle.

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DE1899265U
DE1899265U DEJ12748U DEJ0012748U DE1899265U DE 1899265 U DE1899265 U DE 1899265U DE J12748 U DEJ12748 U DE J12748U DE J0012748 U DEJ0012748 U DE J0012748U DE 1899265 U DE1899265 U DE 1899265U
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ALEX JACKNAU FA
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70483Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
    • G03F7/7055Exposure light control in all parts of the microlithographic apparatus, e.g. pulse length control or light interruption
    • G03F7/70558Dose control, i.e. achievement of a desired dose

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Projection-Type Copiers In General (AREA)

Description

ί - /■
* Patentingenieur pin Γ) C -1 07G ,-3 R gii (
Sigurd Gronow W.ÜUblS/O a O.Hi
1 Berlin 44
f Elsenstr.62,TeLe26788
iücrofilm—Aufnahmegerät zur Aufnahme von Schriftstücken, Zeichnungen und dergleichen mit einer lichtempfindlichen Zelle«
Die Feuerung betrifft ein Microfilm-Aufnahmegerät zur Aufnahme von Schriftstücken, Zeichnungen und dergleichen auf absatzweise bewegten JFiIm mit einem ObjektiwerSchluß mit gleichbleibenden Öffnungszeiten und mit' einer oder mehreren aus Leuchtstofflampen bestehenden Beleuchtungseinrichtungen für Auf- und/oder Durchlicht und mit einer Torrichtung zur selbstständigen Messung und Dosierung der für die richtige Belichtung des Ulmes erforderlichen Lichtmenge, bestehend aus einer lichtempfindlichen Zelle und einer Baueinheit t welche aus Transistoren und Phasenanschnittssteuerung besteht und die Helligkeit der laicht st off lampen' regelt.
Es sind Microfilm-Aufnahmegeräte zur Aufnahme von Schriftstücken, Zeichnungen und dergleichen bekannt, bei denen die einzelnen Aufnahmen nacheinander auf einen absatzweise bewegten .3?ilm erfolgen. Diese bekannten Aufnahmegeräte sind mit Beleuchtungseinrichtungen versehen und zwar gibt es solche G-eräte, die mit einem ObjektiwerSchluß arbeiten, der auf eine stets gleichbleibende Öffnungszeit eingestellt ist und bei dem die Blende des Objektives ebenfalls auf einem stets unveränderten Stand gehalten wird.
Weil nun aber die zu pnotographlerenden Vorlagen unterschiedlich sind, würde bei derartigen G-eräten der S1Hm, d. h. seine einzelnen Aufnahmen, ganz unterschiedlich belichtet werden» Vorlagen, die beispielsweise aus weißem Papier bestehen, ergeben ein stark gedecktes Hegativ, während farbige Yorlagen, also beispielsweise solche aus gelbem oder rosa Papier, Negative zur Folge hätten, die zu wenig gedeckt sind» Aus diesem Grunde ist es erforderlich, bei starren Öffnungszeiten des Objektivverschlusses und bei starrer Blendeneinstellung die Beleuchtung der aufzunehmenden Vorlage variabel zu gestalten.
In Bezug auf die Beleuchtungseinrichtungen bei derartigen G-eräten sind drei verschiedene Bauarten bekannt. Erstens gibt es Geräte, die nur mit Auflicht arbeiten, bei denen also die Beleuchtungslampen schräg oberhalb der zu photographierenden Vorlage angebracht sind und diese anstrahlen. Zweitens gibt es Geräte, die nur mit Durchlicht arbeiten. Hierbei liegt die zu photographierende Vorlage auf einem lichtdurchlässigen Aufnahmetisch, unter welchem eine Beleuchtungseinrichtung angeordnet ist. Die aufzunehmenden Vorlagen werden also von unten durchleuchtet, was selbstverständlich nur dann möglich ist, wenn die aufzunehmende Vorlage einseitig beschrieben oder mit einer Zeichnung versehen ist. Diese bekannte Anordnung kommt hauptsächlich für Zeichnungen in !rage, die sich auf transparentem
ΐ Papier oder dergleichen befinden. Drittens gibt es
/ Geräte, die sowohl mit Auflicht als auch mit. Durch-
'licht arbeiten, wobei beide Lichtarten gemischt Ver
wendung finden können. Diese bekannten Geräte sind mit Regeleinrichtungen versehen, die eine individuelle !Regelung der Leuchtstärke" sowohl des Auflichtes
«_ 3 —
als auch des Durehliehtes gestatten. Diese Regelung; wird mittels zweier Eegelwiderstände vorgenommen, von denen der eine die Beleuehtungsvorrichtung für das Auflicht und der andere die Beleuchtungsvorrichtung für das Durchlicht regelt.
Da eine solche manuell vorgenommene Eegelung meist' auf Schätzungswerten beruht oder Probeaufnahmen voraussetzt, ist sie entsprechend ungenau und zur Vermeidung diesies lachteiles ist es bekannt, die von der zu photographierenden Yorlage ausgehende Ijichtmenge, die durch das Objektiv auf den Film gelangt, zu messen. Es ist bekannt, zur Messung dieser Lichtmenge eine lichtempfindliche Zelle, also einen Photowiderstand zu verwenden. Diese bekannten lichtempfindlichen Zellen sind neben der Säule,welche die Kamera trägt, die an ihr auf- und abbewegt werden kann, starr angebracht und ihr Meßpunkt ist auf die Mitte des -Aufnahmetisches gerichtet. Die lichtempfindlichen Zellen messen die Lichtmenge, die von der zu photographierenden Yorlage ausgeht und übertragen das Meßergebnis auf ein Meßinstrument, von dem es abgelesen werden kann. Entsprechend diesem Meßergebnis werden dann manuell die Beleuchtungseinrichtungen für Auf- und/oder Durchlicht geregelt bis das Meßinstrument den früher durch Yersuchsaufnahmen als richtig erkannten ¥ert anzeigt. Bs ist auch möglich, die Meßergebnisse der lichtempfindlichen Zelle nicht auf einem Meßinstrument sichtbar zu machen, sondern diese einer elektrischen Baueinheit zuzuleiten, die eine Phasenanschnittssteuerung enthält und die selbsttätig die Helligkeit der Beleuchtungseinrichtungen regelt.
Sine starr an. derartigen Geräten angebrachte lichtempfindliche Zelle, deren Meßpunkt auf die Mitte des Aufnahmetisches gerichtet ist, hat jedoch erhebliehe
lachteile und ist- für Geräte, kaum oder nicht zu verwenden,- bei denen die zu phot ographi er ende Torlage nicht in die Mitte des Aufnahmetisches gaLegt wird, sondern mit ihrer einen Kante an der vorderen Kante des Aufnahnietisches anliegt, wobei es ohne Belang ist, welche Größe die aufzunehmende Torlage im Terhältnis zur Größe des Aufnahmetisches hat. In einem solchen lalle kann es vorkommen, daß der Meßpunkt der lichtempfindlichen Zelle außerhalb der aufzunehmenden Torlage liegt, wodurch die gesamte Meßanlage außerstande^ st, ihren Zweck zu erfüllen. Hinzu kommt der Nachteil, daß der zu messende Punkt der zu photographierenden Torlage nicht inviduell ausgesucht werden kann. Da jedoch die zu photographierenden Torlagen auf ihrer Gesamtfläche manchmal unterschiedliche Färbungen oder Deckungen aufweisen, ergeben sich, wenn der Meßpunkt immer starr auf einem bestimmten Abschnitt der Torlage liegt, Messungen die nicht ten tatsächlichen Terhältnissen entsprechen und die somit Fehlmessungen darstellen, wodurch die Belichtung des Ulmes nicht so. erfolgt, daß das bestmögliche Ergebnis erreicht wird.
Die !Teuerung hat zur Aufgabe, die ÜTachteile dieser bekannten Anordnungen zu vermeiden und ein Microfilm-Aufnahmegerät zu schaffen, dessen Idchtmeßeinrichtung die Erzielung bestmöglicher Meßergebnisse zuläßt und somit auch eine höchstmögliche Genauigkeit der Dosierung des auf den Film gelangenden lichtes ermöglicht.
Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Heuerung vor, die lichtempfindliche Zelle elastisch mit der Baueinheit zu verbinden. Die lichtempfindliche Zelle
ist in dem Raum zwischen den Leuchtstofflampen für Auflicht und den Leuchtstofflampen für Durchlicht so angeordnet, daß ihr Meßpunkt auf oder in der Iahe der Ebene liegt, auf der die Lichtstrahlen des Auf- und des Durchlichtes aufeinander treffen.
In der Abbildung ist ein Ausführungsbeispiel des Gegenstandes der Neuerung in perspektivischer Ansicht von vorne dargestellt,
Eine lichtempfindliche Zelle 1, also ein Photowider- - stand, ist elastisch mit einer Baueinheit 2, welche aus elektrischen Bau- und Schaltelementen besteht, verbunden. An dem Gerät sind Gruppen von Leuchtstofflampen angebracht und zwar für Auflicht die Leuchtstofflampen 3 und für Burchlicht die Leuchtstpff~ lampen 4. Die lichtempfindliche Zelle 1 hat einen Meßpunkt 5, welcher, weil die lichtempfindliche Zelle beweglich ist, an jede beliebige Stelle der Ebene 6, die durch den Aufnahmetisch gebildet wird, gebracht werden kann. Dieses ist deshalb möglieh, weil die lichtempfindliche Zelle 1 durch ein elastisches Kabel 7 mit der Baueinheit 2 verbunden ist. Die Baueinheit kann, wie dies in der Abbildung dargestellt ist, an dem G-erätkasten 8 angebracht sein, sie kann sich aber auch in einem von dem eigentlichen Gerät unabhängigen Schaltpult befinden, welches nur durch Kabelleitungen mit dem Gerät verbunden ist. An dem hinteren Ende des Gerätes, außerhalb der Ebene 6, die den Aufnahmetisch bildet, befindet sich eine schienenartige Säule 9, auf der die Kamera, 10 auf- und abgleiten kann, deren Objektiv auf die zu photographierende Vorlage 11 gerichtet ist*
Die Wirkungsweise des Microfilm-Aufnahmegerätes gemäß der !Teuerung ist folgende?
Die zu photographierende Vorlage 11 wird auf die Ebene 6 gelegt oder auch, wenn diese Ebene 6 aus einer durchsientigen Scheibe besteht, unter diese und wird dann von unten gegen die Scheibe gepreßt. Alsdann werden die erforderlichen Leuchtstofflampen 3 und/oder 4 eingeschaltet. Soll die Aufnahme nur mit Auflicht erfolgen, so werden nur die Leuchtstofflampe 3 eingeschaltet. Soll die Aufnahme nur mit Durchlicht erfolgen, so werden nur die Leuchtstofflampen 4 eingeschaltet. Sollen jedoch beide Beleuchtungsarten, also Auflicht und Durchlicht gleichzeitig angewendet werden, so werd-en die Leuchtstofflampen 3 und 4 gemeinsam eingeschaltet, !"ach diesen Vorbereitungen kann die Messung der von der Vorlage 11 ausgehenden und in das Objektiv der Kamera 10 gelangenden Lichtmenge erfolgen. Das Ergebnis dieser von der lichtempfindlichen Zelle 1 vorgenommenen Lichtmessung gelangt dann über das elastische Kabel 7 in die Baueinheit 2, die es auf eine beliebige Weise, die nicht Gegenstand, der !feuerung ist, beeinflußt, wodurch diese Baueinheit 2 wiederum die Leuchtstärke der Leuchtstoffröhren 3 und/oder 4 regelt und so die richtige Beleuchtungsstärke für die zu photographierende Vorlage 11 einstellt. Die lichtempfindliche Zelle 1 kann auf der Ebene 6 an jede beliebige Stelle gestellt werden und somit ihr Meßpunkt 5 auch jede beliebige Stelle der Ebene 6 erreichen. Der Meßpunkt 5 der lichtempfindlichen Zelle 1 ist gemäß der feuerung so angeordnet, daß er in dem Raum zwischen den Leuchtstofflampen 3 für Auflicht und den Leuchtstofflampen 4 für Durchlicht auf der Ebene 6 oder in der Iahe derselben liegt«
Die Vorteile des Microfilm-Aufnahmegerätes gemäß der Heusrang sind folgende;
Durch die elastische Anordnung der lichtempfindlichen Zelle, d.h., durch die Möglichkeit diese lichtempfindliche Zelle an jede Stelle der Ebene des Äufnahmetisches zu bringen, wird erreicht, daß zu photographierende "Vorlagen jeden beliebigen lormates an jeder gewünschten Stelle gemessen werden tonnen, Dies ist insbesondere dann von Wichtigkeit, wenn die Torlagen unterschiedliche Deckungen oder auch unterschiedliche Färbungen aufweisen. Die Anordnung gemäß der Feuerung ist insbesondere dann von Vorteil, wenn die Vorlagen mittels eines Microfilm-JLufnahmegerätes photograph!ert werden, welches eine Anlage der einen Kante der Vorlagen an der vorderen Kante des Aufnähmetisches vorsieht» Sie läßt sich selbstverständlich aber auch dann anwenden, wenn die zu photograph!erende Vorlage an einer anderen Stelle der Ebene, die den Aufnahmetisch bildet, liegt.
Die Feuerung beschränkt sich nicht auf die in der Abbildung dargestellte Ausführungsfοrm. So ist es beispielsweise wie schon erwähnt möglich, die Baueinheit nicht an dem G-erät selbst anzubringen,, sondern in einem Schaltpult, das ein G-erät für sich bildet und in dem alle Schalter und sonstigen Regeleinrichtungen zum Betriebe des Microfilm-Aufnahmegerätes angebracht sind« Auch ist es möglich, dem elastischen Kabel, welches die lichtempfindliche Zelle mit der Baueinheit verbindet, eine Pührung zu geben, die mit einer Führung für die Zelle selbst verbunden sein kann«

Claims (2)

Patentingenieur Sigurd Gronow Berlin 44 Elsenstr.62, Tel 62 67 86 Schutzansprüche:
1) Microfilm-Aufnahmegerät zur Aufnahme von Schriftstücken, Zeichnungen und dergleichen auf absatzweise "bewegten Film mit einem Ob j ekti wer schlug mit gleichbleibenden Öffnungszeiten und mit einer oder mehreren aus Leuchtstofflampen bestehenden Beleuchtungseinrichtungen für Auf- u/o. Durchlieht und mit einer Vorrichtung zur selbstständigen Messung und Dosierung der für die richtige Belichtung des Filmes erforderlichen Lichtmenge, bestehend aus einer lichtempfindlichen Zelle und einer Baueinheit, welche aus Transistoren und Phasenanschnitts steuerung besteht und die Helligkeit der Leuchtstofflampen regelt, dadurch gekennzeichnet, daß die lichtempfindliche Zelle (1) elastisch, mit der Baueinheit (2) verbunden ist.
2) Microfilm-Aufnahmegerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die lichtempfindliche Zelle (1)
in dem Raum zwischen den Leuchtstofflampen (3) für Auflicht und den Leuchtstofflampen (4) für Durchlicht so angeordnet ist, daß ihr Meßpunkt (5) auf oder in der Sähe der Ebene (6) liegt, auf der die Lichtstrahlen des Auf- und des Durchlichtes aufeinander treffen.
DEJ12748U 1964-06-03 1964-06-03 Mikrofilm-aufnahmegeraet zur aufnahme von schriftstuecken, zeichnungen u. dgl. mit einer lichtempfindlichen zelle. Expired DE1899265U (de)

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