DE1216553B - Messmikroskop, insbesondere fuer Kernspuren - Google Patents

Messmikroskop, insbesondere fuer Kernspuren

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DE1216553B
DE1216553B DEST9726A DEST009726A DE1216553B DE 1216553 B DE1216553 B DE 1216553B DE ST9726 A DEST9726 A DE ST9726A DE ST009726 A DEST009726 A DE ST009726A DE 1216553 B DE1216553 B DE 1216553B
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Dipl-Phys Wolfgang Stodiek
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Ernst Leitz Wetzlar GmbH
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Ernst Leitz Wetzlar GmbH
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01TMEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T5/00Recording of movements or tracks of particles; Processing or analysis of such tracks
    • G01T5/02Processing of tracks; Analysis of tracks
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/0016Technical microscopes, e.g. for inspection or measuring in industrial production processes

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Description

  • Meßmikroskop, insbesondere für Kernspuren Es besteht häufig die Aufgabe, mikroskopische Objekte sehr genau auf ihre Geradlinigkeit zu untersuchen. Ein Beispiel hierfür ist die Vermessung von Spuren hoch energetischer Teilchen in kernphotographischen Emulsionen. Die zu messenden Abweichungen einer I(ernspur von einer Geraden sind von der Größenordnung einiger zehntausendstel Millimeter, und diese Abweichung muß über Längen bis zu mehreren Zentimetern untersucht werden. Die Hauptforderung an ein I(ernspurmikroskop ist also eine äußerst exakte Geradführung des Objekts relativ zum Objektiv über eine größere Länge.
  • Bei bekannten Meßmikroskopen dieser Art fallen dem Führnngsmechanismus des Mikroskoptisches zwei Funktionen zu. Er bringt erstens verschiedene Punkte der I(ernspur in das Gesichtsfeld und erzeugt zweitens die Geradlinigkeit der Tischführung, relativ zu der die Streuung der Kernspur gemessen wird. Bei Keruspurmessungen hat sich nun gezeigt, daß die Geradlinigkeit der Mikroskoptischführung auch bei Anwendung der als sehr genau geltenden Kugelbahnen nicht ausreichend ist. Das liegt daran, daß die Geradlinigkeit nicht nur durch die Präzision der Tischführung bestimmt ist, sondern auch durch elastische und unelastische Verformungen bei seiner Bewegung.
  • Es ist bekannt, zur Lösung der Aufgabe, Teilfehler eines Maßstabes zu beheben, worunter sowohl nur der Teilungsfehler des Maßstabes als auch Gerätefehler, die vom Tisch des Gerätes herrühren, oder beide zusammen zu verstehen sind, die Fehler durch Schablonen zu berücksichtigen und diese von Steuergliedern, wie schwenkbare Planparalleiplatten, Schiebelinsen, Linsenkeile, die eine Versetzung des Strahlenganges bewirken, oder durch eine Bewegung einer vorzugsweise im Okular des Ablesemikroskops befindlichen Ablesemarke abtasten zu lassen. Dies setzt voraus, daß die Fehler konstant bleiben und bekannt sind.
  • Es ist ferner bekannt, die Geradführung des Diamantenträgers einer Teilmaschine dadurch zu verbessern, daß parallel zur Führungsachse des Trägers eine Führungsleiste möglichst dicht an der Diamantenspitze vorgesehen ist, an die sich der Diamantenträger anlegt. Damit ist es möglich, die Ungenauigkeiten der Führungsachse entsprechend dem mechanischen Übersetzungsverhältuis verkleinert auf den Diamanten selbst zu übertragen. Eine derartige Verkleinerung der Ungenauigkeiten der Führungsachse ist jedoch nicht ohne weiteres bei einem Mikroskop erreichbar, da die Objektivvergrößerung den erreichten Vorteil wieder zunichte macht.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Anordnung zu schaffen, welche die hohen Ansprüche an die Geradlinigkeit, die bei Keruspurmessungen in der Größenordnung der Abweichungen von weniger als einigen zehntausendstel Millimetern über Längen bis zu mehreren Zentimetern erforderlich ist, erfüllt.
  • Gelöst wird diese Aufgabe dadurch, daß die beiden Funktionen der Tischführung getrennt werden, und zwar derart, daß Mikroskop und Objekttisch so gehaltert sind, daß entweder Teile des Mikroskops (F i g. 2, 5, 7) oder die objekttragende Fläche des Objekttisches (Fig.8) eine reine Parallelverschiebung quer zur Bewegungsrichtung ausführen können oder daß das Mikroskop mit Mitteln versehen ist, um eine Parallelversetzung des Abbildungsstrahrles quer zur Bewegungsrichtung zu bewirken (Fig.6), und daß Mikroskoptubus oder Objekttisch mit einer parallel zur Bewegungsrichtung liegenden Führungsleiste (7) versehen ist, an die sich der jeweils andere Teil mit seinem parallel verschieblichen Bestandteil (Fig.2, 5, 7 und 8) bzw. an die sich, bei Anordnung der Führungsleiste am Objekttisch, das Objektiv mit seinem die Parallelversetzung des Abbildungsstrahles herbeiführenden Mittel (F i g. 6) kraftschlüssig anlegt.
  • Hierdurch ist erreicht, daß die Messung relativ zu dieser Führungsleiste erfolgt und ist erreicht, daß die Messung der Abweichung der Keruspur od. dgl. von einer geraden Linie nicht von der Ungenauigkeit der Führungsbahn des Mikroskoptisches beeinflußt wird, weil nicht die Führungsbahn, sondern die wesentlich genauere Führungsleiste als Bezugsgerade wirkt.
  • Die Keruspuren in einer Platte haben verschiedene Richtungen, sollen aber während der Messung parallel zu einer Vergleichsgeraden ausgerichtet sein. Es ist daher zweckmäßig, daß das Gerät eine Drehung der Platte in ihrer Ebene zuläßt, so daß die zu messende Kernspur zur Bewegungsrichtung des Tisches ausgerichtet werden kann. An die Genauigkeit der Drehvorrichtung brauchen keine großen Anforderungen gestellt zu werden, jedoch soll während der Drehung der eingestellte Punkt des Objekts nicht aus der optischen Achse auswandern.
  • In einer Ausführungsform des Meßmikroskops nach der Erfindung ist das Objektiv durch Federn mit dem Mikroskoptubus verbunden und auf dem verschiebbaren Objekttisch parallel zur Verschlebungsrichtung eine Führungsleiste angeordnet, an welche das Objektiv durch die Federn angedrückt wird. Die Führungsleiste kann beispielsweise aus einem genau geschliffenen Glaskörper oder Metallkörper gebildet und mit dem Objekttisch justierbar verbunden sein. Die Führungsleiste bewirkt, daß während der Verschiebung des Objekttisches keine quer zur Verschiebung gerichtete Relativbewegung zwischen dem Tisch und dem Objektiv auftreten kann.
  • Diese Anordnung bewirkt eine Herabsetzung des Einflusses des Tischfehlers auf die Messung um den Faktor der Objektivvergrößerung.
  • Eine besondere Ausführungsform des Meßmikroskops besteht darin, daß das Objektiv in einer Hülse angeordnet ist, die mittels zweier Blattfedern mit einem Ring zum Anschrauben an den Tubus verbunden ist und einen Führungskörper, z. B. eine Stahlkugel, besitzt, an welcher die Führungsleiste entlanggleiten kann.
  • Insbesondere kann eine Hinterlinse des zum optischen System gehörenden Objektivs allein oder eine schwenkbare planparallele Glasplatte mit der Führungsleiste gekoppelt sein.
  • In einer weiteren Ausführungsform ist seitlich an dem federnd befestigten Objektiv eine Strichmarkenplatte angeordnet, die zusammen mit dem Objektiv von der Führungsleiste gesteuert wird. Durch einen Umlenkspiegel ist der Strahlengang der in der Bildebene des Okulars befindlichen Strichmarke zugeleitet.
  • In einer anderen Ausführungsform ist auf dem Objekttisch mit Federn ein Zwischenstück angeordnet, auf welchem das Objekt aufgelegt werden kann Auf dem Zwischenstück ist eine Führungsleiste angeordnet, die an das Objektiv oder den Tubus oder einen anderen festen Stativteil angedrückt wird.
  • In einer weiteren Ausführungsform ist die Führungseinrichtung mit einer Einrichtung verbunden, welche die Drehung des Objekts in seiner Ebene mit der optischen Aclse des Objektivs als Drehachse ermöglicht. Hierfür besitzt die federnde Hülse des Objektivs eine drehbare Andruckplatte (Andruckring), die zweckmäßigerweise mit Kugeln gelagert ist. Eine zweite drehbare Andruckplatte ist am Kondensor angebracht. Verstellt man den Kondensor der Höhe nach, so klemmen die beiden Andruckplatten die Kernspurplafte zwischen sich fest, so daß sie zusammen mit den Andruckplatten leicht drehbar ist.
  • Die Andruckplatte des Kondensors kann dabei mit seitlichem Spiel gelagert sein. Es ist aber nicht notwendig, daß die Drehvorrichtung mit dem federnd angeordneten, meist sehr starken Objektiv kombiniert ist, sie kann vielmehr auch mit einem besonderen schwächeren, nicht federnden Übersichtsobj ektiv kombiniert sein, das mit einem Revolver gegen das federnde Objektiv austauschbar ist.
  • In der Zeichnung sind Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Mikroskops dargestellt. Es zeigt F i g. 1 eine Gesamtansicht, F i g. 2 eine federnde Anordnung des Objektivs unc die Drehvorrichtung für das Objekt, Fig. 3 eine Feststellvorrichtung der Drehvorrich tung, F i g. 4 eine Einzelheit der Drehvorrichtung, F i g. 5 ein Objektiv mit gesteuertem Hinterglied F i g. 6 eine Ausführungsform mit schwenkbarei Plauplatte, F i g. 7 einen zusammen mit dem Objektiv gesteuerten Okularbildmarkenträger, Fig.8 einen Objelcttisch mit gesteuertem Zwischenstück, F i g. 9 und 10 eine Einrichtung zum Prüfen und Eichen.
  • In F i g. 1 ist ein Stativ mit Tubus 1 und einer der Höhe nach verstellbaren Kondensor 2 dargestellt Der Objekttisch 3 ist durch den üblichen Zahntrieb 4 oder eine Mikrometerschraube in den Kugellager bahnen 5 senkrecht zur Zeichenebene verstellbar. Au; dem Objekttisch ist mit Klemmschrauben und Justierschrauben 6 und 6' eine Führungsleiste 7 befestigt z. B. eine Glas- oder Stahlplatte. Das Objektiv 8 ist wie F i g. 2 zeigt, in eine Hülse 9 eingesetzt, die mii dem Teil 10 durch zwei Blattfedern 11,11' verbunden ist und als Führungskörper die Kugel 12 besitzt. welche durch die Federn an die Führungsleiste 7 angedrückt wird. Damit die Kugel 12 der Führungsleiste gegenübergestellt werden kann, ist der Teil 1( mit dem Tubus 1 über den Ring 10' drehbar und mil der Mutter 10" und der Schraube 10"' feststellbal verbunden. Das Objektiv kann mit einer zweiten Hülse 13 umgeben sein, wie F i g. 2 zeigt, die von dei Feder 14 in Richtung nach dem Objekt 15 gedrückl wird. Eine Bajonettverriegelung 16, 17 (Fig.3) ermöglicht, die Hülse 13 in angehobener Lage festzustellen. Ein Ausbruch 18 ermöglicht, daß bei dei zur Verriegelung nötigen Drehung der Hülse 13 dei den Führungskörper 12 tragende Stift 12' kein Hindernis bildet. Eine ähnliche Hülse 19 mit Verriegelung20, 21 befindet sich am Kondensor. Die Hülse 13 trägt einen mit Kugeln gelagerten drehbaren Ring 22, die Hülse 19 einen ähnlichen Ring 23.
  • Senkt man die Hülse 13 ab, bis der Ring 22 auf dem Objekt 15 ruht, und verstellt den Kondensor mit dem üblichen Trieb 24 nach oben, so hebt der Ring 23 das Objekt 15 gegen den Druck der Feder 14 vom Tisch ab, so daß das Objekt zwischen den Ringen 22 und 23 festgeklemmt wird und mit diesen leicht drehbar ist. Man kann jetzt unter Beobachtung durch das Mikroskop die Kernspurplatte 15 so drehen, daß die auszumessende Kernspur in die Richtung der Tischbewegung fällt. Dann senkt man den Kondensor ab, wodurch die Platte 15 sich wieder auf dem Objekttisch 3 auflegt, und hebt die Hülse 13 gegen den Druck der Federl4 an und verriegelt sie mit dem Bajonett 16, 17.
  • Nach F i g. 4 ist der Ring 23 mit seitlichem Spie] und Federn 23' in der Hülse 19 gelagert, so daß die Drehachse des Rings 23 sich der Drehachse des Rings 22 selbsttätig anpaßt.
  • Nach F i g. 5 ist von dem fest am Tubus angebrachten Objektiv lediglich ein Hinterglied 8' mit Federn beweglich befestigt und durch die Führungsleiste 7 gesteuert.
  • Nach F i g. 6 ist in dem Objektiv 27 eine schwenkbare Planplatte 28 angebracht, die über ein Hebelsystem 29, das an einem Federgelenk 30 gelagert ist. mit der Führungsleiste 7 in Verbindung steht.
  • Nach F i g. 7 ist das Objektiv 8 mit den Federn 1, 1t' am Tubus 1 befestigt. Mit dem Objektiv ist in spiegelnder Markenträger 31 verbunden, dem von lem Spiegel 32 der Strahlengang zugeleitet wird. Der jarkenträger befindet sich in der Bildebene des okulars 33.
  • Nach F i g. 8 ist auf dem Objekttisch ein Zwichenstück 25 mit Federn 26, 26' befestigt, das zur Aufnahme des Objekts, insbesondere der Kernspurplatte 15 dient und die Führungsleiste 7 trägt. Diese berührt einen unbeweglichen Teil des Mikroskops, z. B. das Objektiv 27.
  • In allen Ausführungsformen werden die Un--,enauigkeiten der Kugelbahuführung des Objekttisches durch die Führung an der genauen Führungs-Leiste kompensiert.
  • Die Fig.9 und 10 zeigen die Einrichtung zum Prüfen und Eichen des Meßmikroskops. Mit dem bjekttisch 3 ist außer der Führungsleiste 7 eine zweite besonders aufsetzbare Führungsleiste 34 verbunden. Auf das Objektiv ist eine Kappe 36 aufgesetzt, die eine schwach vorgebogene Blattfeder 37 trägt. Die Blattfeder ist an ihrem einen Ende 38 mit der Kappe fest verbunden, während ihr anderes Ende durch die Feder 39 gehalten ist und mit dem Führungskörper 35 an der Führungsleiste 34 anliegt. In der Mitte der Blattfeder 37 ist ein leichter Markenträger 4dD angebracht. Die gebogene Blattfeder 37 bildet ein mechanisches Vergrößerungssystem, das eine Bewegung des Führungskörpers 35 vergrößert auf den Markenträger dO überträgt, so daß sie im Mikroskop erkennbar wird. Diese Bewegung ist gleich der Differenz der Fehler beider Führungsleisten.

Claims (13)

  1. Patentansprüche: 1. Einrichtung zur Prüfung der Geradlinigkeit insbesondere von Kernspuren, bestehend aus einem Mikroskop mit Objekttisch, wobei eine Relativbewegung zwischen Mikroskop und Objekttisch in Richtung der zu prüfenden Geraden möglich ist, dadurch gekennzeichnet, daß a) Mikroskop und Objekttisch so gehaltert sind, daß entweder Teile des Mikroskops (F i g. 2, 5, 7) oder die objekttragende Fläche des Objekttisches (F i g. 8) eine reine Parallelverschiebung quer zur Bewegungsrichtung ausführen können oder daß das Mikroskop mit Mitteln versehen ist, um eine Parallelversetzung des Abbildungsstrahles quer zur Bewegungsrichtung zu bewirken (F i g. 6), und daß b) Mikroskoptubus oder Objekttisch mit einer parallel zur Bewegungsrichtung liegenden Führungsleiste (7) versehen ist, an die sich der jeweils andere Teil mit seinem parallel verschieblichen Bestandteil (F i g. 2, 5, 7 und 8) bzw. an die sich, bei Anordnung der Führungsleiste am Objekttisch, das Objektiv mit seinem die Parallelversetzung des Abbildungsstrahles herbeiführenden Mittel (F i g. 6) kraftschlüssig anlegt.
  2. 2. Meßmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv durch Federn mit dem Mikroskoptubus verbunden ist und. durch die Kraft der Federn an die Führungsleiste angedrückt wird.
  3. 3. Meßmikroskop nach Anspruch2, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv in einer Hülse (9) angeordnet ist, die mittels zweier Blattfedern (11,11') mit einem Ring zum Anschrauben an den Tubus verbunden ist und einen Führungskörper (12') als Anlage an die Führungsleiste (7) besitzt.
  4. 4. Meßmikroskop nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv bzw. die Hülse als Führungskörper eine Stahlkugel (12) besitzt, die an die Führungsleiste durch die Feder angedrückt wird.
  5. 5. Meßmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Hinterglied (8') des zum abbildenden System gehörenden Objektivs (8) mittels Federn (11, 11') mit der Objektivfassung (10) verbunden und von der Führungsleiste(7) gesteuert wird.
  6. 6. Meßmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im Objektiv eine schwenkbare Planparallelplatte (28) angeordnet ist, die von der Führungsleiste (7) über ein Hebelsystem (29) gesteuert wird.
  7. 7. Meßmikroskop nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zusammen mit dem abbildenden optischen System (8) eine Okularstrichmarke (31) von der Führungsleiste(7) gesteuert ist.
  8. 8. Meßmikroskop nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Okularstrichmarke (31) mit dem federnd angeordneten Objektiv fest verbunden ist und der Strahlengang durch einen Spiegel (32) geknickt und der Strichmarke zugeleitet ist.
  9. 9. Meßmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Objekttisch (3) ein zur Aufnahme des Objekts (:dz) bestimmtes Zwischenstück (2§) mit Federn (26, 26') quer zur Tischbewegung beweglich angeordnet ist, auf dem eine Führungsleiste (7) angebracht ist, die den Führungskörper (27) berührt.
  10. 10. Meßmikroskop nach Anspruch 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß um das Objektiv eine federnde und verriegelbare Hülse (13) mit einer drehbaren Andruckplatte (Andruckring 22) und um den Kondensor (2) eine gleichartige Hülse (19) mit drehbarer Andruckplatte (An druckring 23) angeordnet ist, so daß die Kernspurplatte (15) durch Verstellen des Kondensor zwischen beide Andruckplatten drehbar eingeklemmt werden kann.
  11. 11. Meßmikroskop nach Anspruch 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß an einem Revolver mindestens ein federndes Objektiv und ein schwaches Objektiv mit drehbarer Andruckplatte (22) angeordnet ist.
  12. 12. Einrichtung zum Prüfen und Eichen des Meßmikroskops nach den Ansprüchen 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß mit der Führungsleiste (7) eine zweite Führungsleiste (34) verbunden ist, die von einem Fühlhebel (35) abgetastet wird, der über ein mechanisches Vergrößerungssystem eine Marke (40) bewegt, welche von dem durch die erstgenannte Führungsleiste (7) gesteuerten Objektiv abgebildet wird.
  13. 13. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das mechanische Vergrößerungssystem von einer auf Knickung beanspruchten, gebogenen Blattfeder (37) gebildet ist, die an einem Ende (38) fest eingespannt ist, an dem beweglichen Ende einen Fühlkörper (35) und in ihrer Mitte einen Markenträger (40) besitzt.
    In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 853 657; USA.-Patentschrift Nr. 2 633 020; »Journal of the Optical Society of America Jg. 39, 1949, S. 422; Richter/v.Voss, »Bauelemente der Fei mechanik«, 4. Auflage, 1949, S. 177, 183.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2850875A1 (de) * 1978-11-24 1980-05-29 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Praezisions-laengenmesseinrichtung

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE853657C (de) * 1944-09-05 1952-10-27 Leitz Ernst Gmbh Vorrichtung zur Berichtigung der aus dem Geraet sich ergebenden Mess-fehler von mit optischen Messeinrichtungen versehenen Maschinen und Instrumenten
US2633020A (en) * 1947-11-19 1953-03-31 Marion E Abbott Apparatus for investigating surface profiles

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