DE2850875A1 - Praezisions-laengenmesseinrichtung - Google Patents

Praezisions-laengenmesseinrichtung

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DE2850875A1 DE19782850875 DE2850875A DE2850875A1 DE 2850875 A1 DE2850875 A1 DE 2850875A1 DE 19782850875 DE19782850875 DE 19782850875 DE 2850875 A DE2850875 A DE 2850875A DE 2850875 A1 DE2850875 A1 DE 2850875A1
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Description

ber 197#
DK. JOHANNES- TiKTI)ENHATN-.C.mbTI 13. November 197
Prazisions-Länccnmeßeinrichtimg
Die Erfindung bezieht sich auf eine PrKzisions-Längennießeinrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Es ist eine Vielzahl von Druckschriften bekannt, die sich mit Längenmeßeinrichtungen.und deren Fehlern bzw. der Reduzierung dieser Fehler befassen. Die entscheidenden Probleme dieses Bereiches der Technik sind in der DE-OS 16 23 337 in der Beschreibungseinleitung ausführlich gewürdigt. So ist es wünschenswert, daß bei Meßeinrichtungen das Komparatorprinzip eingehalten wird, da bei einer Anordnung gemäß dem Abbeschen Komparatorprinzip Fehler erster Ordnung vermieden werden. Dieses Prinzip ist jedoch bei einigen Meßanordnungen wie z.B. Höhenmeßgeräten aus konstruktiven und bedienungstechnischen Gründen nicht durchführbar, und so sind Anordnungen bekannt geworden, die durch andere Maßnahmen den sogenannten Komparatorfehler möglichst eliminieren sollen (wie Eppensteinprinzip und Anmeldungsgegenstand der DE-OS 16 23 337).
Ferner sind Meßeinrichtungen bekannt, die über federnd aufgehängte Meßfühler verfügen. Bei Auslenkung des Meßfühlers aus seiner Nullage wird die eigentliche Messung ausgelöst, wobei dem Meßwert in einer bestimmten Art und Veise der Betrag zugeordnet werden muß, der der Meßfühlerauslenkung entspricht. Eine derartige Einrichtung ist Gegenstand der DE-PS 23 56 030, sowie deren Beschreibungseinleitung.
ORIGINAL INSPECTED
OS0022/0U8
2850375
Solche Ληο rd nungen sinci jndoch betulich sehr auf λ-.'οηΊ i f^ und weisen koinpn hohen Tied j enuu(;skonifort auf, 50 dnf.i /um einen der Kostenaufwand für derartige Einrichtungen relativ hoch ist, zum anderen sind diese Einrichtungen in der Verkstattmeßtechnik nicht ohne besonders qualifiziertes Personal einzusetzen.
Da z.B. bei Höhenmeßgeräten das Abbe-Prinzip nicht eingehalten werden kann und zur bequemen Handhabung ein Komparatorabstand von 50 bis "IuO mm erforderlich ist, muß beispielsweise für eine Meßgenauigkeit von * 1 /um einerseits eine Führungsgenauigkeit von mindestens ί 2" eingehalten werden. Für eine kostengünstige Fertigung bietet es sich andererseits an, extrudierte Leichtmetall-Profile zu verwenden, deren Geradheit jedoch erheblich unter dem o. a. Wert bleibt.
Die Forderung nach hoher Meßgenauigkeit bedeutet auch, daß der Meßwagen reibungsarm bewegt werden muß, damit die Meßkräfte in engen Grenzen kostant gehalten werden können und Verformungen des Meßfühlers durch variable Kräfte vermieden werden. Wälzlagerungen, die üblicherweise für reibungsarme Führungen verwendet werden, sind jedoch durch unvermeidliche Herstelltoleranzen der Rollkörper und·durch·die im Lauf der Zeit entstehende Verschmutzung der Führungsbahnen nicht ausreichend genau.
Es liegt daher der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein konstruktiv einfaches und damit kostengünstiges Längenmeßgerät zu schaffen, das über eine hohe Meßgenauigkeit verfügt und einfach zu bedienen ist.
Die Lösung dieser Aufgabe ist im Kennzeichen des Patentanspruches 1 angegeben. In den Unteransprüchen finden sich Merkmale, die die Erfindung vorteilhaft ausgestalten.
COPY
O30Q22/0U8
285Q875
Anhand der Figuren wird die Erfindung noch näher er-1 au tort.
Fs zeigt
Fi K. 1 einen verein facht en Querschnitt durch
Λ ίο I.nngennioßoinrichtunK
FiC· 2 eine vereinfachte Seitenansicht der Lüngennießeinrichtung
Fig. 3 eine weitere Ausführungsform in vereinfachter Darstellung
Fig. h eine Einzelheit der Meßeinrichtung zur Beeinflussung von Federkennlinien
Fig. 5 ein Kraft-Wegschaubild der Anordnung nach Fig. h
Fig. 6 ein weiteres Kraft-Wegschaubild.
Die geschnittene Darstellung einer Längenmeßeinrichtung zeigt eine Grundplatte 1, auf der senkrecht ein Hohlprofil 2 angeordnet ist. Dieses Hohlprofil 2 wird durch Extrusion axis Leichtmetall hergestellt und ist sehr biegesteif. Eine vercleichsveise biegeweiche Stange 3 besteht aus handelsüblichem polierten Rundstahl und ist mit einer Anzahl von Zug- und/oder Druckschrauben 4/5 im Hohlprofil 2' angebracht. Eine mittels der Zug- und/oder Druckschrauben 4/5 ausgerichtete Mantellinie 3a der Stange 3 dient als Führung für einen in Meßrichtung beweglichen Meßwagen Der Meßwagen 6 gleitet mit zwei Gleitschuhen 7 auf der ausgerichteten Mantellinie 3a. der Stange 3· Die Gleitschuhe 7 sind aus selbstschmierendem, verschleißfestem Material, wie Kunststoff, Sinterbronze oder dgl. hergestellt und haben durch das Gleiten an der Führungsbahn 3a selbstreinigende Virkung. Der Meßwagen 6 verfügt weiter über Stützrollen s,9,10, die den Meßwagen 6 an nicht justierten Nebenführungsflachen -11,12,27 abstützen.
copy 03Q022/0U8
*} O C O O 7 Γ Die zwei Gleitschuhe 7 gleiten auf der ausgerichteten Mantelfläche 3;l der Ht. ui;-«· '3 mul ergeben eine rchr hohe Führungsgonauigkoit in rl er Kb en ο, in der [;roßpr I··. ompara to rnbs tand n-| unumgänglich ist. Tn dor zweiten f'bene tritt ti'otz der relativ geringen Genauigkeit der Wälzl ager 8,9,10 nur ein vernachlässigbar kleiner Fehler auf, da der Komparatorabs tand as klein gehalten werden kann oder sogar auf Null reduzierbar ist.
Ein Zwischenglied 13 ist über ein Parallelogramm aus Blattfedern 1^· reibungsfrei - verdrehungssicher, aber in Meßrichtung beweglich - mit dem Meßwagen 6 verbunden. Dieses Zwischenglied 13 trägt einen Tastarm 15, an dessen freiem Ende sich ein Meßfühler 16 befindet und einen schlanken Mitnehmer 17, an dessen freiem Ende sich eine Ableseeinheit 18 einer photoelektrischen Meßeinrichtung befindet. Die Ableseeinheit 18 tastet eine im Hohlprofil 2 geschützt angeordnete Tnkrementalteilung 19 ab, die in bekannter Veise mittels einer gummielastischen Zwischenschicht 20 im Hohlprofil 2 befestigt ist. Die von der Ableseeinheit 18 gewonnenen Signale werden in bekannter Veise in einer nachgeschalteden Elektronikeinheit 21 ausgewertet und als Meßwert angezeigt und/oder ausgedruckt.
Der Meßwagen 6 verfügt weiterhin über einen Antrieb (Handrad 22), der so angeordnet ist, daß der Abstand des Angriffspunktes der Antriebskraft zu der Ebene, in der die reibungsbehaftete Führung liegt, klein ist. Durch diese Maßnahme wird eine ruckfreie Bewegung des Meßwagens 6 ermöglicht.
Durch den Antrieb 22 zum Positionieren des Meßwagens 6 erfolgt das Antasten eines Werkstückes oder das Eichen mittels Endmaßen bzw. das Nullsetzen der Meßeinrichtung.
COPY
030022/0448
ORIGINAL
285.0375
Für diese Zwecke laj-son sich sowohl der Tnstnrm 1*3 als auch der Mrf.i fühl er 1 (■> miliols bekannter Eletriputp einstellen. Durch den schiebbar und schwenkbar ausgebildeten Tnstnrm 1? ist die Meßeinrichtung den unterschiedlichen Meßauf gilben anzupassen. Bei geringer Auslcgerlh'nfje wird z.B. die höchste Genauigkeit erzielt (k'omnnratorabstand möglichst klein), bei größter Auslegerlänge lassen sich, mit etwas verminderter Genauigkeit z.B. schwer zugängliche Flächen eines Werkstückes antasten.
Die in Fig. 2 sichtbaren Markierungen 6a,6b und 13a dienen zur ungefähren Angabe des Erreichens einer Meßposition. Das reibungsfrei an Blattfedern 1'♦· aufgehängte Zwischenglied 13 trägt einen Index 133·· Der Meßwagen 6 trägt je einen Index 6a bzw. 6b für die Antastung einer unten liegenden bzw. oben liegenden Körperkontur. Die Kraft der Blattfedern ΛΗ hält das Zwischenglied 13 in einer neutralen Position, so daß der Index 1 3a etwa in der Mitte zwischen den beiden Indizes 6a und 6b seine Ruheposition einnimmt. Bei Antastung einer Körperkontur muß mit Hilfe des Antriebes 22 der Meßvagen 6 soweit bewegt werden, daß der Index 13a jeweils mit einem der Indizes 6a oder 6b annähernd koinzidiert. Bei dieser angenäherten Übereinstimmung beider Markierungen 13a u^d 6a oder 6b kann das Meßergebnis bereits .genau abgelesen werden. Eine exakte Koinzidenz ist nicht erforderlich, da der Meßfühler 16 innerhalb des durch eine Federkennlinie festgelegten Bereiches seine Position an der Körperkontur nicht mehr ändert. Das Zwischenglied 13 - daß die Ableseeinheit 18 an dem Mitnehmer 17 trägt - bewegt sich ebenfalls nicht innerhalb des Bereiches, der durch die Federkennlinie, wie sie in den Figuren 5 oder 6 dargestellt ist, bestimmt ist. Damit ändert sich auch nicht die Position der Ableseeinheit 18 gegenüber der Inkrementalteilung 19 und das Meßergebnis ist eindeutig und konstant.
COPY 030022/0448
Die erzielbare Meßgenauigkeit ist durch diese Ausgestaltung der Aufhängung lh weitgehend unabhängig von der Einstellgenauigfceit, mit der der Meßwagen ti gegenüber den Markierungen 6a oder 6b eingestellt wird. Ferner sind in der Figur 2 Versteifungseleiirente t4a zu erkennen, die die Steifigkeit des Parallelogramntes der Federn lh beeinflussen. Bei richtiger Abstimmung zwischen der Federkraft der Blattfedern ikt der Steifigkeit des Federparallelogrammes und des Radhalbmessers eines Rades 23 nach Figur h können die in den Figuren 5 und 6 gezeigten Kennlinien erzeugt werden. Ein Mechanismus wie in Figur h dargestellt, kann zusätzlich bei fachgemäßer unsymmetrischer Anordnung von Schneiden 24,25 und federbelastetem Rad 23 das Eigengewicht der beweglichen Meßwagenbauteile kompensieren.
Erfindungsgemäß ist also das Zwischenglied 13 am Meßwagen mittels einer Aufhängung gemäß Figur h reibungsfrei in einer Weise so befestigt, daß beim Antasten einer unterhalb oder oberhalb des Meßfühlers 16 liegenden Körperkontur annähernd die gleiche Meßkraft wirkt. Diese Meßkraft ist wnitgehend unabhängig von der Größe der Relativbewegung zwischen Meßwagen 6 und Zwischenglied 13» also weitgehend unabhängig von der Auslenkung des Blattfederparallelogrammes.
Eine weitere Maßnahme zur Erhöhung der Meßgenauigkeit und des Bedienungskomforts ist die exakte Gewichtsbalance der beweglichen Meßwagenbauteile. Sowohl der Meßwagen 6 als auch das Zwischenglied 13 mit Tastarm 15 und Meßfühler sind hinsichtlich ihres Eigengewichtes so dimensioniert, daß schon die geringfügige Reibung der Gleitschuhe 7 an der Führung 3a-eine Hemmung des Meßwagens 6 in jeder Position bewirkt, ohne daß die Reibung bei der Verstellung des Me/?wagens 6 als unangenehm empfunden wird. Um diese positive Wirkung zu erzielen sind von allen Führungspunkten
030022/0448
50875
lediglich zwei als Gleitschuhe ausgebildet sind für eine hohe Fiihrungsgenauigkeit ohnehin ausreichend .
Tn Figur 3 ist schematisch der Querschnitt einer Meßeinrichtung dargestellt, die einer etwas ungenaueren Kategorie zuzuordnen ist, als die Anordnung nach Figur 1 und 2. Bei dieser Ausführungsform befindet sich ein Meßwagen 61 im Innern eines Hohlprofiles 2'. Auch hier dient ein Rundstab 31 als Führung. Die Zug- und/oder Druckschrauben 4*,3f erfüllen den gleichen Zweck wie die Elemente h und 5 in Figur 1. Der Meßwagen 6' weist neben äquivalenten Elementen wie Zwischenglied 13'» Blattfedern 14·, Versteifungen 1.4a1, Tastarm 15', Meßfühler 16', Mitnehmer 17'» Ableseeinheit 18', Inkrementalteilung 15?' und Klebeschicht 20' noch ein Ausgleichsgewicht 26 auf, da bei dieser Bauform die Führung von Präzisionswälzlagern 7' übernommen wird., die keine Eigenhemmung ermöglichen. Insbesondere bei dieser Ausführungsform bietet sich die Verwendung eines Motors als Antrieb für die Meßwagenverstellung an. Letzteres ist jedoch als eine Maßnahme anzusehen, die jedem Fachmann geläufig ist.
Ein weiterer - gegenüber dem Stand der Technik jedoch entscheidender Fortschritt - ist die Einstellbarkeit der Führungs fläch en 3a bzw. 3a' bei beiden Au ,»führungsformen,
Die Forderung nach Meßgenauigkeit beinhaltet in der Fachwelt bislang die Forderung nach höchstmöglicher Genauigkeit der Führung der beweglichen Meßelemente. Diese Forderung nach höchstmöglicher Führungsexaktheit treibt die Kosten einer Meßeinrichtung jedoch in Größenordnungen, die für Werkstatt-Meßeinrichtungen nicht mehr vertretbar sind.
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Bei dieser in der Fachwelt aid unabdingbar gesl*W^PiV * ** Forderung nach Führungsgenauigkeit wird im allgemeinen jedoch die Fehlerhaftigkeit der eigentlichen Meßteilung nur am Rande betrachtet. Pei Meßeinrichtungen der erfindungsgemäßen Art kommt als Fehlerquelle noch der Komparatorfehler hinzu. Die genannten Fehler sind durch Verbesserungen der Führungsexaktheit nicht vollständig zu eliminieren.
Durch, die erfindungsgemäße Einstellbarkeit der Führungsbahn 3^, 3a' ist jedoch die Möglichkeit gegeben, alle auftretenden Fehler, seien es Führungsfehler, seien es Systemfehler der eigentlichen Meßteilung oder bestimmte Komparatorfehler, nach Vorabvermessung der kompletten Meßeinrichtung" zu korrigieren. Sämtliche systembedingten Fehler — die sich durch Vorabvermessung mit einem hochgenauen Meßmittel ermitteln lassen - können durch entsprechende Beeinflussung der Führungsbahn 3a, 3a1 korrigiert werden. Die Zug- und/oder Druckschrauben 4,5 bzw. 4·,5' sind so ausgelegt, daß der Rundstab 3, 3' und damit die Führungsbahn 3a» 3a1 durch Verdrehen dieser Verstellelemente derart verformt werden kann, daß die Fehler der Meßeinrichtung korrigierbar sind.
Des weiteren ist es' sinnvoll ,den Grundkörper 2,2' a-jf der Bodenplatte 1, 1' mittels zwischengefügter Kugelbeilagscheiben 2a in bekannter Weise auszurichten und zu fixieren.
Die Bodenplatte 1,1' der beschriebenen Meßeinrichtung steht bevorzugt auf drei justierbaren Füßen, welche mit einem abriebfesten und durch Füllstoffe auf hohen Druck-E-Modul verstärktem Kunststoff belegt sind und mit den Justierschrauben durch Kugelflächen selbsteinstellend und doch steif verbunden sind.
-11-
Ö30Ö22/0448
Zusammenfassend kann die Erfindung so beschrieben
werden, daß ein Meßfühler 16 über ein Zwischenglied roibimgsfrei beweglich an einem Meßwagen 6 angebracht ist. Dieser Meßwagen 6 ist genügend genau an einer
Führung 3a geführt, so daß der Komparatorfehler genügend klein bleibt. Die Führung des Meßwagens 6 wird durch die Verwendung zweier einfacher Profile 2 und 3 erzeugt, die gegeneinander verspannt und damit justiert werden können. Der Meßwagen 6 braucht nur grob in die Meßposition gebracht zu werden, dann liegt der Meßfühler l6 mit konstanter Meßkraft an der zu messenden Fläche an und der Meßwert kann unmittelbar abgelesen
werden.
030022/0448

Claims (1)

  1. .JOIiANXKS iTFiUrV1 · 'GroWl . '· 3 · K^-*-tube i°7^
    )\ I'a^uzis;ioims—LiLjaf.veaimcßeäinariLclotuiiif; die nic-lit nach ' «lifOTi iÄUxlDiesEhiPn EioiripaxaitOrpriirrzip xiar^bciteit,, ins—
    fißigierüt^ miifc einer m>elbslt Älbl<eseeiaah<eiLit., !einem toi einem FdälaraaniEselLeiiieiiiltj einem as
    igefiähi-ten Meißwageai, sowie einem
    3i Meßfüäikler Ttragendeiri Zwisciaeniglied und einer zur Änas^iertiaiiig des MeOeargelbnisses, ge— diarch folgemide Merlanale:
    a.) Das Führungselement (3i3a,3'j 3a1) ist durch Ziag— und/oder Druckelemente (^»Sj^-'fS1) einstellbar,
    b.) der Meßwagen (6, 6·) wird durch Präzisionslager (7,7') an dem einstellbaren Führungselement (3»3af3'»3a') exakt geführt und stützt sich
    c.) über weitere Lager (8,9,10,8",9',10') an zusätzlichen nicht justierten Nebenführungsflächen (11,12,27,11·,12',27<) ab;
    d.) das den Meßfühler (16,16·) tragende Zwischenglied (13,13') ist reibungsfrei beweglich mit dem Meßwagen (6,6*) verbunden und weist an einem Mitnehmer (17,17') die Ableseeinheit (18,18·) auf, die
    e.) mit der am Grundkörper (2,2·) angebrachten Maßverkörperung (19,19') zusammenwirkt.
    ORiGiNAL INSPECTED
    030022/0448
    285D875
    '?.. ) rrlJzifIons-Liuif1;cnnu»noi nr Lclituuf^ nach Anspruch 1, dadurch /yokonnz oichnot , daß die Zug- und/odor DruckclniK'nte -1J , 5) '·' , 5 ' 'u'liraubpii sind.
    3.) I'riizisions—Uinponm-c^f1 inrichtiinfj nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die T'rrizi sionsl afc-r J durch. Gleitschuhe aus selbstschmierendora Lagerwerkstoff realisiert sind und dadurch der Mei.1-n 6 selbsthemmend ist.
    h.) Präzisions-LängenmePeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Präzisionsla^er durch Wälzlager realisiert sind, und daß am Meßwagen 61 ein Ausgleichsgewicht 26 angebracht ist.
    5·) Anordnung zur Variation der Federkonstante eines Federparallelogrammes, welches zwei relativ zueinander bewegliche Bauteile reibungsfrei miteinander verbindet, dadurch gekennzeichnet, daß ein an dem einen Bauteil 6 angebrachter Zylinder 23 federnd gegen zwei schncidenförmige Gegenlager 2.k, 25 gedrückt wird, so daß sich bei Verlagerung des Zylinders 23 die Kennlinie des Federparallelogrammes 14 verändert.
    6.) Anordnung nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet, daß die Schneiden 2k, 25 einstellbar sind.
    BAD ORIGi.NÄL
    030022/OU8
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Priority Applications (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2850875A DE2850875C2 (de) 1978-11-24 1978-11-24 Präzisionslängenmeßeinrichtung
CH983879A CH642448A5 (de) 1978-11-24 1979-11-02 Praezisions-laengenmesseinrichtung.
AT0708979A AT382237B (de) 1978-11-24 1979-11-05 Praezisions-laengenmesseinrichtung
US06/095,299 US4276696A (en) 1978-11-24 1979-11-19 Precision length measuring instrument
FR7928713A FR2442429A1 (fr) 1978-11-24 1979-11-21 Dispositif de mesure de longueur de precision
GB7940531A GB2039673B (en) 1978-11-24 1979-11-23 Precision length measuring arrangement
IT12836/79A IT1124353B (it) 1978-11-24 1979-11-23 Dispositivo di precisione per misure lineari
JP15134879A JPS5582002A (en) 1978-11-24 1979-11-24 Precision length measuring apparatus
AT117082A AT385846B (de) 1978-11-24 1982-03-25 Anordnung zur variation der federkennlinie einer federparallelogrammvorrichtung, insbesondere fuer messgeraete
CH485683A CH644206A5 (de) 1978-11-24 1983-09-05 Anordnung zur variation der federkennlinie einer federparallelogrammvorrichtung.

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DE2850875A DE2850875C2 (de) 1978-11-24 1978-11-24 Präzisionslängenmeßeinrichtung

Publications (2)

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DE2850875A1 true DE2850875A1 (de) 1980-05-29
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US (1) US4276696A (de)
JP (1) JPS5582002A (de)
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FR (1) FR2442429A1 (de)
GB (1) GB2039673B (de)
IT (1) IT1124353B (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3109856A1 (de) * 1981-03-14 1982-09-23 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Hoehenmessgeraet
US4601111A (en) * 1984-05-28 1986-07-22 Maag Gear-Wheel & Machine Company, Ltd. Gear tooth test feeler

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2900113C2 (de) * 1979-01-03 1985-08-29 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längenmeßeinrichtung mit längsverschieblichem Maßstab
JPH0212564Y2 (de) * 1980-02-27 1990-04-09
JPS58106404A (ja) * 1981-12-18 1983-06-24 Mitsutoyo Mfg Co Ltd 変位測定装置
DE3219083C2 (de) * 1982-05-21 1986-01-23 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längenmeßeinrichtung
US4627168A (en) * 1985-02-27 1986-12-09 Acer Automation Gage position control
CH668123A5 (de) * 1985-11-12 1988-11-30 Hans Meyer Geraet zur messung von hoehenabstaenden.
DE3839628C1 (en) * 1988-11-24 1990-01-18 Oskar Schwenk Gmbh & Co, 7012 Fellbach, De Setting device for length measuring instruments
CH680385A5 (de) * 1989-10-04 1992-08-14 Hans Meyer
CH687163A5 (fr) * 1992-07-16 1996-09-30 Tesa Sa Appareil de mesure de grandeurs linéaires.
EP0836078B1 (de) * 1996-10-11 2002-12-18 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Massstab einer Längenmesseinrichtung sowie Verfahren zur Anbringung eines Massstabs
EP1056989B1 (de) 1998-02-21 2002-12-18 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Verfahren zum betrieb eines positionsmesssystems und geeignetes positionsmesssystem hierzu
DE19918654B4 (de) 1999-04-16 2004-07-15 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Sicherungsvorrichtung für den Transport und die Montage einer Meßeinrichtung
US6401352B1 (en) * 1999-10-01 2002-06-11 Mitutoyo Corporation Linear measuring machine
DE69932054D1 (de) * 1999-10-30 2006-08-03 Schnyder & Cie Sa Koordinatenmessgerät mit Taststift
EP1596155A1 (de) * 2004-05-10 2005-11-16 SCHNYDER &amp; CIE. S.A. Messvorrichtung mit konstanter Kraft
DE102007008887B4 (de) * 2007-02-21 2010-02-18 Rattunde & Co Gmbh Messstempel
CN112161549B (zh) * 2020-09-24 2022-06-21 上海市浦东新区建设(集团)有限公司 植筋孔尺寸测量仪器

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1216553B (de) * 1955-04-07 1966-05-12 Leitz Ernst Gmbh Messmikroskop, insbesondere fuer Kernspuren
DE2631233A1 (de) * 1976-07-12 1978-04-27 Dresden Feinmess Gekapselte laengenmesseinrichtung

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2627119A (en) * 1951-02-24 1953-02-03 Cleveland Instr Company Electromagnetic pickup for gauging devices
US3939569A (en) * 1974-10-15 1976-02-24 Squires Wayne H Inspection tool or device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1216553B (de) * 1955-04-07 1966-05-12 Leitz Ernst Gmbh Messmikroskop, insbesondere fuer Kernspuren
DE2631233A1 (de) * 1976-07-12 1978-04-27 Dresden Feinmess Gekapselte laengenmesseinrichtung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"Journal of the Optical Society of America", Bd. 39 (1949) S. 422 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3109856A1 (de) * 1981-03-14 1982-09-23 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Hoehenmessgeraet
US4601111A (en) * 1984-05-28 1986-07-22 Maag Gear-Wheel & Machine Company, Ltd. Gear tooth test feeler

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6259241B2 (de) 1987-12-10
GB2039673A (en) 1980-08-13
IT1124353B (it) 1986-05-07
GB2039673B (en) 1983-05-25
CH642448A5 (de) 1984-04-13
AT382237B (de) 1987-01-26
CH644206A5 (de) 1984-07-13
FR2442429A1 (fr) 1980-06-20
FR2442429B1 (de) 1985-03-01
US4276696A (en) 1981-07-07
IT7912836A0 (it) 1979-11-23
JPS5582002A (en) 1980-06-20
DE2850875C2 (de) 1982-05-19
ATA708979A (de) 1986-06-15

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