DE1067510B

DE1067510B - Elektrischer Widerstand

Info

Publication number: DE1067510B
Application number: DEW20239A
Authority: DE
Inventors: Jack Dearden
Original assignee: Welwyn Electrcal Laboratories Ltd
Current assignee: Welwyn Electrcal Laboratories Ltd
Priority date: 1955-12-09
Filing date: 1956-12-06
Publication date: 1959-10-22
Also published as: GB803885A; FR1179987A; US2920005A

Description

Die Erfindung bezieht sich auf elektrische Widerstände, die einen Trägerkörper aus Glas, glasartigem oder keramischem Isoliermaterial besitzen, auf dem eine elektrisch leitende Schicht aus Antimon- und Zinnoxyd mit einem Zusatz mindestens eines weiteren Oxyds aufgebracht ist.

Es ist bekannt, Gegenstände aus Glas oder anderen glasartigen Stoffen mit einer Schicht aus Zinn- und Antimonoxyden zu versehen. Gegenstände dieser Art werden als elektrische Heizelemente verwendet, z. B. bei Windschutzscheiben für Fahrzeuge oder zur Erwärmung von Nahrungsmitteln. Die bekannten, mit einer Antimon- oder Zinnoxydschicht versehenen Heizelemente haben eine irisierende Oberfläche.

Ferner ist Zinnoxyd als alleiniger Bestandteil einer Widerstandsschicht verwendet worden, wenn die Stabilität der Schicht keine allzu große Rolle spielte.

Elektrische Widerstände, die als Präzisionsteile verwendet werden können, erfordern vielfach neben einem hohen elektrischen Widerstand noch bestimmte andere Eigenschaften, z. B. einen niedrigen oder konstanten Temperaturkoeffizienten des Widerstandswertes.

Die bekannten Widerstände dieser Art bestehen nur aus allenfalls Zinnoxyd und Antimonoxyd, also nur aus zwei Oxyden.

Die bekannten Widerstände der erwähnten Art haben gute elektrische Eigenschaften, wenn sie mit einem Belag aus Zinn- und Antimonverbindungen versehen sind und der prozentuale Anteil des Antimons, bezogen auf Antimonpentoxyd, zwischen 1,5 und 10 Gewichtsprozent der gesamten Metallverbindungen liegt. Im folgenden seien alle Prozentzahlen über die Zusammensetzung des Belages oder der zur Herstellung des Belages verwendeten Stoffe als Gewichtsprozente angegeben. Widerstände dieser Art haben einen Temperaturkoeffizienten von 0,05 % oder weniger, und dieser Wert ist bei elektrischen Widerständen im allgemeinen ausreichend. Der niedrigste Temperaturkoeffizient, der bei Widerständen der beschriebenen Art mit einem Belag mit Zinn- und Antimonverbindungen (als SnO₂ und Sb₂O₅) erreicht wurde, ist gegeben, wenn das Verhältnis 92:8 Gewichtsprozent ist.

Es wurde ferner festgestellt, daß die Anwesenheit von Antimon in der angegebenen Menge in dem Belagmaterial für Widerstände der beschriebenen Art ein Minimum des spezifischen elektrischen Widerstandes der Antimon-Zinn-Schicht der fertigen Widerstände ergibt; obwohl diese Widerstände sehr gute elektrische Eigenschaften haben, ist die Verwendungsmöglichkeit solcher Widerstände daher durch ihren niedrigen Widerstandswert begrenzt. So wurden z. B. Stangen mit einem Durchmesser von 6 mm und einer Elektrischer Widerstand

Anmelder:

Welwyn Electrical Laboratories Limited,
Bedlington (Großbritannien)

Vertreter: Dipl.-Ing. W. Cohausz
ίο und Dipl.-Ing. W. Florack₁ Patentanwälte,

Düsseldorf, Schumannstr. 97

Beanspruchte Priorität:
Großbritannien vom 9. Dezember 1955

Jack Dearden₁ Seaton Sluice, Whitley Bay,
Northumberland (Großbritannien),
ist als Erfinder genannt worden

Länge von 2,5 cm mit Schichten der erwähnten Art versehen, und es zeigte sich, daß die Widerstandswerte nicht höher lagen als 100 Ohm/cm². Auch wenn man das bei pyrolytischen Kohlenstoffwiderständen bekannte Verfahren anwendet, in den Film eine feine Schraubenwindung einzuschneiden, um hierdurch die effektive Länge des leitenden Weges zu erhöhen und dessen Breite zu vermindern, kann man den Widerstandswert kaum über 100 000 Ohm erhöhen. Bei elektrischen Widerständen wird jedoch oft verlangt, daß diese einen Widerstand bis zu mehreren Megohm besitzen sollen.

Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß der spezifische Widerstand bei Widerständen der beschriebenen Art mit einem Belag aus Zinn und Antimonverbindungen in dem angegebenen Verhältnis erheblich erhöht werden kann. Dies wird dadurch erreicht, daß die Schicht erfindungsgemäß als weiteres Oxyd Bortrioxyd enthält, dessen Anteil bis zu 5°/o beträgt, bezogen auf das Gewicht der Schicht. Die Anwesenheit von Boroxyd in der Antimon-Zinn-Schicht ändert zudem den Temperaturkoeffizienten des Widerstandes. Die besten Ergebnisse werden dabei mit einem Belag erreicht, der weniger Antimon enthält, als dies bei einer Schicht ohne Boroxyd der Fall sein würde. So hat z. B. ein Widerstand mit einer Schicht aus Zinnoxyd und Antimonpentoxyd im Verhältnis von 14,9: 1 und einem Anteil von l,0°/o oder weniger Boroxyd (Gewichtsanteile) einen Temperaturkoeffizienten, der praktisch vernachlässigbar ist. Er liegt in der Größenordnung von 0,05% oder

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unter diesem Wert. Es wird noch gezeigt werden, daß sich außerdem ein viel höherer spezifischer Widerstand ergibt, als bei einem ähnlichen Widerstand mit einer Schicht aus nur Zinnoxyd und Antimonpentoxyd erreichbar ist, wenn das Antimonpentoxyd durch Boroxyd ersetzt wird.

Ferner ist in weiterer Ausgestaltung der Erfindung in dieser Schicht das Antimon als Antimonpentoxyd in einem Anteil von etwa 10% vorhanden. Die Schicht ist als Film, deren Oberflächenwiderstand 1 bis 10000 Ohm/cm² beträgt, ausgebildet.

Dabei ist zu berücksichtigen, daß der Betrag des Widerstandswertes unter anderem abhängig ist von den Abmessungen, der Stärke der Schicht und dem spezifischen Widerstand. Die Stärke der Schicht kann zwischen 200 und 10000 Ängström und der spezifische Widerstand kann in der Größenordnung von 0.5 bis 10 Milliohm/cm³ liegen.

Die elektrisch leitende Schicht der Widerstände kann in weiterer Ausgestaltung der Erfindung zusätzlich zu den Oxyden des Zinns, des Antimons und des Bors noch eins oder mehrere der folgenden Oxyde enthalten: Titanoxyd, Aluminiumoxyd, Berylliumoxyd, Magnesiumoxyd, Siliziumoxyd, Zinkoxyd, Alanganoxyd und Kobaltoxyd.

Die leitende Schicht der Widerstände hat vorzugsweise einen Antimonanteil als Antimonpentoxyd von 1.5 bis 9% und einen Boranteil als Bortrioxyd von 0,05 bis IV» (vorzugsweise 0,1 bis 0,5%), wobei beide Prozentangaben auf das Gesamtgewicht der Schicht bezogen sind.

Es hat sich als zweckmäßig erwiesen, daß die Schicht bei den Widerständen gemäß der Erfindung vorzugsweise nur aus den Oxyden des Zinns, Antimons und Bors besteht.

Bei der Herstellung der Widerstände gemäß der Erfindung wird vorzugsweise so vorgegangen, daß unter oxydierenden Bedingungen zunächst eine flüssige Schichtmasse mit einer verdampfbaren Zinn-, Antimon- und Borverbindung auf den Widerstandskörper in einem Ofen aufgebracht wird, wobei die Ofentemperatur zwischen 600 und 1000° C liegt.

Die Zinn- und Antimonverbindungen sind vorzugsweise Salze (z. B. Chloride) des Zinns bzw. des Antimons; als Borverbindung wird zweckmäßig Borsäure gewählt. Die Verbindungen werden vorzugsweise in einem geeigneten Lösungsmittel gelöst, z. B. in Salzsäure.

Bei dem Y erfahren zur Herstellung von Widerständen gemäß der Erfindung wird zweckmäßig so vorgegangen, daß das in flüssige Form übergeführte Belagmaterial intermittierend mit einer Sprüheinrichtung auf die Trägerkörper gebracht wird, um die elektrisch leitende Schicht auf den Körpern auszubilden. Man kann auch so vorgehen, daß in an sich bekannter Weise das Belagmaterial verdampft wird.

Das Belagmaterial hat einen wesentlich höheren Widerstand, wenn es auf einen Träger aus Porzellan aufgebracht ist. Dieses Material hat eine rauhere Oberfläche als Glas; Porzellanwiderstände werden auch keinen irisierenden Effekt ergeben. Elektrisch günstig ist es, wenn das Belagmaterial auf Porzellan, Glas oder ähnliche glasartige Träger aufgebracht wird, die eine aufgerauhte Oberfläche haben; weniger günstig, wenn man den Belag auf einen entsprechenden Träger mit glatter Oberfläche aufbringt. Der Grund hierfür ist vermutlich darin zu sehen, daß ein äquivalenter Oberflächenwiderstand auftritt, wenn im Fall aufgerauhter Träger dickere Beläge verwendet iverden. Man kann daher z. B. bei Verwendung von

Porzellankörpern diese mit einem Sandstrahlgebläse bearbeiten, bevor der Oxydbelag aufgebracht wird.

Die Oberfläche des aus Porzellan oder ariderem glasartigem Material bestehenden Trägerkörpers muß vollkommen sauber sein. Als Reinigungsmittel zur Entfernung unerwünschter Verschmutzungen hat sich eine konzentrierte Lösung von Chromsäure bewährt, wobei die Trägerkörper ungefähr 1 Woche mit dieser Lösung zu behandeln sind. Der Reinigungsvorgang

ίο kann durch Erhitzung beschleunigt werden.

Bei weniger starken Verschmutzungen kann auch ein milderes Reinigungsmittel verwendet werden, z. B. eines der handelsüblichen Reinigungsmittel oder eine sonstige Säure.

Die Schichten aus Zinn-, Antimon- und Boroxyd sowie aus den anderen Oxyden können auf den Trägerkörpern dadurch erzeugt werden, daß die Trägerkörper bei erhöhter Temperatur mit Dämpfen oder feinverteilten Flüssigkeiten verdampfbarer Verbindungen der erwähnten Stoffe in Berührung gebracht werden. Diese Stoffe bilden dabei Oxyde des Elementes bei Berührungstemperatur, wobei erforderlichenfalls Sauerstoff oder Wasserdampf anwesend sein können. Die Verbindungen der Elemente, deren Oxyde in der elektrisch leitenden Schicht anwesend sein sollen, müssen unter den besonderen Bedingungen bei der Schichtausbildung verdampfbar sein, z. B. als Zinnhaloide (vorzugsweise Chloride), und dann bei der chemischen Umsetzung die Oxyde des Elementes bilden.

Man kann z. B. eine Lösung von Zinnchlorid, Antimonchlorid und Borsäure (H₃BO₃) in Salzsäure mit Hilfe einer Sprüheinrichtung bekannter Art auf die Trägerkörper aufbringen, die auf eine Temperatur von 500° C oder höher, vorzugsweise 600> bis 650° C, in einem Ofen vorgewärmt sind. Die Stärke der Salzsäure kann ungefähr 10 Gewichtsprozent der konzentrierten Säure betragen, wobei sich die Stärke durch die Auflösbarkeit des H₃BO₃ in HCl ergibt. In jedem Fall sollte die Salzsäure mit der maximal erreichbaren Stärke im Hinblick auf die Auflösbarkeit des H₃BO₃ verwendet werden. Die Anteile der erwähnten Verbindungen in den Lösungen sind so zu wählen, daß eine Oxydschicht auf dem Trägerkörper hergestellt wird, welche die gewünschten Anteile von Zinn- und Boroxyden enthält. Hierbei sei bemerkt, daß ein Lösungsmittel nicht unbedingt erforderlich und lediglich dann zu verwenden ist, wenn die verdampfbare Verbindung in fester Form oder als Flüssigkeit von niedrigem Dampfdruck vorliegt. Die Stärke der Oxydschicht ist einer der wesentlichsten Faktoren, die den Widerstandswert des fertigen Widerstandes bestimmen. Bei Anwendung einer Sprüheinrichtung und Sprühzeiten von 5 bis 30 Sekünden können Schichten erzielt werden, deren Dicke zwischen 1000 und 10000 Ängström liegt. In manchen Fällen sind auch Schichten mit einer Dicke unter 1000 Ängström erwünscht, und es können sogar Schichten mit 200 und selbst 100 Ängström erzeugt werden; solche sehr dünnen Schichten haben aber eine Stabilität von weniger als 0,5%, wobei dieser Wert als geforderte Stabilität für elektronische und Radiogeräte anzusehen ist; auch sind Schichten dieser Art weniger homogen, als bei den erwähnten Einrichtungen gefordert wird. Für viele Zwecke wird eine Stärke von 1000 bis 5000 Ängström gefordert.

Die Schichtausbildung erfolgt zweckmäßig in einem Ofen mit einer Wandtemperatur von 600 bis 1000° C Die Sprühzeit ändert sich im umgekehrten Sinne wie die Wandtemperatur. Es ist zweckmäßig, mit meh-

reren kurzen Sprühvorgängen zu arbeiten und nicht mit einer längeren Sprühzeit; auf diese Weise wird die Abkühlung des Widerstandskörpers gering gehalten. So wird man z. B. bei einer Raumtemperatur von 800° C (Temperatur des Widerstandskörpers 650° C + ) günstige Sprühzeiten von 2 bis 3 Sekunden erhalten, wobei bereits ein einziger Sprühvorgang gute Resultate liefert.

Bei der Wahl eines Lösungsmittels für das Sprühmittel ist zu beachten, daß bei einer Temperatur unterhalb 600° C keine Hydrolyse oder kein sonstiger Abbau der zu versprühenden Verbindungen eintreten darf.

Für den Fall, daß bestimmte Verbindungen in den Ofen eingesprüht werden, dürfen diese Verbindungen bei Temperaturen unter 600° C nicht zu Oxyden abgebaut werden oder sich mit dem Sauerstoff oder dem Wasserdampf zu Oxyden verbinden; wenn diese Forderung nicht erfüllt ist, müssen mit den Dämpfen noch Verbindungen eingeführt werden, die eine solche Umwandlung verhindern. Wenn z. B. Zinnchlorid unmittelbar verdampfend in den Ofen eingeführt würde, würde es unter 600° C in Anwesenheit von Sauerstoff und Wasserdampf in Zinnoxyd umgewandelt werden; es ist daher notwendig, Zinnchlorid in Anwesenheit von H Cl-Gas zu verdampfen, und dieses Gas muß weiter anwesend sein, bis die Oberfläche des Trägerkörpers erreicht wird; dort erfolgt dann die Umwandlung in Oxyde unter der Einwirkung von atmosphärischem Sauerstoff und Wasserdampf, die sich mit dem Dampf auf oder in der Nähe der Oberfläche des Trägerkörpers vermischen.

Es ist hierbei zu berücksichtigen, daß das Verhältnis des Zinnoxyds (SnO₂), des Antimonpentoxyds (Sb₂O₅) und des Boroxyds (B₂O₃) in der auf den Widerständen erzeugten Schicht abweicht von dem Verhältnis der entsprechenden Zinn-, Antimon- und Borverbindungen (als Oxyde) in dem Ausgangsmaterial. So hat z. B. eine Analyse ergeben, daß ein Anteil von Borsäure (H₃BO₃) im Ausgangsmaterial, der 0,6^fl/o B₂O₃ entspricht, nur 0,2% B₂O₃ (weitgehend abhängig von den Bedingungen der Umwandlung) in der Schicht des fertigen Widerstandes erzeugt. Ebenso wird der Anteil des Antimonoxyds herabgesetzt. Wenn jedoch der Gesamtanteil des Antimonoxyds in dem Ausgangsmaterial nicht 10% erreicht, ist die Verminderung so gering, daß sie vernachlässigt werden kann.

Um den Zusammenhang zwischen den Anteilen an Zinn-, Antimon- und Borverbindungen in dem Ausgangsmaterial und denen in den fertigen Belägen der Widerstände zu zeigen, sind nachfolgend Tabellen mit entsprechenden Zahlenwerten wiedergegeben. Tabelle I zeigt in Spalte 1 den Antimonanteil als Antimonpentoxyd, und zwar in Gewichtsprozent der Gesamtmenge an Zinn-, Antimon- und Borverbindungen in dem Ausgangsmaterial; Spalte2 zeigt die entsprechenden Werte der elektrisch leitenden Schicht bei dem fertigen Widerstand.

Tabelle I Widerstand, dessen Sdiicht nur die Oxyde des Zinns, Antimons 1 2

und Bors enthält

A 2,0 2,0

B 4,0 3,2

C 6,0 4,9

D 10,0 8,7

In Tabelle II zeigt Spalte 1 den Anteil an Borsäure in dem Ausgangsmaterial (Lösung), und zwar

in Prozent des Boroxyds, während Spalte 2 die entsprechenden Werte in der elektrisch leitenden Schicht des fertigen Widerstandes angibt. Der Anteil an Zinn ist nicht dargestellt, da dieser aus den Werten des Antimons und des Bors bestimmt werden kann.

Tabelle II
Widerstand, dessen Schidit nur die Oxyde des Zinns, Antimons und Bors enthält	1	2
A		0,6 2,5	0,22 0,86	B

Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus den Zeichnungen.

Fig. 1 zeigt im Diagramm die Widerstandsänderung, die verursacht wird durch die Anwesenheit veränderlicher Mengen von Borsäure als Boroxyd (B₂O₃) in einer Widerstandsschichtlösung, welche Zinnchlorid (als Zinnoxyd) und Antimonchlorid (als Antimonpentoxyd) im Verhältnis 14,9 : 1 enthält;

Fig. 2 zeigt im Schaubild die Änderung des Temperaturkoeffizienten des Widerstandswertes abhängig von dem Anteil an Boroxyd in der für die Wider-Standsschicht verwendeten Lösung entsprechend Fig. 1; Fig. 3 zeigt in vereinfachter Darstellung einen Schnitt durch den Ofen sowie eine Sprüheinrichtung zum Aufbringen der gemäß der Erfindung vorgesehenen Widerstandsschicht;

Fig. 4 zeigt in perspektivischer Ansicht einen erfindungsgemäß ausgebildeten Widerstand.

Die Anwesenheit von Boroxyd in einer Schicht, die Zinn- und Antimonoxyd enthält, führt zu einem erheblichen Anstieg des Widerstandes, der in Fig. 1 dargestellt ist. Bei einem Verhältnis von Zinnchlorid (als SnO₂) zu Antimonchlorid (als SB₂O₅) von 14,9: 1 in der Lösung steigt der Widerstandswert von seinem Wert bei einem Anteil von Oⁱ Gewichtsprozent Boroxyd etwa auf den vierfachen Wert, wenn bis zu 2,5 Gewichtsprozent Borsäure (als B₂O₃) zugesetzt werden. Aus dem Kurvenverlauf kann entnommen werden, daß ein weiteres proportionales Ansteigen des Widerstandes auch für höhere Abszissenwerte zu erwarten ist. Entsprechend diesem Anstieg der Widerstandswerte ändert sich der Wert des Temperaturkoeffizienten des Widerstandes von positiven zu negativen Werten bei steigendem Anteil an Borsäure; während der Temperaturkoeffizient des Widerstandes bei einer nur aus Zinn- und Antimonoxyden zu gleichen Teilen bestehenden Schicht +0,04% je ⁰C ist, liegt er bei -0,025% je °C, wenn 2,5% Borsäure (als B₂O₃) in der Lösung vorhanden sind (Fig. 2). Die Anwesenheit von Borsäure in der Lösung bewirkt, daß sich ein negativer Verlauf des Temperaturkoeffizienten einstellt; es hat sich gezeigt, daß im Bereich von 4 bis 25 °/o. Antimonanteil (als Sb₂O₅) dieser Vorgang dadurch kompensiert werden kann, daß der Anteil der Antimonverbindung herabgesetzt wird. Es ist nun möglich, diese Maßnahme bei einer Schicht anzuwenden, die Boroxyd enthält; man kann also den Anteil an Antimonoxyd herabsetzen, um den Temperaturkoeffizienten näher an den Wert Null zu bringen, als dies in Anwesenheit von Boroxyd möglich wäre. Gleichzeitig wird der Widerstand des Schichtmaterials erhöht.

Die Widerstände gemäß der Erfindung sind elektrisch sehr stabil bei hohen Temperaturen. Bei dünnen Filmen oder wenn der Anteil an Boroxyd hoch ist, sinkt die Stabilität in feuchter Umgebung; es ist daher von Bedeutung, daß Metalloxydwiderstände

Claims

dieser Art mit einem Film geschützt werden, der aus feuchtigkeitsundurchlässigem Lack oder aus anderem nichtleitendem Material besteht, das einen hinreichenden Schutz gegen den Angriff der Feuchtigkeit bietet. Im folgenden wird ein Beispiel für die Herstellung eines Widerstandes gemäß der Erfindung gegeben: Es wird zunächst eine Lösung folgender Zusammensetzung hergestellt: SnCl4-5H2O 100g SbCl3 4 g H3BO3 0,5 g Konzentrierte Salzsäure 60 ecm Eine mit Sandstrahl behandelte und gesäuberte Porzellanstange von 4,4 mm Durchmesser und 25 cm Länge wird in einen Vertikalofen 10 gehängt, der entsprechend Fig. 3 ausgebildet sein kann. Die Wände des Ofens werden auf einer Temperatur von 800° C gehalten. In dem Vertikalofen 10 ist eine Aufhängung 12 für die Porzellanstange 14 vorgesehen; eine Spritzpistole 16 oder eine andere zum Versprühen der Lösung geeignete Einrichtung aus säurebeständigem Material wird aus einem Behälter 18 gespeist. In dem Behälter 18 ist eine Lösung der beschriebenen Zusammensetzung untergebracht. An die Spritzpistole 16 ist eine Druckluftleitung 20 angeschlossen. Die Stange 14 bleibt ungefähr 5 Minuten in dem Ofen 10, um die entsprechende Temperatur anzunehmen. Es wird dreimal je 3 Sekunden gesprüht und dabei eine Schichtdicke von 3100 Angstrom Einheiten erreicht. Das Verhältnis des Zinnoxyds zu Antimonpentoxyd war in der Lösung 12,2:1, und der Anteil des Boroxyds in der oxydischen Schichtmasse war 0,2%. Die fertigen Widerstände hatten einen spezifischen Widerstand von 56 Ohm/cm2, und die Stabiiitat bei einer Belastung von 0,23 Watt/cm2 war besser als 0,2%. Eine Belastung bis zu 0,7 Watt/cm2 ergab eine Stabilität von 1% oder besser. Nach Fertigstellung der Oxydschicht wird eine Lackschicht bekannter Zusammensetzung auf den Widerstand aufgebracht. Um Widerstände mit einem möglichst hohen Widerstandswrert zu erhalten, kann die fertige Oxydschicht als feine Schrauben windung ausgebildet sein. Verfahren dieser Art sind bekannt. Das Einschneiden erfolgt vor dem Aufbringen der Lackschicht. Auf diese Weise können Widerstandswerte bis zu 10 Megohm erzeugt werden. Fig. 4 zeigt in vereinfachter Darstellung einen Widerstand mit einem Widerstandskörper 14, auf den eine Oxydschicht 22 aufgebracht ist, in die eine Schraubenwindung eingeschnitten ist, so daß zwischen den einzelnen Windungen Abstände 24 entstehen. Patentansprüche:

1. Elektrischer Widerstand mit einem Trägerkörper aus Glas, glasartigem oder keramischem Isoliermaterial mit einer elektrisch leitenden Schicht aus Antimon- und Zinnoxyd mit einem Zusatz mindestens eines weiteren Oxyds, dadurch gekennzeichnet, daß das weitere Oxyd Bortrioxyd ist, dessen Anteil bis zu 5% beträgt, bezogen auf das Gewicht der Schicht.

2. Widerstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Antimon als Antimonpentoxyd in einem Anteil von etwa 10% vorhanden ist.

3. Widerstand nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitende Schicht

wenigstens eines der folgenden Oxyde enthält: Titanoxyd, Aluminiumoxyd, Berylliumoxyd, Magnesiumoxyd, Siliciumoxyd, Zinkoxyd, Manganoxyd oder Kobaltoxyd.

4. Widerstand nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Trägerkörper aus aufgerauhtem Porzellan besteht.

5. Widerstand nach einem der Ansprüche 1, 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Trägerkörper aus aufgerauhtem glasartigem Material besteht.

6. Widerstand nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Trägerkörper aus aufgerauhtem Glas besteht.

7. Widerstand nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitende Schicht eine Stärke von etwa 200 bis 10000 Angstrom hat.

8. Widerstand nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitende Schicht eine Stärke von etwa 1000 bis 5000 Angström hat.

9. Widerstand nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitende Schicht einen Antimonanteil (als Antimonpentoxyd) von 1,5 bis 9% und einen Boranteil (als Boroxyd) von 0,05 bis 1 % hat, wobei beide Prozentangaben auf das Gesamtgewicht des Belagmaterials bezogen sind.

10. Widerstand nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Boranteil (als Boroxyd) in der Größenordnung von 0,1 bis 5% und der Antimonanteil (als Antimonpentoxyd) von 1,5 bis 9% liegt.

11. Widerstand nach einem der Ansprüche 9 und 10, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitende Schicht nur die Oxyde des Zinns, Antimons und Bors enthält.

12. Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Widerstandes nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß unter oxydierenden Bedingungen ein flüssiges Schichtmedium, das eine verdampfbare Zinn-, Antimon- und Borverbindung enthält, auf den Widerstandskörper in einem Ofen aufgebracht wird, dessen Temperatur zwischen 600 und 1000° C liegt, wobei die Schicht als Film ausgebildet wird, dessen Oberflächenwiderstand zwischen 1 und 10000 Ohm/cm² liegt.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Zinn- und Antimonverbindungen Salze sind.

14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Zinn- und Antimonverbindungen Chloride sind und die Borverbindung Borsäure ist.

15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß Salzsäure als Lösungsmittel für die drei Bestandteile verwendet wird.

16. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufbringen der Schicht durch unterbrochenes Aufsprühen erfolgt.

17. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufbringen der Schicht durch Verdampfen erfolgt.

In Betracht gezogene Druckschriften:
USA.-Patentschriften Nr. 2 564 706, 2 564 707.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen