DE1621294A1 - Stromloses Kupfer-Plattierverfahren - Google Patents
Stromloses Kupfer-PlattierverfahrenInfo
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Description
Das Gebiet'der Erfindung:
Die Erfindung betrifft ein stromloses Kupfer-Plattierverfahren
unter Verwendung eines Bades bestehend aus einer wässrigen Lösung von .Formaldehyd, eines Kupfersalzes, eines
Komplexierungsmittels und eines Alkalihydroxyds, insbesondere
betrifft sie ein Verfahren zur automatischen Aufrechterhaltung
der Konzentration von Kupferionen und Formaldehyd in dem Bad auf einen vorbestimmten Wert während eines längeren Plattierzeitraumes
<> . .
Beschreibung des Standes der Technik:
Beschreibung des Standes der Technik:
Bisher sind stromlose Kupfer-Plattierverfahren sehr verbreitet
zum Auf plat tieren eines Metallfilmes auf nichtleitende Plastikmaterialien sowie zur Herstellung von gedruckten Schaltungs-Tafeln
verwendet wordene Bei einem solchen- Verfahren wird . .
gewöhnlich ein Bad eingesetzt, das aus einer stark basischen
wässrigen Lösung eines Kupfersalzes, eines Komplexierungsmittels
und eines Reduktionsmittels, wie z.B. Formaldehyd .:
oder ein Derivat· desselben, besteht. Üblicherweise ist das
Kupfersalz, Kupfersulfat, Kupfernitrat oder Kupferchlorid '■■.-..'-■
und das Kompiexierungsmittel At hyle ndiamint etraess igs äure, .? *'
ein Alkalisalz derselben, Weinsäure" oder ein Alkalisalz deo?^ ^
selben. ' ■ ■ ~ ; ."-■■■ ---'"^
In dem Bad wird ein aktiviertes Substrat mit einem Kupferfilm
überzogen durch eineι autokatalytische Reaktion gemäß
Gleichung ("I): ' '·
Cu+2 + 2HGH0 + 4OH ~ —^ Cu° + H£..+ 2H2O + "" ()
SAD
109823/1366
Das abgeschiedene- Kupfer fördert katalytisch die Reaktion
gemäß GIeiohung (1-) und erhöht .die Dicke des .plattierten:
Films. Die obige autokatalytisehe Reaktion ist begleitet γοη
unerwünschten Reaktionen, wie zoB"s der Cannizao*-Reaktion (2),
der Bildung von. Cüprooxyd (3) und der Dispropor-ticnierungs- .
reaktion (4): .
2HCHÜ + QlT
+ HCHO + 50H -^Cu0Q + HCQ0 + 3 H0Ov
Gu2° + H0O" — >
Cu0 + Cu+2 + 2QH^ /':;- (i)
Bin hochkonzentrierter Badansatzi erhöht die Kupfex-Abscheidungsgeschwindigkeit,
fördert aber die Zersetzung der Badzubereitung
aufgrund der Reaktionen (3) und (4). Das'gemäß Reaktion (3)
gebildete Cuprooxyd wird in metallisches Kupfer aufgrund der Reaktion (4) umgewandelt. Das so entstandene metallische
Kupfer erhöht die autokatalytisehe Reaktion (i) und verursacht
demzufolge eine Kupferabscheidung über der gesamten Substratoberfläche, und zwar einschließlieh derjenigen^ Teile, dienicht
plattiert werden sollen. Ein weiterer größer.Nachteil der
üblichen stromlosen Kupferplattierung beruht auf dem
Konzentrationsabfall des Bades während des. Ablaufs des Plattier yerfahrens,
der nicht beobachtet wird bei einem Kupfer-Elektroplattier-Verfahren,
bei welchem an der Anode KupferVOrgesehen
ist, um das Bad kontinuierlich .mit Kupferionen zu beliefern.
Außer dem Abfall der Kupferionenkonzentration in dem stromlosen
Kupfer-Plattierbad, nimmt die Konzentration des Formaldehyds
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und des Alkalihydroxyds ebenfalls während der Kupferabsoheidung
gemäß Reaktion (1) ab. Diese Abnahme kann bis zu einem gewißen Grade verhindert werden, indem man ein großes
Bad und eine möglichst hohe Konzentration im Bad verwendet, die aber nicht so hoch sein darf, daß eine Zersetzung des
Bades erfolgt. Diese Arbeitsweisen können jedoch nicht in
wirksamer Weise die Verminderung der Kupferabscheidung und
deren schließlich extrem klein werdende Geschwindigkeit verhindern.
Es war deshalb bisher notwendig, das Bad regelmäßig
zu erneuern, obwohl es noch Reste wirksamer Bestandteile enthielt. Zusammenfassend ergibt sich, daß es mit Hilfe der
bisherigen stromlosen Kupfer-Plattierarbeitsweisen schwierig
war, starke, plattierte Filme zu erzeugen, und demzufolge
wurden diese Filme nur als Vorbehandlung verwendet, mit deren
Hilfe es möglich ist, nichtleitfähige Materialien elektrisch
leitfähig zu machen, um sie einer nachfolgenden Kupfer-Elektroplattierung zu unterwerfen.
Kurze Zusammenfassung der Erfindung:
Ziel der Erfindung·ist ein stromloses Kupfer-Plattierver- fahren,
bei dem die Badzusammensetzung während einer längeren
Zeitdauer des Plattierens auf einen, gegebenen Wert gehalten wird.
Ein weiteres Ziel der Erfindung ist ein stromloses Kupfer-Plattierverfahren,
welches zur Bildung eines starken plattierten Filmes führt, wobei die Filmstärke etwa proportional
der Plattierzeit ist.
Ein weiteres Ziel der Erfindung ist ein stromloses Kupfer-
Ein weiteres Ziel der Erfindung ist ein stromloses Kupfer-
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Plattierrerfahren, bei welchem das Bad stabil ist, ohne
das chemische Zersetzung während des Plattierens auftritt,-,
und welches geringe Verluste durch'Abfall ergibt.
Das stromlose Kupfer-Plattierverfahren gemäß der Erfindung wird unter Verwendung eines Bades durchgeführt·,, das aus einer
wässrigen Lösung von Formaldehyd, eines Kupfersalzes, eines Komplexlerungsmittels und eines Alkalihydroxyds, ζ.B..
Natrium- oder Kaliumhydroxyd, besteht;· und gemäß- der Er- . findung
wird der pH-Wert und die Kupfe.rionenkonzentratlon ·
in dem Bad gleichzeitig gemessen, eier/ pH-Wert wird auf einem
vorbestimmten Wert gehalten, indem dem Bad eine konzentrierte ■
wässrige Lösung von Alkalihydroxyd zugeführt wird, und eine
Kombination aus Formaldehyd, und einem Kupfersalz: wird in
vorbestimmtem Molverhältnis, dem Bad zugeführt, so daß die ·
Konzentrationen von Formaldehyd und der Kupferionen auf
einen vorbestimmten Wert gehalten werden. Die Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens umfaßt Einrichtungen zur automatischen Zuführung sowohl des-erforderlichen Alkalihydroxyds
als auch der Kombination aus Formaldehyd und.dem Kupfersalz,
und zwar in Abhängigkeit von den Veränderungen des pH-Wertes und der KupferionenkOnzentration im Bade während der Plattierzeit.
Es kann Jedes lösliches Kupfersalz verwendet werden, wie z.B.
Kupfernitrat-, Kupfersulfat oder Kupferchlorid. Ein geeignetes Komplexierungsmlttel ist Äthylendiamintetraessigsäure
oder ein Alkaliderlvat derselben, welches verhindert, daß sich das. Bad selbst bei einem hohen pH-Wert zersetzt und welches ferner den plattierten Film gegen Ober-
109823/1366 ' bad or,g,nal
flächenoxydatiön aufgrund eines niedrigen pH-Wertes des
Bades schützt.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen:
Die Erfindung wird im einzelnen durch die folgende Beschreibung
zusammen mit der anliegenden Zeichnung beschrieben, die schematisch eine stromlose 'Kupfer-Plattiervorrichtung gemäß
der Erfindung zeigt. .
Genauere Beschreibung:-
Das bevorzugte Bad ist eine wässrige Lösung folgender Zusammensetzung:
Cuprisulfat .
Äthylendiamintetraessigsäure Formaldehyd Natriumhydroxyd
0.001 bis 0.09 Mol/Liter
0.001 bis 0.20 Mol/Liter
0.01 bis. 1.5 Mol/Liter
■ O.Öl bis 1.0 Mol/Liter
Es war bisher schwierig, die Konzentration von Formaldehyd
in dem Bad während des Plattierens zu messen und kontinuierlich zu regeln. Es ist bisher auf dem Gebiet des stromlosen
Kupfer-Plattlerens kein Verfahren bekannt, bei dem die Konzentration des Formaldehyds während des Plattierens automatisch
geregelt wird.
Im Rahmen der vorliegenden Erfindung wurde festgestellt, daß
während des stromlosen.Küpfer-PIattierens Formaldehyd mit
einem Molverhältnis von mehr als 2:1 und weniger als 3:1, bezogen
auf die' verbrauchten Kuppferionen, verbraucht wird.
1AL
109823/1366
Daher kann man aie Fqrmaldehyd-Konzentration in dem Bad
bestimmen, indem man. die Konzentration der Kupferionen bestimmt,
die mit Hilfe der kolorimetrisGhen Analyse gemessen
werden können. Die Kupferionen in dem Bad bilden mit .dem
Komplexierungsmittel, das ebenfalls in dem Bad gelöst yorliegt,
komplexierte Kupferionen·und "besitzen somit; die
Absorptions-Merkmale &eT komplexierten Kupferionen. Beispielsweise
zeigen die mit Xthyl^Mia_mintetrae'B&±gsäur&:;:t"öffitiiii.erte.n
Kupferionen, ein Absorptions-Maxiijium "bei einer Weilenlänge von
760 mu, wenn der pH-Wert 11 -13 beträgt, :[ '"-//'-':
Die Intensität der Absorption wird durch das Vorliegenvon'
ou^ j;-.1*^. } ei und HCOO sowie, anderen Yerbindungen, wie
Methanol, Formaldehyd und überschüssige Äthylendiamintetra^
essigsäure, die in dem Bad vorliegen kann, aber mit dem Ansteigen des pH-Wertes abnimmt, nicht "berührt. Bei konstantem
pH-Wert des Bades kann die Konzentration der Kupferionen exakt
durch Kolorimetrie bestimmt werden. Der pH-Wert des Bades kann
konstant gehalten werden, indem man den pH-Wert kontinuierlich mißt und automatisch dem Bad konzentrierte Alkalihydroxydlösung entsprechend der pH-Wert—Änderung in einer Weise hinzufügt,
wie es nachstehend beschrieben wirdo Die kontinuierliche kolorimetrische Analyse laßt erkeuh611»
welche Mengen an Kupferionen und Formaldehyd zu. irgend einem Zeitpunkt vorliegen; und der Analyse-Apparat ist elektrisch
verbunden mit Vorrichtungen zur Zuführung-von Kupfersalz und
Formaldehyd in das Bad, so daß dieses auf eine vorbestimmte
TO 9β23/ 1 3'"B-6-
Konzentration an Kupferionen und Formaldehyd gehalten wird«
Es kann jedes Zuführungsverfahren verwendet werden, bei
welchem die Menge des. in das Bad eingeführten Kupfersalzes in einem Molverhältnis von 1:2 bis 1:3, im Hinblick auf den
dem Bad zugeführten Formaldehyd, liegt.
Eine bevorzugte Zuführungsärbeitsweise besteht darin, daß,
ein Gemisch aus Kupfersalz und Formaldehyd in dem obigen Molverhältnis dem Bad zugesetzt wird. Das Gemisch kann ein
Pulver oder eine Lösung sein*
Das geeignete Molverhältnis hangt von den Plattier-Bedingungen,
z.B. der Temperatur, dem Badvolumen, der Badkonzentration und den Abmessungen des zu plattierenden Gegenstandes ab, und liegt
im Bereich von 1:2 bis 1:3. Das genaue Molverhältnls muß durch
einen Versuchsansatz des Verfahrens bestimmt werden ohne Einführung des Gemisches aus Kupfersalz und Formaldehyd in das ·
Bad. Ein höheres Molve-rhältnis als1:2 ergibt eine äußerst
kleine Kupfer-Abscheidungsgeschwindigkeit und ein Molverhältnis
unter 1:3 verursacht-Zersetzung des Bades. . .
Gemäß Fig. 1 enthält =ein .Badgefäß 1, das aus einem gegenüber dem
Bad inerten Material hergestellt ist,, eine Lösung 2 zum
Plattieren, und ein Rührer 3 ist vorgesehen, um das Bad hinsichtlich seiner Zusammensetzung überall gleichförmig zu halten«
Die Probestücke 4, die durch ein übliches Verfahren aktiviert
worden sind, werden in das Bad eingetaucht, während sie durch
eine geeignete ,Haltevorrichtung 5 getragen werden. Die Badlösung 2 wird mit einem Glasrohr 6 zu einem Blasenausseheider 7
durch einen Heber geliefert. Zur genauen kolorimetrisohen
Analyse ist es notwendig, die in der Badlösung eingeschlossenen
■ 109823/1366 ~ ,
Blasen von Wasserst off gas zuJ entferne]!. Das in der Badlösung
enthaltene Wasserstoffgas 8 verdampft.aus dem Blasenaus- .
scheider 7. Die entgaste Lösung wird mittels einer Pumpe 9
durch einGlasrohr 6 zu einem Spefctralkplorimeter 10 gefährt,
um die Konzentration der Cupriionen kolorimetrisch zu messen.
Die Lösung wird dann nach der kolorimetrischen Analyse durch
die Pumpe 9 zum Bad zurückgeführt. Das Spektralkolorimeter ^q
erzeugt ein elektrisches Signal, wobei die Stärke des Signals abhängig ist von dem Unterschied zwischen der gemessenen Konzentration der Kupferionen und einem vorbestimmten Wert der '
Konzentration. Das erzeugte elektrische Signal; wird durch
einen Verstärker 11 verstärkt und einer BeschiGkungspumps 12
zugeführt, so daß eine Regelung der Zuführung einer wassrigen
Lösung von Formaldehyd und Kupfersalz in dem obengenannten.
Molverhältnis in das Bad durch eine Leitung 13 aus einem
die wässrige Lösung 15enthaltenden Behälter 14 erfolgen kann»
Andererseits kann der Verstärker vom Ein— und Ausschalt-iyp
sein, der so betätigt wird, daß er die Pumpe in Betrieb setzt,
wenn das Signal unterhalb eines vorbestimmten Wertes liegt.
Das Spektralkolorimeter 10 ist mit einem Schreiber 16
elektrisch verbunden, der die.Konzentration der Kupferionen
registriert. ",:'■ ; - . ;\
In Verbindung mit der Regelung der Konzentrationen von
Formaldehyd und der Kupferionen in dem Bad wird der pH-Wert
des Bades 2 kuntinuierlich mit einer Glaselektrone 17, die
elektrisch mit einem pH-Meter Iß varbunden ist, gemessen. Das
; ■=■.....-v"" BAD
109823/1366 ·
pH-Meter 18 erzeugt ein elektrisches Signal, wobei die
Stärke -des Signals abhängig ist von dem Unterschied zwischen dem gemessenen,pH-Wert und einen vorbestimmten pH-Wert. Das
erzeugte elektrische Signal setzt eine Beschickungspumpe in Betrieb, nachdem es durch einen Verstärker 20,verstärkt
worden ist. Eine kpnzentrierte Alkalihydroxydlösung 21, die
sich in einem Behälter 22 befindet, wird durch ein Glasrohr dem Bad durch die genannte Beschickungspumpe zugeführt, so
daß der pH-Wert des Bades auf einen vorbestimmten Wert ge- halten
wird. Andererseits kann der Verstärker vom Ein- und
w - Ausschalt-Typ sein, der in der Weise betätigt wird, daß er
die Pumpe in Betrieb setzt, wenn das Signal unterhalb eines "
vorgegebenen Wertes liegt. Das pH-Meter 18 ist elektrisch
verbunden mit einem Schreiber 24, um den pH-Wert des Bades bequem aufzuzeichnen.
Auf diese Weise kann das Bad sowohl hinsichtlich des pH-Wertes als auch der Konzentration von Formaldehyd und der
Kupferionen geregelt werden, wodurch ein stromloses Plattieren mit einer vorbestimmten Geschwindigkeit während eines längeren
) Zeitraumes möglich ist. In. dem erfindungsgemäßen Bad findet
kein Abfall des pH-Wertes oder der Konzentrationen von
Formaldehyd und der Kupferionen·statt, der die Plattier-Geschwindigkeitherabsetzen
würde; und es besteht keine Not-. wendigkeit.,- anfänglich hohe Konzentrationen des Bades zu verwenden,
die geeignet sind, zu einer Zersetzung desselben
- zu führen.
Wenn das Gemisoh aus Formaldehyd und Kupfersalz in feinverteilter
Pulverform vorliegt, kann eine Ausführungsform der
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Besqhicküngsvorrichtung aus einem Behälter bestehen, der
am Boden ein kleines Loch besitzt, das mit Hilfe einer Stopfen-Anurdnung geschlossen und geöffnet werden kann.
Das elektrische Signal, das von Spektralkolorimeter 10 geliefert wird, betätigt einen Schalter, der die Stopfen-Anordnung
in dem Sinne bewegt, daß das Loch geöffnet wird,
um die Mischung dem Bad in Pulverform zuzuführen. Die
pulverförmige Mischung hat den Vorteil, daß das Badvolumen durch ihren Zusatz nicht merklich vergrößert wird, während
eine Lösung des Gemisches den Vorteil aufweist, daß die'
Badzusammensetzung ohne Schwierigkeiten gleichförmig gemacht
werden kann. ...
Das erfindungsgemäße stromlose Kupfer-Plattierverfahren
kann völlig automatisiert werden, durch Verwendung eines
Förderbandes, welches sich mit einer gegebenen Geschwindigkeit durch das Bad bewegt, und zwar deshalb, weil das Bad
dahingehend geregelt wird, daß es eine Zusammensetzung aufweist, die eine konstante Plattier-Geschwindigkeit während
eines langen Plattier-Zeitraumes gewährleistet. Die aktivierten
zu plattierenden Gegenstände können auf dem Förderband angeordnet,
während eines gegebenen.Zeitraumes in das Bad eingetaucht- und sodann automatisch aus dem Bad mittels des sich bewegenden
Förderbandes entnommen werden, nachdem sie auf der überfläche bis zu einer gegebenen Stärke plattiert worden
sind, was von den Platfier-üedingungen und der Eintauchzeit
abhängt.
Das füllende Beispiel ist eine spezielle Ausführung der
ΤΌ9823/1366 ~ —- ,
i c v>
: :■_ BAD ORIGINAL
Erfindung und'stellt keine Einschränkung derselben dar.
Die verwendete Badzusammensetzung ist eine wässrige Lösung
aus 0,02 Mol/l Cuprisulfat, 0,03 Mol/l Äthylendiamintetraessigsäure,
0,20 Mol/l Natriumhydroxyd und 0,15 Mol/l Formaldehyd. Ein Plastikbehälter mit einem Passungsvermögen
von iüO 1 wird mit 60 1 dieser wässrigen Lösung gefüllt
. Eine Phenolharz-Platte wird wie üblich aktiviert durch Anwendung einer SnCIp- bzw. PdClp-Lösung, und sie
wird sodann in das Bad eingetaucht. Die wässrige" Lösung wird bei 30 C gehalten und durch einen Plastikrührer mit
drei Schaufeln gerührt, der mit 750 rpm während des Plattier-Vorganges
rotierend betrieben wird. Die wässrige Lösung wird durch ein Glasrohr mit 5 mm Durchmesser
zu einem Blasenausscheider geführt, und zwar mit
einer Fließgeschwindigkeit von 20 ml/min durch den Heber,
wie in Fig. 1 gezeigt ist. Der Blasenausscheider ist ein Glas-Rundkolben von 300 ml. In der Lösung enthaltenes Wasserstoff
gas verdampft aus dem Blasenausscheider. Die so behandelte
wässrige Lösung wird mit Hilfe einer quantitativen Saugpumpe,
Typ CV-I (Tokyo Instrument Co.), zu einem Spektrokolorimeter, '
Typ Sp-20 (Shimadzu Corporation), geführt, um kontinuierlich
die Cupriionenkonzentration in der wässrigen Lösung zu messen.
Nach der-Messung der Konzentration wird die' wässrige Lösung
zurück in das Bad mit einer Geschwindigkeit von 20 ml/min
geleitet* Die gemessene Konzentration der Cupriionen wird in
ein elektrisches Signal umgewandelt, und zwar mit Hilfe einör
1 0 9 8 2 3/13 6 6
1B21294
üblichen Methode. Das so erzeugte elelctrisohe Signal wird
einem Ein— und Ausschalt-Yerstärker zugeführt, der arbeitet,
wenn das Signal eine Konzentration von weniger als Ü,02 Mol/l
Cupriionen anzeigt, und der eine quantitative Säugpumpe in
Betrieb setzt, sobald die gemessene Konzentration der Cupriionen
geringer als 0,02 Mol/l 1st.. Die in Betrieb gesetzte
Säugpumpe liefert eine wässrige Lösung aus 0,Oj? Mol/l Cuprisulfat
und 1,2 Mol/l Formaldehyd mit einer Geschwindigkeit
von 30 ml/min aus einer Yörratsflasche in das Bad, bis die
gemessene Konzentration der Gupriionen 0,02 Mol/l erreicht
hat. Der pH-Wert des Bades wird kontinuierlich gemessen durch
ein pH-Meter, das mit einem Ein- und Ausschalt-irerstärker gekoppelt ist, der dann arbeitet, wenn der pH-Wert unter 12,,0
abfällt. Der Ein- und Ausschalt-^erstarker setzt eine
quantitative Saugpumpe in Betrieb, wenn der gemessene pH-Wert
geringer als 12,0 ist. Die Saugpumpe fördert eine wässrige
Lösung von 6N Natriumhydroxyd mit einer Geschwindigkeit von
30 ml/min in das Bad, bis der gemessene pH-Wert12,0wird.
Wach diesem Verfahren ist es möglioh, die Zusammensetzung des
Bades konstant zu halten, und zwar innerhalb, einer Toleranz
von + 10 # während 10 Tagen mit 5 stündiger Arbeitsdauer
pro Tag} dabei ergibt sich eine konstante Abscheidungsgeschwindigkeit
von Kupfer im Bereich von 2,0 bis 2,5 Mikron/Std
Dicke. -- -'■ ■■. . ■■ . .;.;.;-■ . ; : ..." <f '^ Ί
SADORiGINAt
109823/T36& / -
Claims (6)
- Patentansprüche:1» Stromloses Kupfer-Plattierverfahren,.'dadurch gekennzeichnet, daß man den pH-Wert eines Bades, das aus einer wässrigen Lösung von Formaldehyd, eines Kupfersalzes, eines Komplexierungsmittels und eines Alkalihydroxyds "besteht, mißt, daß man das in der wässrigen Lösung eingeschlossene Wasserstoff gas entfernt, daß man die Kupferionenkonzentration in dem Bad mißtj daß man den pH-Wert auf einen vorbestimmten Wert hält cLurch Zuführung einer konzentrierten wässrigen Lösung eines Alkalihydroxyd's zu dem Bad; und daß man eine Kombination aus Formaldehyd und Kupfersalz in vorbestimmtem Molverhältnis zu der wässrigen Lösung hinzufügt, um die Konzentration von Formaldehyd und des Kupfersalzes auf vorbestimmte Werte zu halten, .
- 2. yerfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man ein Molverhältnis von Formaldehyd zum Kupfersalz von 2:1 bis 3:1 verwendet. \
- 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man als Komplexierungsmittel Äthylendiamintetraessigsäure verwendet.
- 4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Komplexierungsmittel ein Alkalisalz der Äthylendiamintetraessigsäure verwendet.109823/1366
- 5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die Kombination von Formaldehyd und Kupfer salz in pulverförmiger Form verwendet.
- 6. Verfahren nach,Anspruch i, dadurch gekennz'eichnet, daß man die Konibination von Formaldehyd und Kupfersalz in Form einer wässrigen Lösung verwendet·..-■*.■■- BAD QRlQJNAL9821/13 66 - :■ ΛLe. erseite
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8334766 | 1966-12-19 | ||
JP8334766 | 1966-12-19 | ||
DEM0076628 | 1967-12-18 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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DE1621294B2 DE1621294B2 (de) | 1975-07-24 |
DE1621294C3 DE1621294C3 (de) | 1976-03-04 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
FR1551275A (de) | 1968-12-27 |
GB1168370A (en) | 1969-10-22 |
DE1621294B2 (de) | 1975-07-24 |
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Date | Code | Title | Description |
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C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 |