DE1615742C3 - Verfahren zur Herstellung eines pulverförmigen metallkeramischen Widerstandsmaterials - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines pulverförmigen metallkeramischen Widerstandsmaterials

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DE1615742C3
DE1615742C3 DE19671615742 DE1615742A DE1615742C3 DE 1615742 C3 DE1615742 C3 DE 1615742C3 DE 19671615742 DE19671615742 DE 19671615742 DE 1615742 A DE1615742 A DE 1615742A DE 1615742 C3 DE1615742 C3 DE 1615742C3
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glass
iridium
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Expired
Application number
DE19671615742
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English (en)
Inventor
William Thomas Garden Grove; Hornberger Leon Bruce Corona; Strief Milton John Fullerton; Calif. Kelly (V.StA.)
Original Assignee
Beckman Instruments, Ine, Fullerton, Calif. (V.St.A.)
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 genannten Art
Ein derartiges bekanntes Verfahren (US-PS 50 996) sieht als Füllmaterialien sogenannte Oxid-Halbleiter vor, und zwar außer Metalltitanaten in erster Linie Stannate und Antimonate, wobei die Hinzufügung dieser Füllmaterialien dazu führt, daß der Widerstandswert eines durch Aufbrennen des Widerstandsmatenals auf ein Substrat gewonnenen Schichtwiderstandes höher ausfällt und ferner der Temperaturkoeffizient des elektrischen Widerstandes beeinflußt wird.
Bei einem ähnlichen bekannten Verfahren (US-PS 35 655) zur Herstellung von aufbrennbarem Widerstandsmaterial wird anstelle einer Metallkomponente Halbleitermaterial verwendet, welches in der durch Aufbrennen erhaltenen Widerstandsschicht den elektrischen Stromtransport durch die Widerstandsschicht bewirkt Als mögliche Füllstoffe werden dabei Silikate, nämlich Kyanit und Mullit, genannt
Es ergibt sich bei metallkeramischen Widerstandsschichten der vorgenannten Art häufig der Fall, daß die Widerstände zunächst instabil sind, d. h. eine beträchtliche Änderung des Widerstandswertes während der ersten Stunden der Zuführung von elektrischem Strom aufweisen. Derartige Widerstandsänderungen können zwischen 1 und 5% während der ersten 25—50 Betriebsstufen liegen. Danach ändert sich der Widerstandswert bei Zuführung von elektrischer Leistung nur sehr viel weniger, d.h., die Widerstände sind dann
ίο praktisch stabil. Handelt es sich um sehr exakte elektrische Stromkreise, so können diese Widerstandsänderungen störend sein, und es ergibt sich dann die Notwendigkeit, die metallkeramischen Widerstände vor dem Einbau vorzubelasten.
Ein weiteres Problem bei der Herstellung von metallkeramischen Widerständen besteht darin, daß beim Aufbrennen des Widerstandsmaterials auf einen Isolierkörper die Glaskomponente das Bestreben hat, um die Ränder der Widerstandsstruktur herumzufließen und auf die Oberfläche derselben herauszudringen, und diese Neigung zum Herausfließen hat dann einen verhältnismäßig hohen Übergangswiderstand zur Folge, wenn die Anschlußklemmen an diesen Randzonen hoher Glaskonzentration angebracht werden.
Die Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 genannten Art so auszubilden, daß sich eine gute Stabilität des Widerstandswertes des durch Aufbrennen des Widerstandsmatenals auf einen Isolierkörper erhaltenen Schicht-Widerstandes ergibt und die erwähnte Neigung der Glaskomponente zum Herausdringen aus der Widerstandsmasse verringert wird.
Diese Aufgabe wird durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruches 1 angegebenen Merkmale gelöst.
Durch Aufbrennen eines erfindungsgemäß hergestellten Widerstandsmatenals erhaltene Widerstände zeigen eine erhebliche Verbesserung der zeitlichen Stabilität des Widerstandswertes bei Strombelastung. Die Neigung der Glaskomponente zum Herausfließen während des Brennvorganges ist wesentlich herabgesetzt, was vermutlich auf einer Erhöhung der Viskosität der Glasmasse beruht, was wiederum darauf zurückzuführen sein dürfte, daß das Füllmaterial sich in der Glasmasse während des Brennens nicht vollständig löst.
Ferner zeigt das erfindungsgemäß hergestellte Widerstandsmaterial keine unerwünschten Reaktionen zwischen der Glasphase des Widerstandsmatenals und Flußmitteln, die zwecks Anschließens von Anschlußklemmen an den Widerstand verwendet werden. Die erfindungsgemäße Zugabe des Füllmaterials verhindert es, daß derartige Flußmittel mit der metallkeramischen Schicht eine tiefergehende Reaktion eingehen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend näher beschrieben.
Das bevorzugte Herstellungsverfahren ist wie folgt Es werden fein verteilte Glaspartikeln mit einer lösbaren Edelmetallverbindung, z. B. in Form eines Edelmetallresinats oder einer anderen organischen oder anorganischen Verbindung eines oder mehrerer Edel-
metalle, gemischt Und zwar werden die Glaspartikeln mit einem Resinat oder einer anderen organischen oder anorganischen Metall-Lösung gemischt, so daß die Glaspartikeln vollständig mit der Edelmetall-Lösung befeuchtet werden.
Zusätzlich werden Füllmaterialpartikeln aus der Gruppe Magnesiumsilikat (MgSiO3), Calciumsilikat (CaSiO3), Bariumsilikat (BaSiO3) und Bleizirkonat (PbZrO3) in einer Menge zwischen 3 und 40 Gewichts-
prozent, bezogen auf die gesamte Mischung, zugegeben. Das Füllmaterial braucht nicht aus einer der vorgenannten Stoffe allein zu bestehen, sondern es können auch entsprechende Mischungen verwendet werden.
Die vorstehend angegebenen Füllmaterialien haben die Eigenschaft, daß sie in einer metallkeramischen Schicht sich nicht vollständig in der Glasphase auflösen. Das Füllmaterial wird in Pulverform oder sonst fein verteilt mit der löslichen Metallkomponente und dem Glaspulver so vermischt, daß sich eine homogene Mischung ergibt
Die Zugabe des Füllmaterials zu der Mischung, nachdem Glas und die Edelmetall-Lösung kalziniert wurden, hat eine Vergrößerung des Widerstandswertes zur Folge und bewirkt auch bis zu einem gewissen Grad das Herausdringen des Glases bei dem endgültigen Brennen; es ist jedoch offenbar wichtig, daß, um die gewünschte Stabilität des Widerstandswertes bei Strombelastung zu erreichen, das Füllmaterial zugegeben wird, während die metallische Komponente sich noch in Form des Resinates in gelöster Form befindet. Um also die gewünschte verbesserte elektrische Stabilität zu erreichen, sollte das Füllmaterial zugegeben werden, bevor das Glaspulver und die Edelmetall-Lösung kalziniert werden. Es wird dann die gesamte Mischung, bestehend aus Glaspulver, Edelmetallösung und Füllmaterial, so weit erhitzt, daß die flüchtigen organischen und anorganischen Komponenten ausgetrieben werden, und es findet dann ein Kalzinieren statt, damit weitere organische Restmaterialien entfernt werden und die eventuell stattfindenden Reaktionen eingeleitet werden.
Das kalzinierte Material wird dann zu der gewünschten Partikelgröße gemahlen. Dieses Pulver kann dann mit einem geeigneten Trägermedium durchmischt werden, damit das Aufbringen der Widerstandsmasse auf den Unterlagekörper erleichtert wird und darauf ein Brennen bis zu einer Temperatur erfolgen kann, bei dem die Glaskomponente zu einer dann erstarrenden Glasphase schmilzt
Es hat sich gezeigt, daß eine geeignete Füllmasse zwischen 5 und 50 Gew.-%, bezogen auf die Cermet-Komponente ohne Füllmasse, oder zwischen ungefähr 3 und 40 Gew.-%, bezogen auf das Gewicht der gesamten Mischung einschließlich der Füllmasse ist.
Es wird im nachstehenden als Beispiel A eine Cermet-Widerstandsmasse angegeben, die bei Strombelastung zunächst noch etwas unstabil ist.
Beispiel A
(Iridium-Gold-Cermet ohne Füllmasse)
Glas Nr. 1
Glas Nr. 2
Iridium
Gold
42,50 Gew.-°/o
42,50 Gew.-%
11,26 Gew.-%
3,74 Gew.-%
100,00 Gew.-%
50
55
Der anfängliche Widerstand dieser Widerstandsmasse hatte einen Anfangswiderstand von 35,64 ΚΩ/D. Es wurde dem Widerstand 16 Stunden lang bei einer Umgebungstemperatur von 700C eine Leistung von 0,2 W pro 2,54 χ 2,54 mm Fläche zugeführt Nach dieser Zeit wurde der Widerstand wieder gemessen, und es ergab sich der Wert 34,84 ΚΩ/α. Die Widerstandsänderung für dieses Widerstandselement von 2,54 χ 2,54 mm Fläche war 800 0hm, entsprechend einer Änderung des Widerstandswertes von —23% in bezug auf den Ausgangswiderstand. Bei anderen Cermet-Mischungen hat man auch Änderungen des Anfangswiderstandes von mehr als 4% beobachtet
Die nachfolgenden Beispiele von Cermet-Mischungen entsprechend der Erfindung, geben den Fortschritt an, der hinsichtlich der Widerstandsstabilität bei Strombelastung erreicht wird.
Beispiel Glas Nr. 1 Beispiel Glas Nr. 1 Beispiel Glas Nr. 1 Beispiel Glas Nr. 1 B 40,62 Gew.-% 34,27 Gew.-% 38,25% (Gew.-%) 31,25 Gew.-%
Glas Nr. 2 Glas Nr. 2 Glas Nr. 2 Glas Nr. 2 40,62 Gew.-% 34,27 Gew.-% 38,25% 31,25 Gew.-%
Iridium Iridium Iridium Iridium 10,41 Gew.-% 9,08 Gew.-% 10,13% 8,28 Gew.-%
Gold Gold Gold Gold 3,47 Gew.-% 3,02 Gew.-% 337% 2,75 Gew.-%
Steatit (MgSiO3) Steatit (MgSiO3) Steatit (MgSiO3) Steatit 4,88 Gew.-% 19,36 Gew.-% 10,00% 26,47 Gew.-%
100,00 Gew.-% 100,00 Gew.-% 100,00% 100,00 Gew.-%
Anfangswiderstand Anfangswiderstand Anfangswiderstand 41,84 ΚΩ/D 72,1 ΚΩ/D 40,980 ΚΩ/α
Belastung Belastung Belastung 60 Std. mit 200 mW 60 Std. mit 200 mW 60 Std. mit 200 mW
pro 2,54 χ 2,54 mm2 pro 2,54 χ 2,54 mm2 pro 2,54 χ 2,54 mm2
Fläche Fläche Fläche
Endwiderstand Endwiderstand Endwiderstand 41,839 ΚΩ/D 72,08 ΚΩ/D 41,017 ΚΩ/D
Widerstandsänderung Widerstandsänderung Widerstandsänderung 20 Ω 42 Ω
Prozentuale Widerstands Prozentuale Widerstands Prozentuale Widerstands
änderung änderung änderung 0,007% 0,03% 0,092%
C D E
Anfangswiderstand
Belastung
Endwiderstand
Widerstandsänderung
Prozentuale Widerstandsänderung
Glas Nr. 1
Glas Nr. 2
Iridium
Gold
Steatit
Anfangswiderstand
Belastung
Endwiderstand
Widerstandsänderung
Prozentuale Widerstands
änderung
Glas Nr. 1
Glas Nr. 2
Rhodium
Ruthenium
Iridium
Steatit
Anfangswiderstand
Belastung
Endwiderstand
Widerstandsänderung
Widerstandsänderung in %
252,85 ΚΩ/D
100 Std. mit 200 mW
pro 2,54 χ 2,54 mm2
Fläche
252,5 ΚΩ/α
350 Ω
Beispiel H
0,14%
Beispiel F
28,72 Gew.-o/o 28,72 Gew.-%
7,61 Gew.-%
2,52 Gew.-%
32,43 Gew.-%
100,00 Gew.-%
274^5 ΚΩ/D
70 Std. mit 200 mW
pro 2,54 χ 2,54 mm2
Fläche
272,25 ΚΩ/D
2100 Ω
0,77%
Beispiel G
38,21 Gew.-% 38,21% 2,46% .12,27% 4,09%
4,76% 100,00%
432,23 Ω/α
100 Std. mit 120 mW
pro 2,54 χ 2,54 mm2
Fläche
431,88 Ω
0,35 Ω
0,16%
ίο
Glas Nr. 1
Glas Nr. 2
Rhodium
Ruthenium
Iridium
Steatit
Anfangswiderstand
Belastung
Endwiderstand
Widerstandsänderung
Widerstandsänderung in %
33,44 Gew.-% 33,44 Gew.-%
2,15 Gew.-% 10,72 Gew.-%
3,58 Gew.-%
16,67 Gew.-%
100,00 Gew.-%
706,37 Ω/D
100 Std. mit 120 mW
pro 2,54 χ 2,54 mm2
Fläche
706,33 Ω/Ο
0,04 Ω
0,01%
In sämtlichen vorstehend angegebenen Beispielen betrug die Leistung 120 mW oder 200 mW pro Fläche eines Widerstandselementes von 2,54 mm χ 2,54 mm. Die Umgebungstemperatur war 70° C, und sämtliche Widerstandselemente hatten einen Temperaturkoeffizienten, der annehmbar gering war und etwa bei 300· 10-6/°Clag.
Es kann angenommen werden, daß die Zusammensetzung des Glases im Rahmen der Erfindung nicht kritisch ist, das Glas muß lediglich einen Schmelzpunkt haben, der unterhalb der Schmelztemperatur der metallischen Komponente liegt. Es werden nachstehend die Zusammensetzungen der im vorstehenden verwendeten Glassorten angegeben.
Glas Nr. 1
Glas Nr. 2
PbO
ZnO
B2O3
SiO2
ZrO2
72,15 65,68
5,40 5,41
9,04 10,00
13,41 16,51
2,40
100,00%
100,00%
Die angegebenen Prozentsätze betreffen Glasmassen-Prozentsätze.

Claims (4)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung eines pulverförmigen metallkeramischen Widerstandsmatenals, bei dem zunächst eine Mischung enthaltend feingemahlene Glaspartikeln und Füllmaterialpartikeln, die zu einer Metalltitanat enthaltenden Gruppe gehören, sowie eine die Komponenten einer Edelmetallegierung enthaltende Edelmetallverbindungslösung, in der mindestens ein Edelmetall einer Rhodium und Iridium enthaltenden Gruppe von Edelmetallen angehört, hergestellt wird, die dann zum Austreiben der flüchtigen Bestandteile erhitzt wird und anschließend zu dem pulverförmigen Widerstandsmaterial zermahlen wird, in welchem Edelmetallegierungspartikeln und Füllmaterialpartikeln gleichmäßig verteilt sind und das unter Verwendung einer flüchtigen Trägerflüssigkeit auf einen Isolierkörper in Form einer Widerstandsschicht aufbrennbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Edelmetallverbindungslösung mindestens ein Edelmetall aus der Gruppe Iridium, Ruthenium, Rhodium enthält und die Füllmaterialpartikeln aus der Gruppe Magnesiumsilikat, Calciumsilikat, Bariumsilikat, Bleititanat und Bleizirkonat ausgewählt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Legierungspartner zu dem Edelmetall der Gruppe Iridium, Ruthenium und Rhodium mindestens ein Metall der Gruppe Gold, Silber, Platin oder Palladium hinzugefügt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Gewichtsanteile der Mischung so gewählt werden, daß der Edelmetallegierungsanteil 4—35 Gewichtsprozent und der Füllmaterialanteil 3—40 Gewichtsprozent der trockenen Mischung ausmachen und der Rest der Mischung durch Glasfritte gebildet wird.
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Edelmetallegierungsanteil 5—35 Gewichtsprozent einer Iridium-Gold-Legierung und als Füllstoffmaterialanteil 3—40 Gewichtsprozent kalzinierendes Magnesiumsilikat gewählt werden.
DE19671615742 1966-05-09 1967-05-08 Verfahren zur Herstellung eines pulverförmigen metallkeramischen Widerstandsmaterials Expired DE1615742C3 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US54866066 1966-05-09
DEB0092409 1967-05-08

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Publication Number Publication Date
DE1615742C3 true DE1615742C3 (de) 1977-11-03

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