DE1764092B2

DE1764092B2 - Gettervorrichtung zum einbau in elektrische entladungsgefaesse

Info

Publication number: DE1764092B2
Application number: DE19681764092
Authority: DE
Inventors: Manfred 8000 München HOIj 9 22 Wintzer
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1968-04-01
Filing date: 1968-04-01
Publication date: 1973-05-24
Also published as: DE1764092A1; FR2005282A1; DE1764092C3; US3584253A; GB1198600A; NL6904501A

Description

wird.

An sich ist es bereits bekannt, das Zusammensr

Die Erfindung betrifft eine Gettervorrichtung zum tern von Zirkonpulver für Getterzwecke durch d;·

Einbau in elektrische Entladungsgefäße, deren get- Hinzumischen von Molybdän- oder sVoIframpuh ■-

terfähige Schicht mindestens eines der nicht ver- 25 zu verhindern (deutsche Auslegeschnft 1152 485).

dampfenden Gettermaterialien Zr, Ta, Hf, Nb, Ti, Jedoch läßt sich mit Kohlekörnern als Zusatz h

Th oder U enthält und mit einer isolierten Heizwen- z. B. gepreßten Schichten eine höhere Porosität a

del beheizbar ist. mit Molybdän- oder Wolframpulver erzielen. Weik:

Es ist bekannt, nicht verdnmpfer,^Je Gettermateria- ist die Gasabgabe von Kohlekörnern wesentlich gj-

lien, wie z.B. Ta, Zr, Th, Ti od. dgl. mit eigener 30 ringer als die von Molybdän- oder Wolf rampul vci

Heizquelle versehen — also auch ζ. Γ. zum wahlwei- Darüber hinaus bleibt der poröse Zirkon-Kohle-Kö

sen Einschalten — in einem elektrischen Entladungs- per auch nach Anwendung von relativ hohen Sintei-

gefäß anzuordnen. Ein nicht verdampfendes Getter temperaturen von z.B. 1300° C weiterhin mecha

aus z. B. einem zwischen den Windungen einer Wolf- nisch gut bearbeitbar.

ram-Heizspirale angeordneten Zirkon-Draht hat je- 35 Aus der deutschen Patentschrift 884 220 ist es bt-

doch den Nachteil, daß die allein an der freien Draht- kannt, insbesondere auch zur Vermeidung thermi

oberfläche erfolgende Getterwirkung recht gering scher Gitteremission auf dem Gitter aus Ta einer

ist. Hinzu kommt, daß das Heizen des Zirkon-Drah- Elektronenröhre einen Zirkon-Getterüberzug mit

tes fast ausschließlich durch Strahlung und somit mit einem Zusatz von 1 bis 10 Gewichtsprozent Graphit

einem ungünstigen Wirkungsgrad erfolgt. 4° anzubringen, um dadurch gezielt eine Karbidbildung

Etwa ähnlich ungünstig sind die Getter- und Heiz- zu bewirken. Dadurch wird nämlich vermieden, daß

Verhältnisse bei einer aus der USA.-Patentschrift das Zr im Betrieb bei Belastung zum Schmelzen ge-

2 469 626 bekannten indirekt geheizten Kathode, bei langt, wobei es eine Legierung mit dem Grundmetall

der ein massiver Zirkon-Zylinder-Mantel auf der In- Ta bilden würde, die wiederum bei Anwesenheit von

nenwand eines vom blanken Heizerdraht umwickel- 45 Th, herrührend von der Kathode, eine erhöhte ther-

ten Keramikträgerrohres angeordnet ist. mische Emission ergeben würde. Hierbei wird jedoch

Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe be- in Kauf genommen, daß das gebildete Zirkon-Karbid

steht darin, eine beheizbare Gettervorrichtung mit eine wesentlich geringere Getterwirkung als das Zir-

nicht verdampiendem Gettermaterial zu schaffen, die kon selbst hat.

sich durch besondere Wärmeökonomie auszeichnet 50 Die beschriebenen heizbaren Gasbinder können

und auch im kalten Zustand, d. h. bei Raumtempera- mit besonderem Vorteil auch in solchen Fällen, in

tür, noch Gas bindet. denen ein ausgesprochener Platzmangel in einer

Das besondere Merkmal einer vorteilhaften Elektronenröhre besteht, an Stelle des betreffenden

Weiterbildung der im ersten Absatz beschriebenen Heizers eingebaut und verwendet werden, jedoch mit

Gettervorrichtung zum Einbau in elektrische Entla- 55 dem Nachteil, daß der Temperaturbereich im Betrieb

dungsgefäße, deren getterfähige Schicht mindestens festliegt und relativ hoch ist.

eines der nicht verdampfenden Gettermaterialien Zr, Die Erfindung wird an Hand des in der Zeichnung

Ta, Hf, Nb, Ti₁ Th oder U enthält und mit einer iso- rein schematisch dargestellten Ausführungsbeispiels

lierten Heizwendel beheizbar ist, besteht deshalb erläutert. Teile, die nicht unbedingt zum Verständnis

nach der Erfindung darin, daß das Gettermaterial in 60 der Erfindung beitragen, sind darin fortgelassen oder

Form einer porösen Schicht aus festgebackenem Get- unbezeichnet geblieben.

termaterialpulver, dem bis zu 30 Gewichtsprozent In der Figur ist mit 1 eine in üblicher Weise mit

Kohlepuiver beigegeben sind, unmittelbar auf der einem Isolierüberzug2 aus z.B. Aluminiumoxyd ver-

Isolation der Heizwendel aufgebracht ist. sehene Heizwendel bezeichnet, die im Bedarfsfall

Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß 65 auch als Bifilarheizer ausgebildet werden kann. Auf

bei Gasbindern aus reinem Zirkon oder entsprechend diesen Heizer ist, z.B. durch Eintauchen in eine al-

dicken Schichten, nämlich hergestellt durch Pressen koholische Aufschwemmung eines Pulvergemisches

und Sintern von Zirkonpulver, zwar die Saugge- von Gettermetall und Kohle, insbesondere Elektro-

araphit, eine kompakte Überzugsschicht3 gebildet, Oberfläche eine genügend dicke Schicht mit genndie nach einer Glühung im Hochvakuum bei 800 bis gern Druck aufzupressen. „ ,. ■ , _;

1200° C einen hochporösen überzug bildet. Durch ™- *—'— *<* heizbaren Gasb.nders kann in

diese Maßnahme ist eine sehr große aktive Getteroberfläche geschaffen, die im Betrieb wahlweise durch den Heizvorgang des Heizers auf die jeweils geeignete Temperatur erwärmt werden kann.

Der Überzug kann auch durch andere übliche

Auftragsmp.thoden, wie Sprühen od. dgl. aufgebracht _b -

werden. . · ist aber auch möglich, den Heizer inner- io und somit auf keinen Fall Störungen halb einer l'orm in ein trockenes Pulvergemisch einzubetten und dann mit einem Preßwerkzeug auf seine

Elektronenentladungsvorgangs der Elektronenröhre verursachen kann.

des betreffenden

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

schvvindigkeit und die Gasaufnahmekapazitat bei

Patentansprüche- Temperaturen oberhalb von 600° C betrachthch er-

ratentansprucne. ^. ^ ^^ .^^ ^. _{Raumtemperatur die}

l.Gettervorrichtung zum Einbau in elektrische Gasaufnahmekapazität dadurch stark begrenzt ,st

Entladungsgefäße, deren getterfähige Schicht 5 daß die Gasdiffusion m das.Zirkomnnere-entfallt und

mindestens nes der nicht verdampfenden Get- nur allein die geringe Oberflachenab.orpt.on der Zt-

termaterialien Zr, Ta, Hf, Nb, Ti, Th oder U ent- konschicht des Gasbinders verbleit Eine Erhöhung

hält und mit einer isolierten Heizwendel beheiz- der Gasaufnahmekapazitat des Gasbinders bc.

bar ist, dadurch gekennzeichnet, daß Raumtemperatur ist jedoch unbedingt erforderl.,h,

das Gettermaterial in Form einer porösen Schicht io wenn das notwendige Vakuum in größeren tlektro-

aus festgebackenem Gettermaterialpulver, dem nenröhren im Lagerungszustand aufrechterhält!

bis zu 30 Gewichtsprozent Kohlepulver beigege- wurden soll.

ben sind, unmeittelbar auf der Isolation der Heiz- Durch eingehende Versuche wurde testgesteliL

wendel aufgebracht ist. daß mit porösen ungepreßien Zirkonkorpern oder
2. Gettervorrichtung nach Ansprach 1, da- 15 -schichten eine Steigerung der Gasaufnahmekapazma

durch gekennzeichnet, daß das Kohlepulver aus bei Raumtemperatur um etwa menr als ch.s z.enr.-

Elektrographit besteht. fache erzielt werden kann, wenn die bei den stattf:,

denden Warmbehandlungen zum Teil eintreten ■ Sinterung durch das Einlagern von Kohleteilchi: . ₂₀ d. h durch Mischen mit Kohlepulver, vermied