DE1235006B - Messmikroskop, insbesondere fuer Kernspuren - Google Patents

Description

• Meßmikroskop, insbesondere für Kernspuren Zusatz zum Patent: 1 216553 Im Patent 1216 553 ist eine Einrichtung zur Prüfung der Geradlinigkeit insbesondere von Keruspuren beschrieben, die aus einem Mikroskop mit Objekttisch besteht, wobei eine Relativbewegung zwischen Mikroskop und Objekttisch in Richtung der zu prüfenden Geraden möglich ist und bei der a) Mikroskop und Objekttisch so gehaltert sind, daß entweder Teile des Mikroskops oder die objekttragende Fläche des Objekttisches eine reine Parallelverschiebung quer zur Bewegungsrichtung ausführen können oder daß das Mikroskop mit Mitteln versehen ist, um eine Parallelversetzung des Abbildungsstrahles quer zur Bewegungsrichtung zu bewirken, und daß b) Mikroskoptubus oder Objekttisch mit einer parallel zur Bewegungsrichtung liegenden Führungsleiste versehen ist, an die sich der jeweils andere Teil mit seinem parallel verschieblichen Bestandteil bzw. an die sich, bei Anordnung der Führungsleiste am Objekttisch, das Objektiv mit seinem die Parallelversetzung des Abbildungsstrahles herbeiführenden Mittel kraftschlüssig anlegt.
• Die Führungsleiste bildet eine genauere Bezugsgerade als die Führungen des Objekttisches. Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, die Führungsleiste auch für die Bestimmung der Tischkoordinaten heranzuziehen.
• Die Erfindung besteht darin, daß die Führungsleiste mit mindestens einer Teilung versehen ist, die in an sich bekannter Weise mit optischen Mitteln in die Okularbildebene des Mikroskops eingespiegelt und gleichzeitig mit dem Objekt sichtbar ist.
• Eine Teilung z. B. in ganzen Millimetern verläuft längs der Verschiebungsrichtung des Objekttisches, ihre Striche liegen also parallel zur Mikroskop achse.
• Sie wird durch ein am Mikroskoptubus angebrachtes zusätzliches Objektiv etwa 10mal vergrößert in die Okularbildebene abgebildet, in der sich eine z. B. in 0,10 mm geteilte Okularskala befindet. Bringt man durch Verschiebung des Tisches einen Strich der Teilung mit einem Strich der Okularskala zur Dekkung, so wandert auch das Bild der Kernspur, die jedoch beispielsweise 100mal vergrößert in die Okularbildebene abgebildet wird. Das Bild des Objektes, z. B. eines Plattenkorns, wandert dann 10mal so schnell wie das des Teilungsstriches. Durch Beobachten des Plattenkorns kann man daher den Abstand des Teilungsstriches von dem nächsten Strich der Okularskala interpolieren.
• Hat also z. B. ein Millimeterstrich der Teilung von dem nächsten 0,10-mm-Strich der Okularskala einen Abstand von 0,2 des Intervalls, so wird ein Korn um 2 Okularstriche wandern, wenn man die Striche der beiden Teilungen zur Deckung bringt. Die Okularstriche lassen sich leicht ablesen.
• Zur Messung von Tiefen im Objekt ist auf der Führungsplatte eine zweite Teilung angebracht, deren Striche die der ersten Teilung senkrecht schneiden. Die zweite Teilung wird durch das Objektiv ebenfalls in die Okularbildebene 10flach vergrößert abgebildet, wo ihre Striche auf einer zweiten Skala, die senkrecht zu der obengenannten Okularskala steht, abgelesen werden. Hierbei erfolgt die Interpolation bei der Einstellung auf Deckung der Striche durch eine schwenkbare Planparallelplatte, deren Verschwenkung vorteilhaft auf einer in dem Okular befindlichen Skala abzulesen ist.
• Diese Planplatte dient gleichzeitig zur Messung der Abweichung der Kernspur von der Geradlinigkeit.
• In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel des Meßmikroskops nach der Erfindung dargestellt. Es zeigt Fig. 1 eine perspektivische Skizze, F i g. 2 das Meßmikroskop nach der Erfindung, teilweise geschnitten.
• Auf dem üblichen Kreuztisch 3 eines Mikroskops befindet sich die Kernspurplatte 15, auf der sich eine Spur 15' befindet. Mit dem Tisch fest verbunden ist die Führungsleiste 7. Das Objektiv 8 ist durch Federn 11 mit dem Tubus 1 verbunden und wird von ihnen über den Stift 12 an die Führungsleiste angedrückt.
• Oberhalb des Objektivs befindet sich der halbdurchlässige Spiegel 50 und ein Objektiv 51, dessen Achse senkrecht zu der des Objektivs 8 steht. Das Objektiv 51 ist auf die Führungsleiste gerichtet. Auf dieser sind zwei gekreuzte Teilungen 52 und 53 angebracht, die in der Bildebene des Okulars 54 abgebildet werden. In dieser Bildebene befinden sich zwei Platten 55, 56 mit Teilungen, die in F i g. 1 der Deutlichkeit halber getrennt voneinander gezeichnet sind, jedoch mit den Teilungen dicht aufeinanderliegen. Die Teilung 57 der Platte 55 entspricht der Teilung 52, die Teilung 58 der Teilung 53. Mit der Mikrometerschraube 59 ist der Nullstrich der Skala 58 einstellbar. Die Platte 56 trägt eine kreisförmige Teilung 60 und ist durch einen Zahntrieb mit dem Handgriff 61 und einer Kurvenscheibe 62 verbunden. Diese steuert die planparallele Glasplatte 63, durch welche das Bild eines Striches der Teilung 52 mit einem Strich der Teilung 57 zur Deckung gebracht werden kann. Diese Feinverstellung ist auf der Teilung 60 und Index 60' ablesbar. Diese Teilung ist so berechnet, daß 100 Teilstriche den Winkel von 200a bilden, so daß sie außer als Unterteilung der Teilung 57 noch zur Bestimmung von Winkeln im Objekt benutzt werden kann.
• Bei einer Tiefenmessung im Objekt muß man durch Verstellen des Tubus oder des Tisches nachfokussieren. Dabei verschiebt sich das Bild der Teilung52 gegen die Teilung 57 und auch diese Verschiebung ist mit der Planplatte 53 und Teilung 60 fein abzulesen.
• Bei einer Längenverschiebung des Tisches in Richtung des Pfeiles 64 wandert das vom Objektiv 8 z. B.
• 100fach vergrößerte Bild eines Plattenkorns 10mal so schnell wie das vom 10flachen Objektiv 51 vergrößerte Bild der Teilung 53. Stellt man einen Punkt der Kernspurplatte um x Zehntel der Teilung bis zur Deckung mit einem Teilstrich, so wandert das Bild eines Plattenkorns um x ganze Teilstriche, so daß man die Zehntel hiermit bequem ablesen kann.
• Ein besonderer Vorteil der Vorrichtung besteht darin, daß alle notwendigen Ablesungen im Okular erfolgen, wodurch die Durchmusterung der Platten beschleunigt wird.

Claims (6)

1. Patentansprüche: 1. Meßmikroskop zur Prüfung der Geradlinigkeit insbesondere von Kernspuren, bestehend aus einem Mikroskop mit Objekttisch, wobei eine Relativbewegung zwischen Mikroskop und Objekttisch in Richtung der zu prüfenden Geraden möglich ist und bei dem eine in Richtung der Relativbewegung ausrichtbare Führungsleiste vorgesehen ist, nach Patent 1216553, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsleiste mit mindestens einer Teilung versehen ist, die in an sich bekannter Weise mit optischen Mitteln in die Okularbildebene des Mikroskops eingespiegelt und zusammen mit dem Objekt sichtbar ist.
2. 2. Meßmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsleiste eine Teilung längs der Verschiebungsrichtung des Tisches und eine quer zu dieser laufende Teilung trägt.
3. 3. Meßmikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Objektiv mit iOOfacher Eigenvergrößerung zur Abbildung des Objektes mit einem Objektiv mit lOfacher Eigenvergrößerung zur Abbildung der Skalen der Führungsleiste in einem gemeinsamen Objektivkörper zusammengefaßt ist.
4. 4. Meßmikroskop nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv mit 100facher Eigenvergrößerung in dem gemeinsamen Objektivkörper derart federnd aufgehängt ist, daß eine Parallelversetzung des Abbildungsstrahles quer zur Bewegungsrichtung möglich ist und daß das Objektiv mit seinem die Parallelversetzung des Abbildungsstrahles herbeiführenden Mittel mit der am Objekttisch angeordneten Führungsleiste kraftschlüssig verbunden ist.
5. 5. Meßmikroskop nach mindestens einem der Ansprüche l bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Feinablesung des Abstandes der Kernspur von der Führungsgeraden eine schwenkbare Planparallelplatte vorgesehen ist.
6. 6. Meßmikroskop nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Planparallelplatte auch zur Feinablesung bei der Höhenverstellung des Objektivs dient, welche die Tiefe des betrachteten Teils der Kernspur angibt.

   In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentanmeldung H 17266 IX/42b (bekanntgemacht am 28. 10. 1954); »Journal of the Optical Society of America<, Jg. 39, 1949, S. 422.