DE112015004421T5 - Drehtischtransportwagen - Google Patents

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dolly
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Michito Sato
Yosuke Kanai
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Fujikoshi Machinery Corp
Shin Etsu Handotai Co Ltd
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Fujikoshi Machinery Corp
Shin Etsu Handotai Co Ltd
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Abstract

Die vorliegende Erfindung stellt einen Drehtischtransportwagen bereit, der so konfiguriert ist, dass er einen Drehtisch transportiert, der aus einer Poliervorrichtung entfernt wurde, oder einen Drehtisch, der in der Poliervorrichtung angebracht werden soll, wobei der Drehtischtransportwagen einen Drehtischhalteabschnitt, der zum Halten des Drehtischs konfiguriert ist, ein Untergestell, das den Drehtischhalteabschnitt von einer Unterseite trägt, einen Hebemechanismus, der den Drehtischhalteabschnitt nach oben und unten bewegt, und einen Neigungsmechanismus, der den Drehtischhalteabschnitt neigt, der den Drehtisch hält, umfasst, wobei der Drehtischtransportwagen dadurch gekennzeichnet ist, dass er den Transport des Drehtischs in einem Zustand ermöglicht, in dem der Drehtischhalteabschnitt, der den Drehtisch hält, vom Neigungsmechanismus geneigt ist. Folglich wird ein Drehtischtransportwagen bereitgestellt, der zum Zeitpunkt des Transports des Drehtischs eine schmale Breite aufweist und die Breite eines Gangs zum Transport des Drehtischs reduzieren kann.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drehtischtransportwagen, der zum Transport eines Drehtischs konfiguriert ist, der von einer Poliervorrichtung entfernt wurde, die einen Halbleiterwafer und andere poliert, oder eines Drehtischs, der in der Poliervorrichtung angebracht werden soll.
  • STAND DER TECHNIK
  • Das Polieren eines Halbleiterwafers (der hier im Nachstehenden auch als Wafer bezeichnet wird), der durch einen Siliziumwafer verkörpert wird, wird anhand eines Verfahrens zum Polieren beider Seiten des Wafers gleichzeitig oder eines Verfahrens zum Polieren nur einer Seite des Wafers durchgeführt.
  • Das Polieren nur einer Seite eines Wafers wird unter Verwendung einer in 7 gezeigten Poliervorrichtung durchgeführt, die aus einem Drehtisch 2, an dem eine Polierscheibe 12 befestigt ist, einem Poliermittelzufuhrmechanismus 14, der ein Poliermittel 13 auf die Polierscheibe 12 führt, einem Polierkopf 15, der einen Wafer W hält und anderem besteht. Der Wafer W wird vom Polierkopf 15 gehalten, das Poliermittel 13 wird vom Poliermittelzufuhrmechanismus 14 auf die Polierscheibe 12 geführt und der Drehtisch 2 und der Polierkopf 15 rotieren jeweils, so dass eine Oberfläche des Wafers W auf der Polierscheibe 12 gleitet, wodurch der Wafer W poliert wird (siehe beispielsweise Patentliteratur 1).
  • Ferner wird der Wafer oft in mehreren Stufen poliert, während ein Polierscheibentyp oder ein Poliermitteltyp geändert wird, und häufig wird eine Poliervorrichtung mit zwei Drehtischen oder drei Drehtischen verwendet, die Indextyp genannt wird.
  • Hier zeigt 8 ein Beispiel für eine Poliervorrichtung des Indextyps, die drei Drehtische aufweist. Eine solche Poliervorrichtung 11 des Indextyps wie sie in 8 gezeigt ist, weist drei Drehtische 2 auf, und jedem Drehtisch sind zwei Polierköpfe 15 zugeordnet. Auf diese Weise können zwei Wafer pro Los poliert werden, was insbesondere zu einer verbesserten Produktivität führt.
  • Eine Polierscheibe, die zum Polieren eines Wafers anhand einer solchen Poliervorrichtung verwendet wird, ist einer Inbetriebnahme unterworfen, die Vorbereitung vor dem Gebrauch genannt wird. Obwohl ein Verfahren des Vorbereitens abhängig von einer verwendeten Polierscheibe unterschiedlich ist, wird gewöhnlich ein Bürsten mit einer weichen Nylonbürste oder ein Bürsten mit einem Keramik- oder Diamantabrichter durchgeführt. Ferner wird auch Vorbereiten durch tatsächliches Polieren eines Wafers (eines Dummy-Wafers) durchgeführt, der als Poliergegenstand dienen kann.
  • Das Polieren wird häufig über einen langen Zeitraum durchgeführt, um die Qualität einer Oberfläche einer neuen Polierscheibe direkt nach dem Ersetzen zu stabilisieren. Insbesondere wird das Vorbereiten mithilfe des Dummy-Wafers abhängig vom Polierscheibentyp in manchen Situationen mehrere Stunden lang durchgeführt. Daher muss in der Poliervorrichtung, die das Polieren tatsächlich durchführt, beim Durchführen der Vorbereitung das Polieren während dieses Vorgangs vorübergehend gestoppt werden. Dadurch wird die Produktivität an Wafern stark verringert.
  • Um eine von der Vorbereitung verursachte Produktionsverminderung an Wafern zu vermeiden, wird daher ein Verfahren angewendet, bei dem die Vorbereitung allein unter Verwendung einer anderen einfachen Poliervorrichtung (die nachstehend als unabhängige Einrichtungsvorrichtung bezeichnet wird) mit einem Drehtisch durchgeführt wird, an dem eine Polierscheibe abnehmbar befestigt ist.
  • Um die Vorbereitung einer Polierscheibe mithilfe der unabhängigen Einrichtungsvorrichtung durchzuführen, wird in der unabhängigen Einrichtungsvorrichtung zunächst ein Drehtisch angebracht, an dem die Polierscheibe befestigt ist. Dann wird die Vorbereitung der Polierscheibe durchgeführt. Wenn die Vorbereitung einer Polierscheibe beendet ist, wird der Drehtisch, an dem die vorbereitete Polierscheibe befestigt ist, von der unabhängigen Einrichtungsvorrichtung entfernt. Anschließend wird der Drehtisch in der Poliervorrichtung angebracht, das tatsächliche Polieren von Wafern ausführt.
  • Der verwendete Drehtisch ist häufig aus Edelstahl oder Keramikmaterial hergestellt. Wenn ein Drehtisch einen Durchmesser von 800 mm und eine Stärke von 20 mm aufweist, beträgt das Gewicht des aus Edelstahl hergestellten Drehtischs ungefähr 80 kg und das Gewicht des aus Keramikmaterial hergestellten Drehtischs beträgt ungefähr 40 kg. Wie oben beschrieben ist das Gewicht des aus Edelstahl hergestellten Drehtischs größer als das des aus Keramikmaterial hergestellten. Außerdem wird ein aus Edelstahl hergestellter Drehtisch durch Hitze deformiert und in manchen Fällen wird dadurch die Polierqualität beeinträchtigt. Daher wird vorzugsweise ein aus Keramikmaterial hergestellter Drehtisch verwendet.
  • Wird die Vorbereitung der Polierscheibe unter Verwendung der unabhängigen Einrichtungsvorrichtung durchgeführt, muss der Drehtisch, der eine solche schwere Last wie oben beschrieben darstellt, häufig befestigt und abgenommen werden. Um den Drehtisch, der die oben beschriebene schwere Last darstellt, mühelos und sicher zu befestigen und abzunehmen, wird ein wie in 9 gezeigter Drehtischtransportwagen 101 verwendet, der einen Drehtisch 2 transportieren kann, während er ihn in einem horizontalen Zustand hält. Der Drehtischtransportwagen 101 umfasst einen Drehtischhalteabschnitt 103, der den Drehtisch 2 hält, und einen Hebemechanismus, der den Drehtischhalteabschnitt nach oben und unten bewegt.
  • Der Drehtischhalteabschnitt 103 weist Fallsicherungsmechanismen 109 für den Drehtisch auf, die so konfiguriert sind, dass ein Fallen des gehaltenen Drehtischs 2 verhindert und der Drehtisch 2 im horizontalen Zustand gehalten und verriegelt wird. Auf einer Oberfläche des Drehtischhalteabschnitts 103, der mit dem Drehtisch 2 in Kontakt ist, sind Rollen 110 oder freie Lager montiert, so dass der Drehtisch 2, der eine schwere Last darstellt, leicht geschoben werden kann.
  • Als Hebemechanismus wird ein Hydraulikmechanismus oder ein Mechanismus angewendet, in dem eine Kette oder ein Kugelgewindetrieb eingesetzt wird.
  • Hier wird nun ein allgemeines Verfahren des Entfernens des Drehtischs 2 von der Poliervorrichtung und Bewegen desselben auf den Drehtischtransportwagen 101 beschrieben.
  • Der Drehtischtransportwagen 101 wird vor dem zu entfernenden Drehtisch 2 angeordnet, der in der Poliervorrichtung montiert ist.
  • Eine Tür der Poliervorrichtung wird geöffnet und die Höhe des Drehtischhalteabschnitts 103 des Drehtischtransportwagens 101 wird auf eine Position eingestellt, die gleich oder etwas niedriger als die Höhe des Drehtischs 2 ist. Zu diesem Zeitpunkt kann die Entfernung zwischen dem Drehtisch 2 und dem Drehtischtransportwagen 101, abhängig von den Positionen des Drehtischs 2 und des Drehtischtransportwagens 101, groß sein. In diesem Fall wird eine Führungsplatte zwischen dem Drehtisch 2 und dem Drehtischtransportwagen 101 montiert.
  • Im Allgemeinen wird der Drehtisch 2 in der Poliervorrichtung in einer vorgegebenen Position mittels eines mechanischen Arretiermechanismus fixiert, der ein Hervortreten aufgrund der Rotation zum Zeitpunkt beispielsweise des Polierens eines Wafers und Vakuumansaugens verhindert. Um den Drehtisch 2 aus der Poliervorrichtung zu entfernen, wird zuerst der mechanische Arretiermechanismus entfernt. Zudem wird das Vakuumansaugen gestoppt. Zu diesem Zeitpunkt kann der Drehtisch 2 mühelos bewegt werden, wenn der Drehtisch 2 unter Verwendung einer Vakuumansaugleitung zum Liefern von Luft angehoben wird. Außerdem kann der Drehtisch 2 von der Poliervorrichtung entfernt werden, während Wasser zugeführt wird, damit der Drehtisch 2 leicht gleiten kann.
  • Da auf dem Drehtischhalteabschnitt 103 des Drehtischtransportwagens 101 die Rollen 110 oder die freien Lager vorgesehen sind, kann der Drehtisch 2 leicht geschoben werden. Der Drehtisch wird in eine vorbestimmte Position auf dem Drehtischhalteabschnitt 103 geschoben, und der Drehtisch wird vom Drehtischhalteabschnitt 103 gehalten. Ferner wird der Drehtisch 2 von den Fallsicherungsmechanismen 109 für den Drehtisch fixiert und transportiert.
  • Zum Zeitpunkt des Anbringens des Drehtischs an der Poliervorrichtung, der dem Vorbereiten der am Drehtisch befestigten Polierscheibe mittels der unabhängigen Einrichtungsvorrichtung unterzogen wird, wird der Drehtisch vom Drehtischtransportwagen in die Poliervorrichtung geschoben, und zwar in umgekehrter Reihenfolge als das Entfernen des Drehtischs aus der Poliervorrichtung, mit der Ausnahme, dass der Drehtischhalteabschnitt des Drehtischtransportwagens auf die Höhe eingestellt wird, die gleich oder etwas höher als die Höhe der Drehtischaufnahme in der Poliervorrichtung ist, wodurch das Anbringen ermöglicht wird.
  • Mit zunehmender Größe der Poliervorrichtung nimmt jedoch auch der Umfang des verwendeten Drehtisches zu, und daher muss ein Gang, entlang dessen der Drehtisch vom Drehtischtransportwagen transportiert wird, ebenfalls verbreitert werden. Außerdem wird ein breiterer Platz zum Befestigen und Abnehmen des Drehtischs benötigt und somit besteht ein Problem darin, dass die Platzeffizienz um die Poliervorrichtung schlechter wird.
  • Insbesondere nimmt die Platzeffizienz um die Poliervorrichtung im Fall einer wie in 8 gezeigten Poliervorrichtung des Indextyps stark ab, da der Drehtisch aus drei Richtungen befestigt und abgenommen wird.
  • Daher wird die Platzeffizienz verbessert, indem der Platz zum Befestigen und Abnehmen des Drehtischs so ausgelegt wird, dass er von benachbarten Poliervorrichtungen gemeinsam genutzt wird.
  • Zudem ist der in 9 gezeigte Drehtischtransportwagen 101 vom Typ mit Befestigung/Abnahme in Längsrichtung, bei dem der Zugang zum Drehtisch 2 von vorne erfolgt und der Drehtisch 2 befestigt oder abgenommen wird, jedoch wird manchmal ein Drehtischtransportwagen verwendet, der den Drehtisch von einer Seitenfläche des Drehtischtransportwagens 101 befestigt oder abnimmt. 10 zeigt, wie der Drehtisch in der Poliervorrichtung 11 mit dem Drehtischtransportwagentyp mit Befestigung/Abnahme in Längsrichtung 101 und einem Drehtischtransportwagentyp mit seitlicher Befestigung/Abnahme 101a angebracht wird.
  • Eine Stromversorgungsverkabelung und Rohre zur Wasserzu- und -ableitung (nicht gezeigt) sind um die Poliervorrichtung 11 vorgesehen. So ist der Zugang einer Seitenfläche der Poliervorrichtung 11 im Vergleich zum Drehtischtransportwagentyp mit Befestigung/Abnahme in Längsrichtung 101 mit dem Drehtischtransportwagentyp mit seitlicher Befestigung/Abnahme 101a schwierig und die Durchführbarkeit ist schlechter. Wie in 10 gezeigt kann jedoch im Fall des Drehtischtransportwagentyps mit seitlicher Befestigung/Abnahme 101a ein Platzbedarf zum Befestigen und Abnehmen des Drehtischs an die und von der Poliervorrichtung 11 reduziert werden. Daher kann ein Zwischenraum zwischen en benachbarten Poliervorrichtungen schmaler gemacht werden, was die Platzeffizienz verbessert.
  • Jedoch wird selbst im Fall eines solchen in 10 gezeigten Drehtischtransportwagentyps mit seitlicher Befestigung/Abnahme 101a, der Drehtisch vom Drehtischtransportwagen 101a im horizontalen Zustand transportiert, befestigt oder abgenommen. Daher werden als Zwischenraum zwischen den benachbarten Poliervorrichtungen Platzabmessungen benötigt, die gleich oder größer als der Durchmesser des Drehtischs ist, der vom Drehtischtransportwagen transportiert werden soll. Ferner besteht unter Berücksichtigung der Durchführbarkeit zum Zeitpunkt des Transports des Drehtischs mit dem Drehtischtransportwagen oder des Befestigens oder Abnehmens des Drehtischs an die oder von der Poliervorrichtung ein Platzbedarf, der mindestens einen Durchmesser des Drehtischs plus zusätzliche 200 mm beträgt.
  • Für die gleichmäßige Oberflächenqualität eines Wafers, der mit der Poliervorrichtung poliert wird, ist es wünschenswert, das Polieren in einem Zustand durchzuführen, in dem die Polierscheibe in ständigen Kontakt mit dem Wafer ist. Daher ist der Durchmesser des Drehtischs vorzugsweise größer als der Durchmesser des Wafers, der der Poliergegenstand ist. Außerdem wird zur Produktivitätsverbesserung häufig die in 8 gezeigte Poliervorrichtung 11 verwendet, in der einem Drehtisch 2 zwei Polierköpfe 15 zugeordnet sind.
  • In einer solchen Poliervorrichtung wird zum gleichzeitigen Polieren von zwei Wafern auf einem Drehtisch, wenn Wafer poliert werden, die jeweils einen Durchmesser von beispielsweise 300 mm aufweisen, häufig ein Drehtisch mit einem Durchmesser von 800 mm verwendet. Wie oben beschrieben muss der Zwischenraum zum Montieren der benachbarten Poliervorrichtungen auf 1000 mm oder darüber eingestellt werden, wenn der Durchmesser des Drehtischs 800 mm beträgt, da ein Platzbedarf besteht, der mindestens den Durchmesser des Drehtischs plus ca. 200 mm beträgt. Wie oben beschrieben ist es schwierig bei der Poliervorrichtung die Platzeffizienz zu verbessern, die Wafer mit einem Durchmesser von jeweils 300 mm oder darüber poliert.
  • Zwischenzeitlich wurde als Wafer mit großem Durchmesser, der einen Wafer-Durchmesser von 300 mm überschreiten, ein Wafer mit einem Durchmesser von 450 mm untersucht. Als Drehtisch, der gleichzeitigen zwei Wafer mit einem Durchmesser von jeweils 450 mm polieren kann, kann ein Drehtisch mit einem Durchmesser von beispielsweise 1200 mm verwendet werden. Das Gewicht eines Drehtischs mit diesen Ausmaßen beträgt ungefähr 90 kg, wenn der Drehtisch aus Keramikmaterial hergestellt ist. Im Fall einer Poliervorrichtung, in der der Durchmesser jeden Drehtischs 1200 mm beträgt, besteht für einen Befestigungs-/Abnahmevorgang und den Transport von jedem Drehtisch unter Verwendung des herkömmlichen Drehtischtransportwagens ein Platzbedarf von 1400 mm oder darüber.
  • Wie oben beschrieben werden beim Durchführen des Befestigungs-/Abnahmevorgang und des Transports von jedem Drehtisch unter Verwendung des herkömmlichen Drehtischtransportwagens diese Vorgänge immer in einem Zustand durchgeführt, in dem sich der Drehtisch horizontal befindet, und daher ist die Platzeffizienz schlecht.
  • Die ist häufig der Fall, wenn die in einem Halbleiterfertigungsbetrieb montierte Poliervorrichtung in einen Reinraum eingerichtet ist, um durch Fremdkörper verursachte kleine Kratzer oder Fehler zu vermeiden, und die Platzeffizienz zum Montagezeitpunkt der Poliervorrichtung wird durch Baukosten des Betriebs oder Betriebskosten für Versorgungseinrichtungen beeinflusst. Daher wurde eine Verbesserung der Platzeffizienz um die Poliervorrichtung gefordert.
  • LISTE DER BEZUGSVERWEISE
  • PATENTLITERATUR
    • Patentliteratur 1: Nicht geprüfte japanische Patentanmeldung (Kokai) Nr. 2008-93811
  • KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • TECHNISCHE PROBLEMSTELLUNG
  • In Anbetracht des Problems ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung das Bereitstellen eines Drehtischtransportwagens, der zum Transport eines Drehtischs eine schmale Breite aufweist, und ermöglicht, dass die Breite eines Gangs durch den der Drehtisch transportiert wird, schmaler gemacht wird.
  • PROBLEMLÖSUNG
  • Um die Aufgabe zu lösen ist gemäß der vorliegenden Erfindung ein Drehtischtransportwagen vorgesehen, der so konfiguriert ist, dass er einen Drehtisch, der von einer Poliervorrichtung entfernt wurde, oder den Drehtisch, der in der Poliervorrichtung angebracht werden soll, transportiert, wobei der Drehtischtransportwagen Folgendes umfasst: einen Drehtischhalteabschnitt, der zum Halten des Drehtischs konfiguriert ist; ein Untergestell, das den Drehtischhalteabschnitt von einer Unterseite trägt; einen Hebemechanismus, der den Drehtischhalteabschnitt nach oben und unten bewegt; und einen Neigungsmechanismus, der den Drehtischhalteabschnitt, der den Drehtisch hält, neigt
    wobei der Drehtischtransportwagen den Transport des Drehtischs in einem Zustand ermöglicht, in dem der Drehtischhalteabschnitt, der den Drehtisch hält, vom Neigungsmechanismus geneigt ist.
  • Mit einer solchen Anordnung kann eine Breite des Drehtischtransportwagens zum Zeitpunkt des Transports des Drehtischs schmaler gemacht werden. Somit kann die Breite eines Gangs, durch den der Drehtisch transportiert wird, schmaler gemacht werden.
  • Zu diesem Zeitpunkt ist bei Sicht des Drehtischtransportwagen von einer Seitenfläche desselben, eine Länge des Drehtischhalteabschnitts in lateraler Richtung vorzugsweise länger als eine Länge des Untergestells in der lateralen Richtung und der Drehtischhalteabschnitt ist auf dem Untergestell exzentrisch angeordnet.
  • Mit einer solchen Anordnung kann zum Zeitpunkt des Wechselns des Drehtischhalteabschnitts von einem schrägen Zustand in einen horizontalen Zustand, um den Drehtisch zu befestigen oder abzunehmen, der Platzbedarf zum Befestigen oder Abnehmen des Drehtischs reduziert werden, da die längere Seite des exzentrisch angeordneten Drehtischhalteabschnitts so angeordnet werden kann, dass sie in die Poliervorrichtung eingeführt wird. Folglich kann ein Zwischenraum zwischen den benachbarten Poliervorrichtungen noch schmaler gemacht werden. Außerdem tritt, wenn der Drehtisch horizontal eingestellt ist, ein Teil des Drehtischs in die Poliervorrichtung ein, und somit ist das Montieren einer Führungsplatte nicht mehr notwendig, was die Durchführbarkeit verbessert.
  • Zu diesem Zeitpunkt umfasst der Neigungsmechanismus vorzugsweise Folgendes: mindestens eine Neigungsplatte, die an einem Außenumfangabschnitt des Drehtischhalteabschnitts angebracht ist und in der Innenseite untergebracht werden kann; und mindestens einen Anschlag, der unter der Neigungsplatte angeordnet ist, ein Teil des Drehtischhalteabschnitts, auf dem die Neigungsplatte angeordnet ist, bewegt sich nicht nach unten, wenn der Anschlag die Neigungsplatte daran hindert, sich zum Zeitpunkt des Senkens des Drehtischhalteabschnitts nach unten zu bewegen, wodurch der Drehtischhalteabschnitt geneigt wird.
  • Da der Drehtischhalteabschnitt, der den Drehtisch hält, mit einer solch einfachen Konfiguration geneigt werden kann, ist eine Kosteneinsparung möglich.
  • VORTEILHAFTE WIRKUNGEN DER ERFINDUNG
  • Gemäß dem Drehtischtransportwagen der vorliegenden Erfindung kann die Breite des Gangs, durch den der Drehtisch transportiert wird, schmaler gemacht werden, da die Breite des Drehtischtransportwagens zum Zeitpunkt des Transports des Drehtischs schmaler gemacht werden kann.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Es zeigen:
  • 1 eine schematische Ansicht, die ein Beispiel für einen Drehtischtransportwagen gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt;
  • 2 eine schematische Ansicht, die einen Zwischenzustand zwischen einem Zustand zeigt, in dem der Drehtisch schräg auf an einem Drehtischhalteabschnitt gehalten wird, und einem Zustand, in dem der Drehtisch horizontal auf derselben im Drehtischtransportwagen gemäß der vorliegenden Erfindung gehalten wird;
  • 3 eine schematische Ansicht, die einen Zustand zeigt, in dem der Drehtisch auf dem Drehtischhalteabschnitt im Drehtischtransportwagen gemäß der vorliegenden Erfindung horizontal gehalten wird;
  • 4 eine schematische Ansicht von oben, wenn der Drehtisch auf dem Drehtischhalteabschnitt im Drehtischtransportwagen gemäß der vorliegenden Erfindung horizontal gehalten wird;
  • 5 eine schematische Ansicht von oben, wenn der Drehtisch auf dem Drehtischhalteabschnitt im Drehtischtransportwagen gemäß der vorliegenden Erfindung schräg gehalten wird;
  • 6 eine schematische Ansicht, die zeigt, wie der Drehtisch unter Verwendung des Drehtischtransportwagens gemäß der vorliegenden Erfindung in einer Poliervorrichtung angebracht wird;
  • 7 eine schematische Ansicht, die ein Beispiel für eine allgemeine einseitige Poliervorrichtung für Wafer darstellt;
  • 8 eine schematische Ansicht, die ein Beispiel für eine allgemeine Poliervorrichtung des Indextyps für Wafer darstellt;
  • 9 eine schematische Ansicht von oben, die ein Beispiel für einen herkömmlichen Drehtischtransportwagen darstellt; und
  • 10 eine schematische Ansicht, die darstellt, wie ein Drehtisch unter Verwendung eines herkömmlichen Drehtischtransportwagens in einer Poliervorrichtung angebracht wird.
  • BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Wie oben beschrieben muss zum Zeitpunkt des Transports eines Drehtischs mit einem Drehtischtransportwagen eine Gangbreite für den Drehtischwagen vergrößert werden, wenn der Drehtisch im horizontalen Zustand transportiert wird, und es entsteht ein Problem schlechter Platzeffizienz. Daher haben die betreffenden Erfinder wiederholt eindringliche Untersuchungen durchgeführt, um ein solches Problem zu lösen. Sie kamen folglich zu dem Schluss, dass eine Breite eines Gangs für den Transport schmaler gemacht werden kann, indem ein Drehtisch in einem Zustand transportiert wird, in dem ein Drehtischhalteabschnitt, der den Drehtisch hält, geneigt wird. Zudem untersuchten sie die beste Weise zum Ausführen dieser Konfigurationen sorgfältig und brachten dadurch die vorliegende Erfindung zum Abschluss. Der Drehtischtransportwagen gemäß der vorliegenden Erfindung wird nun im Folgenden mit Bezug auf die Zeichnungen ausführlich beschrieben.
  • Der Drehtischtransportwagen gemäß der vorliegenden Erfindung ist so konfiguriert, dass er einen Drehtisch transportiert, der aus einer Poliervorrichtung entfernt wurde, oder einen Drehtisch, der in der Poliervorrichtung angebracht werden soll. Wie in 1 gezeigt, umfasst der Drehtischtransportwagen 1 gemäß der vorliegenden Erfindung einen Drehtischhalteabschnitt 3, der zum Halten eines Drehtischs 2 konfiguriert ist, ein Untergestell 4, das den Drehtischhalteabschnitt 3 von einer Unterseite trägt, einen Hebemechanismus 5, der den Drehtischhalteabschnitt 3 nach oben und unten bewegt, und einen Neigungsmechanismus 8, der den Drehtischhalteabschnitt 3, der den Drehtisch 2 hält, neigt.
  • Eine Form des Drehtischhalteabschnitts 3 ist nicht besonders eingeschränkt und es kann beispielsweise eine wie in 4 gezeigte Form angenommen werden, die eine Kombination aus Rechtecken darstellt. Vorzugsweise wird eine laterale Breite des Drehtischhalteabschnitts kürzer als ein Durchmesser des zu haltenden Drehtischs eingestellt, und das Anwenden einer solche Einstellung ermöglicht das Minimieren einer Breite, wenn der Drehtischhalteabschnitt, der den Drehtisch hält, gekippt ist.
  • Wie in 4 gezeigt, werden vorzugsweise Rollen 10 oder freie Lager auf einer Oberfläche des Drehtischhalteabschnitts 3 angeordnet, der mit dem Drehtisch 2 Kontakt hat. Mit einer solchen Anordnung kann der Drehtisch 2 zum Zeitpunkt des Entfernens des Drehtischs 2 aus der Poliervorrichtung und des Bewegens zum Drehtischhalteabschnitt 3 oder zum Zeitpunkt des Bewegens des Drehtischs 2 von dem Drehtischhalteabschnitt 3 zur Poliervorrichtung, um den Drehtisch 2 in der Poliervorrichtung anzubringen, leicht geschoben werden, was die Durchführbarkeit verbessert.
  • Wie in 5 gezeigt, wird der Drehtischhalteabschnitt 3 vorzugsweise so konfiguriert, dass der Drehtisch 2 nicht fällt, wenn der Drehtischhalteabschnitt 3, der den Drehtisch 2 hält, schräg geneigt wird, und es können beispielsweise Fallsicherungsmechanismen 9 für den Drehtisch vorgesehen sein. Die Fallsicherungsmechanismen für den Drehtisch fixieren den Drehtisch, sodass der Drehtisch in einem Zustand, in dem die Fallsicherungsmechanismen arretiert sind, nicht vom Drehtischhalteabschnitt abgenommen werden kann, und der Drehtisch kann in einem nicht arretierten Zustand frei vom Halteabschnitt abgenommen werden. Gemäß dieser Konfiguration kann der Drehtisch sicher transportiert werden, selbst wenn der Drehtischhalteabschnitt 3, der den Drehtisch 2 hält, geneigt ist.
  • Zu diesem Zeitpunkt wird der Drehtischhalteabschnitt 3, wie in 3 gezeigt, vorzugsweise exzentrisch am Untergestell 4 angeordnet, so dass eine Länge des Drehtischhalteabschnitts 3 in einer lateralen Richtung länger als eine Länge des Untergestells 4 in der lateralen Richtung ist, wenn der Drehtischtransportwagen 1 von einer Seitenfläche gesehen wird. Wenn der Drehtisch 2 von einem solchen Drehtischhalteabschnitt 3 gehalten wird, ist auch der gehaltene Drehtisch exzentrisch zum Untergestell 4. Somit ist der Drehtisch 2 exzentrisch zum Untergestell 4 des Drehtischhalteabschnitts 3 angeordnet, und der Drehtisch 2 steht auf einer verlängerten Seite stark vom Untergestell 4 hervor.
  • Mit einer solchen Konfiguration kann, wie in 6 gezeigt, zum Zeitpunkt des Wechselns des Drehtischhalteabschnitts 3, der den Drehtisch 2 hält, von einem geneigten Zustand in den horizontalen Zustand, um den Drehtisch 2 zu befestigen oder abzunehmen, ein Platzbedarf zum Zeitpunkt des Befestigens oder Abnehmens des Drehtischs 2 reduziert werden, da die verlängerte Seite des exzentrisch angeordneten Drehtischhalteabschnitts 3 in die Poliervorrichtung 11 eingeführt werden kann. Folglich kann ein Zwischenraum zwischen den benachbarten Poliervorrichtungen schmaler gemacht werden. Außerdem muss keine Führungsplatte montiert werden, da ein Teil des Drehtischs 2 in die Poliervorrichtung 11 eintritt, wenn der Drehtisch 2 horizontal eingestellt wird. Ferner können durch Einstellen einer Position eines Anschlags 6 so, dass eine Höhe des Drehtischs 2 bei horizontaler Einstellung etwas höher als eine Drehtischaufnahme 16 wird, der Drehtisch 2 und die Drehtischaufnahme 16 daran gehindert werden, miteinander Kontakt zu haben, wodurch hervorragende Durchführbarkeit geboten wird.
  • Wie in 1, 2 und 3 gezeigt, trägt das Untergestell 4 den Drehtischhalteabschnitt 3 von einer Unterseite.
  • Das Untergestell 4 weist vorzugsweise eine laterale Breite auf, die kürzer als die Länge des Drehtischhalteabschnitts in lateraler Richtung ist. Diese laterale Breite ist vorzugsweise kürzer als die Länge in lateraler Richtung, wenn der Drehtisch 2, der vom Drehtischhalteabschnitt gehalten wird, geneigt ist. Mit dieser Anordnung kann die Breite minimiert werden, wenn der Drehtischhalteabschnitt 3, der den Drehtisch 2 hält, geneigt ist.
  • Mehrere Räder 18 können unter dem Untergestell 4 angeordnet sein, sodass sich der Drehtischtransportwagen 1 frei bewegen kann. An jedem Rad 18 ist eine Radarretierung angeordnet, sodass der Drehtischtransportwagen daran gehindert werden kann, sich zum Zeitpunkt des Anbringens oder Entfernen des Drehtischs unkontrolliert zu bewegen.
  • Wie in 1 gezeigt, ist die Höhe des Untergestells 4 vorzugsweise eine Höhe, die verhindern kann, dass der Drehtischhalteabschnitt und der Drehtisch in Kontakt mit dem Boden kommen, wenn der Drehtischhalteabschnitt 3, der den Drehtisch 2 hält, geneigt ist.
  • Es kann ein Hebemechanismus 5 verwendet werden, der sich unter dem Drehtischhalteabschnitt 3 befindet. Der Hebemechanismus 5, der den Drehtischhalteabschnitt 3 auf eine beliebige Höhe nach oben und unten bewegen kann, ist vorzugsweise und beispielsweise eine Konfiguration, die auf einem Hydrauliksystem oder einem Mechanismus beruht, der Ketten, Kugelgewindetriebe oder dergleichen verwendet.
  • Der Drehtischhalteabschnitt 3 kann anhand des Hebemechanismus 5 manuell nach oben und unten bewegt werden. Mit dieser Konfiguration ist es nicht notwendig, eine andere Vorrichtung zum Heben zu montieren, und somit können Kosten eingespart werden.
  • Eine Batterievorrichtung, die so konfiguriert ist, dass sie den Drehtischhalteabschnitt 3 anhand des Hebemechanismus 5 aufgrund des Batterieantriebs nach oben und unten bewegt, kann im Drehtischtransportwagen 1 montiert sein. Wenn der Hebemechanismus 5 von der Batterie angetrieben wird, kann der Drehtischhalteabschnitt 3 leicht nach oben und unten bewegt werden, was zu bevorzugen ist.
  • Ein Neigungsmechanismus 8 kann aus mindestens einer Neigungsplatte 7, die an einem Außenumfangabschnitt des Drehtischhalteabschnitts 3 angebracht ist und in der Innenseite untergebracht werden kann, und mindestens einem Anschlag 6 bestehen, der unter der Neigungsplatte 7 angeordnet ist. Beispielsweise kann als Anschlag 6 ein Anschlag mit einer Rolle verwendet werden.
  • Wenn der Drehtischhalteabschnitt 3 (3), der den Drehtisch 2 im horizontalen Zustand hält, vom Hebemechanismus 5 nach unten bewegt wird, kommt der Anschlag 6 mit einer Rückseite der Neigungsplatte 7 in Kontakt, um eine Bewegung nach unten zu verhindern (2). Folglich bewegt sich ein Teil des Drehtischhalteabschnitts 3, auf dem die Neigungsplatte 7 angeordnet ist, nicht nach unten, und daher kann der Drehtischhalteabschnitt 3 geneigt werden (1). Da der Drehtischhalteabschnitt 3, der den Drehtisch 2 hält, vom Neigungsmechanismus 8 auf diese Weise geneigt werden kann, kann die Breite des Drehtischtransportwagens 1 im Vergleich zu einem Zustand, in dem der Drehtisch 2 im horizontalen Zustand gehalten wird, schmaler gemacht werden.
  • Andererseits kann in einem Zustand, in dem die Neigungsplatte 7 in der Innenseite des Drehtischhalteabschnitts 3 untergebracht ist, wenn der Drehtischhalteabschnitt 3, der den Drehtisch 2 hält, vom Hebemechanismus 5 nach unten bewegt wird, der Drehtischhalteabschnitt 3, der den Drehtisch 2 hält, nach unten bewegt werden, während der horizontale Zustand aufrechterhalten wird, da die Neigungsplatte 7 nicht mit dem Anschlag 6 in Kontakt kommt.
  • Da der Drehtischhalteabschnitt 3, der den Drehtisch 2 hält, mit einen solch einfachen Mechanismus geneigt werden kann, können Kosten eingespart werden.
  • Nun wird ein Vorgang des Anbringens des Drehtischs 2 an der Poliervorrichtung 11 mit Bezug auf 6 beschrieben.
  • Der Drehtischhalteabschnitt 3, der den Drehtisch 2 hält, wird in einem schräg geneigten Zustand transportiert, und der Drehtischtransportwagen 1 wird vor der Drehtischaufnahme 16 angehalten, in der der Drehtisch 2 angebracht wird, und mittels Radarretierungen oder dergleichen fixiert.
  • Wenn der Drehtischhalteabschnitt 3, der den Drehtisch 2 hält, unter Verwendung des Neigungsmechanismus betätigt wird, um in den horizontalen Zustand überzugehen, wird der Drehtisch 2 langsam horizontal, und der Drehtisch 2 tritt in das Innere der Poliervorrichtung 11 ein.
  • Die Neigungsplatte wird im Drehtischhalteabschnitt 3 untergebracht, der Drehtisch 2, der vom Drehtischhalteabschnitt 3 gehalten wird, wird nach unten bewegt, während der horizontale Zustand aufrechterhalten wird, und der Drehtisch 2 wird so eingestellt, dass er in einer Position gebracht wird, die gleich oder etwas höher als die Position der Drehtischaufnahme 16 ist.
  • Die Fallsicherungsmechanismen für den Drehtisch 2 im Drehtischhalteabschnitt 3 sind nicht arretiert, und der Drehtisch 2 wird vom Drehtischhalteabschnitt 3 auf die Seite der Poliervorrichtung 11 geschoben. Da der Drehtischhalteabschnitt 3 Rollen oder freien Lager aufweist, kann der Drehtisch 2 mühelos geschoben werden. Außerdem kann der Drehtisch 2 schweben, wenn Luft unter Verwendung eines Lochs zur Vakuumansaugung in der Drehtischaufnahme 16 bereitgestellt wird, und daher kann der Drehtisch 2 mühelos geschoben werden. Zu diesem Zeitpunkt kann Wasser zur Drehtischaufnahme 16 geführt werden, sodass der Drehtisch 2 als schwere Last mühelos geschoben werden kann.
  • BEISPIELE
  • Obwohl die vorliegende Erfindung nun nachstehend unter Bezugnahme auf ein Beispiel und ein Vergleichsbeispiel der vorliegenden Erfindung eingehender beschrieben wird, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt.
  • (Beispiel)
  • In einem Drehtischtransportwagen gemäß der vorliegenden Erfindung mit einem Neigungsmechanismus wurde jeder Drehtisch mit einem Durchmesser von 800 mm oder 1200 mm von einem Drehtischhalteabschnitt gehalten, und der Drehtischhalteabschnitt, der die Drehtische hält, wurde vom Neigungsmechanismus geneigt. Eine Breite des Drehtischtransportwagen wurde zu diesem Zeitpunkt gemessen. Die Breite eines Transportgangs wurde durch Hinzufügen von 200 mm zu der gemessenen Breite des Drehtischtransportwagens berechnet. Die jeweiligen Messergebnisse und Berechnungsergebnisse sind in Tabelle 1 und Tabelle 2 gezeigt. Es ist anzumerken, dass Tabelle 1 und Tabelle 2 auch Ergebnisse eines später beschriebenen Vergleichsbeispiels zeigen.
  • In einem Fall, in dem der Drehtisch einen Durchmesser von 800 mm aufwies, betrug die Breite des Drehtischtransportwagens zum Zeitpunkt des Neigens des Drehtischhalteabschnitts, der den Drehtisch hält, 500 mm. Die Breite des Transportgangs wurde auf 700 mm berechnet. [Tabelle 1]
    Drehtisch [mm] Höchstbreite des Transportwagens [mm] Breite des Transportgangs [mm]
    BEISPIEL 800 500 700
    Vergleichsbeispiel 800 800 1000
  • Wie in Tabelle 2 gezeigt, betrug bei einem Durchmesser des Drehtischs von 1200 mm, die Breite des Drehtischtransportwagens 800 mm, wenn der Drehtischhalteabschnitt, der den Drehtisch hält, geneigt war. Die Breite des Transportgangs wurde auf 1000 mm berechnet. [Tabelle 2]
    Drehtisch [mm] Höchstbreite des Transportwagens [mm] Breite des Transportgangs [mm]
    BEISPIEL 1200 800 1000
    Vergleichsbeispiel 1200 1200 1400
  • (Vergleichsbeispiel)
  • Bei einem herkömmlichen Drehtischtransportwagen ohne Neigungsmechanismus wurde jeder Drehtisch mit einem Durchmesser von 800 mm oder 1200 mm wie im Beispiel befestigt, eine Breite des Drehtischtransportwagens und eine Breite eines Transportgangs wurden zu diesem Zeitpunkt ermittelt, und die Ergebnisse werden in Tabelle 1 und Tabelle 2 gezeigt. Die Breite des Transportgangs ist ein Wert, der durch Hinzufügen von 200 mm zur Breite des Drehtischtransportwagens wie im Beispiel erhalten wurde.
  • Wie in Tabelle 1 gezeigt, betrug in einem Fall, in dem der Drehtisch einen Durchmesser von 800 mm aufwies, die Breite des Drehtischtransportwagens 800 mm, wenn der Drehtisch vom Drehtischhalteabschnitt gehalten wurde. Die Breite des Transportgangs wurde auf 1000 mm berechnet.
  • Wie in Tabelle 2 gezeigt, betrug in einem Fall, in dem der Drehtisch einen Durchmesser von 1200 mm aufwies, die Breite des Drehtischtransportwagens 1200 mm, wenn der Drehtisch vom Drehtischhalteabschnitt gehalten wurde. Die Breite des Transportgangs wurde auf 1400 mm berechnet.
  • Wie oben beschrieben wurde im Beispiel im Fall des Drehtischs mit 800 mm eine Platzreduzierung von 300 mm von der Breite des Transportgangs im Vergleich zum Vergleichsbeispiel erzielt, da der Drehtischtransportwagen gemäß der vorliegenden Erfindung mit dem Neigungsmechanismus verwendet wurde, der den Drehtischhalteabschnitt, der den Drehtisch hält, neigen kann. Zudem wurde im Fall des Drehtischs mit 1200 mm eine Platzreduzierung von 400 mm von sowohl der Breite des Transportgangs als auch eines Zwischenraums zwischen den Poliervorrichtungen im Beispiel im Vergleich zum Vergleichsbeispiel erzielt.
  • Es ist zu anzumerken, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die vorstehende Ausführungsform beschränkt ist. Die vorstehende Ausführungsform ist ein veranschaulichendes Beispiel und alle Beispiele, die im Wesentlichen die gleiche Konfiguration aufweisen und die von den gleichen Funktionen und Wirkungen wie die in den Ansprüchen der vorliegenden Erfindung beschriebenen technischen Konzepte Gebrauch machen, sind in den technischen Umfang der vorliegenden Erfindung einbezogen.

Claims (3)

  1. Drehtischtransportwagen, der so konfiguriert ist, dass er einen Drehtisch, der von einer Poliervorrichtung entfernt wurde, oder den Drehtisch, der in der Poliervorrichtung angebracht werden soll, transportiert, wobei der Drehtischtransportwagen Folgendes umfasst: einen Drehtischhalteabschnitt, der zum Halten des Drehtischs konfiguriert ist; ein Untergestell, das den Drehtischhalteabschnitt von einer Unterseite trägt; einen Hebemechanismus, der den Drehtischhalteabschnitt nach oben und unten bewegt; und einen Neigungsmechanismus, der den Drehtischhalteabschnitt, der den Drehtisch hält, neigt wobei der Drehtischtransportwagen den Transport des Drehtischs in einem Zustand ermöglicht, in dem der Drehtischhalteabschnitt, der den Drehtisch hält, vom Neigungsmechanismus geneigt ist.
  2. Drehtischtransportwagen nach Anspruch 1, wobei bei Sicht des Drehtischtransportwagen von einer Seitenfläche desselben, eine Länge des Drehtischhalteabschnitts in lateraler Richtung länger als eine Länge des Untergestells in der lateralen Richtung ist, und der Drehtischhalteabschnitt ist auf dem Untergestell exzentrisch angeordnet ist.
  3. Drehtischtransportwagen nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Neigungsmechanismus Folgendes umfasst: mindestens eine Neigungsplatte, die an einem Außenumfangabschnitt des Drehtischhalteabschnitts angebracht ist und in der Innenseite untergebracht werden kann; und mindestens einen Anschlag, der unter der Neigungsplatte angeordnet ist, ein Teil des Drehtischhalteabschnitts, auf dem die Neigungsplatte angeordnet ist, bewegt sich nicht nach unten, wenn der Anschlag die Neigungsplatte daran hindert, sich zum Zeitpunkt des Senkens des Drehtischhalteabschnitts nach unten zu bewegen, wodurch der Drehtischhalteabschnitt geneigt wird.
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